β-In 2 Se 3 U c lT c l8 ý < gX c l õ m Í ö n ÚP X ì Ä ¤V R Ë
T
+ ä ® £ ∗ · T ø ¶ B% · ¼ ÿ ( å ~ x · »g ` @¬ £ · »Z Ì Ú
â
© @ / < Æ § õ < Æ@ / < Æ Ó ü t o < Æõ x 9 l íõ < Æ ½ ¨ è, Å Ò 660-701 (2007¸ 11 Z 4 9{ 9 ~ Ã Î6 £ §, þ j7 á x : r 2008¸ 1 Z 4 3{ 9 ~ Ã Î6 £ §)
/ B N7 £ x Ã Ì Z O Ü ¼ Ð β-In
2Se
3~ Ã Ì} ` ¦ ITO (indium-tin-oxide) Ä »o l ó ø Í 0 A\ ] j % i . & ñ o H 7
£
x Ã Ì ) a ~ à Ì} [ þ t` ¦ | 9 è ì r 0 Al _ l Ð\ " f \ P % o < ÊÜ ¼ Ð" f s Ò ¦ à º e % 3 . X- r] X ì r$ 3 \ _
# 7 £ x Ã Ì ) a ~ à Ì} _ © à º H a=7.1 ˚ A ü < c=19.25 ˚ A Ð" f ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó& ñ > F K5 Å q º ú ï> s × ¼ (metal chalcogenide) ½ ¨ ¸s % 3 ¦, \ P % o : r ¸\ ¦ 7 £ x < Ê\ (0 0 6) ~ ½ Ó ¾ ÓÜ ¼ Ð × þ & h Ü ¼ Ð $ í © H d` ¦ · ú Ã
º e % 3 . \ P % o : r ¸\ ¦ 7 £ x r ( \ { 9 > ß ¼l & h & t ¦ 8 £ x ½ ¨ ¸ Ð & ñ o ÷ &% 3 . 7 £ x
Ã
Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} \ @ / # z ´ : r \ " f 8 £ ¤& ñ ô Ç F g < Æ& h \ -t { ç ß É r 1.65 eV s % 3 ¦, \ P % o
: r ¸ 7 £ x < Ê\ { ç ß ¸ y è % i Ü ¼ 9 300
◦C \ " f \ P % o ) a ~ Ã Ì} _ F g < Æ& h \ -t { ç
ß É r 1.52 eVs % 3 . β-In
2Se
3~ Ã Ì} ? /_ î r ì ø Í [ þ t _ 1 l x% i < Æ& h 1 l x` ¦ F g Ä »l ~ ½ Ó : £ ¤$ í (PIDC:photoinduced discharge characteristics) ~ ½ ÓZ O Ü ¼ Ð ¸ % i .
PACS numbers: 68.55.-a, 78.20.-e
Keywords: β-In
2Se
3~ Ã Ì} , \ P % o ´ òõ , \ -t { ç ß , F g Ä »l ~ ½ Ó : £ ¤$ í
I. " e  ] Ø
8
£
x ½ ¨ ¸ (layered structure) Ð ) a ì ø Í ¸^ [ þ t É r I ª \
-t ¨ 8 ` ¦ 0 Aô Ç þ j& h % ò % i _ \ -t { ç ß õ Z } É r f
¨ Ã º> Ã º M :ë H \ F g l $ í (photovoltaic) x 9 F g l o < Æ (photoelectrochemical) F « Ñ Ð" f ´ ú § É r ' a d ` ¦ = å J ¦ e .
s
ì ø Í ¸^ [ þ t î r X <" f A
2IIIB
3V I(A
III= Ga, In, Tl õ B
V I= S, Se, Te)+ þ A_ o½ + ËÓ ü t ì ø Í ¸^ β-In
2Se
3 H þ j H
´ ú
§ É r ½ ¨[ þ t _ @ / © s ÷ &# Q M ® o [1–4]. III-VI7 á ¤ o½ + ËÓ ü t ì
ø Í ¸^ H ª ô Ç F g < Æ& h , l & h x 9 ½ ¨ ¸& h : £ ¤$ í ` ¦ t m
¦ e # Q ' ÷ & H " é ¶ è_ 7 á x À Óü < Õ ª ª \ \ -t { ç
ß ` ¦ e _ Ð ¸] X ½ + É Ã º e ¦, n+ þ Aõ p+ þ A ¸¿ º_ ] j s
0 p x ½ + É ÷ r ë ß m & ñ ½ ¨ ¸ { 9 ~ ½ Ós (noncu- bic) ½ ¨ ¸s Ù ¼ Ð 4 ¤Ï ã J] X ` ¦ { 9 Ü ¼v 9 q + þ A& h F g ç ß [ O
¸ ` ¦ ½ + É Ã º e . 8½ ¨ s o½ + ËÓ ü t[ þ t É r @ /Â Òì r 8 £ x ½ ¨
¸ Ð & ñ o 9 / B N Ä » ½ + Ë` ¦ s À Òl M :ë H \ [5], r F g
x 9 & h ü @ % ò % i \ " f H q + þ A > Ã º\ ¦ t H q + þ A F
g < ÆÓ ü t| 9 [6], I ª t [7], & h ü @ t è [8], B j ¸o Û
¼0 Ag A (memory switching) [9] 1 p x _ F g è (optoelec- tronic devices) Õ ªo ¦ o ½ ¢ §- ¦^ » ¡ ¤ t (Li-solid state batteries) [10] Ð_ 6 £ x6 x \ ´ ú § É r 0 p x$ í ` ¦ t ¦ e # Q $ í
© x 9 Ó ü t$ í \ @ /ô Ç ½ ¨ Ö ¸ µ 1 Ïy s À Ò# Q4 R ¸ ¦ e .
∗
E-mail: [email protected]
s
Qô Ç F K5 Å q º ú ï> s × ¼ (metal chalcogenide) ½ ¨ ¸_
o½ + ËÓ ü t \ @ /K " f H Hahn õ Klinger [11] þ j í Ð & ñ
$ í
© x 9 ½ ¨ ¸\ @ /ô Ç ½ ¨\ ¦ r ô Ç s A De Blasi 1 p x [12] _ l & h : £ ¤$ í ½ ¨ Ð ¦÷ & ¦ e . ¢ ¸ é ß & ñ $ í
© \ _ # III-VI7 á ¤ o½ + ËÓ ü t ì ø Í ¸^ î r X <" f InSe H 5
Å
q Ü ¼ Ð [ j 8 £ x s Á ú ¢# e H γ-4 ¤ ½ + Ë+ þ A (polytype)õ 0 p x ^ (rhombohedral) ½ ¨ ¸ (/ B N ç ß ç H R3m, C
3V5, 0 p x ^ [ j í (cell) \ " f H Z=2 ì r [ þ t, ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó& ñ > (hexagonal) [ j í\
"
f H Z=6 ì r [ þ t)\ ¦ t 9 8 £ x[ þ t É r ô Ç > h_ In " é ¶ \ ° ú
É
r 0 Au Ð ) a [ j > h_ Se " é ¶ [ þ t Ð Se-In-In-Se_ · û ª É r ó ø Í
`
¦ ½ ¨$ í ¦, In-In / B N Ä » ½ + Ë[ þ t É r 8 £ x[ þ t \ Ã ºf ô Ç ~ ½ Ó ¾ Ó` ¦
° ú
H כ Ü ¼ Ð Ð ¦÷ & ¦ e [13]. ¢ ¸ô Ç 8 £ x ½ ¨ ¸ Ð ) a Ó ü t| 9
\
" f o < Æ& h ½ + Ë É r ³ ð s f ¨ Ã Ìõ ' aº # q Ö ¸$ í (inert) s ¦ ± ú É r ³ ð © I x 9 ¸\ ¦ t Ù ¼ Ð 8 £ x s _
½
+ Ë[ þ t (interlayer bonds) s é ß { 9 8 £ x (single layer) ? /_ ½ + Ë
Ð H : £ ¤f ç ` ¦ t > ) a [14]. Õ ªo # F g < Æ
&
h
] X 8 ú ¤ (optical contact) É r 8 £ x Ü ¼ Ð ) a s : £ ¤$ í \ _
#
~ 1 > s Ò ¦ Ã º e . Bakumenko 1 p x [15] õ Aver’yanova 1
p x [16] É r F g < Æ& h ] X 8 ú ¤ \ _ K " f p-GaSe/n-InSe s 7 á x] X ½ + Ë (heterojunction)` ¦ + þ A$ í # M ® o . Segura 1 p x [6] É r ITO (indium-tin-oxide)/p-InSe I ª t \ ¦ ] j # ` r Ð
À Ó (short-circuit current) 25 mA/cm
2s © e ` ¦ Ð
¦ % i . ¢ ¸ þ j H \ H Cu(In, Ga)Se
2(CIGS) I ª t
\
" f a-e7 á ¤ o½ + ËÓ ü t ì ø Í ¸^ CdS Ð \ -t { ç ß
-14-
s ± ú ¦, 8 a % ~ É r & ñ ½ + Ë (lattice match)` ¦ ° ú l M : ë
H \ , CIGS/InSe > H / B N& ñ õ & ñ ` ¦ é ß í H o½ + É Ã º e Ü ¼ 9 ]
j q 6 x` ¦ × ¦{ 9 Ã º e [17]. s ü < ° ú s III-VI7 á ¤ o½ + Ë Ó
ü
t ì ø Í ¸^ _ Ó ü t$ í É r ¸$ í q \ ß ¼> % ò ¾ Ó` ¦ ~ Ã Î ¦, I 7
á ¤ " é ¶ è_ ' ÐÂ Ò' II-VI7 á ¤ o½ + ËÓ ü t ì ø Í ¸^ \ " f % 3 ` ¦ Ã
º \ O H D h\ v ¦ < É ª p Ðî r Ó ü t$ í ` ¦ % 3 ` ¦ Ã º e ` ¦ כ Ü ¼ Ð l
@ / ) a . Õ ª Q ç H{ 9 ô Ç ¸$ í ` ¦ ° ú H ª | 9 _ é ß & ñ $ í
© 1 p x \ ' a ô Ç ½ ¨ H ´ ú §s e % 3 Ü ¼ , ~ Ã Ì} \ @ /ô Ç ½ ¨
H # Q t © (phase)[ þ t s Ù ¼ Ð > 5 Å q& h ½ ¨
s À Ò# Qt t 3 l w ¦ e , þ j H \ o < Æ 6 xÓ o 7 £ x Ã Ì (CBD:chemical bath deposition) [18], Ä »l F K5 Å q o < Æ l
© 7 £ x Ã Ì (MOCVD:metal orgnic chemical vapor deposi- tion) [19], " é ¶ 8 £ x 7 £ x Ã Ì (ALD:atomic layer deposition) [20], ì r \ x × þ r (MBE:molecular beam epitaxy) [21], / B N 7 £ x Ã Ì (vacuum evaporation) Z O [22] 1 p x Ü ¼ Ð β- In
2Se
3_ ~ Ã Ì} ` ¦ ] j # F g < Æ& h : £ ¤$ í \ @ /ô Ç ½ ¨ H
Ö
¸ µ 1 Ïy s À Ò# Qt ¦ e t ë ß , Õ ª s ü @_ Ó ü t$ í õ 6 £ x6 x \ ' a ô
Ç ½ ¨ H Z > Ð \ O . " f f ¸ ² D G ? /ü @& h Ü ¼ Ð ½ ¨
Ö
¸1 l x s Â Ò ô Ç b-e7 á ¤ o½ + ËÓ ü t ì ø Í ¸^ β-In
2Se
3~ Ã Ì}
`
¦ / B N7 £ x Ã Ì Z O Ü ¼ Ð ] j ¦ | 9 è ì r 0 Al \ " f_ \ P % o
: r ¸\ É r ½ ¨ ¸& h , F g < Æ& h : £ ¤$ í õ F g Ä »l ~ ½ Ó : £ ¤$ í [23] \ _ ô Ç @ / ) a î r ì ø Í _ 1 l x% i < Æ& h 1 l x (dynamical behavior) [24]` ¦ ¸ % i .
II. ÷ m Ç ] M ö
1. β-In
2Se
3U c lT c l8 ý < g º
β-In
2Se
3~ Ã Ì} ` ¦ ] j l 0 A # o < Æ| ¾ Ó : r& h Ü ¼ Ð ç H { 9
ô Ç ¸$ í ` ¦ t H β-In
2Se
3é # Qo (bulk)\ ¦ à º¨ î l
Ð\ " f ½ + Ë$ í l 0 A # $ ¦ í H ¸ (99.999 %)_ Inõ Se` ¦ ¸$ í q Ð g A| ¾ Óô Ç Ê ê È Ò" î $ 3 % ò ' a ( ? / â :1.0 cm × ü @
â
:1.4 cm × U ´s :18 cm)\ V , É r Ê ê 2 × 10
−6Torr _ /
B
N ¸\ " f 4 x{ 9 % i . 6 £ § é ß > H $ [ þ t s Cd
2GeSe
4é
ß & ñ ` ¦ $ í © ô Ç ~ ½ ÓZ O [25]@ / Ð r ' % i . ] j ¸ ) a β- In
2Se
3é # Qo \ ¦ / B N7 £ x Ã Ì © u (Edward E 306A)? /\
© Ã Ì ¦ 1 × 10
−6Torr _ / B N \ " f ITO Ä »o l ó ø Í
\
7 £ x Ã Ì % i . ITO l ó ø Í` ¦ [ j' 6 xÓ o ? /\ { H Ê ê 7 £ x À
ÓÃ º Ð ' ½ ¨# Q í6 £ § [ j' l \ " f [ j : r (acetone) Ü ¼ Ð [
j' ¦ r 7 £ x À ÓÃ º Ð ' ç H 6 £ § É r | 9 è Û ¼ Ð Ô ¦
#
Q" f | ¸r & 6 x % i . 1 r_ 7 £ x à Ì` ¦ l 0 AK 2.5 g _ β-In
2Se
3é # Qo \ ¦ Û ¼Ö ¿ (basket) + þ AI _ [ j b
(ceramic)` ¦ { 9 2 ³ % û Û ¼J $ (W) Ðà Ô (boat) 5 Å q \ V , # Q Ø
æì r y \ V\ P ` ¦ ô Ç Ê ê 7 £ x à Ìr ( Ü ¼ 9 7 £ x à Ì\ èכ ¹ ) a r ç ß
É
r \ V\ P ` ¦ í < Ê # 30ì r ? /ü @ Ð % i ¦, 7 £ x à Ìr _ l ó ø Í
: r ¸ H 100
◦C\ ¦ Ä »t % i .
2. ¤V R Ë ¤X N Ë 7
£
x Ã Ì Ê ê\ r « Ñ[ þ t É r | 9 è Û ¼\ ¦ f Ë o " f 30ì r 1 l x î
ß l Ð 5 Å q \ " f 100
◦C ∼ 400
◦C t \ P % o \ ¦ r '
% i . \ P % o : r ¸\ ¦ 7 £ x < Ê\ r « Ñ H rÒ o (dark gray) Ü ¼ Ð & h & h % i . 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} _
¿ ºa ü < ³ ð + þ A © É r Å Ò & ³p â (SEM:scanning electron microscope, JSM-6400) Ü ¼ Ð 8 £ ¤& ñ % i Ü ¼ 9, o < Æ
|
¾ Ó : r& h ¸$ í q H Å Ò & ³p â \ Â Ò Ã Ì ) a \ -t ì
r í ß X- ì r$ 3 l (EDX:energy dispersive X-ray analy- sis) Ð 8 £ ¤& ñ % i . ¢ ¸ 7 £ x Ã Ì ) a ~ à Ì} _ & ñ ½ ¨ ¸ H X- r ] X
> (XRD:X-ray diffractometer, Siemens D5005)\ ¦ s 6
x # ¸ % i ¦, 6 x ) a X- _ © É r 1.5418 ˚ A s
%
3 . Å Ò % ò % i É r 2θ\ ¦ 20
◦∼ 50
◦s Ð % i . UV- Vis-NIR (ultraviolet-visible-near infrared) ì rF g F g ¸> (spectrophotometer, Shimadzu MPS-5000)\ ¦ s 6 x # z
´ : r \ " f F gf ¨ Ã º\ ¦ 8 £ ¤& ñ # F g < Æ& h \ -t { ç ß
` ¦ % 3 % 3 . î r ì ø Í _ + þ AI , Å Ò' r ç ß , î r ì ø Í
0 l x ¸ Õ ªo ¦ s 1 l x ¸\ ¦ ½ ¨ l 0 A # F g Ä »l ~ ½ Ó :
£ ¤$ í ` ¦ ¸ % i . F g Ä »l ~ ½ Ó : £ ¤$ í É r glass/ITO/β- In
2Se
3/ITO/glass _ ± p× ¼0 Au (sandwitch) + þ AI Ð r « Ñ
\
¦ ½ ¨$ í % i Ü ¼ 9, 8 £ ¤& ñ ½ + É M : ü @Â Ò ÐÂ Ò' _ ¸ ú 6 £ §` ¦ é ß
½
+ É 3 l q& h Ü ¼ Ð · ú À Òp ³ o u (Al) © Ð ü @Â Òü < é ß r ( .
r
« Ñ ³ ð \ Å Ò{ 9 ) a F g ` O Û ¼ H ] j 7 HÏ þ á Ô (xenon lamp)_ F
g " é ¶` ¦ é ß 5 Å q # % 3 % 3 ¦, s \ ¦ ITO } ` ¦ : x # r « Ñ\
| 9
5 Å q r ( . r « Ñ ? /\ ¸ ) a F g ` O Û ¼_ t 5 Å q r ç ß É r à º µs s _ ; ¤ s % 3 . 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} õ 100
◦C ∼ 400
◦C Ð 30ì r 1 l x î ß | 9 è ì r 0 Al _ l Ð\ " f \ P % o ô
Ç β-In
2Se
3~ Ã Ì} ` ¦ @ / © Ü ¼ Ð 8 £ ¤& ñ % i .
III. + s ÇÊ Ý õ m Í w ² o
Å
Ò & ³p â ` ¦ s 6 x # 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì}
`
¦ ' a ¹ 1 Ïô Ç õ L : F M ô Ç ³ ð © õ é ß © ` ¦ % 3 ` ¦ Ã º e % 3 Ü
¼ 9, Õ ª ¿ ºa H 1 µm Ð 8 £ ¤& ñ ÷ &% 3 . ¢ ¸ \ -t ì r í ß X- ì r$ 3 l \ ¦ s 6 x # 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} õ 300
◦C
Ð \ P % o ô Ç ~ Ã Ì} _ o < Æ| ¾ Ó : r& h q \ ¦ 8 £ ¤& ñ ô Ç õ y y
In : Se = 55 : 45 ü < In : Se = 63 : 37 Ð 7 £ x à Ì÷ &% 3 6
£
§` ¦ · ú à º e % 3 . Marsillac 1 p x [26] É r / B N7 £ x Ã Ì Z O Ü ¼ Ð 7
£
x Ã Ì ) a In
xSe
1−x~ Ã Ì} [ þ t \ " f Se_ $ í ì r s 45-60 %s p+ þ A ¸\ ¦ 40 % s s n+ þ A ¸\ ¦ · p ¦ Ð ¦
¦ e .
Fig. 1 \ β-In
2Se
3~ Ã Ì} _ X- r] X Û ¼& 7 à Ô! 3 [ þ t` ¦
? /% 3 . 8 £ ¤& ñ ) a X- r] X Û ¼& 7 à Ô! 3 \ è ß x ß ¼
(peak) \ @ /ô Ç t à º (hkl) ° ú כ` ¦ & ñ l 0 AK ©
Fig. 1. X-ray diffraction patterns of as-deposited film(a), β-In
2Se
3films annealed at (b) 100
◦C, (c) 200
◦C, (d) 300
◦C, (e) 400
◦C for 30 min in flowing nitrogen.
Ã
º, ç ß o , t à º s _ ' a > \ @ /ô Ç 6 £ § d (1)õ
½
¨ ¸ èY > Z O g Ë : [27]` ¦ 6 x # > í ß % i .
1 d
2= 4
3
h
2+ hk + k
2a
2+ l
2c
2(1)
>
í ß ô Ç ç ß o _ ° ú כs β-In
2Se
3é ß & ñ ` ¦ 8 £ ¤& ñ ô Ç ì
r ´ ú X- r] X > _ ç ß o ° ú כ [28]õ ¸ ú { 9 u % i .
Fig. 1 \ " f 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} (a)õ 100
◦C Ð \ P % o ô
Ç r « Ñ (b)\ " f H r] X x ß ¼\ ¦ ^ ¦ Ã º \ O % 3 ¦, 200
◦C Ð
\ P
% o ô Ç r « Ñ (c)\ " f H r] X x ß ¼ l r 9, 300
◦C Ð \ P % o ô Ç r « Ñ (d)\ " f H 2θ 27.8
◦H %
\
" f ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó& ñ > β-In
2Se
3_ (0 0 6) \ @ /ô Ç r] X x ß ¼
z ` ¦ ^ ¦ Ã º e . | 9 è ì r 0 Al _ l Ð\ " f 30ì r 1
l
x î ß 400
◦C Ð \ P % o ô Ç r « Ñ (e)\ " f H (0 0 6) \ @ / ô
Ç r] X x ß ¼_ y © ¸ y è÷ &% 3 Ü ¼ 9, É r É r r] X x ß
¼, 7 £ ¤ 2θ 25.1
◦H % \ " f (1 1 0), 29.4
◦H % \ " f (2 0 1), 30.5
◦H % \ " f (2 0 2), 37.7
◦H % \ " f (1 1 6), 40
◦H % \ " f (2 0 6), 44.1
◦H % \ " f (3 0 0) \ @ /ô Ç r ] X
x s ß ¼ z ` ¦ ^ ¦ Ã º e . X- r] X Û ¼& 7 à Ô! 3 Ü
¼ РÒ' S X ô Ç õ 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} É r ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó& ñ >
F K5 Å q º ú ï> s × ¼ ½ ¨ ¸s ¦, © Ã º H a=7.1 ˚ A ü <
c=19.25 ˚ A Ð z ¤ . s ° ú כ É r ½ ¨ [ þ t _ õ [ þ t [4, 29], Õ ªo ¦ JCPDS [28]\ è ß a=7.11 ˚ A ü < c=19.25
˚ A _ ° ú כõ ¸ ¸ ú { 9 u < Ê` ¦ · ú à º e . " f / B N 7 £ x à Ìô Ç
Fig. 2. Scanning electron micrographs of β-In
2Se
3films surface (a) as-deposited, annealed at (b) 200
◦C, (c) 300
◦
C, (d) 400
◦C for 30 min in flowing nitrogen.
β-In
2Se
3~ à Ì} É r 7 £ x Ã Ì Ê ê 300
◦C s © _ : r ¸\ " f | 9 è ì
r 0 Al Ð \ P % o < ÊÜ ¼ Ð+ (0 0 6) ~ ½ Ó ¾ ÓÜ ¼ Ð × þ & h Ü ¼ Ð
$ í
© ) a & ñ (poly-crystalline) + þ AI _ β-In
2Se
3 כ Ü ¼
Ð Ò q ty ) a .
Fig. 2(a) H 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} _ FESEM ³ ð + þ A
© ` ¦ ? / H Õ ªa Ë >Ü ¼ Ð 100
◦C Ð \ P % o ô Ç r « Ñ_ ³ ð
+ þ A © x 9 } 9 l _ 1 l x{ 9 < Ê` ¦ S X ½ + É Ã º e % 3 .
Fig. 2(b) H 200
◦C Ð \ P % o ô Ç r « Ñ_ ³ ð + þ A © ` ¦
?
/ H Õ ªa Ë >Ü ¼ Ð 100
◦C \ " f \ P % o ô Ç r « Ñ x 9 \ P % o t
· ú § É r r « Ñü < ² ú o 180 nm ß ¼l _ $ 3 Ä » © (filament- shaped) ½ ¨ ¸_ { 9 [ þ t s l ó ø Í\ Ã ºf ô Ç ~ ½ Ó ¾ ÓÜ ¼ Ð $ í ©
% i 6 £ §` ¦ · ú Ã º e . Fig. 2(c)ü < 2(d) H 300
◦C ü < 400
◦
C \ " f \ P % o ô Ç r « Ñ[ þ t \ @ /ô Ç FESEM ³ ð + þ A © ` ¦ y y
· p . \ P % o : r ¸_ 7 £ x ü < 8Ô ¦ # Q 200
◦C Ð \ P
%
o ô Ç r « Ñ\ " f ' a8 £ ¤ ÷ & H $ 3 Ä » © ½ ¨ ¸_ { 9 [ þ t É r ó ø Í
© ½ ¨ ¸ Ð ³ ð \ ê ø Í > $ í © 9, 300
◦C Ð \ P % o ô
Ç r « Ñ_ ³ ð \ " f H 180 nm ß ¼l _ ó ø Í © { 9 [ þ t s q
§& h ç H{ 9 > ì r í ¦ e 6 £ §` ¦ · ú Ã º e . s ü < ² ú o
400
◦C Ð \ P % o ô Ç â Ä º 230 nm ß ¼l \ ¦ ó ø Í
© ½ ¨ ¸ { 9 [ þ t s ª ô Ç ~ ½ Ó ¾ Ó$ í ` ¦ t ¦ + þ A$ í ÷ &# Q e Ü
¼ 9, 300
◦C Ð \ P % o ô Ç r « Ñ\ q K ³ ð } 9 l
& 6 £ §` ¦ ^ ¦ Ã º e . XRD x 9 FESEM ì r$ 3 Ü ¼ ÐÂ Ò' 300
◦C Ð \ P % o ½ + É â Ä º & ñ $ í õ ³ ð + þ AI © a % ~
É r β-In
2Se
3~ Ã Ì} ` ¦ $ í © r ~ ´ Ã º e 6 £ §` ¦ · ú Ã º e % 3 .
7
£
x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} õ 100
◦C ∼ 400
◦C t \ P % o ô
Ç r « Ñ[ þ t \ @ / # z ´ : r \ " f F gf ¨ Ã º Û ¼& 7 à Ô! 3 ` ¦ 8 £ ¤& ñ
% i . ¸ H r « Ñ_ F gf ¨ Ã º Û ¼& 7 à Ô! 3 \ " f 650 nm H %
\
" f / å L ô Ç F gf ¨ Ã º_ 7 £ x ' a8 £ ¤ ÷ &% 3 . s / å L ô Ç 7 £ x
Fig. 3. Photon energy vs. (αhν)
2of β-In
2Se
3films for as-deposited(a) and annealed at (b) 200
◦C, (c) 300
◦C, (d) 400
◦C for 30 min in flowing nitrogen.
H f ] X ;s \ -t { ½ ¨ ¸\ ¦ ì ø Í ¸^ _ l í f ¨ Ã
º é ß \ " f F gf ¨ Ã º\ _ ô Ç כ { 9 Ã º e [29]. F gf ¨ Ã º > Ã
º α H l í f ¨ Ã º é ß H % F gf ¨ Ã º Û ¼& 7 à Ô! 3 [ þ t ÐÂ Ò' > í
ß ½ + É Ã º e ¦ { 9 F g ª \ -t hν_ < ÊÃ º Ð" f ? /
#
Q . Fig. 3 É r F gf ¨ Ã º > Ã º_ ] jY L õ { 9 F g \ -t
s _ ' a > \ ¦ · p כ s . f ] X s { 9 M : F gf ¨ Ã º > Ã
ºü < { 9 F g \ -t s _ ' a > H 6 £ § d (2)õ ° ú
[29].
(αhν)
2∼ (hν − E
g) (2)
#
l " f, h H Planck © Ã ºs ¦, ν H { 9 F g ª _ 1 l x Ã
ºs . F g < Æ& h \ -t ç ß (E
g) É r Fig. 3 \ · p
ü < ° ú s (αhν)
2=0 \ @ /ô Ç ¸³ ð_ f ` ¦ ü @¶ ú < ÊÜ ¼ Ð
"
f % 3 H . f ] X F g s H s Õ ªa Ë >\ " f f \ _ K S X
÷ & ¦, 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} õ \ P % o ô Ç ~ Ã Ì} [ þ t _ F g
< Æ& h { ç ß É r 1.52 eV ∼1.65 eV t % i . s ° ú כ [
þ
t É r É r q 5 p w ô Ç b-e7 á ¤ o½ + ËÓ ü t ì ø Í ¸^ [30,31]õ q §
| ¨
c à º e ¦, α-In
2Se
3_ \ -t { ç ß Ð ç ß 8 H
° ú
כs [22,32].
F
g Ä »l ~ ½ Ó : £ ¤$ í z ´+ « > É r β-In
2Se
3~ Ã Ì} ³ ð \ Å Ò{ 9
)
a F g ` O Û ¼ (light pulse)\ _ K Ò q t$ í ) a î r ì ø Í [ þ t s
~ Ã Ì} ` ¦ Ð| 9 Q" f F g ` O Û ¼ Å Ò{ 9 ÷ & H ì ø Í@ /¼ # \ ¸
² ú
> ÷ & H כ Ü ¼ Ð s \ @ /ô Ç ` O Û ¼_ 1 l x` ¦ á Ôo Ó rá Ô (pre-amp.) Ð 7 £ x; ¤ # ¸z ´ ÐÛ ¼ ïá Ô (oscilloscope) Ð ' a 8
£
¤ ½ + É Ã º e . Fig. 4 H 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} (a)õ 300
◦
C Ð \ P % o ô Ç r « Ñ (b)\ 5 mV _ s # QÛ ¼ · ú (bias voltage)` ¦ % 3 ` ¦ M :_ F g Ä »l ~ ½ Ó : £ ¤$ í ` ¦ · p ¸ z
´ ÐÛ ¼ ïá Ô_ ² D G (trace) s . F g ` O Û ¼ í H ç ß & h Ü ¼ Ð r
« Ñ_ ³ ð \ ¸ ÷ & β-In
2Se
3³ ð \ " f î r ì ø Í
Fig. 4. Oscilloscope trace of the photoexcited carrier for : (a) as-deposited, (b) β-In
2Se
3film annealed at 300
◦C for 30 min in flowing nitrogen.
Ò q t$ í ) a . s M : Ò q t$ í ) a î r ì ø Í H F g ` O Û ¼ t 5 Å q
÷
& H r ç ß õ t H í H ç ß _ 2> h_ r ç ß % ò % i Ü ¼ Ð ¾ º
#
Q . 7 £ ¤ î r ì ø Í r « Ñ\ ¦ Ð| 9 Q" f ì ø Í@ /¼ # _
F G \ ¸² ú l r H r ç ß \ Á º ' a ô Ç % ò % i (I)õ F g
` O
Û ¼ t H í H ç ß _ î r ì ø Í [ þ t s èY > ÷ & H % ò % i (II) Ð ¾ º# Q . " f % ò % i (II)\ " f H î r ì ø Í [
þ
t s t à º < Êà º& h Ü ¼ Ð y è > ) a . Å Ò' r ç ß (transit time) É r r ç ß \ É r · ú _ oÖ ¦ s l r ½ + É M :
t _ r ç ß Ü ¼ Ð & ñ _ ÷ &Ù ¼ Ð s \ ¦ & ñ S X > & ñ l 0 A
# r ç ß \ É r · ú _ oÖ ¦ (dV/dt)` ¦ · ú ô Ç [33].
Fig. 5 H Fig. 4\ ¦ p ì r # · p כ Ü ¼ Ð" f x» ¡ ¤ Ü ¼
Ð · p r ç ß _ l ï r É r F g F G Ü ¼ Ð Ò q t$ í ) a î r ì ø Í
\ _ K + þ A$ í ÷ & H íl 0 A þ j@ / r & h Ü ¼ Ð % i Ü
¼ 9, ¶ ú { 9 ) a Õ ªa Ë > É r ì ø Í@ /¼ # F G Ü ¼ Ð s 1 l x # » ¡ ¤& h ) a
î r ì ø Í [ þ t Ð ô Ç dV/dt ¿ º× ¼ Qt > l r
½
+ É M : t _ Å Ò' r ç ß ` ¦ 8 £ ¤& ñ l 0 AK " f dV/dt { 9
&
ñ ô Ç Â Òì r` ¦ S X @ /ô Ç Õ ªa Ë >s . Fig. 5_ (a) H \ P % o _
~ Ã Ì} \ @ /ô Ç כ s ¦ (b) H 300
◦C Ð \ P % o # + þ A$ í
Fig. 5. dV/dt versus t for the samples: as-deposited (a) and annealed at 300
◦C (b). The inset shows the magnified ones for (a) and (b).
)
a β-In
2Se
3~ Ã Ì} \ @ /ô Ç כ Ü ¼ Ð 8 £ ¤& ñ ) a Å Ò' r ç ß É r y y
42 µsü < 24 µs % i .
Fig. 4 \ " f ^ ¦ Ã º e H ü < ° ú s , ¸z ´ ÐÛ ¼ ïá Ô Û ¼ ß
¼ 2 ; (screen) © _ à ºf ¼ # ¾ Ó (vertical deflection)s 0 AA á ¤ (upward or positive) Ü ¼ Ð ¾ Ó ª / B N ³ ðÀ Ó (hole drift)s
¦ A A á ¤ (downward or negative) Ü ¼ Ð ¾ Ó ³ ðÀ Ó (electron drift) s . ¢ ¸ô Ç s 1 l x ¸ü < î r ì ø Í 0 l x
¸ H Ó ü t o & h ¸4 S qõ Batra 1 p x [34] _ s : r` ¦ s 6 x #
>
í ß ½ + É Ã º e Ü ¼ 9, î r ì ø Í _ Å Ò' r ç ß t
Tü < # Qï r
· ú s _ ' a > H
t
T= dD
µV (3)
s
¦, # l " f d H r « Ñ_ ¿ ºa , D H ¿ º F G (top and bottom electrodes) s _ o , µ H ³ ðÀ Ós 1 l x ¸ Õ ªo ¦ V H # Qï r · ú s .
r
ç ß \ @ /ô Ç dV/dt_ Õ ªA á Ô Ð Â Ò' 8 £ ¤& ñ ) a t
Tü < d (3) Ü ¼ РÒ' ¿ ºa 1 µm 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ à Ì} _ ³ ðÀ Ó
s 1 l x ¸ H µ
e∼ 4.8 × 10
−2cm
2/Vs s % 3 ¦, 300
◦C
Ð \ P % o ) a ~ à Ì} \ @ / # ½ ¨ô Ç ³ ðÀ Ó ª / B N s 1 l x ¸ H µ
h∼ 8.1 × 10
−2cm
2/Vs s % 3 . 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} \
@
/ô Ç ³ ðÀ Ó s 1 l x ¸ H Manno 1 p x [32] s ½ ¨ô Ç ° ú כ Ð
è É r ° ú כs t ë ß , 300
◦C Ð \ P % o ô Ç ~ Ã Ì} \ @ /
#
½ ¨ô Ç ³ ðÀ Ó ª / B N s 1 l x ¸ µ
h∼ 8.1×10
−2cm
2/Vs H M.
Persin 1 p x [35] \ _ K Ð ¦ ) a õ ü < ¸ ú { 9 u ô Ç . 7 £ x à Ì
)
a β-In
2Se
3~ Ã Ì} õ 300
◦C \ P % o ) a ~ Ã Ì} _ r « Ñ ³ ð \
"
f î r ì ø Í 0 l x ¸ H y y ∼ 2.3 × 10
18/cm
3ü < ∼ 2.43
× 10
16/cm
3s % 3 Ü ¼ 9, s ° ú כ É r Manno 1 p x [32] s Ð ¦ô Ç
° ú
כõ q §& h ¸ ú { 9 u ô Ç . # l " f î r ì ø Í 0 l x ¸_ > í
ß [34] É r n(d,t)=(κ/4 π q µ)t
−1` ¦ s 6 x % i Ü ¼ 9, κ H Ä »
© Ã º Ð" f é ß & ñ β-In
2Se
3_ Ä » © Ã º ° ú כ 9.5\ ¦ 2 [
# > í ß % i [31]. 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ à Ì} É r à ºf ¼ # ¾ Ó s
A A á ¤ Ü ¼ Ð ¾ Ó l M :ë H \ ³ ðÀ Ós ¦ n+ þ A ¸s 9, 300
◦C Ð \ P % o ) a ~ à Ì} É r à ºf ¼ # ¾ Ós 0 AA á ¤ Ü ¼ Ð ¾ Ó
l M :ë H \ ª / B N ³ ðÀ Ós ¦ p+ þ A ¸s . s H Marsillac 1
p x [26] s Ð ¦ô Ç ° ú כõ ¸ ¸ ú { 9 u ô Ç . ¢ ¸ \ P % o : r ¸\ ¦ 7
£
x < Ê\ s 1 l x ¸, î r ì ø Í 0 l x ¸ H ç ß 7 £ x
% i Ü ¼ Å Ò' r ç ß É r y è % i .
IV. + s Ç Â ] Ø
/ B N7 £ x à ÌZ O Ü ¼ Ð ITO l ó ø Í 0 A\ β-In
2Se
3~ Ã Ì} ` ¦ ] j
# | 9 è Û ¼\ ¦ f Ë o " f 30ì r 1 l x î ß l Ð 5 Å q \ " f 100
◦
C∼400
◦C t \ P % o ô Ç Ê ê X- r] X , ì rF g F g ¸> , Å Ò
& ³p â z ´+ « > Õ ªo ¦ F g Ä »l ~ ½ Ó : £ ¤$ í ` ¦ ¸ ô Ç
õ H 6 £ § õ ° ú s כ ¹ ½ + É Ã º e . X- r] X z ´+ « > õ
\ _ © Ã º H a=7.1 ˚ A ü < c=19.25 ˚ A Ð" f ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó
&
ñ > F K5 Å q º ú ï> s × ¼ ½ ¨ ¸s 9, \ P % o : r ¸\ ¦ 7 £ x
< Ê\ (0 0 6) ~ ½ Ó ¾ ÓÜ ¼ Ð × þ & h Ü ¼ Ð $ í © H d` ¦ · ú Ã º e
% 3 . Å Ò & ³p â z ´+ « >\ " f H \ P % o : r ¸\ ¦ 7 £ x
< Ê\ { 9 > ß ¼l & h & t ¦ 8 £ x ½ ¨ ¸ Ð & ñ o
÷
& H כ Ü ¼ Ð z ¤ . z ´ : r \ " f 8 £ ¤& ñ ) a F g < Æ& h \ - t
{ ç ß É r 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} \ @ / # H 1.65 eV s
% 3 ¦, 300
◦C \ P % o ô Ç r « Ñ\ @ / # H 1.52 eV Ð \ P
%
o : r ¸ 7 £ x < Ê\ y è % i . F g Ä »l ~ ½ Ó : £ ¤
$ í
z ´+ « >Ü ¼ РÒ' 7 £ x Ã Ì ) a β-In
2Se
3~ Ã Ì} \ @ / # H
³
ðÀ Ós % 3 Ü ¼ 9, 300
◦C \ P % o ô Ç r « Ñ\ @ / # H ª / B N ³ ð À
Ós % 3 . ¢ ¸ô Ç s 1 l x ¸, î r ì ø Í 0 l x ¸ Õ ªo ¦ Å Ò' r ç
ß ` ¦ > í ß ½ + É Ã º e % 3 Ü ¼ 9, Õ ª ° ú כ É r y y µ
e∼ 4.8 × 10
−2cm
2/Vs ü < µ
h∼ 8.1 × 10
−2cm
2/Vs, ∼2.37×10
18/cm
3ü <
∼ 2.43 × 10
16/cm
3Õ ªo ¦ 42 µsü < 24 µs Ð > í ß ÷ &% 3 .
Y
c p w à U Ø ô
[1] A. Aruchamy, Photoelectrochemistry and Photo-
voltaics of Layered Semiconductors (Kluwer, Dor-
drecht, 1992).
[2] S. Marsillac, J. C. Bernede, R. Le Ny and A. Conan, Vacuum 46, 1315 (1995).
[3] T. Ohtsuka, K. Nakanishi, T. Okamoto, A. Yamada, M. Konagai and U. Jahn, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 509 (2001).
[4] M. Emziane, S. Marsillac, J. Querfelli, J. C. Bernede and R. Le Ny, Vacuum 48, 871 (1997).
[5] A. J. McEvoy, A. Parkes, K. Solt and R. Buchseli, Thin Solid Films 65, L5 (1980).
[6] A. Segura, J. P. Guesdon, J. M. Besson and A.
Chevy, J. Appl. Phys. 54, 876 (1983).
[7] T. Matsushita, T. T. Nang, M. Okuda, A. Suzuki and S. Yokota, Jpn. J. Appl. Phys. 15, 901 (1976).
[8] J. Martinez-Pastor, A. Segura, C. Julien and A.
Chevy, Phys. Rev. B 46, 4607 (1992).
[9] M. A. Kenawry, A. F. El-Shazly, M. A. Afifi, H. A.
Zyed and H. A. El-Zahid, Thin Solid Films 200, 203 (1991).
[10] M. Balkanski, P. Gomes and R. F. Wallis, Phys.
Status Solidi B 175, 194 (1996).
[11] H. Hahn and W. Klinger, Z. Anorg. Chem. 260, 97 (1949).
[12] C. De Blasi, G. Micocci, A. Rizzo and A. Tepore, Phys. Rev. B 27, 2429(1983).
[13] J. Rigoult, A. Rimsky and A. Kuhn, Acta Crystal- logr. B 36, 916 (1980).
[14] Y. Hasegawa and Y. Abe, Phys. Status Solidi A 70, 615 (1982).
[15] V. L. Bakumenko, Z. D. Kovalyuk, L. N. Kurbatov, V. G. Tagaev and V. F. Chishko, Sov. Phys. Semi- cond. 14, 661 (1980).
[16] T. V. Aver’yanova, V. L. Bakumenko, L. N. Kur- batov, V. G. Tagaev and V. F. Chishko, Sov. Phys.
Semicond. 14, 932 (1980).
[17] G. Gordillo, L. M. Caicedo, G. Cediel, F. Landaza- bal and J. W. Sandino, Phys. Status Solidi B 220, 269 (2000).
[18] K. Kushiya, S. Kuriyagawa, T. Nii, T. Kase, M. Sato
and H. Takeshita, Proceedings 13th Europ. PSEC, edited by H. S. Stephens et al., (Nice, 1995), p. 2016.
[19] L. C. Olsen, F. W. Addis and D. A. Huber, Proceed- ings 23rd IEEE PVSC (Louisville, 1993), p. 603.
[20] Y. Otake, K. Kushiya, A. Yamada and M. Konagai, Jpn. J. Appl. Phys. 34, 5949 (1995).
[21] T. Okamoto, A. Yamada and M. Konagai, J. Cryst.
Grow. 175/176, 1045 (1995).
[22] J. J. Lee, J. D. Lee, B. Y. Ahn, H. S. Kim and K.
H. Kim, J. Korean Phys. Soc. in press (2008).
[23] H. Tung Li, J. Appl. Phys. 34, 1730 (1963).
[24] I. P. Batra and H. Seki, J. Appl. Phys. 42, 1124 (1971).
[25] C. S. Yang, Y. S. Park, K. H. Kim, J. J. Lee, M. S.
Jin, H. L. Park and W. T. Kim, SAEMULLI (New Phys.) 42, 49 (2001).
[26] S. Marsillac, J. C. Bernede and A. conan, J. Mater.
Sci. 31, 581 (1996).
[27] B. D. Cullity, Elements of X-ray Diffraction 2nd ed.
(Addison-Wesley Publishing Company, Inc., New York, 1978), Chap. 4, p. 107.
[28] JCPDS-International Centre for Diffraction Data, No. 23-0294, 2000.
[29] J. I. Pankove, Optical Processes in Semiconductors (Dover, New York, 1971), Chap. 1-3.
[30] M. Emziane and R. Le Ny, J. Phys. D; Appl. Phys.
32, 1319 (1999).
[31] R. Poerschke, Data in Science and Technology (Springer-Verlag, Berlin, 1992).
[32] D. Manno, G. Micocci, G. Rella, R. Siciliano and A.
Tepore, Vacuum 46, 997 (1995).
[33] C. Manfredotti, A. Rizzo, L. Vasanelli, S. Galassini and L. Rugieri, J. Appl. Phys. 44, 5463 (1973).
[34] I. P. Batra and H. Seki, J. Appl. Phys. 41, 3409 (1970).
[35] M. Persin, A. Persin, B. Celustka and B. Ettinger,
Thin Solid Films 11, 153(1972).
Growth and Physical Properties of β-In 2 Se 3 Thin Films
Jeoung Ju Lee,
∗Jong Duk Lee, Byeong Yeol Ahn, Hyeon Soo Kim and Kun Ho Kim Department of Physics and RINS, Gyeongsang National University, Jinju
(Received 9 November 2007, in final form 3 January 2008)
β-In
2Se
3films were prepared on indium-tin-oxide (ITO)-coated glass substrates by using thermal evaporation. The crystallization was achieved by annealing the as-deposited films in flowing nitro- gen. X-ray diffraction spectra showed that the crystal structure of the β-In
2Se
3films was that of a hexagonal metal chalcogenide with lattice constants a=7.1 ˚ A and c=19.25 ˚ A and that the crystals were preferentially grown with a (0 0 6) orientation. From the scanning electron microscope images, the β-In
2Se
3films were textured, and the grain size decreased with increasing annealing tempera- ture. The optical energy band gap, measured at room temperature, of the as-deposited β-In
2Se
3film was 1.65 eV and decreased to about 1.52 eV upon annealing in flowing nitrogen at temperatures from 100
◦C to 400
◦C. The dynamical behavior of the charged carriers in the β-In
2Se
3film was investigated by using photoinduced discharge characteristics (PIDC) techniques.
PACS numbers: 68.55.-a, 78.20.-e
Keywords: β-In
2Se
3film, Annealing effect, Optical band gap, PIDC
∗