x ¢ Œ º • «U c lT c l8 ý ° Ë Ñö n ÚV R Ë õ m Í ° Ë Ñ V R Ë

x ¢ Œ º   • «U c lT c l8 ý ° Ë Ñö n ÚV R Ë õ m Í ° Ë Ñ V R Ë

T * å Ù • v ^∗ ·  ™ ». > 9 

ô 

ǀ ª œ@ /† < Ɠ § Ó ü t o † < Æõ , " fÖ  ¦ 133-791

T

® £Š ~ x

ñ" f@ /† < Ɠ § Ó ü t o † < Æõ , …  ;î ß – 336-795

Y. V. Kudryavtsev

Institute of Metal Physics, National Academy of Sciences of Ukraine,

252680, Kiev-142, Ukraine (2005¸   6 Z 4 11{ 9  ~ Ã Î6 £ §)

" é ¶¼ # F  g ì  rF  gZ O (spectroscopic ellipsometry) x 9  F  g  $ í (magneto- optical) ì  rF  gZ O `  ¦ s 6   x # Œ à º

” ¸p '  ¿ ºa _ 
” ¸½ ¨› ¸  8 £ x~ à Ì} Œ •\  @ /ô  Ç Ó ü t o & h  : £ ¤$ í `  ¦ ƒ  ½ ¨ % i  .  8 £ x~ à Ì} Œ •\  @ /ô  Ç F  gÓ ü t$ í x 9  F 

g  $ í _  z  ´+ « >& h    õ   H  € ª œô  Ç ½ ¨› ¸\  ¦ & ñ ô  Ç „  í ß –— ¸    õ [ þ t õ  q “ § # Œ ì  r$ 3  % i  . s  Qô  Ç ] X 



 H~ ½ ÓZ O “ É r  B) F K5 Å q õ  3d-…  ;s F K5 Å q (transition metal : TM) Ü ¼– Ð s À Ò# Q”    8 £ x~ à Ì} Œ • > €  _  : £ ¤ s ô  Ç F 

g  $ í \  @ /ô  Ç ƒ  ½ ¨\  Ä »6   x >   6   x| ¨ c à º e ”  . ¢ ¸ô  Ç  6   x ) a ì  rF  g† < Æ& h  ~ ½ ÓZ O “ É r 3d-TM/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •\ 

"

f s “ : r‚   (ion beam) % ƒo Z O s 
 \ P % ƒo \  _ ô  Ç “ ¦^ ‰ © œI _  ì ø Í6 £ x`  ¦ ƒ  ½ ¨† < Ê\  e ” # Q Z  }“ É r 8 £ ¤& ñ y Œ ™• ¸\  ¦

 Í Ç rs  7 £ x" î ÷ &% 3  . > €  \ " f  µ 1 Ï& h Ü ¼– Ð + þ A$ í ÷ & 
  € ª œô  Ç % ƒo Z O Ü ¼– Ð + þ A$ í  ) a  € ª œô  Ç silicide_  F 

gÓ ü t$ í `  ¦ z  ´+ « >& h    õ ü < ] j{ 9 " é ¶ o  > í ß –õ  q “ § # Œ ì  r$ 3  % i  .

PACS numbers: 75.70.-i, 78.20.Bh, 78.20.Ls, 78.66.-w, 61.80.Jh, 68.35.Ct Keywords:  $ í ~ à Ì} Œ •, „  í ß –— ¸ , F  g  $ í , F  gÓ ü t$ í , s “ : r › ¸  ´ òõ , > €  ½ ¨› ¸

I. " e  ] Ø

þ

j  H y © œ $ í ^ ‰ü < q  $ í ^ ‰ “ §@ /– Ð 8 £ x`  ¦ s À ҍ  H “   /

B

N& h “    $ í  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f D h\  v “ ¦ < É ª p – Ðî  r Ó ü t o & h  ‰ & ³ © œ (oscillating interlayer exchange coupling,  @ / l $ † ½ Ó, D

h– Ðî  r F  g  $ í ‰ & ³ © œ[ þ t, quantum size effect)[ þ t s  µ 1 Ï| H † d Ü

¼– Ð s  ì  r  \  @ /ô  Ç  Ö ¸µ 1 Ïô  Ç ƒ  ½ ¨[ þ t s  ”  ' Ÿ ÷ &“ ¦ e ”  .



B) F K5 Å q (noble metal : NM) õ  y © œ $ í 3d-…  ;s F K5 Å q (transition metal : TM) ( ŠҖ Ð Co ü < Fe)Ü ¼– Ð s À Ò# Q”  



8 £ x~ à Ì} Œ •_  8 £ xç ß –\ " f : £ ¤& ñ % ò % i “ É r  ü @‚   % ò % i  Â Ò   H \ 

"

f y © œô  Ç F  g  $ í ì ø Í6 £ x`  ¦ µ 1 ÏÒ q t† < ÊÜ ¼– Ð+ ‹ z  ´| 9 & h “   $  © œB 

^

‰– Ð_  6 £ x6   x 0 p x$ í `  ¦ ˜ Ð# Œï  r  . Co/Pt [1–6]ü < Fe/Au [7–13]  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f_  F  g  $ í “ É r z  ´+ « > x 9  s  : r& h Ü ¼– Ð ´ ú § s

 ƒ  ½ ¨÷ &# Q M ® o  . z  ´+ « >& h Ü ¼– Ð ƒ  ½ ¨  ) a : £ ¤ s ô  Ç F  g  $ í ì ø Í 6

£

x“ É r Pt(Au) ü < Co(Fe)" é ¶    s _  f ” ] X & h “   C • ¸ ™ D ¥$ í

 o\ " f l “     H  כ Ü ¼– Ð Æ Ò& ñ  ) a  :  $ í ^ ‰“   Fe(Co)" é ¶

∗

E-mail: [email protected]



_  Û ¼— 2 ;  l  o  H q  $ í Pt(Au)" é ¶  [ þ t – Ð `  …  t “ ¦ Pt(Au)_  y © œô  Ç Û ¼— 2 ;-C • ¸   ½ + ˓ É r Fe(Co)" é ¶  \ >  „  ² ú ˜

 )

a   [14]. Õ ªX O t ë ß – s ü < › ' aº   ) a ~ ½ Ó@ /ô  Ç ƒ  ½ ¨  õ [ þ t õ 

“  $ í ^ ‰” Pt_  F  g  $ í `  ¦ ½ ©& ñ  9Ù þ ¡~   Y > Y > _  ƒ  ½ ¨  õ  [

þ

t \ " f• ¸ (\ V\  ¦ [ þ t # Q Satoü < / B N1 l xƒ  ½ ¨ [ þ t \  _ K  à º' Ÿ 

÷

&# Q”   Fe _x Pt _{1 −x} ½ + ËF K [15]_  F  g  $ í ì  rF  g ì  r$ 3    õ ) “í  H Ã

ºô  Ç” Û ¼— 2 ;-ì  rF G o ) a Pt ü < Au 8 £ x \  @ /K " f  H  f ”  ½ ©" î

÷

&t  · ú §€ Œ ¤ .

F 

g  $ í z  ´+ « >  õ _  & ñ S X ‰ô  Ç K $ 3 `  ¦ 0 AK " f  H z  ´] j   8

£

x~ à Ì} Œ •_  ½ ¨› ¸ ¸ ú ˜ · ú ˜ 94 R e ” # Q  “ ¦ Co/Pt  8 £ x~ Ã Ì }

Œ

•_  F  g  $ í z  ´+ « >  õ \  ¦ ì  r$ 3  l  0 Aô  Ç s  : r& h  > í ß –“ É r

>

€  % ò % i \  @ /ô  Ç “ ¦ 9 \ O s   H $ í / B N½ + É Ã º \ O  . z  ´+ « >& h “  

 

õ ü < Kerr  r„   Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 Ü ¼– Ð — ¸4 S qa A ) a   õ   s _ 

#

Q‹ "  € ª œ& h  { 9 u \  @ /K " f, Wellerü < Õ ª_  / B N1 l xƒ  ½ ¨ [ þ t [1]“ É r Co/Pt  8 £ x~ à Ì} Œ •\  @ /K " f í  H à º Ó ü t| 9 [ þ t  s _  > 

€ 

% ò % i `  ¦ “ ¦ 9ô  Ç — ¸4 S q\ " f „   l   ~ ½ Ó& ñ d ” `  ¦ É Ò  H  כ Ü

¼– Ð [ O " î ½ + É Ã º e ” % 3  . Õ ª Q
 Ä » ô  Ç ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð ] X   Hô  Ç

Co/Pt  8 £ x~ à Ì} Œ •_   â Ä º\   H  Ò& h ] X ô  Ç { 9 § 4   « і Ð “   

-347-

#

Œ  Òì  r& h Ü ¼– Ð z  ´J  % i  . z  ´+ « >& h    õ ü < „  í ß –— ¸     õ

  s \ " f Ô  ¦{ 9 u _  " é ¶ “  “ É r   & ñ ½ ¨› ¸\  @ /ô  Ç Ô  ¦Ø  æì  r ô 

Ç — ¸4 S qa Aõ  ½ ¨$ í “ ¦ e ”   H 8 £ x \  z  ´] j Ó ü t| 9 õ   H   É r  Ò

&

h

] X ô  Ç F  gÓ ü t$ í , F  g  $ í  © œÃ º\  ¦  6   x† < ÊÜ ¼– Ð+ ‹ Ò q tU  ´ à º e ” 



.

B

| 9 _  F  g  $ í ì ø Í6 £ x“ É r F  gÓ ü t$ í õ  › ' a > e ”   H Ä »„  † < Ê Ã

º(dielectric fuction)_  @ /y Œ • $ í ì  r \  _ K " f ÷  rë ß –  m 



 F  g  $ í õ  › ' a > e ”   H Ä »„  † < Êà º_  q @ /y Œ • $ í ì  r \  _ K 

"

f• ¸   & ñ ÷ &# Q”     H  כ “ É r s p  ¸ ú ˜ · ú ˜ 94 R e ”  . Õ ª Q
 Co/Pt ü < Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f  H s  Qô  Ç F  gÓ ü t$ í \  @ /K 

"

f ´ ú §“ É r ƒ  ½ ¨ ”  ' Ÿ ÷ &t  · ú §€ Œ ¤Ü ¼ 9, Co/Ptü < Fe/Au   8

£

x~ à Ì} Œ • “ ¦ › ' aº   ) a Y > Y > _  µ 1 ϳ ð  õ \ " fë ß – ƒ  / å L ÷ &% 3   [5,13,15]. 1 l x r \  Fe/Au 8 £ x ½ ¨› ¸\ " f_  : £ ¤ s ô  Ç F  g  $ í \ 

@

/K " f Suzuki 1 p x \  _ K " f ¢ ¸   É r [ O " î s  ] jî ß –÷ &% 3  :

D

h– Ðî  r F  g  $ í f  ¨ à º  H B Ä º · û ª“ É r Fe 0 A8 £ x \ " f_  € ª œ  Ä

ºÓ ü t © œI _  + þ AI  M :ë  H \ 
 è ß –  [16]. Õ ªX O  €   s  Q ô 

Ç € ª œ Ä ºÓ ü t © œI _  + þ AI   H Fe/Au  8 £ x~ à Ì~ à Ì_  F  gÓ ü t$ í \ 

"

f• ¸ ³ ð‰ & ³÷ &# Q  ô  Ç .

3d-TM_  silicide  H ± ú “ É r $ † ½ Ó, a % ~“ É r \ P & h  î ß –& ñ $ í õ  Si l ó ø Í\ " f_   Œ •“ É r + 'd  ¦a Ë > M :ë  H \  œ í“ ¦| 9 & h ™ è (very- large-scale-integrated-device)_  Interconnectors, Gates, x 9

 Source contact[ þ t – Ð ´ ú §“ É r y Œ •F  g`  ¦ ~ à Î  M ® o  . Õ ª QÙ ¼– Ð ì

ø ͕ ¸^ ‰ F « Ñ\ " f silicide`  ¦ $ í  © œr v   H 0 p x§ 4 “ É r Ë ¨ï  r y  µ 1 Ï

„ 

r &   ½ + É ×  æ כ ¹ô  Ç @ / © œs  . { 9 ì ø Í& h Ü ¼– Ð 3d-TM sili- cide ~ à Ì} Œ •“ É r { 9 ì ø Í& h Ü ¼– Ð \ P % ƒo Ê ê_  Si l ó ø Í0 A\  evapo- ration ¢ ¸  H sputtering ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð 3d-TM`  ¦ 7 £ x‚ Ã Ì # Œ ] j

›

¸ô  Ç . \ P % i † < Æ& h  › ' a& h \ " f, 3d-TM silicide_  + þ A$ í “ É r \ P 

&

h Ü ¼– Ð î ß –& ñ  ) a þ j7 á x   õ Ó ü t s  Ò q tU  ´ M : t _  “ ¦^ ‰ © œI  ì

ø Í6 £ x`  ¦ : Ÿ x K " f > _   Ä »\  -t  y Œ ™™ èô  Ç   õ s  .

·

ú ¡\ " f ] jr ô  Ç  â Ä ºü < q “ § # Œ “D h– Ðî  r” ‰ & ³ © œ“ É r 3d- TM/Si  8 £ x~ à Ì} Œ • ½ ¨› ¸\ " f › ' a¹ 1 Ï| ¨ c à º e ”   : D h– Ðî  r { 9 › ' a

 )

a  © œ_  Ø  ¦‰ & ³,  © œ¨ î + þ A• ¸ [17]\ " f S X ‰ “  ÷ &t  · ú §  H ï  rî ß –& ñ



© œ[ þ t_  + þ A$ í , F Gé ß –& h Ü ¼– Ð   É r $ í  © œ(; Ÿ ¤µ 1 Ï& h “   ì ø Í6 £ x) [18],

 

& ñ > €  8 £ x[ þ t  s _  ì ø Í6 £ x \  _ ô  Ç q & ñ | 9   s 8 £ x[ þ t_  + þ

A$ í [19]. 3d-TM(\ V\  ¦ [ þ t€   Ni, Co Õ ªo “ ¦ Fe)õ  Si l ó ø Í Õ

ªo “ ¦ 3d-TM/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •  s \ " f \ P % ƒo    H 1 l xî ß –

\

 µ 1 ÏÒ q t   H “ ¦^ ‰ © œI  ì ø Í6 £ x“ É r | 9 ×  æ& h Ü ¼– Ð ƒ  ½ ¨÷ &# Q M ® o



 [18,20,22–27].  © œ + þ A$ í “ É r “ : r • ¸÷  rë ß –  m   œ íl 8 £ x ½ ¨

›

¸, 8 £ x_  ¿ ºa , „  ^ ‰& h “    o† < Æ| ¾ Ó ° ú  “ É r ´ ú §“ É r כ ¹™ è\  _ ” > r

  H  כ Ü ¼– Ð ˜ Г ¦ ÷ &“ ¦ e ”  .

Ion-beam mixing (IBM)_  s 6   x“ É r silicide + þ A$ í `  ¦ 0 Aô  Ç Æ

Ò& h “   „  } © œ[ þ t`  ¦ ] jr Ù þ ¡  : silicide + þ A$ í “ É r „  + þ A& h “  

¨ î

+ þ Al Õ ü t \  _ K  $ í 2 [| ¨ c à º \ O   H X < IBM“ É r y © œ >  { 9   ô 

Ç s “ : r \  _ K  s Ö  ©ô  Ç 8 £ x[ þ t  s _   © œ  ñ Œ •6   x Ü ¼– Ð q ¨ î + þ

A › ¸| `  ¦ s Ò  ¦ à º e ”  . s  כ “ É r silicide_  $ í  © œ`  ¦ Ä »t 

l  0 AK " f  H > €    © œ  ñ Œ •6   x`  ¦  Ö ¸$ í r v   H \  -t ÷  rë ß –



m   S X ‰í ß – Œ •6   x • ¸ € 9 כ ¹    H  כ `  ¦ ? /Ÿ í “ ¦ e ” Ü ¼ 9, Si l ó ø Í 0 A\  7 £ x‚ à ̝ ) a 3d-TM ~ à Ì} Œ •s  s “ : rc ”  › ¸ \  _ K 



€ ª œô  Ç ½ ¨› ¸\  ¦ | 9  à º e ”  “ ¦ · ú ˜ 94 R e ”   [28–34].

Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f y © œô  Ç ì ø Íy © œ $ í s    ½ + Ës  µ 1 Ï|  ) a s

Ê ê– Ð > €   ½ ¨› ¸_    õ Ó ü t – Ð Ò q tl   H Fe 8 £ x õ  > €    s  _

 ì ø Í6 £ x + þ A$ í “ É r < É ª p – Ðî  r ƒ  ½ ¨_  @ / © œÜ ¼– Ð ˜ Г    [35–

43]. Õ ªX O t ë ß – Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •_  > €  % ò % i \ " f_  ½ ¨› ¸ ü

<  o† < Æ| ¾ Ó ƒ  ½ ¨\  ¦ 0 Aô  Ç  € ª œô  Ç z  ´+ « >& h  • ¸½ ¨[ þ t[soft-x-ray fluorescence, near-edge x-ray-absorption fine-structure spectroscopy [42], x-‚    r] X fuller3, low energy electron diffraction, Auger electron spectroscopy [41, 43] Õ ªo “ ¦ cross-sectional transmission electron microscopy obser- vations [37]]_  s 6   x \ • ¸ Ô  ¦ ½ ¨ “ ¦, Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f



µ 1 Ï& h Ü ¼– Ð + þ A$ í  ) a > €  8 £ x_  : £ ¤$ í “ É r  f ” • ¸    : r s  ? /

94 R e ” t  · ú § .

IBM 1 l xî ß –_  7 £ x‚ Ã Ì ì ø Í6 £ x x 9  “ ¦^ ‰ © œI  ì ø Í6 £ x“ É r effective- heat-of formation — ¸4 S q– Ð  © œ + þ A$ í õ   © œ ì  r K _    õ [ þ t

–

Ð \ V| | ¨ c à º e ”   [44]. Õ ªo “ ¦ z  ´] j “8 £ x Ü ¼– Ð  ) a ½ ¨

›

¸_  > €   % ò % i \ " f “ ¦^ ‰ © œI  ì ø Í6 £ x_  Ò q t$ í Ó ü t – Ð Á º% Á s 

 
 ’ x  H ?”   H | 9 ë  H \  @ /ô  Ç K ² ú š`  ¦ ¹ 1 Ôl  0 AK " f



 H Ù þ ˜ l  / B N" î (nuclear magnetic resonance), ù &Û ¼ Ä º

#

Q(M¨ossbauer) ì  rF  g, ¢ ¸  H ³ ðï  r ½ ¨› ¸ì  r$ 3  ~ ½ ÓZ O “   X-‚  



r] X  x 9  transmission-electron microscopyü < ° ú  “ É r ² D G ™ è

&

h “   ¨ 8 Š â \    y Œ ™ô  Ç z  ´+ « >  © œq [ þ t s   6   x ÷ &# Q  ô  Ç . Õ ª X O

t ë ß – s  Qô  Ç ² D G ™ è& h “   ~ ½ ÓZ O [ þ t ×  æ # Q‹ "   כ “ É r : £ ¤& ñ ½ ¨ 5

Å

q › ¸| (\ V\  ¦ [ þ t€  , Ù þ ˜ l  / B N" î \ " f Ù þ ˜  l — ¸F ' pà Ô_  ” > r F

.)`  ¦ t “ ¦ e ” `  ¦ à º e ” # Q" f — ¸Ž  H > \ " f s 6   x| ¨ c à º  H

\ O

 .

F

K5 Å q_  F  gÓ ü t$ í x 9  F  g  $ í “ É r „   \  -t  ½ ¨› ¸\  y © œ 

>

 _ ” > r “ ¦ e ”   H " é ¶  ü < magnetic order “ ¦ x 9 ] X  > 

ƒ 

› ' a ÷ &# Q e ”  . 3d-TM/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f  µ 1 Ï& h , \ P & h  <  Ê

“

É r IBM \  _ K " f 3d-TMõ  Si l ó ø Í  s _  ì ø Í6 £ x% ò % i \ 

"

f  H inter-diffusion Ü ¼– Ð “  K  " é ¶   C \ P  x 9   o† < Æ& h  : £ ¤$ í

`

 ¦    o÷ &“ ¦ ¢ ¸ô  Ç 3d-TM 8 £ x_  ¿ ºa   H y Œ ™™ è  ) a  . r  F  g

‚ 

 % ò % i \ " f F K5 Å q @ / Òì  r_  skin-penetration U  ·s   H @ /

|

Ä Ì 20 - 30
” ¸p ' s  9,   ² D G s  כ “ É r F  gÓ ü t$ í `  ¦ s 6   x 

€ 

 > h> h 8 £ x_  ¿ ºa  Y > 
” ¸p ' “    8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f 8 £ x_ 

´ ú

§“ É r & ñ ˜ Ð\  ¦ % 3 `  ¦ à º e ”    H  כ s  .

ì

ø Í6 £ x ) a  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f_  z  ´] j ½ ¨› ¸ü <  l & h  : £ ¤$ í “ É r F  g Ó

ü

t$ í x 9  F  g  $ í _  z  ´+ « >  õ ü < 8 £ x`  ¦ s À ҍ  H : £ ¤$ í x 9  8 £ x ½ ¨

›

¸ — ¸4 S q`  ¦ l ‘ : r Ü ¼– Ð   H „  í ß –— ¸ ü <_  q “ §\  _ K " f S X

‰ “  ½ + É Ã º e ”  . 7 £ ¤ s  כ “ É r Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f ì ø Íy © œ $ í

 

½ + Ës  s À Ò# Q”   > €  % ò % i _  : £ ¤$ í õ   o† < Æ| ¾ Ó\  @ /ô  Ç ƒ  

½

¨÷  rë ß –  m  , 3d-TM/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f “ ¦^ ‰ © œI  ì ø Í6 £ x

Table 1. The parameters of the investigated 3d-TM/NM multilayered film.

Sample Nominal No. Top Buffer Nominal

No. MLF of layer layer Substrate overall MLF

formula bilayers (nm) composition

1 3.8 nm Co/1.34 nm Pt 50 Pt - glass Co

Pt

2 4.6 nm Co/1.36 nm Pt 50 Pt - glass Co

Pt

3 0.7 nm Co/1.25 nm Pt 44 Pt - glass Co

Pt

4 0.9 nm Co/1.44 nm Pt 40 Pt - glass Co

Pt

5 1.9 nm Co/1.43 nm Pt 33 Pt - glass Co

Pt

6 3.0 nm Fe/1.0 nm Au 20 Au Au, 20 glass Fe

Au

7 3.0 nm Fe/2.0 nm Au 20 Au Au, 20 glass Fe

Au

8 3.0 nm Fe/2.5 nm Au 20 Au Au, 20 glass Fe

Au

9 3.0 nm Fe/3.0 nm Au 20 Au Au, 20 glass Fe

Au

Table 2. The parameters of the investigated 3d-TM/NM multilayered film.

Sample Nominal Nominal overall No. Top Substrate Ion-beam Heat

No. MLF’s MLF of bilayer layer treatment treatment at

formula stoichiometry repetitions (K)

10 3.0 nm Ni/2.69 nm Si Ni

Si

40 Ni Si + - 11 3.0 nm Ni/5.37 nm Si Ni

Si

50 Ni Si + 473, 673, 1073 12 3.0 nm Ni/10.7 nm Si Ni

Si

22 Ni Si + 473, 673, 1073 13 3.0 nm Co/10.6 nm Si Co

Si

20 Co Si - 673, 873, 973, 1073 14 3.0 nm Fe/1.0 nm Si Fe

Si

50 Fe glass - -

15 3.0 nm Fe/1.3 nm Si Fe

Si

50 Fe glass - - 16 3.0 nm Fe/1.5 nm Si Fe

Si

50 Fe glass - - 17 3.0 nm Fe/1.8 nm Si Fe

Si

50 Fe glass - - 18 3.0 nm Fe/2.0 nm Si Fe

Si

50 Fe glass + 773 19 3.0 nm Fe/2.2 nm Si Fe

Si

50 Fe glass + - 20 0.3 nm Fe/0.5 nm Si Fe

Si

120 Fe glass - 668, 748, 850

`

 ¦ { 9 Ü ¼v   H \ P & h ì ø Í6 £ x <  ʓ É r IBM Õ ªo “ ¦  µ 1 Ïì ø Í6 £ x \  › ' a º 

 ) a ƒ  ½ ¨ü < 3d-TM/NM  8 £ x~ à Ì} Œ •_  F  g  $ í _  in situ ƒ  

½

¨\  ¦ 0 AK " f q ] X 8 ú ¤, q  õ & h “    " é ¶¼ # F  g ì  rF  gZ O  x 9  F  g



$ í ì  rF  gZ O s  Ä »6   x >   6   x| ¨ c à º e ” 6 £ §`  ¦ ˜ Ð# ŒÅ ғ ¦ e ” 



.

II. ÷ m Ç] M ö õ m Í  ¹ ō ˜ m{ ¢  : g” ¼ ]  § ô p §

1. ÷ m Ç] M öÊ ÝX N Ë

3d-TM/NM õ  3d-TM/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •_  „  ^ ‰ nominal  o

† <

Æ| ¾ Ó_  s , > h> h 8 £ x_  ¿ ºa  x 9  ì ø Í4 Ÿ ¤ ÷ &  H bilayer_  à º  H ( Ž

É Ó' \  _ K  ] j# Q÷ &  H ¿ ºŠ © œ_  target`  ¦ s 6   xô  Ç face- to-face sputtering ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð  © œ“ : r \ " f Ä »o l ó ø Íõ  é ß –  

&

ñ Si-waferl ó ø Í 0 A\  7 £ x‚ Ã Ì # Œ ] j Œ •Ù þ ¡ . 7 £ x‚ à ÌÕ þ ›! Q_  l 

‘

: r ”  / B N • ¸  H 1 × 10 ⁻⁶ torr s “ ¦, 7 £ x‚ à Ìr  Ar Û ¼\  ¦ s 6   x

# Œ Õ þ ›! Q? /_  ”  / B N • ¸  H 5 × 10 ⁻⁴ torr`  ¦  Å t  · ú §>  Ä » t

 % i “ ¦, 7 £ x‚ à ÌÖ  ¦“ É r @ /| Ä Ì 0.1 nm/ss  . Table 1õ  2  H ]

j Œ • ) a  8 £ x~ à Ì} Œ •_  7 £ x‚ à ̛ ¸|  x 9  : £ ¤$ í `  ¦
  · p  כ s  .

F 

gÓ ü t$ í „  í ß –— ¸ \  ¦ 0 AK " f  H  8 £ x~ à Ì} Œ •`  ¦ ½ ¨$ í “ ¦ e ” 



 H 8 £ x_  F  gÓ ü t$ í x 9  F  g  $ í \  @ /ô  Ç { 9 § 4  > à º € 9 כ ¹ 



.   " f í  H à º NM_  ~ à Ì} Œ • x 9  bulk r « Ñ, 3d-TM,   _

 equiatomic  © œI _  3d-TM/NM ½ + ËF K x 9   € ª œô  Ç 3d- TM silicide ~ à Ì} Œ •\  @ /K  Æ Ò& h Ü ¼– Ð ~ à Ì} Œ • ] j› ¸r ü < Ä »



ô  Ç 7 £ x‚ à ̛ ¸| Ü ¼– Ð ] j› ¸ % i “ ¦, y Œ •y Œ •_  Ä »„  † < Êà º\  ¦   

&

ñ % i  . 3d-TM silicide ~ à Ì} Œ •“ É r \ P  x 9  Í ‰ ty Œ • ) a l ó ø Í 0 A

\

 flash evaporation ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð 7 £ x‚ Ã Ì # Œ y Œ •y Œ •\  @ /K    

&

ñ  © œI  x 9  q & ñ | 9   © œI – Ð r « Ñ\  ¦ ] j Œ • % i  .

]

j› ¸  ) a  8 £ x~ à Ì} Œ •õ  ~ à Ì} Œ • r « Ñ_  ½ ¨› ¸& h “   : £ ¤$ í “ É r Cu- Kα ü < Co-Kα ³ ð& h `  ¦  6   x # Œ Θ - 2Θ high-angle x-‚  



r] X (HAXRD)õ  low-angle x-‚    r] X (LAXRD)`  ¦ s 6   x

# Œ 8 £ ¤& ñ % i  .

r

« Ñ_  F  gÓ ü t$ í (4 Ÿ ¤ ™ è Ï ã J] X Ö  ¦, ˜ N = n - i k _  z  ´Ã ºÂ Òü < ) ‡ Ã

ºÂ Ò)“ É r  © œ“ : r \ " f polarimetric Beattie technique [45]`  ¦ s

6   x # Œ { 9  y Œ •“ É r 73 ^◦ – Ð “ ¦& ñ r v “ ¦ 260 - 1130 nm (4.7 - 1.1 eV)_  # 3 0 A\ " f 8 £ ¤& ñ % i  .

8

£

¤& ñ  ) a n õ  k° ú כ“ É r Ä »„  † < Êà º(DF) ε e xx = ε e yy = ε e zz = ε 1 - i ε 2 _  _ K  % 3 # Q”   @ /y Œ •$ í ì  r_  z  ´Ã ºÂ Ò(ε ¹ ) ü < ) ‡Ã º Â

Ò(ε 2 )_  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3  _ ” > r • ¸\  ¦ > í ß – l  0 AK   6   x ÷ &% 3 “ ¦, F 

gÓ ü t$ í „  • ¸• ¸  H ε 1 = n ² - k ² , ε ₂ = 2nk, ü < σ(~ω) = ε 2 ω/4π ü < ° ú  “ É r ³ ð‰ & ³`  ¦  6   x   H  כ Ü ¼– Ð
 è ­ q à º e ” “ ¦,

#

Œl " f ω  H y n C_  y Œ •”  1 l x à ºs  . F  g  $ í equatorial Kerr effect (EKE)  H AC Ÿ í o   © œ\ " f dynamical method\  ¦ s

6   x # Œ 260 - 1130 nm (4.7 - 1.1 eV)_  % ò % i \ " f p-¨ î €   Ü

¼– Ð ¼ # F  g ) a y n C_  ¿ º { 9  y Œ •(66 x 9  75 ^◦ ) Ü ¼– Ð  © œ“ : r \ " f 8 £ ¤

&

ñ ÷ &% 3  . EKE ° ú כ“ É r, δ p = ∆I/I _o , ì ø Í   ) a y n C_  [ jl    o ü

< › ' a >   ) a  כ Ü ¼– Ð, y n C_  { 9  €  \  @ /K  S ~ ½ ӆ ¾ ÓÜ ¼– Ð ü @ Ò



 © œs  “  ÷ &€   r « Ñ_   $ í s  % ò † ¾ Ó`  ¦ ~ à ΍  H  . r « Ñ\ 

"

f F  gÓ ü t$ í ƒ  ½ ¨ü < ¿ º { 9  y Œ •\ " f_  F  g  $ í 8 £ ¤& ñ _    õ 

\

 ¦  6   x # Œ Ä »„  † < Êà º(e ε _xy = − ε e _yx = i ε e

, ε e

= ε

₁ −iε

2 )_  q

@ /y Œ • $ í ì  r_  z  ´Ã ºÂ Ò(ε

2 ) ü < ) ‡Ã ºÂ Ò(ε

1 )\  ¦ › ¸  # Œ   

&

ñ Ù þ ¡ .



8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f In-plane_    o/ B G‚  “ É r Vibrating Sam- ple Magnetometer(VSM)`  ¦ s 6   x # Œ 8 £ ¤& ñ % i “ ¦,  © œ“ : r x 9

 “ ¦“ : r \ " f_   $ í : £ ¤$ í ƒ  ½ ¨\  ¦ 0 AK  Ferromagnetic Resonance(FMR) ì  rF  gZ O `  ¦ s 6   xÙ þ ¡ .

7

£

x‚ à ̝ ) a 3d-TM/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •_  ½ ¨› ¸& h  Ó ü t o & h  : £ ¤$ í `  ¦

›

¸ ô  Ç Ê ê\ ,  8 £ x~ à Ì} Œ •“ É r “ ¦”  / B N(∼ 1×10 ⁻⁶ Torr ) \ 

"

f Ar ⁺ s “ : r`  ¦ ~ à Ì} Œ •³ ð€  \  @ /K  à ºf ” Ü ¼– Ð { 9  r &  IBM

`

 ¦ Ù þ ¡ .  6 £ § õ  ° ú  “ É r › ¸| Ü ¼– Ð: ion energys  H 80 keV, ion flux  H 1.5 ×10 ⁻⁶ A/cm ² , Õ ªo “ ¦ ion does  H 1.5 ×10 ¹⁶ Ar ⁺ /cm ² s  . ™ D ¥½ + ˝ ) a Ê ê\ • ¸ — ¸Ž  H › ¸   H ì ø Í4 Ÿ ¤ ÷ &% 3  .

Æ

Ò& h Ü ¼– Ð s “ : rc ”  % ƒo ô  Ç 3d-TM/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •×  æ \ " f

?

/ Ò\ " f “ ¦^ ‰ © œI ì ø Í6 £ x`  ¦ { 9 Ü ¼v l  0 AK " f " f– Ð   É r “ : r

•

¸\ " f \ P % ƒo   ) a r « Ñ[ þ t • ¸ e ”  .

2.  ¹ ō ˜ m{ ¢  : g” ¼ ]  § ô p §



€ ª œô  Ç  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f “sharp” (s  © œ& h “  ) > €  s  
 í

 H à º 8 £ x  s _   € ª œô  Ç ¿ ºa \  ¦ ”   “™ D ¥½ + ˝ ) a” (½ + ËF K° ú  

“

É r) > €  s  “ ¦ & ñ “ ¦,  ×  æì ø Í  ë  H ] j\  ¦ K    l  0 A K

 scattering matrix approach [46]\  ¦ s 6   x # Œ Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 

\

" f_  δ p , σ ü < ε 1 \  ¦ s  : r& h  „  í ß –— ¸ – Ð   & ñ Ù þ ¡ . 8 £ x à º, nominal ¿ ºa , F  gÓ ü t$ í x 9  { 9  y Œ •s  „  í ß –— ¸ \ " f_  { 9 § 4 

 

à ºs  .

A/B  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f ™ D ¥½ + ˝ ) a > €  _   â Ä º  H, A \ " f B– Ð … 

;s  €  " f …  ;s  % ò % i õ  ë ß –
>  ÷ &  H X <, equiatomic A-B

% ò

% i \ " f A − richA ^x B 1 −x ½ + ËF K \ " f B − richA ^x B 1 −x ½ + Ë F

K Ü ¼– Ð A ^x B 1 −x ½ + ËF K_  › ¸$ í “ É r & h  & h Ü ¼– Ð  Ÿ ÷ ¶  .

s

 Qô  Ç > €  _  ¿ ºa   H bilayer Å Òl _  ] X ì ø ͘ Ð  9 þ t à º

\ O

“ ¦, @ /> h " é ¶  ç ß –  o “   1 - 2 nm, <  ʓ É r 3 - 7 nm`  ¦  Å  t

 · ú §  H  . equatomic A-B ½ + ËF K_  z  ´] j > €  ½ ¨› ¸\  @ / ô 

Ç s  © œ& h “     H  – Ð A/B  8 £ x~ à Ì} Œ •_  ™ D ¥½ + ˝ ) a > €  \ " f _

 F  gÓ ü t$ í õ  F  g  $ í _  „  í ß –— ¸   H ç ß –é ß –K ”   .



 oÓ ü t| 9 _    o~ ½ ӆ ¾ Ós  z» ¡ ¤ s  
 z» ¡ ¤ Ü ¼– Ð Z  }“ É r @ /g A

$ í

`  ¦ t   H  â Ä º\  4 Ÿ ¤ ™ èÄ »„  † < Êà º  H  6 £ § õ  ° ú  “ É r + þ AI 

\

 ¦ ”   .

ˆ ε =







˜

ε xx ε ˜ xy 0

−˜ ε xy ε ˜ yy 0 0 0 ε ˜ _zz





 , (1)

{ 9

ì ø Í& h Ü ¼– Ð @ /y Œ •õ  q @ /y Œ • $ í ì  r[ þ t“ É r 4 Ÿ ¤ ™ èà ºs  . 4 Ÿ ¤

™

è Voigt   à º[ þ t`  ¦ • ¸{ 9  €   Q = ˜ i˜ ε _xy

˜ ε xx

(2) Õ

ªo “ ¦ é ß –  & ñ Ó ü t| 9 \ " f ˜ ε _xx = ˜ ε _yy = ˜ ε _zz , ˜ ε _xy = i˜ ε _xx Q; ˜ ˜ Q = Q ₁ − iQ 2 ü < ° ú  s  & ñ €  

ˆ ε = ˜ ε _xx







1 −i ˜ Q 0 i ˜ Q 1 0 0 0 1





 . (3)

`

 ¦ % 3   H  .   © œî ß –\ " f  l & h Ü ¼– Ð & ñ § > = ) a B | 9 _  ý a

"

é

¶( −)-" é ¶¼ # F  g õ  Ä º" é ¶ (+)-" é ¶¼ # F  g ) a y n C“ É r  6 £ § õ  ° ú  “ É r 4 Ÿ ¤

™

èÏ ã J] X Ö  ¦ – Ð & ñ _ ½ + É Ã º e ”  .

N ˜ _± ² = ˜ ε xx ± i˜ ε xy = ˜ ε xx (1 ∓ ˜ Q), (4) s

 ³ ð‰ & ³“ É r q  $ í B | 9 \ " f  6 £ § õ  ° ú  s   Ü ã J à º e ”  .

N ˜ ² = ˜ ε _xx = ε ₁ − iε 2 = (n − ik) ² = (n ² − k ² ) + i2nk. (5)

3.   • «U c lT c l8 ý ° Ë Ñö n ÚV R Ë



8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f semi-infinite ambient B | 9 (0)õ  l  ó

ø Í(m + 1) s \  1, 2, 3,...,j, ..., mÜ ¼– Ð ½ ¨$ í  ) a ¨ î ' Ÿ  

“

¦ 1 p x~ ½ Ó& h s  9 ç  H| 9 ô  Ç 8 £ x \  @ /K  Ò q ty Œ •K ˜ Ð . B | 9 õ  l

ó ø Í_  4 Ÿ ¤ ™ èÏ ã J] X Ö  ¦“ É r y Œ •y Œ • N ₀ ü < N _m+1 s  . E ⁺ (z) ü <

E ⁻ (z)  H e ” _ _  ¨ î €   z\ " f · ú ¡Ü ¼– Ð x 9  + '– Ð „   ÷ &  H

„ 

 l  _  4 Ÿ ¤ ™ è”  ; Ÿ ¤ s  “ ¦  .   É r ¨ î €  \ " f E  H z

õ  z

– Ð   + þ A÷ &# Q ƒ    ÷ &# Q  ô  Ç .

E ⁺ (z

) E ⁻ (z

)

!

= S 11 S 12

S 21 S 22

!

× E ⁺ (z

) E ⁻ (z

)

!

, (6)

¢

¸  H d ” (6)`  ¦  6 £ § õ  ° ú  s  ç ß –é ß – > 
 è ­ q à º e ”  .

E(z

) = SE(z

), (7)

#

Œl " f S  H scattering matrix  “ ¦ ô  Ç .

S = S ₁₁ S ₁₂ S 21 S 22

!

. (8)



8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f scattering matrix S  H y Œ •y Œ •_   â > ü < 8 £ x

\

" f reflection matrix[ þ t õ  phase matrix[ þ t_  Y  L_    õ 

–

Ð" f y Œ •y Œ • Iü < F _  ³ ð‰ & ³| ¨ c à º e ”  .

S = I ₀₁ F ₁ I ₁₂ F ₂ ...I _j(j+1) F _j ...I _m(m+1) F _m+1 . (9) reflection matrix \ " f_  I _j(j+1) “ É r j  P :ü < (j + 1)  P :\ 

“

 ] X ô  Ç 8 £ x  s _  ì ø Í \  ¦ ¬ ¹  “ ¦ e ”  .

I _j(j+1) = 1 T _j(j+1)

1 R _j(j+1)

R _j(j+1) 1

!

, (10)

j ü < j + 1  â >   s \ " f_  Fresnel_  ì ø Í  x 9  È Òõ >  Ã

º  H y Œ •y Œ • R _j(j+1) ü < T _j(j+1) “  X <, j  P : 8 £ x \ " f_  4 Ÿ ¤ ™ è Ï

ã

J] X Ö  ¦ \  _ K  p−Polarizationõ  s−Polarizations  > í ß – s

  ) a  . ˜ N _j = n _j − ik j ;

R ^p _j(j+1) =

N ˜ _j ² A ˜ _j+1 − ˜ N _j+1 ² A ˜ _j N ˜ _j ² A ˜ _j+1 + ˜ N _j+1 ² A ˜ _j , T _j(j+1) ^p = 2 ˜ N _j N ˜ _j+1 A ˜ _j+1

N ˜ _j ² A ˜ j+1 + ˜ N _j+1 ² A ˜ j

, (11)

s

“ ¦,

R ^s _j(j+1) =

A ˜ _j+1 − ˜ A _j A ˜ j+1 + ˜ A j

, T _j(j+1) ^s = 2 ˜ A _j+1 A ˜ j+1 + ˜ A j

, (12)

#

Œl " f ˜ A j =

q N ˜ _j ² − sin ϕs “ ¦ ϕ  H { 9  y Œ •s  .

j  P : 8 £ x_  phase matrix  H  6 £ § õ  ° ú  s  & ñ _  ) a  .

F _j = e ^iδ

0 0 e ^−iδ

!

, (13)

2δ j = 4π ^d _λ

N j cosϕ j , d j   H j  P : 8 £ x_  ¿ ºa s “ ¦ λ  H  



© œs  . 7 £ ¤ y Œ •y Œ •_  8 £ x \  @ /K  F  gÓ ü t$ í  © œÃ º\  @ /ô  Ç & ñ ˜ Ð

\

 ¦ · ú ˜>  ÷ &€  , ¿ ºa ü < { 9  y Œ •“ É r „  ^ ‰  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f scat- tering matrix – Ð   õ \  ¦ > í ß – l \  Ø  æì  r  . ' Ÿ § > = S

>

í ß –s   ) a Ê ê, „  ^ ‰  8 £ x~ à Ì} Œ •(z  ´] j– Ð ç  H| 9   €  )_   

"

é

¶¼ # F  gZ O (ellipsometry)_  y Œ •(Ψü < ∆)“ É r  " é ¶¼ # F  gZ O _  ~ ½ Ó

&

ñ d ” `  ¦  6   x # Œ % 3 `  ¦ à º e ”  .

tan Ψ × e ^i∆ = S ₂₁ ^p S ₁₁ ^p × S ₁₁ ^s

S ₂₁ ^s . (14) d ”

(14)\  ¦  6   x # Œ  " é ¶¼ # F  gZ O _  y Œ •`  ¦   & ñ “ ¦, „  ^ ‰



8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f_  Ä »´ òô  Ç F  g† < Æ  © œÃ º n (ef f ) ü < k _{(ef f )}   H F  g Ó

ü

t$ í  © œÃ º\  @ /ô  Ç ~ ½ Ó& ñ d ” Ü ¼– РÒ'  > í ß –s  | ¨ c à º e ”  .

ε _{1(ef f )} = n ² _{(ef f )} − k ² (ef f ) = sin ϕ ×



1 + tan ² ϕ cos ² 2Ψ − sin ² 2Ψ sin ² ∆ (1 − sin 2Ψ cos ∆) ²

 ,(15)

ε _{2(ef f )} = 2n _{(ef f )} k _{(ef f )} = 2 sin ² ϕ tan ² ϕ ×

 cos 2Ψ × sin 2Ψ × sin ∆ (1 − sin 2Ψ × cos ∆) ²



. (16)

4.   • «U c lT c l8 ý ° Ë Ñ V R Ë d ”

(4)\   Ø Ô€  , y Œ •y Œ •_  8 £ x \ " f Ä º" é ¶¼ # F  g õ  ý a" é ¶¨ î F  g

 )

a y n C_  4 Ÿ ¤ ™ èÏ ã J] X Ö  ¦“ É r  6 £ § õ  ° ú  s  & ñ _ | ¨ c à º e ”  .

N ˜ _+j ² = ˜ ε xxj (1 − ˜ Q j ), (17) N ˜ _−j ² = ˜ ε xxj (1 + ˜ Q j ). (18)

° ú

 “ É r d ” `  ¦  6   x # Œ, — ¸Ž  H  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f Ä »´ ò F  gÓ ü t$ í  © œ Ã

º[ þ t`  ¦   & ñ “ ¦, d ”  (17)õ  (18)\ " f Ä º" é ¶¼ # F  g õ  ý a" é ¶¨ î F 

g ) a y n C`  ¦   & ñ ½ + É Ã º e ” Ü ¼ 9, # Œl " f Ä »„  † < Êà º_  @ /y Œ • $ í ì

 r õ  q @ /y Œ • $ í ì  r“ É r  6 £ § õ  ° ú  s  ½ ¨ô  Ç .

˜

ε _{xx(ef f )} = N _{(ef f )+} ² + N _{(ef f )} ² ₋

2 , (19) Q (ef f ) =

N _{(ef f )+} ² − N (ef f ) ² −

N _{(ef f )+} ² + N _{(ef f )} ² ₋ , (20)

˜

ε _{xy(ef f )} = −i˜ ε _{xx(ef f )} Q ˜ _{(ef f )} , (21) ε

_{1(ef f )} − iε

2(ef f ) = N _{(ef f )+} ² − N _{(ef f )} ² ₋

2 . (22)

—

¸Ž  H  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f_  transverse ¢ ¸  H equatorial Kerr

´

òõ   H  6 £ § õ  ° ú  s  ³ ð‰ & ³| ¨ c à º e ”  .

δ p = 2 sin 2ϕ × A × ε

1(ef f )

A ² + B ² +

B × ε

2(ef f )

A ² + B ²

!

, (23)

A = ε _{2(ef f )} × (2ε 1(ef f ) × cos ² ϕ − 1),

B = (ε ² _{2(ef f )} − ε ² 1(ef f ) ) × cos ² ϕ + ε _{1(ef f )} − sin ² ϕ.

Fig. 1. HAXRD and LAXRD (see inset) spectra for the Fe/Au multilayered films (sample No. 7).

III. + s ÇÊ Ý õ m Í ‚ º8 ý

1. NM/3d-TM   • «U c lT c l8 ý ° Ë Ñö n ÚV R Ë õ m Í ° Ë Ñ V R Ë

Fe/Au( r « Ñ No.7)\  @ /ô  Ç HAXRDü < LAXRD_  Û ¼& 7 ˜ à

Ô! 3 `  ¦ Fig. 1 \ " f ˜ Ð# ŒÅ ғ ¦ e ”  . LAXRD\ " f # Œ Q> h _

 satellite peak[ þ t`  ¦ : Ÿ x K  Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •_  8 £ x ½ ¨› ¸

 ¸ ú ˜ + þ A$ í ÷ &% 3 6 £ §`  ¦ ˜ Ð# ŒÅ ғ ¦ e ”  . ¢ ¸ô  Ç HAXRD Û ¼

&

7 ˜à Ô! 3 \ " f buffer 8 £ x \  _ ô  Ç Å Òכ ¹  r] X  peak Šҁ  \ " f _  @ /g A& h “   Bragg satellite peak[ þ t`  ¦ : Ÿ x K  8 £ x ½ ¨› ¸

¸

ú ˜ s À Ò# Q & ’ 6 £ §`  ¦ S X ‰ “   ½ + É Ã º e ”  . Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •\ 

"

f LAXRD ÷  r  m   HAXRD_  satellite peak`  ¦ s 6   x ô 

Ç z  ´] j bilayer_  Å Òl > í ß –`  ¦ : Ÿ x K " f• ¸ z  ´] j Å Òl ½ ¨› ¸ ü

< { 9 u    H   õ \  ¦ % 3 % 3  .

Au 8 £ x_  ¿ ºa  7 £ x   H LAXRD Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 \ " f satellite peak  s _  ç ß –  `  ¦ y Œ ™™ è >  “ ¦ HAXRD Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 

\

" f  H “ ¦\  -t  A á ¤ \ " f þ j@ / Å Ò  r] X  peak\  €  •ç ß –_  s

1 l x`  ¦ { 9 Ü ¼v >  ô  Ç . Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •_  (111) ½ ¨› ¸\  ¦ HAXRD 8 £ ¤& ñ Ü ¼– РÒ'  S X ‰ “   % i  .



© œ“ : r \ " f 8 £ ¤& ñ  ) a Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •_  In-plane  l  s 

§

4  / B G‚   x 9  M (H)\ " f  H ƒ   $ í `  ¦ ˜ Ðs   H @ /| Ä Ì 10 - 16 Oe_  ˜ Ð § 4 (coercivity)° ú כõ  Z  }“ É r   © œ% ò % i \ " f œ í © œ 

$ í

(superparamagnetic)& h “   : £ ¤$ í `  ¦
  · p . œ í © œ $ í

\

 _ ô  Ç : £ ¤$ í “ É r   © œ\    É r EKE_  8 £ ¤& ñ Ü ¼– Ð › ' a¹ 1 ϝ ) a  .

s

 Qô  Ç ¿ º  z  ´`  ¦ : Ÿ x K  ¿ ºt _   l & h   © œs  Fe/Au   8

£

x~ à Ì} Œ •\ " f
 è ß –   H  כ `  ¦ & ñ ½ + É Ã º e ” >  ô  Ç .

Fe, Au x 9   _  equiatomic © œI _  Fe 0.59 Au 0.41 ½ + ËF K ~ Ã Ì }

Œ •õ  Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •_  F  gÓ ü t$ í “ É r Fig. 2 \ 
 
 e ”  .

Au_  F  gÓ ü t$ í “ É r B Ä º ¸ ú ˜ · ú ˜ 94 R e ” Ü ¼ 9 [48] ] j{ 9  " é ¶ o  >  í

ß – [49]\  _ K " f• ¸ [ O " î ÷ &% 3  .

Fig. 2. The experimental (a) OC and (b) ε 1 spectra for the Fe/Au multilayered films together with those for Fe.

Au and Fe 0.59 Au 0.41 alloy films. The similar designations of the curves are used in panels (a) and (b).

Fig. 3. EKE spectra for the Fe/Au multilayered film taken at RT and the angle of incidence of 66 ^◦ . The EKE spectra for pure Fe (with a scaling factor of 0.5) and Fe 0.59 Au 0.41 alloy films are shown for the comparison.

Au ~ à Ì} Œ •\ " f z  ´+ « >& h Ü ¼– Ð % 3 # Q”   σ(~ω)ü < ε ₁ (~ω)_  Û ¼

&

7 ˜à Ô! 3 “ É r ë  H‰  ³   õ ü < ¸ ú ˜ { 9 u  “ ¦ e ” Ü ¼ 9, OC Û ¼& 7 ˜à Ô

!

3 _  2.5 eV   H % ƒ\ " f / å L  ô  Ç    o(interband f  ¨ à º_  ë  H )

3 ° ú כõ  › ' a > e ”   H) ü < ~ω < 2 eV“    A \ " f_  “ ¦Ä »ô  Ç intraband_  f  ¨ à º\  ¦ ˜ Ð# Œ Šғ ¦ e ”  . Fe ~ à Ì} Œ •_  OC Û ¼& 7 ˜ à

Ô! 3 \ " f  H 2.4 eV   H % ƒ\ " f_  V , “ É r interband f  ¨ à º\  ¦ ˜ Ð s

“ ¦ e ” Ü ¼ 9 s   H l ” > r \  · ú ˜ 9”   z  ´+ « > x 9  s  : r& h    õ ü <

¸

ú ˜ { 9 u ô  Ç . „  ^ ‰& h Ü ¼– Ð, Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •_  F  gÓ ü t$ í “ É r Fe õ  Au_  y Œ •y Œ •_  F  gÓ ü t$ í `  ¦ ¸ ú ˜ ˜ Ð# Œï  r  . Õ ªX O t ë ß – Fe_  2.4 eV \ " f_  peak  H z  ´] j& h Ü ¼– Ð Au_  OC Û ¼& 7 ˜à Ô! 3  þ j

™

è° ú כ “ ¦ ° ú  “ É r \  -t \ " f 0 Au  t ë ß –, Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •

\

" f_  σ(~ω)_  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3    õ \ " f  H # Q‹ "  Å Ò3 l q½ + Éë ß –ô  Ç

Fig. 4. Experimental (open triangles) and simulated (lines) (a) σ(~ω) and (b) ε 1 (~ω) spectra for the (3.0 nm Fe/3.0 nm Au) 20 multilayered film obtained for the model of the nominal multilayered film’s structure (solid lines) and for the case of mixed inteface of 1.8 nm in thickness between Fe and Au layers (dashed lines). Inset in panel (b) shows an enlarged view of the high-energy part of the ε ₁ (~ω) spectra.

:

£ ¤f ç “ É r \ O   : σ(~ω)_  2 - 5 eV \  -t  % ò % i \ " f  H V , “ ¦

¢ -

aë ß –ô  Ç / B G‚  `  ¦ ˜ Ðs “ ¦ e ” “ ¦, ~ω < 1.5 eV “   \  -t  % ò % i 

\

" f intraband_  f  ¨ à º t C & h s >   ) a  . Fe ^0.59 Au 0.41

½ +

ËF K~ à Ì} Œ •_  r  F  g‚   % ò % i \ " f_  F  gÓ ü t$ í “ É r Fe/Au  8 £ x

~ Ã

Ì} Œ •_  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3  “ ¦ Ä »   . F e 0.59 Au _0.41 ½ + ËF K~ à Ì} Œ • õ

 í  H à ºô  Ç Fe ÷  rë ß –  m   Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •\  @ /ô  Ç z  ´+ « >

&

h “   EKE Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 “ É r Fig. 3 \ 
 
 e ”  .

›

¸   ) a Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •_  — ¸Ž  H   õ \ " f δ p , σ x 9  ε ₁ _  z 

´+ « >& h    õ ü < „  í ß –— ¸    õ _  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3  s   H  _  1

l x{ 9 ô  Ç  כ Ü ¼– Ð ó ø Í" î ÷ &l  M :ë  H \ , Ä ºo   H r « Ñ No. 9\  ô 

Ç& ñ # Œ  7 H_ ô  Ç  (Fig. 4ü < 5 ‚ à Л ¸).

z 

´+ « >   õ ü < „  í ß –— ¸    õ _  σ(~ω), ε 1 (~ω) x 9  δ p (~ω) Û

¼& 7 ˜à Ô! 3   s \ " f ˜ Ðs   H S X ‰ƒ  ô  Ç Ô  ¦{ 9 u   H Fe/Au  8 £ x

~ Ã

Ì} Œ •\ " f F K5 Å q 8 £ x õ  abrupt interface[ þ t  s \  @ /ô  Ç   8

£

x~ à Ì} Œ • — ¸4 S q– Ð nominal ½ ¨› ¸\  ¦ — ¸4 S q– Ð s 6   xô  Ç  כ “ É r a % ~“ É r ] X

  H~ ½ ÓZ O s   m    H  כ `  ¦ · ú ˜ 9Šғ ¦ e ”  . 1 l x r \  r « Ñ NO. 9 \  @ /K  Feõ  Au 8 £ x[ þ t  s _  ½ + ËF K ) a > €  _  ¿ ºa 

 t ^int (9) = 1.8 nme ” `  ¦ “ ¦ 9ô  Ç  8 £ x~ à Ì} Œ • — ¸4 S q`  ¦ & h 6   x 

#

Œ z  ´+ « >& h    õ ü < „  í ß –— ¸    õ _  σ(~ω) x 9  ε ₁ (~ω)_  Û ¼

&

7 ˜à Ô! 3 s  „   % ò % i \  @ /K   © œ ¸ ú ˜ { 9 u    H   õ \  ¦ % 3 % 3 



(Fig. 4). s  — ¸4 S q\ " f > €  % ò % i _  ¿ ºa  7 £ x   H ¸ ú ˜3 l w ) a

„ 

í ß –— ¸ _    õ \  ¦ œ íA  >  ÷ &“ ¦, > €   % ò % i \  @ /ô  Ç — ¸ 4

S q“ É r y © œ $ í ^ ‰“   Fe _0.59 Au _0.41 ½ + ËF K~ à Ì} Œ •_  F  gÓ ü t$ í  © œÃ º

\

 ¦  6   x % i  . ½ + ËF K ) a > €  % ò % i \  @ /ô  Ç  _  ° ú  “ É r ¿ ºa 



 H [t int (7) = 1.7 nm; t int (8) = 1.9 nm] ¢ ¸ô  Ç   É r Fe/Au

Fig. 5. Experimental (symbols) and simulated (lines) EKE spectra for the (3.0 Fe/3.0 nm Au) 20 multilayered film obtained for the model of the nominal multilayered film’s structure and for the case of mixed inteface of 1.8 nm in thickness between Fe and Au layers.



8 £ x~ à Ì} Œ •(r « Ñ No. 7õ  8)\ " f_  „  í ß –— ¸ \ " f• ¸  © œ a

% ~“ É r „  í ß –— ¸ \  ¦ ] j/ B Nô  Ç . F  gÓ ü t$ í „  í ß –— ¸ \ " f Ä ºo 



 H Fe, Au Õ ªo “ ¦ Fe ^0.59 Au 0.41 ~ à Ì} Œ •\ " f “¿ ºa ”(∼ 100 nm ¢ ¸  H Õ ª s  © œ)\  ¦ F  gÓ ü t$ í  © œÃ º– Ð  6   x % i “ ¦, „  ^ ‰ › ¸



  ) a Û ¼& 7 ˜à Ô! 3  # 3 0 A\ " f z  ´+ « >  õ ü < „  í ß –— ¸    õ  s 

\

" f  { © œô  Ç @ /6 £ x› ' a > \  ¦ % 3 % 3  . s  כ “ É r Fe/Au  8 £ x~ Ã Ì }

Œ •\ " f “· û ª“ É r”(∼ 1 - 3 nm _  ¿ ºa ) Feü < Au8 £ x_  F  gÓ ü t

$ í

s  “bulk”“   Feü < Au_  : £ ¤$ í \   0 >”     H  כ `  ¦ _  p

ô  Ç .

Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f z  ´+ « >& h  EXE Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 “ É r ∼ 2.7 - 2.8 õ  ∼ 4 eV\ " f 0 Au    H ¿ º> h_  peak\  _ K  : £ ¤$ í s 

 è ß – . 1 l x r \ , í  H à º Fe ~ à Ì} Œ •\ " f_  EKE Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 “ É r

∼ 1.7 eV\ " f Ì º§  ô  Ç þ j@ /° ú כ`  ¦ ˜ Г   . Fe/Au  8 £ x~ Ã Ì }

Œ •\ " f_  z  ´+ « >& h    õ ü < „  í ß –— ¸   ) a EKE Û ¼& 7 ˜à Ô! 3    s

_  q “ §\  ¦ : Ÿ x K  Fe 8 £ x[ þ t – РÒ'  EKE Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 _  $ \ 

-t  % ò % i \ " f peak Ò q t$ í ÷ &% 3  “ ¦    : r t `  ¦ à º e ” “ ¦

@

/| Ä Ì 1 eV & ñ • ¸_  blue-shift  H Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f F  g Ó

ü

t$ í  © œÃ º_   © œ  ñ Œ •6   x \  _ ô  Ç % ò † ¾ Óe ” `  ¦ S X ‰ “  Ù þ ¡ . >  

 nominalô  Ç Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •_  ½ ¨› ¸\  @ /ô  Ç — ¸4 S qõ  q 



$ í Au 8 £ x[ þ t \  @ /ô  Ç — ¸4 S q`  ¦ & h 6   xô  Ç EKE Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 “ É r, z 

´+ « >& h “     õ ü < ° ú  “ É r \  -t \  0 Au \ " f y © œô  Ç peak`  ¦

˜

Г   (Fig. 5). s  Qô  Ç „  í ß –— ¸   H z  ´+ « >& h  EKE Û ¼& 7 ˜ à

Ô! 3 s  ~ω > 3.0 eV \ " f  H — ¸4 S q ) a  כ `  ¦ œ íõ  # Œ
 

z Œ ™`  ¦ ˜ Ðs “ ¦ e ”  . ° ú  “ É r ¿ ºa (z  ´+ « >& h    õ ü < „  í ß –— ¸



  ) a F  g† < Æ& h  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 `  ¦  © œ Ä » ô  Ç + þ AI – Ð % 3 >  K Å Ò



 H) – Ð ½ + ËF K ) a > €  % ò % i \  @ /ô  Ç Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •_  — ¸4 S q

“

É r EKE Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 _  „  í ß –— ¸ \ " f $ \  -t  % ò % i s  z  ´ +

«

>   õ ü < ¸ ú ˜ { 9 u † < Ê`  ¦ ˜ Г   . s  — ¸4 S q\ " f  H Fe/Au  

Fig. 6. Experimental (symbols) and simulated (lines) EKE spectra for the (0.9 nm Co/1.44 nm Pt) ₄₀ multilayered film obtained for the model of the nominal multilayered film’s structure and for the case of mixed inteface of 0.9 nm in thickness between Fe and Au layers. The EKE spectra for pure Co and Co _0.51 Pt _0.49 alloy films are shown for the comparison.

8

£

x~ à Ì} Œ •_  ½ + ËF K ) a > €  % ò % i `  ¦ 0 Aô  Ç { 9 § 4    à º– Ð" f y © œ 

$ í

_  Fe _0.59 Au _0.41 ½ + ËF K~ à Ì} Œ •_  F  g  $ í x 9  F  gÓ ü t$ í s   6   x

÷

&% 3  . Õ ªX O t ë ß – ~ω > 2.5 eV_  \  -t  # 3 0 A\ " f z  ´+ « >

&

h “   F  g  $ í “ É r # Œ„  y  — ¸4 S q\  _ ô  Ç ° ú כ[ þ t`  ¦  Å # Q" f“ ¦ e ” 



. 7 £ ¤ s  כ “ É r y © œ $ í Fe õ  Fe 0.59 Au 0.41 8 £ x[ þ t \  Æ Ò& h  Ü

¼– Ð Fe/Au  8 £ x~ à Ì} Œ •_  F  g  $ í \  % ò † ¾ Ó`  ¦ p u   H [ j   P

: s Ä » ” > r F † < Ê`  ¦
 ? /  H  כ s  . Õ ªo “ ¦ Õ ª s Ä »– Ð



 H Û ¼— 2 ; ì  rF G ) a (spin-polarized) Au 8 £ x[ þ t M :ë  H{ 9   כ s   [52].

Û

¼— 2 ; ì  rF G ) a Au 8 £ x_  F  g  $ í [ þ t ( \ V\  ¦ [ þ t€   Ä »„  † < Êà ºJ $ ™

"

f_  q @ /y Œ • $ í ì  r[ þ t)`  ¦   & ñ l  0 A # Œ  6 £ §_  ] X   HZ O 

`

 ¦ s 6   x % i  . — ¸4 S q\  _ ô  Ç ° ú כ(½ + ËF K ) a > €   — ¸4 S q\ " f)

`

 ¦ œ íõ    H — ¸Ž  H z  ´+ « >& h  ì ø Í6 £ x[ þ t`  ¦, ∆(~ω) = δ ^exp _p (~ω) − δ _p ^mod (~ω)“ É r ¿ º { 9  y Œ •(ϕ = 66 õ  75 ^◦ ) \ " f   & ñ % i 

“

¦, Û ¼— 2 ; ì  rF G ) a Au 8 £ x[ þ t – Ð 2 [/ å L ÷ &% 3  . Au 8 £ x_  F  gÓ ü t

$ í

 © œÃ ºü < ¿ º { 9  y Œ •\ " f ∆(~ω)`  ¦ · ú ˜“ ¦ e ” Ü ¼Ù ¼– Ð Û ¼— 2 ; ì

 rF G ) a Au 8 £ x[ þ t \ " f Ä »„  † < Êà º_  q @ /y Œ • $ í ì  r_  f  ¨ à ºÂ Ò ì

 r (~ω) ² × ε

2 õ  ì  rí ß –Â Òì  r (~ω) ² × ε

1 “ É r Krinchik [47]_ 

·

ú ˜“ ¦o 7 £ §`  ¦ s 6   x # Œ   & ñ % i  . z  ´+ « >& h    õ ü < „  í ß –

—

¸   ) a EKE Û ¼& 7 ˜à Ô! 3   s \ " f_  ° ú  “ É r ½ ©g Ë :$ í “ É r ¢ ¸ô  Ç Co/Pt  8 £ x~ à Ì} Œ •(Fig. 6)\ " f• ¸ › ' a¹ 1 ϝ ) a  . Co/Pt  8 £ x~ Ã Ì }

Œ •õ  › ' a > ÷ &  H  [ jô  Ç   õ   H   É r / B M \ " f• ¸ ¹ 1 Ô  ^  ¦ à º e ”

  [54]. Fig. 7“ É r Pt ü < Au 8 £ x \ " f (~ω) ² × ε

2 Û ¼& 7 ˜à Ô

!

3 s  s  Qô  Ç ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð % 3 # Q”     H  כ `  ¦ ˜ Ð# Œï  r  . s  Q ô 

Ç ¿ º Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 [ þ t — ¸¿ º\ " f 4 eV Â Ò   H(Au \  › ' a > ÷ &  H peak_  ß ¼l   -Á º  Œ •`  ¦ M :)\ " f Ì º§  ô  Ç peak`  ¦ " î S X ‰ 

Fig. 7. Absorptive parts of the off-diagonal components of the DF for spin-polarized Pt (solid line, left scale) and Au (dashed line, right scale) layers.

>

 S X ‰ “  ½ + É Ã º e ” “ ¦, s  Qô  Ç  z  ´“ É r Co/Pt ü < Fe/Au  8 £ x

~ Ã

Ì} Œ •\ " f z  ´+ « >& h Ü ¼– Ð › ' a¹ 1 ϝ ) a  ü @‚   % ò % i \ " f_   H F  g



$ í ì ø Í6 £ x`  ¦ [ O " î ô  Ç .

2. Fe/Si   • «U c lT c l; c" e8 ý 4  ì Å+ s Ƕ  ¥

—

¸Ž  H Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •(r « Ñ No. 14 - 19)_  HAXRD Û

¼& 7 ˜à Ô! 3 “ É r Å Ò  r] X  Peaks   Œ •“ É r s [ þ t`  ¦ ˜ Ðs 
   _  Ä » ô  Ç + þ AI \  ¦ ˜ Ðs “ ¦ e ”  . ô  Ç \ V– Ð" f, Õ ª כ [ þ t×  æ \ 


(r « Ñ No. 18õ  › ' a > e ”   H)  Fig. 8\ 
 
e ”  .

Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •_  HAXRD Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 \ " f Å Ò  ) a peak \ 

@

/K    É r satellite Peak s  ì ø Í@ /g A$ í `  ¦ s À ҍ  H  כ “ É r s p  Chaiken [37], Fullerton \  _ K  ˜ Г ¦ ÷ &% 3 “ ¦, interdiffused interfaces [36]_  ” > r F \  ¦ [ O " î % i  . Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f

€



• 7 nm_  Å Ò  r] X  peak_  full width at half maximum“ É r

 

& ñ _    ´ ú 6 £ § U  ´s  ξ\  ¦
  · p . s  כ “ É r Ä ºo _  r « Ñ [

þ

t \ " f # Q* ‹ô  Ç q & ñ | 9  Si• ¸ \ O “ ¦, Siõ  Fe s \  > €  ì ø Í 6

£

x s    & ñ $ í  8 £ x ½ ¨› ¸\  ¦ s À ғ ¦ e ”    H  כ `  ¦ _ p ô  Ç .

Å

Ò  r] X  peak“ É r Y > Y > _  î ß –& ñ  ) a Fe silicide_   © œ y © œô  Ç



r] X ‚   Â Ò   H \ " f peak`  ¦ ˜ Ð{ 9 ÷  rë ß –  m   Fe peak 0 A u

 (110)   H % ƒ\ " f• ¸ ˜ Г    (Fig. 8). Õ ª QÙ ¼– Ð é ß –t  HAXRD_    õ ë ß – t “ ¦  H 7 £ x‚ à ̝ ) a Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •s  Á

º’  H ½ ¨› ¸\  ¦ & ’   H t \  ¦ Ì º§  >     : r ? /o l   H # Q§ > 



. Õ ª Q
 LAXRD + þ AI \  ¦ : Ÿ x K  7 £ x‚ à ̝ ) a Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ • s

 8 £ x Ü ¼– Ð s À Ò# Q”   ½ ¨› ¸\  ¦ ¸ ú ˜ + þ A$ í “ ¦ e ” 6 £ §`  ¦ S X ‰ “  ½ + É Ã

º e ”   (Fig. 8\  ¶ ú š{ 9 ).

Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •[ þ t“ É r y © œô  Ç ì ø Íy © œ $ í   ½ + Ë`  ¦ ô  Ç “ ¦ · ú ˜

94 R e ”   [35, 37, 43]. ms  Si 8 £ x ¿ ºa “   (3.0 nm Fe/m

Fig. 8. HAXRD and LAXRD (see inset) spectra for the Fe/Si MLF (sample No. 18) in the as-deposited state (solid circles and 1) and after ion-beam treatment (open tringles and 2). Arrows show the position of the most intense diffraction lines for Fe and (from left to right) for crystalline silicides of Fe 2 Si, ε −FeSi, Fe 5 Si 3 and Fe 3 Si, respectively.

Si) 50  8 £ x~ à Ì} Œ •_  in-plane s § 4 / B G‚  \ " f m = 1.0 nm\ 

"

f Ÿ í o   © œ“ É r 0.08 kOe s “ ¦ m = 1.3 nm\ " f  H H s ≈ 12 - 14 kOe – Ð Ÿ í o   © œs  þ j@ /\  • ¸² ú ˜ ½ + É M : t   Ø Ô

>

 7 £ x  “ ¦, Õ ª Ê ê\  m = 2.2 nm\ " f  H 0.2 kOe – Ð Ÿ í o



 © œs  y Œ ™™ èô  Ç .   " f s   H y © œô  Ç ì ø Í $ í “ § ¨ 8 Š  ½ + Ë`  ¦

 ? /  H  כ s  ÷ & ’ x . · ú ¡\ " f ƒ  / å L ) a  כ Ü ¼– Ð, „  í ß –— ¸ 

\

 ¦ 0 AK " f € 9 כ ¹ô  Ç Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •_  8 £ x Ü ¼– Ð \ V © œ÷ &  H  כ [

þ t(Fe, Si x 9  q & ñ | 9  FeSi 2 ~ à Ì} Œ •[ þ t ÷  rë ß –  m   α-FeSi ² , β-FeSi ₂ , x 9  -FeSi bulks)\  @ /K " f F  gÓ ü t$ í “ É r 8 £ ¤& ñ ÷ &# Q e ”

 . s  Qô  Ç Ó ü t| 9 [ þ t_  F  gÓ ü t$ í `  ¦ : Ÿ x K  Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •_  F 

g  $ í õ  F  gÓ ü t$ í `  ¦ > í ß –½ + É Ã º e ” “ ¦ z  ´+ « >& h    õ ü < „  í ß –

—

¸   ) a   õ _  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 `  ¦ q “ §½ + É Ã º e ”  .

z 

´+ « >& h    õ ü < „  í ß –— ¸   ) a δ p , σ x 9  ε 1 _  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 \ " f

› '

a¹ 1 Ï÷ &  H ½ ©g Ë :$ í s  › ¸   ) a — ¸Ž  H Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f   _

 ° ú  >     Ù ¼– Ð, r « Ñ No. 18(Fig. 9)\  @ /K  ô  Ç& ñ # Œ



7 H_ ô  Ç . Ä º‚   ¿ º t _  Å Ò  ) a   õ \  ¦ # Œl \ " f µ 1 ß) €é  H



 ; i) nominal Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ • ½ ¨› ¸– Ð ô  Ç „  í ß –— ¸   H í  H Ã

º Fe_  _ ô  Ç % ò † ¾ ÓÜ ¼– Ð & h ü @‚   % ò % i    H % ƒ\ " f_  F  g  $ í ì

ø Í6 £ x_  ‰ & ³$ ô  Ç † ¾ Ó © œs  \ V8 £ ¤ ) a  ; ii) z  ´+ « >& h    õ ü < „   í

ß –— ¸   ) a δ _p _  F  g† < Æ Û ¼& 7 ˜à Ô! 3   s _  Ô  ¦{ 9 u   H nominal

½

¨› ¸_   8 £ x~ à Ì} Œ • — ¸4 S q_   â Ä º\ " f › ' a¹ 1 ϝ ) a  .

—

¸4 S qs  ë ß –[ þ t # Q”   EKE Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 \ " f F  g  $ í ì ø Í6 £ x_ 

†

¾ Ó © œ“ É r Û ¼& 7 ˜à Ô! 3  # 3 0 A î ß –\  Feõ  Si_  F  gÓ ü t$ í  © œÃ º   s

\   © œ  ñ Œ •6   x \  _ ô  Ç  כ Ü ¼– Ð [ O " î | ¨ c à º e ”   [d ” (23)].

z 

´+ « >  õ ü < „  í ß –— ¸   ) a(nominal Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ • ½ ¨› ¸) δ p , σ ü < ε ₁ _  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 (Fig. 9) s _  Ô  ¦{ 9 u   H, 7 £ x‚ à ̝ ) a

Fig. 9. Experimental (symbols) and simulated (lines) (a) δ _p ,(b) σ and (c) ε ₁ spectra for (3.0 nm Fe/1.8 nm Si) ₅₀ multilayered film. Various kind of spacers were em- ployed in the simulations: (dashed lines) - nominal mul- tilayered film structure and amorphous Si, (dotted lines) amorphous FeSi ₂ , (dashed-dotted lines)  − FeSi. Mod- elled spectra with use of extracted FeSi spacer are shown by solid lines.

Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •\ " f nominal 8 £ x Ü ¼– Ð  ) a ½ ¨› ¸ s ü @_   

 É

r  כ _  ” > r F \  ¦ ] jî ß –ô  Ç .

Õ

ª QÙ ¼– Ð, „  í ß –— ¸ _   6 £ § é ß –>   H Si 8 £ x[ þ t s   € ª œô  Ç



o† < Æ| ¾ Ó_  Fe-silicide_  + þ A$ í `  ¦ 0 AK  ¢ - a„  y  ™ è”  ÷ &% 3  “ ¦

& ñ ô  Ç Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •_  — ¸4 S q`  ¦ s 6   xô  Ç . s  כ _  > €   8

£

x“ É r q  $ í s  ÷ &# Q  “ ¦ > €  8 £ x Ü ¼– Ð 0 p xô  Ç silicide_ 



o† < Æ| ¾ ӓ É r, s \  ¦ _ …€   Fe x Si 1 −x _  x 6 0.5“   % ò % i \ " f ¹ 1 Ô

>

 | ¨ c  כ s  . s  — ¸4 S q\ " f  H D h– Ð + þ A$ í  ) a Fe-silicide_  8

£

x ¿ ºa ÷  rë ß –  m   ï ß –# Œ Fe_  8 £ x[ þ t_  ¿ ºa [ þ t • ¸ > í ß –÷ &

%

3  . Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ •_    É r — ¸4 S q\ " f_  δ p , σ x 9  ε 1 _  Û

¼& 7 ˜à Ô! 3 “ É r Fig. 9 \ 
 
 e ”  . s  Qô  Ç Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 \ " f



 H z  ´+ « >& h “     õ  “ ¦ — ¸€ ª œõ  [ jl  ¢ - a„  y    É r  כ % ƒ

!

3  ˜ Г   . 7 £ ¤ s  Qô  Ç Ô  ¦{ 9 u   H Fe 8 £ x[ þ t õ  q  $ í > €  8 £ x



s \ " f  µ 1 Ï& h Ü ¼– Ð + þ A$ í  ) a FeSi ₂ ¢ ¸  H -FeSi silicide \ 

"

f l “     H  כ Ü ¼– Ð \ V © œ ) a  .



 É r Fe-silicide_  F  gÓ ü t$ í \  @ /ô  Ç  « Ñ_   Ò7 á ¤ M :ë  H \ , Ä

ºo   H > €  % ò % i _  F  gÓ ü t$ í `  ¦   & ñ l  0 A # Œ   É r ] X   H Z O

`  ¦  6   x % i  . z  ´+ « >& h Ü ¼– Ð › ' a¹ 1 Ï÷ &  H Fe/Si  8 £ x~ à Ì} Œ • _

 F  gÓ ü t$ í `  ¦ Fe 8 £ x(F  gÓ ü t$ í s  · ú ˜ 9”  )_  F  gÓ ü t$ í õ   © œ_