u § כ Ž ö n ÚV R Ë 6 KT ' [9 cT ­ Ž  Œ • ×8 ý ý m Ç~ ¿V R Ë õ m Í ” ô½ Û

þ

u § כ Ž  ö n ÚV R Ë 6 KT ' [9 cT ­ Ž  Œ •  ×8 ý ý m Ç~ ¿V R Ë õ m Í ”  ô½ Û

*

× <+ ä  ™ ¸

· + ä ÷ 7 B‡ Ú · { ¡? 0 ¼ D · ­ ¤) o <  · T  õ i u® £

ô 

Dz D G l œ íõ † < Æt " é ¶ƒ  ½ ¨" é ¶ Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ë \ O é ß –, @ /„   305-806

T „ ç ¡‡ Ú

ô 

Dz D G õ † < Æl Õ ü t& ñ ˜ Ѓ  ½ ¨" é ¶ & ñ ˜ Ж B HJ $ ™à Ô> hµ 1 Ïz  ´, @ /„   305-806 (2004¸   12 Z 4 16{ 9  ~ à Î6 £ §)

ô 

Dz D G l œ íõ † < Æt " é ¶ƒ  ½ ¨" é ¶ \ " f { Œ ™{ © œ “ ¦ ô  Dz D G õ † < Æl Õ ü t& ñ ˜ Ѓ  ½ ¨" é ¶ \ " f ˜ Ð/ å L`  ¦ } Œ —“ ¦ e ”   H e  ¦  Ý ¼  Ó

ü

t$ í X <s ' Z …s Û ¼ ½ ¨» ¡ ¤  \ O _  Å Òכ ¹ô  Ç e ” Á º  H ž Ð } Œ • Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ë, › ' a$ í Ù þ ˜Ö 6 x½ + ˃  ½ ¨ Õ ªo “ ¦ í ß –\ O ^ ‰\  6 £ x 6

x ÷ &  H e  ¦  Ý ¼ _  Ó ü t$ í \  › ' aº   ) a " é ¶   x 9  ì  r  _  Ø  æ[  t  « Ñ\  ¦ à º| 9 , ¨ î  # Œ  6   x  [ þ t \ >  ˜ Ð/ å L

  H { 9 s  . “  '  Å _  F  g# 3 0 Aô  Ç ˜ Ð/ å L \     à º| 9  ) a  « Ñ[ þ t“ É r “ : r  “   © œ\ " f { 9 ì ø Í  6   x   ÷  rë ß – m 



 „  ë  H& h “    6   x  [ þ t \ >  ] j/ B N ÷ &# Qt “ ¦ e ”  . ‘ : r  7 Hë  H \ " f  H ‘ : r ƒ  ½ ¨" é ¶ s  ½ ¨» ¡ ¤ “ ¦ ] j/ B N “ ¦ e ”   H e

 ¦  Ý ¼  › ' aº   " é ¶   x 9  ì  r   X <s ' _  ´ ò6   x$ í x 9  þ j  H X <s '  / B N/¨ î   © œS ! õ  · ú ¡Ü ¼– Ð_  3 l q ³ ð\  ¦ l  Õ

ü

t “ ¦  ô  Ç .

PACS numbers: 34

Keywords:X<s'Z…sÛ¼, "é¶ x9 ìr X<s'

I. " e  ] Ø

þ

j  H[ þ t # Q \  -t \ @ /ô  Ç ² D G ] j& h “   › ' a d ” õ  ' ‘ é ß –l Õ ü t_  µ

1 τ  Ü ¼– Ð ] j4_  Ó ü t| 9   © œI  “ ¦ · ú ˜ 94 R e ”   H e  ¦  Ý ¼ \ 

@

/ô  Ç ƒ  ½ ¨  Ö ¸µ 1 Ïy  s À Ò# Qt “ ¦ e ”  . s  Qô  Ç e  ¦  Ý ¼ 

\

 ¦ s K  “ ¦, 6 £ x6   x l  0 AK " f  H „  { 9  [ þ t – Ð s À Ò# Q

”

  e  ¦  Ý ¼   ^ ‰\  @ /ô  Ç ƒ  ½ ¨ ÷  rë ß –  m  , „  { 9  \  ¦

5 Å q # Œ e  ¦  Ý ¼ ü <  © œ  ñ Œ •6   x   H Ó ü t ^ ‰\  @ /ô  Ç ƒ  ½ ¨

€ 9

à º& h s   ½ + É Ã º e ”  . s  Qô  Ç : £ ¤$ í Ü ¼– Ð “   # Œ e  ¦  Ý ¼



 ? /\ " f_  " é ¶   x 9  ì  r   ‰ & ³ © œ\  @ /ô  Ç ƒ  ½ ¨ [1–6] ² D G

?

/ ü @ & h Ü ¼– Ð  Ö ¸µ 1 Ïy  s À Ò# Qt “ ¦ e ”  . s   H " é ¶   x 9  ì  r



  ^ ‰\  @ /ô  Ç ƒ  ½ ¨ ÷  rë ß –  m   " é ¶   x 9  ì  r  ü <  © œ  ñ



Œ

•6   x   H B ^ ‰ü <_  & ñ S X ‰ô  Ç s K  כ ¹½ ¨÷ &# Qt Ù ¼– Ð " é ¶  

 ì  r  _  l ‘ : r& h “   X <s '  ÷  rë ß –  m   e  ¦  Ý ¼ \  _  K

 8 ú ¤”  ÷ &  H  o† < Æì ø Í6 £ x, e  ¦  Ý ¼ ü <  © œ  ñ Œ •6   x   H Ó ü t| 9  _

 : £ ¤$ í 1 p x ~ ½ Ó@ /ô  Ç € ª œ_  X <s ' \  ¦ € 9 כ ¹– Ð “ ¦ e ”  . [1, 4,7,8]

s

 Qô  Ç כ ¹½ ¨\    , p ² D G_  NIST (National Institute Standard Technology), ORNL (Oak Ridge National Lab- oratory) ° ú  “ É r ² D G ƒ  ½ ¨™ è
 IAEA (International Atomic Energy Agent)1 p x ² D G ] jl ½ ¨\ " f  H  ^ ‰& h Ü ¼– Ð ˜ ÐÄ » “ ¦

∗E-mail: [email protected]

e ”

  H X <s ' 
 l Õ ü t§ 4 `  ¦  „ ½ ÓÜ ¼– Ð ~ ½ Ó@ /ô  Ç € ª œ_  " é ¶   x 9  ì

 r   X <s ' Z …s Û ¼\  ¦ ½ ¨» ¡ ¤ # Œ î  r% ò “ ¦ e ” Ü ¼ 9, { 9 ‘ : r _  NIFS (National Institute for Fusion Science), s Û ¼  Ó s

q_  Weizmann Institute of Science 1 p x“ É r  ^ ‰& h Ü ¼– Ð ½ ¨

»

¡

¤ ) a X <s ' Z …s Û ¼\  ¦   É r # Œ Q ƒ  ½ ¨l  › ' a s 
 @ /† < Æõ  ƒ  

>

 # Œ X <s ' Z …s Û ¼ W 1à Ô ° 3`  ¦ š ¸A „   Ò'  ½ ¨» ¡ ¤ # Œ s  6

x K  š ¸“ ¦ e ”  . ô  Dz D G \ " f• ¸ s p  ô  Dz D G" é ¶  § 4 ƒ  ½ ¨™ è € ª œ



 F  g† < Æ z  ´+ « >z  ´\ " f " é ¶  , ì  r   x 9  F  g† < Æ X <s ' \  ¦ ] j/ B N 

“

¦ e ” Ü ¼
  € ª œô  Ç e  ¦  Ý ¼  6 £ x6   xì  r  \ " f כ ¹½ ¨÷ &  H X <

s

' \  ¦ ] j/ B N l \   H  Ò7 á ¤ô  Ç z  ´& ñ s  . ¢ ¸ô  Ç s [ þ t ƒ  ½ ¨

™

è\ " f ] j/ B N   H X <s ' [ þ t_  @ / Òì  r“ É r " é ¶  \  › ' aô  Ç X <

s

'  ´ ú §“ ¦ í ß –\ O ^ ‰\ " f € 9 à º& h Ü ¼– Ð € 9 כ ¹ô  Ç ì  r   X <s  '

  H ´ ú §t  · ú §“ É r z  ´& ñ s  .

¢

¸ô  Ç, NIST
 IAEA1 p x [ j>  Ä »Ã º l  › ' a \ " f  H " f– Ð_ 

ƒ 

> \  ¦ : Ÿ x # Œ & ñ ˜ Г §À Ó x 9  X <s '  / B N Ä »_  › ' a > \  ¦ ½ ¨» ¡ ¤

“ ¦ e ” Ü ¼ 9, t 5 Å q& h “    « Ñ_  2 [½ + Ë, ì  r À Ó, ì  r$ 3  x 9   Ž 7 £ x

`

 ¦ : Ÿ x # Œ ’  ø @$ í e ”   H X <s ' \  ¦ „  [ j>   6   x  [ þ t \ >  ]

j/ B N “ ¦ e ”  . Õ ª Q
  « Ñ / B N Ä »  ) a  “ ¦  8 • ¸ Ù þ ˜ d ”

& h “   X <s ' _   â Ä º, Õ ª ] X   H s  6   x s u  · ú §Ü ¼ 9 a ž ?§ 4 › ' a

>

\  e ”   H ƒ  ½ ¨l  › ' a  s \ " fë ß –  « Ñ_  ] X   H s  0 p xô  Ç

‰ &

³z  ´s  . Õ ªo “ ¦, s 6   x½ + É Ã º e ”   H X <s '  Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ë e  ¦



Ý ¼  › ' aº   " é ¶   X <s ' _  € ª œ“ É r ´ ú §Ü ¼
 Õ ªü @   É r e  ¦   Ý

¼  › ' aº   ƒ  ½ ¨\ " f € 9 כ ¹– Ð   H ì  r   X <s '  x 9   o† < Æ& h 

-26-

:

£

¤$ í \  › ' aô  Ç X <s '   H F G y  × ¼ë  H z  ´& ñ s  . Õ ª QÙ ¼– Ð ‘ : r



7 Hë  H \ " f  H  € ª œô  Ç Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 `  ¦ ° ú   H e  ¦  Ý ¼   6   x  [ þ t _  כ ¹½ ¨\   ҽ + Ë÷ &“ ¦, Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ëõ  › ' aº   ) a X <s '  ÷  rë ß –  m 



 …  ;^ ‰ e  ¦  Ý ¼  x 9  í ß –\ O ^ ‰\ " f 6 £ x6   x ÷ &“ ¦ e ”   H e  ¦  Ý ¼



 › ' aº   ì  r  \  € 9 à º& h “   " é ¶   x 9  ì  r   X <s '  Z …s Û ¼\ 

@

/ # Œ  7 H_  “ ¦  ô  Ç . ‘ : r  7 Hë  H \ " f ™ è> h “ ¦  



 H X <s ' Z …s Û ¼  H ‰ & ³F  ô  Dz D G l œ íõ † < Æt " é ¶ƒ  ½ ¨™ èü < ô  Ç

² D

G õ † < Æl Õ ü t& ñ ˜ Ðl Õ ü tƒ  ½ ¨" é ¶ \ " f / B N1 l x Ü ¼– Ð Æ Ò”   “ ¦ e ” 



 H e  ¦  Ý ¼  Ó ü t$ í X <s ' Z …s Û ¼– Ð " é ¶   x 9  ì  r   X <s ' 

÷

 rî ß –  m  , e  ¦  Ý ¼  6 £ x6   x ì  r  \ " f e  ¦  Ý ¼ _  î  r1 l x

† <

Æ ë  H ] j\  ¦ Û  ¦ l 0 Aô  Ç Ã ºu & h “   > í ß – á Ԗ ÐÕ ªÏ þ ›1 p x`  ¦ † < Êa  ]

j/ B N # Œ  6   x  [ þ t_  s K \  ¦ Z  } s “ ¦    H 3 l q& h `  ¦  t

“ ¦ ½ ¨» ¡ ¤ “ ¦ e ”  .

½

¨» ¡ ¤ “ ¦ e ”   H X <s '   H í ß –\ O ^ ‰\ " f e  ¦  Ý ¼ \  ¦ 6 £ x 6

x   H / B N& ñ õ & ñ ×  æ e  ¦  Ý ¼ \  _ K  Ò q t$ í ÷ &  H ì ø Í6 £ x l

(Radical)_  Ø  æ[  t é ß –€  & h , ì ø Í6 £ x l ü < Ó ü t| 9 _  ³ ð€  \ " f { 9

# Q
  H  o† < Æì ø Í6 £ x_  q Ö  ¦   à º (rate coefficient), e  ¦   Ý

¼ \  _ K  / B N ÷ &  H Ó ü t| 9 _  Ó ü t o & h ,  o† < Æ& h  : £ ¤$ í 1 p x \ 

› '

aô  Ç  כ s  . ¢ ¸ô  Ç, s ü < ° ú  “ É r X <s ' [ þ t“ É r q 2 Ÿ ¤ ´ ú §“ É r ƒ  

½

¨ ”  ' Ÿ ÷ &# Qt “ ¦  H e ” Ü ¼
, ƒ  ½ ¨ [ þ t  s \ " f   õ 

\

 @ /ô  Ç ¼ #  
 K $ 3 s   © œs ô  Ç  â Ä º ´ ú §Ü ¼ 9,  f ”  ^ ‰

>

 o ) a X <s ' Z …s Û ¼ ½ ¨» ¡ ¤ ) a   \ O l  M :ë  H \  í ß –F   ) a X

<s ' \  ¦ š ¸ ½ ™r ç ß –`  ¦ ¿ º“ ¦ t 5 Å q& h Ü ¼– Ð 2 [½ + Ë # Œ ì  r$ 3 õ 

 Ž

7 £ x`  ¦ : Ÿ x # Œ { 9 › ' a ) a  « Ñ\  ¦ F Ò q tí ß –   H õ & ñ `  ¦ Ÿ í† < Ê

“ ¦ e ”  .

‘

: r  7 Hë  H \ " f  H [ j> & h Ü ¼– Ð s À Ò# Qt “ ¦ e ”   H X <s ' Z … s

Û ¼_  € 9 כ ¹$ í x 9  ‰ & ³S ! `  ¦ & ñ o  “ ¦, s  Qô  Ç X <s ' Z …s  Û

¼\ " f כ ¹½ ¨÷ &# Qt “ ¦  † ½ Ó[ þ t`  ¦ ™ è> h “ ¦  ô  Ç . Õ ªo 

“

¦ 2002¸  • ¸Â Ò'  ô  Dz D G l œ íõ † < Æt " é ¶ƒ  ½ ¨™ èü < ô  Dz D G õ † < Æ l

Õ ü t& ñ ˜ Ѓ  ½ ¨" é ¶ \ " f / B N1 l x Ü ¼– Ð ] j Œ • “ ¦ e ”   H e  ¦  Ý ¼  Ó

ü

t$ í X <s ' Z …s Û ¼\  ¦ ™ è> h  9 þ j  H ½ ¨» ¡ ¤ ) a  © œS ! `  ¦ ™ è

>

h “ ¦  ô  Ç .

II. 6 KT ' [9 cT ­ Ž8 ý ý m Ç~ ¿V R Ë õ m Í ”  ô½ Û

"

é

¶   x 9  ì  r  Ø  æ[  t ƒ  ½ ¨  H Ó ü t o † < Æ_  l ‘ : r ë  H ] j{ 9  ÷  rë ß –



m   # Œ Q í ß –\ O  x 9  õ † < Æ& h  6 £ x6   xì  r  \ " f ´ ú §“ É r ×  æ כ ¹$ í

`

 ¦ t m “ ¦ e ”  . " é ¶   x 9  ì  r   Ø  æ[  t õ & ñ _  " é ¶ o 
 Ø  æ[  t í ß – ê

ø Íé ß –€  & h  X <s ' \  ¦ € 9 כ ¹– Ð   H ì  r  – Ѝ  H l ^ ‰~ ½ ӄ  , …  ;

^

‰Ó ü t o † < Æ, @ /l Ó ü t o † < Æ, ' Ÿ Ö 6 x½ + Ë, ì ø ͕ ¸^ ‰ / B N& ñ e  ¦  Ý ¼ ,

“

¦´ òÖ  ¦ „  ½ ¨, ~ ½ Ó ‚   Ó ü t o † < Æ 1 p x õ † < Æl Õ ü t „  ì  r  \    5 g ì

 r Ÿ í÷ &# Q e ”  . ‘ : r  © œ\ " f  H s ×  æ Y >  ì  r  \ " f_  " é ¶   x 9  ì

 r  õ & ñ X <s ' Z …s Û ¼_  € 9 כ ¹$ í x 9  ‰ & ³S ! `  ¦ ƒ  / å L “ ¦  ô 

Ç .

1) Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ë e  ¦  Ý ¼ 

]

j 4_   © œI  “ ¦ · ú ˜ 94 R e ”   H e  ¦  Ý ¼   H s “ : r, „   ,

×

 æ$ í " é ¶  ü < ì  r  [ þ t – Ð s À Ò# Q4 R e ” l  M :ë  H \  s [ þ t ½ ¨$ í

"

é

¶ ™ è[ þ t  s _   © œ  ñ Œ •6   x`  ¦ s K    H כ s  B Ä º ×  æ כ ¹ 



. Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ë e  ¦  Ý ¼ _   â Ä º, µ 1 ÏÒ q t   H e  ¦  Ý ¼ _  r ç ß – õ

 µ 1 ÏÒ q t © œ™ è, Õ ªo “ ¦ e  ¦  Ý ¼ _  › ¸| 1 p x \      6 £ § õ 

° ú

 “ É r # Œ Q7 á x À Ó_  { 9  [ þ t s  e  ¦  Ý ¼  ? /\  ” > r F  >   ) a



.

a) H, H

, D, T (ƒ  « Ñ) b) He ( Å Ò  ) a ' Ÿ Ö 6 x½ + Ë Ò q t$ í Ó ü t)

c) Li, Be, B, C, O, CO, H

O, CO

, C

H

( ŠҖ Ð ³ ð

€ 

½ ¨$ í Ó ü t o – РÒ' 
š ¸  H Ô  ¦í  HÓ ü t)

d) Si, Ti, Cr, Fe, Ni, Mo, W, Al, Mg, Cu, Nb (”  / B N Õ þ ›

!

Q ? /# 4 , divertor 1 p x_  ½ ¨$ í F « Ñ) s

 " é ¶ ™ è[ þ t“ É r e  ¦  Ý ¼ \  ¦ s À ғ ¦ e ”   H # Œ Q ½ ¨$ í $ í ì  r [

þ

t õ   Œ •6   x # Œ # Œ Q " é ¶   õ & ñ [ þ t`  ¦   >  ÷ &  H X <, ž Ð } Œ •

?

/\ " f_  0 Au \    É r y Œ • " é ¶   õ & ñ _  ×  æ כ ¹$ í `  ¦ ¶ ú ˜( R˜ Ð

€ 

 core e  ¦  Ý ¼   H “ ¦“ : r % ò % i  (10 −20 keV) s Ù ¼– Ð ×  æ$ í

"

é

¶    H ” > r F  t  · ú §“ ¦ @ / Òì  r s “ : r o ) a  © œI 
 ¢ - a„  y  Z O

 Õ ü æ s  s “ : r (bare ion)_  + þ AI – Ð ” > r F ô  Ç . Õ ª QÙ ¼– Ð s

 Qô  Ç  © œI \ " f  H „   Ø  æ[  t s “ : r o (Ionization), 4 Ÿ ¤   F

  ½ + Ë (Radiative recombination), „    s 1 l x (Electron Transfer) õ  Õ ª ü @ # Œ Q " é ¶  Ø  æ[  t ‰ & ³ © œs  ×  æ כ ¹ô  Ç % i ½ + É`  ¦

  H  כ Ü ¼– Ð · ú ˜ 94 R e ”  . Õ ªo “ ¦ edge e  ¦  Ý ¼   H ×  æç ß –

“

: r • ¸ % ò % i  (T ≤ 300, n ' 10

− 10

cm

) s Ù ¼– Ð s / B M \ 

"

f  H " é ¶   ÷  rë ß –  m   ì  r  • ¸ Ø  æ[  t \  ×  æ כ ¹ô  Ç % i ½ + É`  ¦ ô  Ç



. s  % ò % i \ " f  H „   ü < [ þ t›  H H " é ¶  ü <_  Ø  æ[  t [ þ t> p u (Excitation), „   ü <  Òì  r s “ : r o ) a s “ : r õ _  Ø  æ[  t[ þ t> p u, Õ

ªo “ ¦ „   ü < [ þ t> p u ì  r  ü <_  Ø  æ[  t 1 p x s  ×  æ כ ¹ô  Ç % i ½ + É`  ¦ ô 

Ç . Õ ª Q
 s  edgee  ¦  Ý ¼  % ò % i “ É r core e  ¦  Ý ¼ ˜ Ð



 “ : r • ¸ ± ú l  M :ë  H \  s “ : r o õ & ñ “ É r „  ^ ‰ Ø  æ[  t‰ & ³ © œ\ 

×

 æ כ ¹ô  Ç % i ½ + É`  ¦ t  3 l wô  Ç . Õ ªo “ ¦ s  % ò % i \ " f ì  r   K  o

‰ & ³ © œ“ É r \  -t   H ×  æ$ í " é ¶  ü < s “ : r_  + þ A$ í \  ×  æ כ ¹ ô 

Ç l # Œ\  ¦ ô  Ç . ×  æ$ í à º™ è" é ¶  ü < s “ : r õ _  Ø  æ[  t \  _ ô  Ç

„ 

 Ÿ í S \ ‰ Ø  æ[  t‰ & ³ © œ• ¸ ×  æ כ ¹ô  Ç % i ½ + É`  ¦ ô  Ç . Divertor e  ¦



Ý ¼   H “ : r • ¸ B Ä º ± ú “ ¦ (T < 10 − 50 eV), x 9 • ¸ Z  } l

 (n > 10

− 10

cm

) M :ë  H \  ×  æ$ í " é ¶  [ þ t ç ß –_  Ø  æ[  t s


 ì  r  [ þ t õ _  Ø  æ[  t‰ & ³ © œ[ þ t s  ×  æ כ ¹ô  Ç % i ½ + É`  ¦ “ ¦ e ” 



. 7 £ ¤, ò ø Í$ í Ø  æ[  t, ì  r  [ þ t_   r„   (Rotation) õ  ”  1 l x[ þ t> p u (vivbrational excitation), „   “ § ¨ 8 Š (charge exchange), K

o  (dissociation) 1 p x s  ×  æ כ ¹ô  Ç l # Œ\  ¦ ô  Ç “ ¦ · ú ˜ 94 R e ”

 . Õ ª QÙ ¼– Ð s  Qô  Ç õ & ñ [ þ t \  @ /ô  Ç & ñ S X ‰ô  Ç & ñ ˜ Ð\  ¦ ] j /

B

N K Šҍ  H X <s ' Z …s Û ¼  H € 9 à º& h “   כ ¹½ ¨  † ½ Ós   ½ + É Ã º e ”

 .

¢

¸ô  Ç Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ë  © œu  ? /\ " f ¹ ¡ §f ” s   H e  ¦  Ý ¼ _  î  r1 l x

† <

Æ`  ¦ s K  l  0 Aô  Ç @ / Òì  r_  à ºu & h “   ] X   H~ ½ ÓZ O \ " f à º

´ ú

§“ É r " é ¶   © œI \  @ /ô  Ç q Ö  ¦   à º (rate coefficient)  H =  G

€ 9

כ ¹ô  Ç & ñ ˜ Ðs  . s  Qô  Ç X <s '   H z  ´+ « >X <s ' 
 s  : r

&

h “   > í ß –`  ¦ : Ÿ x # Œ % 3 # Qt   H X <s ' – Ð \ V\  ¦[ þ t # Q F  g s 

“

: r o, „   Ø  æ[  t s “ : r o, „   Ø  æ[  t [ þ t> p u õ & ñ 1 p x_  í ß –ê ø Í é

ß –€  & h õ  q Ö  ¦  à º1 p x \  @ /ô  Ç ƒ  ½ ¨  Ö ¸µ 1 Ïy  ”  ' Ÿ  ÷ &“ ¦ e ”

 .

[

j> & h Ü ¼– Ð ¸ ú ˜ ½ ¨» ¡ ¤ ÷ &# Q4 R e ”   H Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ë e  ¦  Ý ¼  › ' a º 

 " é ¶   x 9  ì  r   X <s ' Z …s Û ¼– Ѝ  H p ² D G_  Oak Ridge National Laboratory (ORNL) \ " f î  r% ò “ ¦ e ”   H AL- ADDIN, Japanese Atomic Energy Research Institute (JAERI) ü < National Institute for Fusion Science (NIFS)

 / B N1 l x Ü ¼– Ð î  r% ò   H X <s ' Z …s Û ¼, Õ ªo “ ¦ Interna- tional Atomic Energy Agency (IAEA)_  Å Ò › ' a Ü ¼– Ð s À Ò

#

Q t “ ¦ e ”   H Atomic Data and Structure Analysis Struc- ture project (ADAS) X <s '  Z …s Û ¼ 1 p x`  ¦ [ þ t à º e ”  . þ j



 H[ þ t # Q s X O >  1 l q  & h Ü ¼– Ð î  r% ò ÷ &“ ¦ e ”   H X <s ' Z …s Û ¼ [

þ

t`  ¦ ² D G ] jç ß – a ž ?§ 4 `  ¦ : Ÿ x K  : Ÿ x½ + ˛ ' a o  x 9  î  r% ò   H € ª œ © œ`  ¦

` (“ ¦ e ”  . s    : Ÿ x½ + Ëî  r% ò `  ¦ : Ÿ x K  ˜ Ð  ’  ø @$ í Z  }“ É r " é ¶   x 9

 ì  r   X <s ' _  ] j/ B N x 9   Ž 7 £ x s  0 p x >  ÷ &“ ¦, : Ÿ x{ 9 

 )

a + þ AI _  X <s ' \  ¦ ] j/ B N† < ÊÜ ¼– Ð+ ‹  6   x  [ þ t s  ˜ Ð  ~ 1 

>

 s 6   x½ + É Ã º e ” • ¸2 Ÿ ¤ “ ¦ e ”  . Ä ºo 
 _   â Ä º, ô  Dz D G

"

é

¶  § 4 ƒ  ½ ¨™ è € ª œ  F  g† < Æ z  ´+ « >z  ´\ " f " é ¶  , ì  r   x 9  F  g† < Æ X

<s ' \  ¦ à º| 9  # Œ ] j/ B N “ ¦  H e ” Ü ¼
 @ / Òì  r F  g† < Æ ì  r



_  X <s '  ´ ú §“ É r z  ´& ñ s  .

2) í ß –\ O ^ ‰ $ “ : re  ¦  Ý ¼ 

#

Œ Q „  { 9  [ þ t – Ð s À Ò# Q”   e  ¦  Ý ¼ _  : £ ¤$ í M :ë  H \  í

ß –\ O ^ ‰\ " f_  e  ¦  Ý ¼  6 £ x6   xì  r  
± ú ˜s  S X ‰í ß –÷ &# Q 

“

¦ e ”  . l ” > r_  6 £ x6   xì  r  – Ѝ  H “ ¦\  -t  „  { 9  \  ¦  5

Å

q # Œ Ó ü t| 9 _   ⠕ ¸\  ¦ 7 £ x r v   H s “ : r Å Ò{ 9 l Õ ü t (Ion Implantation)  Ò'  $  \  -t \  ¦ s 6   x # Œ ì ø ͕ ¸^ ‰ d ” y Œ • (Etching) x 9  ³ ð€   ~ à Ì} Œ •$ í  © œ(Thin Film Growth)`  ¦ 8 ú ¤”   r

v   H l Õ ü t 1 p x \  ´ ú §s  6 £ x6   x ÷ &“ ¦ e ” Ü ¼ 9, ì ø ͕ ¸^ ‰ Å Ò / B N& ñ

×

 æ €  • 80% s  © œ_  / B N& ñ \  e  ¦  Ý ¼  f ” , ç ß –] X & h Ü ¼– Ð   6

x ÷ &“ ¦ e ”  . ¢ ¸ô  Ç þ j  H \  ˜ м #  o÷ &# Q   H TFT-LCD



© œu \  C  â F  g " é ¶(Back Lighting) Ü ¼– Ð e  ¦  Ý ¼ \  ¦  6   x

“ ¦ e ” Ü ¼ 9, [ j@ / Display– Ð y Œ •F  g~ à ΍  H PDP(Plasma Display Panel)
 FED(Field Emission Display) \ " f• ¸ e

 ¦  Ý ¼ \  ¦ f ” ] X , ç ß –] X & h Ü ¼– Ð s 6   x “ ¦ e ”  . s ü < ° ú  “ É r e

 ¦  Ý ¼ _  6 £ x6   x# 3 0 A  H p A _  ’  l Õ ü t“   MEMS (Micro

Table 1. Recommended priorities for developing an im- proved database.

Application Gases

Ploy-Si etching Cl

, Br

, HBr, O

. N

SiO

etching CF

, CHF

, C

F

, O

, N

, CO, Ar SiO

deposition SiH

, O

, N

O;SiH

, O

, Ar:TEOS

Electro Mechanics), NT (Nano-Technology), BT (Bio- Technology) Õ ªo “ ¦ ET (Environmental Technology)   t

 S X ‰ @ /÷ &# Q  s ß ¼– Ð ß ¼l _  l > / B N,
” ¸ ½ ¨› ¸Ó ü t $ í



© œ, Bio Chip Ò q tí ß – / B N& ñ , è ß –K $ í  o† < Æ` ‚l Ó ü t % ƒo  1 p x ’   l

Õ ü t õ  ] X 3 l q ) a e  ¦  Ý ¼ _  6 £ x6   x# 3 0 A  H
± ú ˜s  Z þ t # Q“ ¦ e ”

 . Õ ª Q
  © œ@ /& h Ü ¼– Ð ’  l Õ ü t \  5 Å q   H í ß –\ O ^ ‰ $ “ : r e

 ¦  Ý ¼ l Õ ü t“ É r l Õ ü t§ 4 s  / B I  Òu – Ð s # Qt   H : £ ¤$ í Ü

¼– Ð “  K  " é ¶   x 9  ì  r   X <s '  € 9 à º& h s l   H 
 ^ ‰

>

& h Ü ¼– Ð ½ ¨» ¡ ¤ ÷ &# Q4 R e ”   H X <s ' Z …s Û ¼  H \ O   H z  ´& ñ s 



. s X O 1 p w,  € ª œô  Ç e  ¦  Ý ¼ _  6 £ x6   x ì  r   ë ß –
p u s 
 e  ¦   Ý

¼ \  ¦  6   x   H í ß –\ O ^ ‰\ " f € 9 כ ¹– Ð “ ¦ e ”   H " é ¶   x 9  ì

 r   X <s '   H  € ª œ  . @ /³ ð& h Ü ¼– Ð כ ¹½ ¨÷ &“ ¦ e ”   H X <

s

' ü < & h 6   x ì  r  \  ¦ ç ß –| Ä Ìy  & ñ o K  ˜ Ѐ   Table 1õ  ° ú   .

Õ

ª ü @\ • ¸ y Œ • : £ ¤$ í  o ) a / B N& ñ l Õ ü t \      € ª œô  Ç X <s ' 

 כ ¹½ ¨÷ &# Qt “ ¦ e ” Ü ¼ 9 SEMATECH [7,8]1 p x õ  ° ú  “ É r / B N 1

l

x ƒ  ½ + Ë^ ‰\  ¦ ½ ¨» ¡ ¤ # Œ  ^ ‰& h “   X <s ' Z …s Û ¼\  ¦ ½ ¨» ¡ ¤ 

“

¦ e ”  .

כ

¹½ ¨÷ &  H e  ¦  Ý ¼  Ó ü t$ í X <s ' – Ѝ  H e  ¦  Ý ¼   ^ ‰ü <

e

 ¦  Ý ¼ \  _ K  Ò q t$ í ÷ &  H  o† < Æ& h  ì ø Í6 £ x l (Radical)_   Œ • 6

x Õ ªo “ ¦ e  ¦  Ý ¼ ü < ] X 8 ú ¤ # Œ  © œ  ñ  Œ •6   x   H Ó ü t| 9 _ 



o† < Æ& h , Ó ü t o & h  : £ ¤$ í 1 p x ´ ú §“ É r & ñ ˜ Ð\  ¦ € 9 כ ¹– Ð ô  Ç . Õ ª Q

 e  ¦  Ý ¼   ^ ‰_  q ‚  + þ A& h “   Ó ü t o & h “   : £ ¤$ í , e  ¦  Ý ¼



ü < Ó ü t| 9 , ×  æ$ í { 9  ü <_  ì ø Í6 £ x_  4 Ÿ ¤¸ ú š$ í M :ë  H \  í ß –\ O ^ ‰ 6

£

x6   x e  ¦  Ý ¼ \  ¦ s K  l  0 AK " f  H “ ¦• ¸_  7 á x½ + Ë& h “   õ

† < Æ t d ” `  ¦ כ ¹½ ¨ô  Ç . ì ø ͕ ¸^ ‰ ] j› ¸\ O ^ ‰1 p x @ /l \ O _   â Ä

º ~ ½ Ó@ /ô  Ç € ª œ_  Database\  ¦  ^ ‰& h Ü ¼– Ð ½ ¨» ¡ ¤ # Œ @ /Â Ò ì

 r l \ O ^ ‰_  q x 9 – Ð ì  r À Ó l  M :ë  H \  ×  æ ™ èl \ O  1 p x ƒ  ½ ¨

>

hµ 1 Ï0 p x§ 4 s  — ¸    H  \ O ^ ‰\ " f  H & ñ ˜ Ð\  ] X   H s  6   x s 

t  · ú §  H  כ s  ‰ & ³z  ´s  . ¢ ¸ô  Ç  ^ ‰> hµ 1 Ï 6   ¤ ½ ¨\  ¦ ° ú “ ¦ e ” 



 H  \ O ^ ‰_   â Ä º  H ƒ  ½ ¨\  l œ í& h s €  " f• ¸ ì ø Í× ¼r  € 9  כ

¹ô  Ç $ “ : r plasma_  Ó ü t o & h  : £ ¤$ í , e  ¦  Ý ¼ ü < Ó ü t ^ ‰ü <_  ì

ø Í6 £ x 1 p x í ß –\ O ^ ‰_  6 £ x6   x# 3 0 A ë ß –
p u V , “ É r ì  r  _  „  ë  H& h “   Database\  ¦ ½ ¨» ¡ ¤   H X < ´ ú §“ É r E – Ð\  ¦   # Qš ¸“ ¦ e ”  .

III. þ u § כ Ž  ö n ÚV R Ë 6 KT ' [9 cT ­ Ž

½

¨» ¡ ¤ “ ¦ e ”   H e  ¦  Ý ¼  Ó ü t$ í X <s ' Z …s Û ¼  H e  ¦  Ý ¼



\  ¦ 6 £ x6   x   H Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ë x 9  í ß –\ O ^ ‰\ " f ´ ú §s   6   x “ ¦ e ” 

Fig. 1. Atomic and molecular database on the Web.

Fig. 2. Construction of database.



 H " é ¶   x 9  ì  r   Ó ü t$ í X <s ' \  ¦ ×  æd ” Ü ¼– Ð X <s ' Z …s Û ¼

\

 ¦ ½ ¨» ¡ ¤ % i  . 2002¸  • ¸  Ò'  ½ ¨» ¡ ¤ l  r  Œ • # Œ ‰ & ³F  Fig. 1 õ  ° ú  “ É r „  ë  H& h “   X <s ' Z …s Û ¼  s à Ԗ Ð > h‚   

%

i Ü ¼ 9  6   x  [ þ t \ >  s p  ] j/ B N “ ¦ e ”  . ‘ : r site_  “  ' 

ŠŠҙ è  H (http://fact.kisti.re.kr/plasma/pla infor.jsp) s

 .

Fig. 1 \ " f ^  ¦ à º e ”   H e  ¦  Ý ¼  Ó ü t$ í X <s ' Z …s Û ¼  H

„ 

ë  H X <s ' Z …s Û ¼ ½ ¨» ¡ ¤6   x á Ԗ ÐÕ ªÏ þ ›“   š ¸ 9 þ t`  ¦  6   x 

#

Œ R / Û site ? /_  X <s ' \  @ /ô  Ç  Ž Ò  o x 9   6   x  \ >  ˜ Ð  s

K  l  / 'î  r + þ AI _  e  ¦  Ý ¼  Ó ü t$ í X <s ' \  ¦ ] j/ B N 

“

¦ e ”  . Õ ªa Ë >\ " f ^  ¦ à º e ” 1 p w s  ' Í  o€  `  ¦ Å Òl Ö  ¦ – Ð ½ ¨

$ í

# Œ  6   x  [ þ t s  ¹ 1 ԓ ¦    H X <s ' \  ¦ ~ 1 >  ¹ 1 Ô`  ¦ à º e ”

• ¸2 Ÿ ¤ [ O >  % i  . ‰ & ³F (2003¸  • ¸) t  ‘ : r R / Û site \  ½ ¨

»

¡

¤ ÷ &# Q”   X <s ' – Ѝ  H €  • 4…  ;# Œ | _  | 9 ™ è x 9  ] j 7 H " é ¶   x 9

 ì  r  _  Ó ü t$ í X <s ' , 7 £ ¤, Ø  æ[  tí ß –ê ø Íé ß –€  & h , s “ : r o í ß – ê

ø Í é ß –€  & h  Õ ªo “ ¦ spectrum data 1 p x s  e ” Ü ¼ 9 t 5 Å q& h “   Ã

º| 9  x 9  ì  r$ 3   Œ •\ O s  s À Ò# Q t “ ¦ e ”  . ë ß –[ þ t # Q”   X <s  '

Z …s Û ¼_  ½ ¨› ¸  H Fig. 2 õ  ° ú   . ‘ : r  © œ\ " f  H ˜ Ð    [

jô  Ç e  ¦  Ý ¼  Ó ü t$ í X <s ' Z …s Û ¼_  ½ ¨› ¸\  @ / # Œ ™ è

>

h “ ¦  ô  Ç .

1. Ì ¦ R  õ m Í Ä Z Ø   Œ º

‰ &

³F  ë ß –[ þ t “ ¦ e ”   H X <s ' Z …s Û ¼  H í ß –ê ø Í é ß –€  & h s 
 ì ø Í 6

£

x > à º 1 p x_  z  ´| 9 & h “   ° ú כ1 p x`  ¦ ] j/ B N   H X < Õ ªu t  · ú §“ ¦ Õ

ª  „ ½ Ó\  ¾ ú ˜ 9e ”   H Ó ü t o & h  _ p • ¸ † < Êa  „  ² ú ˜† < Ê`  ¦ 3 l q& h  Ü

¼– Ð ô  Ç . s \  ¦ 0 AK " f ì  r   x 9  " é ¶  _  ½ ¨› ¸\  ¦ X <s '  Z

…s Û ¼_  ô  Ç Â Òì  r Ü ¼– Ð # Œ ½ ¨$ í “ ¦ e ”  . s   H l ” > r_ 

"

é

¶   x 9  ì  r   X <s '   H  -Á º• ¸  € ª œô  Ç X <s ' \  ¦ ô  ǁ  \  ]

j/ B N “ ¦ e ” # Q" f  6   x   € 9 כ ¹ô  Ç  כ `  ¦ % 3 l  j Ë µ[ þ t% 3  



 H é ß –& h `  ¦ ˜ Ð ¢ - aô  Ç  כ s  . ½ ¨$ í “ ¦e ”   H X <s ' Z …s Û ¼



 H e  ¦  Ý ¼  › ' aº   ì  r  _   6   x  [ þ t \ >  € 9 כ ¹ô  Ç Â Òì  r \ 

×

 æ& h `  ¦ ¿ º# Q þ j’   & ñ ˜ Ð\  ¦ % 3 `  ¦ à º e ” • ¸2 Ÿ ¤ “ ¦ e ”  . s  Â

Òì  r \ " f  H " é ¶   ¢ ¸  H ì  r  \  ¦ ½ ¨$ í   H „   _  C • ¸½ ¨

›

¸ü <  8Ô  ¦ # Q ì  r  _   â Ä º K o \  -t , s “ : r o ë  H) 3 \  - t

 1 p x_  l ‘ : r & ñ ˜ Ð\  ¦ ] j/ B Nô  Ç .

"

é

¶   ¢ ¸  H ì  r  _  „   C • ¸ ½ ¨› ¸\  ¦ ×  æ כ ¹r    H s Ä »



 H e  ¦  Ý ¼ \  ¦ ½ ¨$ í “ ¦ e ”   H " é ¶   ¢ ¸  H ì  r  _  „    C 

\ P

\     e  ¦  Ý ¼  ? / Ò\ " f # Q‹ "  Ó ü t o & h  ì ø Í6 £ x s  e ” `  ¦ t

 \ V8 £ ¤½ + É Ã º e ” l  M :ë  H s  . s   H e  ¦  Ý ¼  \  -t \  ¦ t

   { 9  [ þ t_  Ø  æ[  t \  _ K  Ò q t$ í ÷ & 9, s M : # Q‹ "  { 9  [ þ t s

 # Q‹ "   © œI \ " f Ø  æ[  tÙ þ ¡Ö ¼
\  e  ¦  Ý ¼  ? / Ò_  : £ ¤$ í s

  7 >  H † d`  ¦ _ p ô  Ç . Õ ª QÙ ¼– Ð e  ¦  Ý ¼  ? / Ò_  { 9 



[ þ t_   © œI   H B Ä º ×  æ כ ¹  . { 9  [ þ t_  s     © œI \  @ / ô 

Ç & ñ ˜ Ð " é ¶   ¢ ¸  H ì  r  \  ¦ ½ ¨$ í   H „   [ þ t_  C \ P \  {

Œ ™ 4 R e ”  . " é ¶  _   â Ä º š ¸ ½ ™ ƒ  ½ ¨  õ  „   | ¾ Ós   Œ •“ É r

"

é

¶  [ þ t_  „    C \ P ½ ¨› ¸  H ~ 1 >  ] X ½ + É Ã º e ” t ë ß –, 6 £ x6   xe  ¦



Ý ¼ \ " f  6   x   H “ ¦ì  r  _   â Ä º  [ jô  Ç „    C \ P 

½

¨› ¸  H · ú ˜ à º \ O   H z  ´& ñ s  . Õ ª QÙ ¼– Ð # Œ Q  7 Hë  H õ  › ' a º 

  s à Ô\  ¦ : Ÿ x K  " é ¶   x 9  ì  r  _   { Œ • © œI \ " f # Œl  © œ I

– Ð s Ø Ô  H  € ª œô  Ç ï  r0 A › ' aº    « Ñ\  ¦ X <s ' Z …s Û ¼_ 


_  X <s ' – Ð ½ ¨$ í % i  .

2. Ì ¦ R  õ m Í Ä Z Ø 8 ý ­ Ž z ð ² Žâ ì È

"

é

¶   x 9  ì  r  \  ¦ ½ ¨$ í “ ¦ e ”   H „   [ þ t s  \  -t \  ¦ ~ à Î



   É r \  -t  ï  r0 A– Ð „  s  | ¨ c M : s [ þ t { 9  [ þ t“ É r y n C`  ¦

~

½ ÓØ  ¦ >   ) a  . ~ ½ ÓØ  ¦ ) a y n C“ É r „  s õ & ñ `  ¦  u   H 1 l xî ß – { 9 



_   © œI \  @ /ô  Ç Ó ü t o & h “   & ñ ˜ Ð\  ¦ t    . ~ ½ ÓØ  ¦ ) a y n C`  ¦

ƒ 

½ ¨ €   e  ¦  Ý ¼ \  ¦ ½ ¨$ í   H { 9  [ þ t s  # QÖ ¼& ñ • ¸ # Œl 

÷

&# Q e ”   H t , # Q‹ "  { 9  [ þ t s  e ”   H t , # Q‹ "  õ & ñ Ü ¼– Ð e  ¦



Ý ¼  Ò q t$ í ÷ &  H t \  @ /ô  Ç \ V8 £ ¤ s  0 p x K  ”   . " é ¶   x 9

 ì  r  _   [ jô  Ç Û ¼& 7 ˜à Ô! 3   « э  H ì  rF  g† < Æ& h  ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð e

 ¦  Ý ¼ \  ¦ ”  é ß –   H  6   x  [ þ t \ >  B Ä º ×  æ כ ¹ô  Ç  « Ñ

 )

a  .

Û

¼& 7 ˜à Ô! 3 “ É r   © œ\     ì  r À Ó÷ & 9 y Œ •y Œ •_   â Ä º ì  rF  g

~

½ ÓZ O • ¸  Ø Ô . # Œ Q   © œ×  æ r  F  g‚   % ò % i \ " f  s ß ¼

–

Ð  % ò % i \    • 2 ;   © œ`  ¦ ”   Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 `  ¦ ×  æd ” Ü ¼– Ð ‘ : r X

<s ' Z …s Û ¼\  ¦ ½ ¨$ í “ ¦  ô  Ç . Õ ª s ü @_  % ò % i \  @ / K

" f  H   V , ) €
° ú ˜ >  S \ ‰ s  . ¢ ¸ô  Ç s    X <s ' Z …s  Û

¼  H # Œ Q/ B M \  í ß –F ÷ &# Q e ”   H  7 Hë  H[ þ t õ  z  ´+ « > X <s ' \  ¦ :

Ÿ

x K  ^ ‰>  o ) a ì  r   Û ¼& 7 ˜à Ô! 3  X <s ' \  ¦ ] j/ B N “ ¦  ô  Ç



. s   H " é ¶   Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 “ É r # Œ Q / B M \ " f ¸ ú ˜ ½ ¨$ í  ) a  « Ñ

–

Ð ~ à Î  ^  ¦ à º e ” t ë ß –, ì  r   Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 _   â Ä º  H ^ ‰>  o

 )

a  « Ñ\  ¦ % 3 l  ~ 1 t  · ú §l  M :ë  H s  .

3.  W ë s” X ¢ û s Þô v Ú; c 8 ý” X ¢  ˜ mŠ ˜ m‰ ˜ mì ÅX ì Ä

X

<s ' Z …s Û ¼_  ¢ ¸ 
_   Òì  r Ü ¼– Ð Ø  æ[  t \  _ ô  Ç í ß – ê ø

Í é ß –€  & h  X <s '  e ”  . í ß –ê ø Íé ß –€  & h “ É r { 9  [ þ t s  Ø  æ[  t

½ +

É S X ‰Ò  ¦`  ¦ _ p ô  Ç . s  Òì  r \   H Ø  æ[  t   H { 9  _  : £ ¤$ í

\

    3t – Ð ì  r À Óô  Ç . „   Ø  æ[  t \  _ ô  Ç í ß –ê ø Íé ß –€  

&

h , F  g   Ø  æ[  t \  _ ô  Ç í ß –ê ø Í é ß –€  & h  Õ ªo “ ¦ „   ˜ Ð  Á º

"

fî  r | 9 | ¾ Ó`  ¦ ”   { 9  _  Ø  æ[  t \  _ ô  Ç í ß –ê ø Í é ß –€  & h s  .

Ø

 æ[  t \  _ K " f { 9 # Q
  H " é ¶  õ & ñ “ É r  € ª œ t ë ß – @ /³ ð& h  Ü

¼– Ð  6 £ §d ” õ  ° ú  “ É r õ & ñ [ þ t`  ¦ [ þ t à º e ”  .

(Elastic Scattering) : e + A → A + e (Ionization) : e + A → A

+ 2e (Excitation) : e + A(nl) → A

(n

l

) + e (Dissociation) : e + AB → A + B + e (DissociativeIonization) : e + AB → A

+ B + e

(Recombination) : e + A

→ A

(ChargeExchange) : A

+ B → A

+ B

(ParticleTransfer) : A + BC → B + CA

„ 

  Ø  æ[  t \  _ ô  Ç í ß –ê ø Íé ß –€  & h “ É r ×  æ$ í { 9   ¢ ¸  H s “ : r

\

 \  -t \  ¦ ¹ Á a „    Ø  æ[  t €  " f ×  æ$ í { 9   ¢ ¸  H s “ : r

\

 ½ ¨5 Å q ÷ &# Q e ” ~   „   ü < ò ø Í$ í Ø  æ[  t  
 ½ ¨5 Å q ) a „   

 \  -t \  ¦ ~ à Î  s “ : r o, # Œl , K o , F   ½ + Ë ÷ &  H S X ‰Ò  ¦

`

 ¦ _ p ô  Ç . Õ ª QÙ ¼– Ð " é ¶   ¢ ¸  H ì  r  \  „    Ø  æ[  t½ + É M

:
 
  H  € ª œô  Ç Ó ü t o & h   Œ •6   x[ þ t \  @ /ô  Ç s K   H e  ¦   Ý

¼ \  ¦ ë ß –[ þ t “ ¦  ½ + É M : ×  æ כ ¹ô  Ç & ñ ˜ Ð\  ¦ ] j/ B N K  ï  r  .

F 

g  Ø  æ[  t \  _ ô  Ç í ß –ê ø Í é ß –€  & h “ É r { 9    ) a F  g  \  _ K  e

 ¦  Ý ¼ \  ¦ ½ ¨$ í “ ¦ e ”   H { 9  [ þ t s  s “ : r o, # Œl , K o 

÷ &  H S X ‰Ò  ¦ – Ð+ ‹, s   H # Q‹ "  ì  r   ¢ ¸  H " é ¶   s “ : r o, # Œ l

, K o  ÷ &l  0 AK " f F  g  _  \  -t  \ O  
 € 9 כ ¹ô  Çt 

\

 ¦ · ú ˜>  K  ï  r  . ¢ ¸ô  Ç „   ˜ Ð  Á º î  r | 9 | ¾ Ó`  ¦ t    { 9 



_  Ø  æ[  t \  _ ô  Ç í ß –ê ø Í é ß –€  & h “ É r 0 A_  ¿ º  â Ä º\  ¦ : Ÿ x K  \ 

-t \  ¦ % 3 “ É r { 9  [ þ t  s _  Ø  æ[  t \  _ K  s “ : r o, # Œl  F 

 

½ + Ë 1 p x õ  ° ú  “ É r ì ø Í6 £ x s  { 9 # Q
  H S X ‰Ò  ¦`  ¦
  · p . s   H e

 ¦  Ý ¼  ë ß –[ þ t # Qt “ ¦ è ß – + '\ • ¸ > 5 Å q ÷ &# Qt   H Ø  æ[  t \ 

@

/ô  Ç & ñ ˜ Ð\  ¦ ï  r  . e  ¦  Ý ¼   H  € ª œô  Ç { 9  [ þ t_   © œ  ñ Œ • 6

x Ü ¼– Ð ë ß –[ þ t # Qt “ ¦ Ä »t   ) a  . s   H e  ¦  Ý ¼  ? / Ò\ " f

>

5 Å q& h “   Ø  æ[  t ‰ & ³ © œs  { 9 # Q
“ ¦ e ” 6 £ §`  ¦ _ p ô  Ç . e  ¦   Ý

¼  ? /\ " f { 9 # Q
  H  € ª œô  Ç Ø  æ[  t ‰ & ³ © œs  7 á x½ + Ë÷ &# Q › ' a

¹ 1

ϝ ) a  « Ñ\  ¦ ì  r$ 3  l  0 AK " f  H 0 A\ " f ƒ  / å Lô  Ç S X ‰Ò  ¦`  ¦ s

6   x # Œ ë ß – ô  Ç . Õ ª QÙ ¼– Ð 7 á §  8  [ j “ ¦ & ñ S X ‰ô  Ç í ß – ê

ø Íé ß –€  & h “ É r e  ¦  Ý ¼ \  ¦ s K  “ ¦, 6 £ x6   x “ ¦    H ì  r



\ " f B Ä º ×  æ כ ¹ô  Ç כ ¹™ è– Ð  o ¸ ú š“ ¦ e ”  .

IV. 6 KT ' [ • ¤ ù m É õ m Í Ä Z ØV Ä

s

   © œ\ " f  H „    “ § ¨ 8 Š õ  s “ : r o í ß –ê ø Íé ß –€  & h 1 p x \  @ / ô 

Ç þ j  H à º| 9 ÷ &# Q”   X <s ' [ þ t \  @ / # Œ [ O " î “ ¦  ô  Ç



. s \  ¦ : Ÿ x # Œ ‘ : r e  ¦  Ý ¼  Ó ü t$ í X <s ' Z …s Û ¼ ½ ¨» ¡ ¤  

\ O

_  X <s '  ¨ î , ½ ¨» ¡ ¤ x 9  / B N ~ ½ ÓZ O \  @ / # Œ  7 H_  

“

¦  ô  Ç .

1. ’ ˜ mV R Ë, R ’ ˜ mV R Ë  ˜ mŠ ˜ m (Elastic and inelastic scat- tering)

Á

º î  r { 9  _  Ø  æ[  t_   â Ä º { 9 ì ø Í& h Ü ¼– Ð ¹ ¡ §f ” s   H { 9  



 H f ” ‚  C • ¸\  ¦    ¹ ¡ §”  “   “ ¦ & ñ ½ + É Ã º e ”  . Á º î  r { 9

 ü <  © œ  ñ Œ •6   x`  ¦ > ÷ &  H ³ ð& h „   [ þ t s  Z > l  M :ë  H

\

 Á º î  r { 9    H Ø  æ[  t \  _ ô  Ç \  -t  “ § ¨ 8 Š õ & ñ \ " f & 



ê ø Í % ò † ¾ Ó`  ¦ ~ à Î| 9  · ú §  H  . s    ‰ & ³ © œ“ É r  Ø  ¦ ÷ &  H { 9  _  5

Å

q§ 4 s   \  ¦ M :• ¸  ð ø Ít s  . Õ ª QÙ ¼– Ð @ / Òì  r_  ò ø Í

$ í

Ø  æ[  t“ É r ± ú “ É r \  -t  % ò % i \ " f s À Ò# Q”   . ó ¡ šµ ¢ § õ  à º

™

èü < ì ø Í6 £ x   H à º™ è s “ : r õ  à º™ è" é ¶  _  ò ø Í$ í Ø  æ[  t í ß –ê ø Í é

ß –€  & h “ É r Fig. 3 \ " f ^  ¦ à º e ”  . s  X <s '   H ORNL \ 

"

f ¼ # ð ø Íô  Ç X <s ' – Ð { 9  _  \  -t  Õ ªa Ë >\ " f
ü < e ”  1

p

w s  à º keV“   % ò % i \ " f > í ß –ô  Ç   õ s  . ¢ ¸ô  Ç Fig. 4

\

" f  H Quinana ü < Pollack [10]\  _ K  8 £ ¤& ñ ÷ &# Q”   X <s  '

 s  .

2.  ¹ Å  ¹ Å«  o (Charge transfer)

1) € ª œ$ í   (Protons)

€

ª œ$ í  \ _ ô  Ç „    Ÿ í S \ ‰ í ß –ê ø Íé ß –€  & h  X <s '   H ; Ÿ ¤V , “ É r

#

3 0 A_  € ª œ$ í  _  \  -t  # 3 0 A? /\ " f ” > r F   9 " é ¶  ü < ì  r

Fig. 3. Elastic scattering cross-sections for protons and atomic hydrogen from hydrogen and helium atoms [9].

Fig. 4. Elastic scattering of H

from H

molecules for projectile energies of 1, 2, and 3 keV. Data are taken from Quinana and Pollack [10].



 Û ¼\  @ /ô  Ç X <s '  ” > r F  “ ¦ e ”  . 1977¸   œ í Ò' 

ƒ 

½ ¨÷ &# Q“ : r  « Ñ[ þ t`  ¦ ORNL \ " f µ 1 Ïç ß –ô  Ç Red Book [9, 11] õ  { 9 ‘ : r_  Tawara [12] \ " f % 3 `  ¦ à º e ”  . à º| 9 ÷ &# Q

”

  þ j  H_  X <s ' [ þ t“ É r Table 1 \  ] j/ B N ÷ &# Q4 R e ”  . s  X <

s

' [ þ t“ É r € ª œ$ í  \ _ ô  Ç „   Ÿ í S \ ‰ X <s '  [13–20]ü < í ß –\ O 

^

‰ e  ¦  Ý ¼ \ " f € 9 à º& h “   ì  r  X <s '  [21–25] Ÿ í† < Ê

÷

&# Q e ”  . s  # Œ Q  7 Hë  H×  æ í ß –\ O ^ ‰\ " f € 9 à º& h Ü ¼– Ð כ ¹½ ¨

÷

&“ ¦ e ”   H ì  r  X <s ' \  ¦ Õ ªa Ë >Ü ¼– Ð
 ? /€   Fig. 5 õ 

°

ú   . s  Fig. 5\ " f Å Ò# Qt   H X <s '   H ORNL \ " f µ 1 Ï' Ÿ  ô 

Ç Red Book [11]ü < Varghese 1 p x \  _ K  % 3 # Q”   þ j  H ì  r



 X <s '  [21]\  ¦ — ¸ 
  · p  כ s  . Õ ªa Ë >\ " f ^  ¦ à º e ”  1

p

w s  € ª œ$ í  ü < Ø  æ[  t   H " f– Ð  É r Û ¼(ì  r  )[ þ t_  „   

Ÿ

í S \ ‰ í ß –ê ø Íé ß –€  & h s  B Ä º q 5 p wô  Ç ° ú כ`  ¦ ° ú    H    H  כ `  ¦ · ú ˜ Ã

º e ”  . Õ ª Q
 à º™ èì  r  ü < | 9 ™ èì  r  _   â Ä º, € ª œ$ í  _ 



Ø  ¦ \  -t   Œ •`  ¦ â Ä º   É r ì  r  [ þ t õ   H   É r í ß –ê ø Íé ß –€  

&

h  ° ú כ`  ¦ ° ú   H    H  כ `  ¦ · ú ˜ à º e ”  . s   H  Ø  ¦{ 9  _  \ 

-t  ± ú `  ¦  â Ä º, „   Ÿ í S \ ‰ í ß –ê ø Íé ß –€  & h _  > í ß – x 9  z  ´+ « >

s

 ³ ð& h _  " é ¶   x 9  ì  r  ½ ¨› ¸\     ² ú ˜ t > 
 z Œ ™`  ¦

·

ú ˜ à º e ”   H  כ Ü ¼– Ð, CH > \ P õ  í ß –™ è\  ¦ Ÿ í† < Êô  Ç ì  r  [ þ t_ 

Fig. 5. Electron capture cross-sections for proton colli- sions with a number of different target gases. Data are from the ORNL recommendations [11] and a more recent set of data ( ∗) by Varghese et al. [21].

Fig. 6. Electron loss cross-sections for collisions of neu- tral hydrogen with a number of molecular gas targets.

í

ß –ê ø Íé ß –€  & h _  ß ¼l   Ø  ¦{ 9  _  \  -t \     q 5 p wô  Ç ß

¼l \  ¦
  · p   H כ ¢ ¸ô  Ç < É ª p – Ðî  r   õ s  .

Ã

º™ èü < Ø  æ[  t   H " é ¶   x 9  ì  r  \    É r „    { 9 6 £ § (elec- tron loss) í ß –ê ø Íé ß –€  & h  X <s '   H “ É r € ª œ$ í  \  _ ô  Ç „   

Ÿ

í S \ ‰ í ß –ê ø Íé ß –€  & h  X <s ' ˜ Ð  ´ ú §“ É r ƒ  ½ ¨ s À Ò# Q t t  3

l

w “ ¦ e ”  . ‰ & ³F  ” > r F  “ ¦ e ”   H X <s ' [ þ t`  ¦ & ñ o K  ˜ Ð

€ 

, Ä º‚   Red Book [11] \ " f \  -t  # 3 0 A 3 − 10, 000 keV % ò % i \ " f H

, O

, Õ ªo “ ¦ H

O ü < H

 Ø  æ[  t½ + É  â Ä º

„ 

   © œz  ´ í ß –ê ø Íé ß –€  & h s  ] j/ B N ÷ &# Qt “ ¦ e ” Ü ¼ 9 s   H Fig.

6 \  Å Ò# Q”   . ¢ ¸ô  Ç Toburen [26,27]_  ƒ  ½ ¨\  ¦ : Ÿ x K  % 3 # Q

”

  \  -t  # 3 0 A 100−2, 500 keV“   % ò % i \ " f CO, CO

, CH

, C

H

, C

H

1 p x \  @ /ô  Ç í ß –ê ø Íé ß –€  & h `  ¦ % 3 `  ¦ à º e ” 



.

q

2 Ÿ ¤ electron loss í ß –ê ø Íé ß –€  & h  X <s '   H „    Ÿ í S \ ‰ í ß – ê

ø Íé ß –€  & h  X <s ' ˜ Ð  ³ ð& h  ì  r  \  @ /ô  Ç  € ª œô  Ç X <s ' 

Table 2. Some source of proton electron capture and loss cross-sections published since 1977.

Reference Proton energy Capture Loss Particles

Hill et al., 5-26 keV H, H

H, H

H

, H

DuBois 50-500 keV H

, He H

, He H

, H

, H

, H

Grozdanov et al. 0.1-20 keV H

− H

Gealy and Van Zyl et al. 0.063-2.0 keV H, H

H, H

H

, H

, H

Schwab et al. 2.0-7.5 MeV H, H

, He − H

Yousif et al. 3-100 keV N

, O

, H

O − H

, H

, H

Heckman et al. 1-3 keV H

− H

Rudd et al. 5-150 keV Ne, Ar, Kr, H

, N

, CO, CO

, CH

, O

Hvelplund and Andersen 0.3-2 MeV H, H

− H

Jones 2-200 keV H

− H

, D

 ” > r F  “ ¦ e ” t   H · ú §t ë ß –  Ö ¸µ 1 Ïô  Ç ƒ  ½ ¨ ”  ' Ÿ  ÷ &“ ¦ e ” 



 H  © œS ! s  .

2) ó ¡ šµ ¢ § s “ : r[ þ t (Helium ions)

ó ¡

šµ ¢ § s “ : r_   â Ä º  © œ  ñ Œ •6   x   H { 9  [ þ t õ _  Ó ü t o & h  s  K

\  ¦ 0 AK " f  H ˜ Ð  ´ ú §“ É r € ª œ_  X <s ' \  ¦ € 9 כ ¹– Ð “ ¦ e ” 



. € 9 כ ¹– Ð   H X <s ' _  7 á x À Ó\  ¦
\ P  €    6 £ § õ  ° ú  



. 
_  „   \  ¦ y Œ •y Œ •_  „     © œI  (σ

, σ

) – Ð Ÿ í S \ ‰ 



 H „    „  ² ú ˜ (charge tranfer) í ß –ê ø Íé ß –€  & h  X <s ' , 
 _

 y Œ •y Œ •_  „     © œI  (σ

, σ

) – РÒ' _  electron loss X <

s

' , ×  æ$ í { 9  – РÒ' _  2> h_  electron loss (σ

) X <s  '

, doubly charged species (σ

) – РÒ' _  ¿ º> h_  „   

Ÿ

í S \ ‰ X <s '  1 p x`  ¦ [ þ t à º e ”  . Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ë ƒ  ½ ¨ ”  ' Ÿ ÷ &# Qf ” 

\

   , s  ì  r  \ " f ×  æ כ ¹ >  “ ¦ 9÷ &# Qt “ ¦ e ”   H He õ  H

\  › ' aô  Ç X <s '   H ´ ú §s  % 3 `  ¦ à º e ” t ë ß –, ò ø ͙ è, í ß –™ è 1 p x õ

 ° ú  “ É r " é ¶ ™ è Ÿ í† < Ê÷ &# Q e ”   H ì  r   X <s ' ü < ° ú  s  í ß –

\ O

^ ‰\ " f כ ¹½ ¨÷ &“ ¦ e ”   H X <s '   H Õ ªo  ´ ú §t  · ú §“ É r z  ´& ñ s

 . Ù þ ˜Ö 6 x½ + Ë ì  r  \ " f € 9 כ ¹– Ð   H X <s '   H 1978¸  \  ORNL_  Red Book [11] I \ " f s p  ] j/ B N ÷ &# Q t “ ¦ e ”  Ü

¼ 9 Õ ªü @ ´ ú §“ É r ì  r  \ " f € 9 כ ¹– Ð   H í ß –ê ø Íé ß –€  & h  X <s  '

ü < þ j  H X <s '  [28–36] [ þ t“ É r Table 3 \ " f ü < ° ú  s  ] j /

B

N ÷ &“ ¦ e ”  . ó ¡ šµ ¢ § s “ : r õ  ×  æ$ í { 9  \  _ ô  Ç õ & ñ ×  æ 4 > h _

 ×  æ כ ¹ô  Ç „    “ § ¨ 8 Š õ & ñ \  _ ô  Ç í ß –ê ø Íé ß –€  & h õ  double loss í ß –ê ø Íé ß –€  & h \  @ /ô  Ç X <s ' \  ¦ Fig. 7 \ 
 ? /% 3  .

s

 Õ ªa Ë >\ " f σ

, σ

Õ ªo “ ¦ σ

\  @ /ô  Ç X <s '   H ORNL _  Red Book [11]\ " f µ 1 ÏL Yô  Ç  כ s  9 σ

\  @ /ô  Ç X <s ' 



 H [32] \ " f, Õ ªo “ ¦ σ

\  @ /ô  Ç X <s '   H Allison [37]_  review ˜ Г ¦" f\ " f ½ ¨ % i  . s  X <s ' [ þ t“ É r Ÿ í F ‹ c& h “  

>

h¥ Æ _  X <s '  [ þ t – Ð ó ¡ šµ ¢ § õ   © œ  ñ Œ •6   x # Œ { 9 # Q± ú ˜ à º e ” 



 H 4 t _  ×  æ כ ¹ô  Ç „   “ § S X ‰ õ & ñ \  _ ô  Ç í ß –ê ø Íé ß –€  & h `  ¦

—

¸¿ º
 ? /“ ¦ e ”  .

Fig. 7. Electron capture and loss cross-sections for he- lium ions and neutrals in collisions with molecular nitro- gen and oxygen. Data for σ

, σ

, and σ

are from the ORNL compilation [11], data for σ

are from the work of Rudd et al. [32], and data for σ

are from Allison [37].

H

\  _ ô  Ç é ß –„   , Õ ªo “ ¦ 4 Ÿ ¤„    Ÿ í S \ ‰ í ß –ê ø Íé ß –€  & h  X

<s ' ü < loss í ß –ê ø Íé ß –€  & h  X <s '   H Rudd ü < Õ ª_  1 l x « Ñ[ þ t _  # Œ Q  7 Hë  H [30–32] \ " f d ” • ¸e ” >  ƒ  ½ ¨÷ &% 3  . s  ƒ  

½

¨\  ¦ : Ÿ x K  8 £ ¤& ñ ÷ &# Q”   X <s ' [ þ t“ É r Table 2 \ " f ^  ¦ à º e ”  1

p

w s   € ª œô  Ç 7 á x À Ó_  ì  r  \  @ / # Œ s À Ò# Q& ’  . (\ V, He, Ne, Ar, Kr, H

, N

, O

, CO, CO

, CH

1 p x).   H A  Rudd\  _  # Œ 8 £ ¤& ñ ÷ &# Q”   H

\  _ ô  Ç „    Ÿ í S \ ‰ í ß –ê ø Íé ß –€  & h 

“

É r Fig. 8 \ " f ^  ¦ à º e ”  . Õ ªa Ë >\ " f ^  ¦ à º e ” 1 p w s  ‰ & ³F   t

  6   x½ + É Ã º e ”   H ó ¡ šµ ¢ § { 9  _  \  -t  % ò % i “ É r B Ä º & h “ É r

% ò

% i s  9 W 1“ : r Û ¼_  í ß –ê ø Íé ß –€  & h “ É r F G y  & h 6 £ §`  ¦ ^  ¦ à º e ”

 . s    õ ü < q 5 p wô  Ç { 9 `  ¦ Rudd [32] Fig. 9 \ " f ^  ¦ Ã

º e ”  . ¢ ¸ô  Ç Fig. 9 \ " f  H Sataka 1 p x [33] \  _ K  8 £ ¤& ñ

÷

&# Q”   Z  }“ É r \  -t  % ò % i \ " f_  é ß –„    Ÿ í S \ ‰ í ß –ê ø Íé ß –€  

&

h \  › ' aô  Ç X <s ' ü < Red Book [11]\ " f % 3 “ É r X <s ' \  ¦ q

“ §½ + Éà º e ”  . Sakataü < Õ ª_  / B N1 l x ƒ  ½ ¨ [ þ t \  _ K  Z  }

“ É

r \  -t  % ò % i \ " f_  ó ¡ šµ ¢ § ×  æ$ í { 9  \  _ ô  Ç loss í ß –ê ø Í é

ß –€  & h s  8 £ ¤& ñ ÷ &# Q& ’  . Õ ª { 9 º  _    õ – Ð Ã º™ è\  _ ô  Ç

Table 3. Sources of electron capture and loss cross-sections for helium ions published since 1977.

Reference Ion energy Capture Loss Particles

De Castro Faria et al. [28] 0.75-4.0 MeV σ

He, Ne, Ar σ

He, Ne, Ar, Kr He

He

σ

He, Ne, Ar σ

He, Ne, Ar

DuBois [29] 20-2000 keV σ

He, Ne, Ar, Kr He

σ

He, Ne, Ar, Kr

Rudd et al. [30] 15-450 keV σ

and σ

He, Ne, Ar, Kr, H

, N

He

CO, O

, CH

, CO

, H

O

Rudd et al. [31] 5-450 keV σ

H

O σ

H

O He

Rudd et al. [32] 5-350 keV σ

He, Ne, Ar, Kr, H

, N

σ

Ne, Ar, Kr, H

, N

He

CO, O

, CH

, CO

CO, O

, CH

, CO

Sataka et al. [33] 0.3-1.8 MeV σ

He

on H

, O

, CH

, CO, CO

σ

He

on H

, O

, CH

, CO, CO

He

σ

He

on H

, O

, CH

, CO, CO

He

σ

He

on H

, O

, CH

, CO, CO

Atan et al. [34] 0.6-2.2 MeV σ

He

on, He, Ne, Ar σ

He

on, He, Ne, Ar He

Shinpaugh et al. [35] 9-20 keV σ

He

on, Ar He

Aumayr et al. [36] 0.5-3 keV σ

He

on, Na

(3p) He

Fig. 8. Electron capture cross-sections for alpha-particles colliding with a number of different gas targets; single electron capture by protons in nitrogen gas is also shown for comparison (–).

é

ß –„    loss í ß –ê ø Íé ß –€  & h  X <s '   H Fig. 10 \ 
 ? /% 3  .

¢

¸ô  Ç Fig. 10\ " f  H Allison [37] s  8 £ ¤& ñ ô  Ç He

\  _ ô  Ç

± ú

“ É r \  -t \ " f_  é ß –„    loss í ß –ê ø Íé ß –€  & h `  ¦ † < Êa  ³ ðr 

# Œ q “ §½ + É Ã º e ” • ¸2 Ÿ ¤ % i  . Fig. 6-8\ " f
 ? /  H í

ß –ê ø Íé ß –€  & h  X <s ' [ þ t“ É r 2 > h_  ×  æ כ ¹ô  Ç & h `  ¦
 ? /“ ¦ e ” 



. ' Í   P :– Ð, ‰ & ³F  8 £ ¤& ñ ÷ &# Q”   X <s ' [ þ t s  " f– Ð  É r ì  r



 ³ ð& h õ   © œ  ñ Œ •6   x   H  Ø  ¦{ 9  _  \  -t  ì  r Ÿ í B  Ä

º & h    H  כ s  .   " f s  Qô  Ç ì  r   X <s ' \  ¦  6   x½ + É

Fig. 9. Electron capture and loss cross-sections for He

ions in a number of molecular gases. Data are from Rudd et al. [32] Sataka et al. [33] (@), and the recommended cross-sections from the ORNL compilation [11] ( ∗).

M

: € 9 כ ¹– Ð   H % ò % i _  X <s '  \ O  €   l ” > r_  X <s ' 

\

 ¦ S X ‰ © œ # Œ   H  & h “   ° ú כ`  ¦  6   x K  ë ß – “ ¦ ˜ Ð  V , “ É r

\

 -t  % ò % i \ " f_  X <s '  € 9 כ ¹† < Ê`  ¦ · ú ˜ à º e ”  . ¿ º   P

:– Ð, X <s ' _  ” > r F  # ŒÂ Ò  Ø  ¦{ 9  _  \  -t \     B

Ä º ] jô  Ç& h s    H  כ s  . \ V\  ¦[ þ t # Q, | 9 ™ è ì  r  \  @ /ô  Ç

± ú

“ É r % ò % i \ " f_  X <s '   H B Ä º š ¸A   ) a Allison [37] s  8

£

¤& ñ ô  Ç X <s '  ü @ ' p ” > r F    H  כ s  \ O  . ¢ ¸ô  Ç, Fig. 9\ 

"

f ˜ Ѐ   Rudd_  X <s ' ü < Red book_  X <s '    5 gt 

Fig. 10. Electron loss cross-sections for H

collisions with molecular gases. The high-energy data are from the work of Sataka et al. [33] and those at low energy (marked as ∗) are from Allison [37].

Fig. 11. Single electron capture cross-sections for He

collisions with N

. Open circles are the data of Rudd et al. [31], and solid circles are the recommended data from the ORNL compilation [11].



 H \  -t  % ò % i \ " f í ß –ê ø Íé ß –€  & h _  ° ú כs  & ñ S X ‰ >  { 9 u 

÷

&t  · ú §  H& h `  ¦ ^  ¦ à º e ”  . s  ¿ º X <s '  ë ß –`  ¦ q “ §K  ˜ Ð

€ 

 Fig. 11\ " f % ƒ! 3 
 è ­ q à º e ”  . Fig. 11\ " f ˜ Ð1 p w s

 ó ¡ šµ ¢ § s “ : r_   Ø  ¦ \  -t  €  • 20 keV“   % ò % i \ " f  H

¿

º> h_  X <s '  { 9 u † < Ê`  ¦ ^  ¦ à º e ” t ë ß –, ± ú “ É r \  -t  % ò

%

i \ " f  H Rudd \  _ K  8 £ ¤& ñ  ) a X <s '   H Õ ª  ⠆ ¾ Ós  …  ;…  ; y

 7 £ x † < Ê`  ¦ ^  ¦ à º e ” t ë ß –, Red Book_  X <s '   H y Œ ™™ è

† <

Ê`  ¦ ^  ¦ à º e ”  . s X O >  q 2 Ÿ ¤ s p  8 £ ¤& ñ ÷ &# Q”   X <s ' 



  8 • ¸ " f– Ð  É r ° ú כõ ,  ⠆ ¾ Ó`  ¦ ^  ¦ à º e ”  . Õ ª QÙ ¼

–

Ð Ã º keV˜ Ð  ± ú “ É r \  -t  % ò % i \ " f 1 l qw n & h “   í ß –ê ø Íé ß –

€ 

& h _  8 £ ¤& ñ s  € 9 כ ¹    H  כ `  ¦ µ 1 ß) € è ­ q à º e ”  .

Fig. 10 \ " f  H ×  æ$ í ó ¡ šµ ¢ § \  _ ô  Ç í ß –ê ø Íé ß –€  & h s  ˜ Ð  4 Ÿ ¤

¸ ú

šô  Ç ë  H ] j\  ¦ t “ ¦ e ”    H  כ `  ¦ · ú ˜ à º e ”  . q 2 Ÿ ¤ 300 \ 

"

f 1800 keV _  ó ¡ šµ ¢ § s “ : r_   Ø  ¦ \  -t  % ò % i \ " f  € ª œ ô 

Ç ì  r  [ þ t \  @ /ô  Ç í ß –ê ø Íé ß –€  & h `  ¦
 ? /“ ¦  H e ” t ë ß –, ± ú 

“ É

r \  -t  % ò % i \ " f  H é ß –t  Y > > h_  X <s '  ë ß –s  Ä »6   x† < Ê

`

 ¦ · ú ˜ à º e ”  . >  , q 2 Ÿ ¤ 8 £ ¤& ñ ÷ &# Q”   í ß –ê ø Íé ß –€  & h  s 



• ¸, / B N: Ÿ x \  -t  % ò % i ? /\ " f % 3 # Q”   X <s '  ° ú כs  " f– Ð { 9

u  t  · ú §6 £ §`  ¦ · ú ˜ à º e ”  .

s

  & h `  ¦ q Æ Ò# Q ^  ¦ M :, s    X <s ' \  ¦ b ” “ ¦  6   x l  0 AK " f  H 1 l qw n  ) a ¢ ¸   É r 8 £ ¤& ñ   õ  ì ø Í× ¼r  € 9 כ ¹  9, s

 Qô  Ç f  ­ # Q4 R e ”   H X <s '  [ þ t`  ¦ " f– Ð q “ §† < ÊÜ ¼– Ð+ ‹ כ ¹

½

¨÷ &# Qt   H p f  ¨ô  Ç & h õ  ˜ ÐØ  æ ÷ &# Q  ½ + É X <s '  1 p x \ @ / ô 

Ç ì  r$ 3 s  0 p xô  Ç { 9 s   ½ + É Ã º e ”  .

3) ò ø ͙ èü < Á º î  r s “ : r[ þ t (Carbon and heavier ions)

˜

Ð  Á º î  r s “ : r[ þ t \  @ /ô  Ç " é ¶   x 9  ì  r   X <s '   H Ÿ í S \

‰ ÷ &“ ¦ { 9 # Q! Qo   H „   [ þ t s  " f– Ð  É r  € ª œô  Ç „     © œ I

\ " f s À Ò# Q t Ù ¼– Ð 0 p xô  Çô  Ç „  ^ ‰& h “   Ÿ í S \ ‰ x 9  loss õ

& ñ `  ¦  À Ò# Q   9, ´ ú §“ É r X <s ' \  ¦ € 9 כ ¹– Ð ô  Ç . : £ ¤ y  í

ß –\ O ^ ‰\ " f 6 £ x6   x ÷ &  H e  ¦  Ý ¼  Ó ü t$ í X <s '   H @ / Òì  r Á º

"

fî  r s “ : r[ þ t s  ´ ú §s   6   x ÷ &“ ¦ e ” Ü ¼Ù ¼– Ð € 9 à º& h “   X <s ' 



 ½ + É Ã º e ”  . Õ ª1 l xî ß – í ß –™ èü < | 9 ™ è s “ : r x 9  ì  r  ü <  © œ  ñ ì

ø Í6 £ x   H  € ª œô  Ç ì  r   x 9  l ^ ‰ ü <_  „    Ÿ í S \ ‰ ‰ & ³ © œs 


„ 

  loss í ß –ê ø Í é ß –€  & h s   Ö ¸µ 1 Ïy  ƒ  ½ ¨÷ &# Qt “ ¦ e ”  . s 

 

 Á º" fî  r 7 á x À Ó_  s “ : r õ  H, H

Õ ªo “ ¦ He[ þ t  s _  „  

„  ² ú ˜ (Charge tranfer), s “ : r o õ & ñ \  @ /ô  Ç í ß –ê ø Í é ß –€  

&

h [ þ t“ É r 1988¸    t _  X <s ' [ þ t s  ORNL_  Red books 5 [38] \ " f ] j/ B N ÷ &“ ¦ e ” Ü ¼ 9 Gilbody [39]ü < Janev [40]_ 

ƒ 

½ ¨ 7 Hë  H 1 p x \ " f % 3 `  ¦ à º e ”  . 1988¸   s Ê ê  Ò'  Ø  ¦ó ø ͝ ) a

„ 

 „  ² ú ˜ X <s ' \  @ /ô  Ç Y > Y >   « Ñ & ñ ˜ Ð\  ¦ Table 3 \  ] j /

B

N % i  . s  X <s ' [ þ t“ É r ŠҖ Ð Janev [40]_  review  7 Hë  H õ

 Kusakabe [41], Rottmann [43] 1 p x_   7 Hë  H 1 p x \ " f µ 1 Ï L

Yô  Ç  « Ñ[ þ t s  . Table 4\ " f
\ P  ) a  † ½ Ó[ þ t`  ¦ ¶ ú ˜( R˜ Ð

€ 

 @ / Òì  r_   « Ñ[ þ t s  ò ø ͙ è s “ : r \ _ ô  Ç „   Ÿ í S \ ‰ í ß –ê ø Í é

ß –€  & h  X <s '  e ” `  ¦ · ú ˜ à º e ”  . Table 4\ " f ^  ¦ à º e ” 1 p w s

 ‰ & ³F   6   x 0 p xô  Ç ì  r   ³ ð& h \  @ /ô  Ç „    loss í ß –ê ø Í é ß –

€ 

& h “ É r B Ä º & h “ É r € ª œe ” `  ¦ · ú ˜ à º e ” Ü ¼ 9  8¹ ¡ ¤ s , ×  æ$ í { 9 



[ þ t \  @ /ô  Ç  « э  H \ O   H כ `  ¦ · ú ˜ à º e ”  . Y > t  í ß –ê ø Í é

ß –€  & h _  \ V\  ¦ Fig. 12 \ 
 ? /% 3  . s [ þ t  « э  H — ¸¿ º Table 4 \ " f ƒ  / å Lô  Ç ‚ à Г ¦ 7 Hë  H \ " f µ 1 ÏL Yô  Ç  כ s  . Fig.

12 \ " f ^  ¦ à º e ” 1 p w s  # Œ Q  | à Ð[ þ t_  X <s ' [ þ t s   © œ{ © œy 

¸

ú ˜ { 9 u † < Ê`  ¦ ^  ¦ à º e ” Ü ¼ 9,  € ª œô  Ç \  -t  % ò % i \    5 g X

<s '  ” > r F † < Ê`  ¦ · ú ˜ à º e ”  .

V. + s Ç Â ] Ø õ m Í ‚ º  ] Ø

{ 9

ì ø Í& h Ü ¼– Ð e  ¦  Ý ¼ \  ¦ s 6   x   H 6 £ x6   x l Õ ü t“ É r e  ¦  Ý ¼



\  _ K  8 ú ¤”  ÷ &  H  o† < Æì ø Í6 £ x, e  ¦  Ý ¼ ü <  © œ  ñ Œ •6   x Ó ü t