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Spectroscopic Ellipsometer õ u § T “ Ó Þ” X ¢ ZnSe/GaAs(100) U c lT c l8 ý ° Ë Ñ] K ¡X ì Ä — ¤V R Ë

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Academic year: 2021

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(1)

Spectroscopic Ellipsometer õ u § T  “ Ó Þ” X ¢ ZnSe/GaAs(100) U c lT c l8 ý ° Ë Ñ] K ¡X ì Ä — ¤V R Ë

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PACS numbers: 77

Keywords: " é ¶ì  rF g K $ 3 Z O , Ä »„   © œÃ º, ZnSe, \ P # 4 & h 8 £ x $ í  © œZ O 

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ZnSe  H II-VI7 á ¤  o½ + ËÓ ü t ì ø ͕ ¸^ ‰– Ð" f V , “ É r  ½ ™× ¼ Ì “ s`  ¦  t

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© œÃ º\  ¦ · ú ˜ ˜ Ðl  0 A # Œ spectroscopic ellipsometry(SE)

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E-mail: [email protected]

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Ô\  ¦ F g " é ¶ Ü ¼– Ð  6   x   H vacuum UV spectroscopic ellip- someter(Woolam VUV-VASE system)\  ¦ s 6   x # Œ 8 £ ¤& ñ

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III. + s ÇÊ Ý õ m Í w в  o

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-59-

(2)

c 8 ) – Ð ì  r o ô  Ç (splitting energy, ∆ 0 ). Brillouin zone_  k = 0(Γ)   H % ƒ\ " f { 9 # Q   H F g† < Æ& h  …  ;s   H E 0 , E 0 +∆ 0 , E 0 0 , E 0 0 +∆ 0 , E 0 0 +∆ 0 0 , E 0 0 +∆ 0 0 +∆ 0    è ß –  [5]. ¢ ¸ô  Ç, spin-orbit  © œ  ñ Œ •6   x“ É r L v 3v 3 )`  ¦ L v 6v 6 ) ü < L v 4.5v 4.5 ) – Ð ì

 r o  “ ¦ L v 3 (Λ c 3 )`  ¦ L c 6c 6 ) ü < L c 4.5c 4.5 ) – Ð ì  r o ô  Ç . s 



Qô  Ç  © œI ü < { 9 u    H …  ;s   H E 1 ¢ ¸  H, E 1 + ∆ 1 , E 1 0 , E 0 1 + ∆ 0 1 \ " f { 9 # Qè ß – . ZnSe\ " f E 2 …  ;s   H [110](Σ) (X 7 v → X 7 c ) \ " f { 9 # Q  9 s  כ “ É r E 1 õ  E 1 + ∆ 1 Õ ªo 

“

¦ E 1 0 õ  E 1 0 + ∆ 0 1 _  e ” > & h   s  \  -t \  @ / # Œ { 9 # Q è

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 „  • ¸@ / " l or — : r \  _ ô  Ç ì  rF g† < Æ& h  ½ ¨› ¸\  ¦ | 9  à º e ”  .

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÷  rë ß –  m   \  -t   ½ ™× ¼Ì “ s\ " f ç ß –] X …  ;s   H ì ø ͕ ¸^ ‰_  F

g† < Æ& h  ì  r Ÿ í › ' a > \  % ò † ¾ Ó`  ¦ ï  r   [6].

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½ ™× ¼ ½ ¨› ¸  H ~ 1 >  % 3 `  ¦ à º e ”   H Ÿ í— : r \  -t  E = ~ω\ " f F

g† < Æ& h   © œÃ º “ ¦ ½ + É Ã º e ”   H — ¸Ž  H ½ ¨› ¸\  ¦ ± ú ¢  H  . s  : rd ” 

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  MDF — ¸4 S q\ " f Ä »„  † < Êà º (E)  H Y > Y > ~ ½ Ó& ñ d ” _  ½ + ËÜ ¼

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•y Œ • E 0 , E 0 + ∆ 0 , E 0 0 + ∆ 0 , E 1 , E 1 + ∆ 1 Õ ªo “ ¦ E 2 ü <

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 1 (E) õ   2 (E) – Ð   è ­ q à º e ” Ü ¼ 9 Kramers-Kronig(K-K relation) › ' a > d ” õ  ƒ  › ' a ÷ &# Q e ”   [7–11].

ZnSe_  ± ú “ É r \  -t  % ò % i \ " f      H E 0 , E 0 + ∆ 0 Õ

ªo “ ¦ E 0 0 + ∆ 0 …  ;s   H 3DM 0 CP s “ ¦ 300 K\ " f Ÿ í— : r

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(E) = AE 0 1.5 f (χ 0 ) + 1

2 [E 0 /(E 0 + ∆ 0 )] 1.5 f (χ s.o. ) (1)

#

Œl " f,

f (χ 0 ) = χ −2 0 [2 − (1 + χ 0 ) 0.5 − (1 − χ 0 ) 0.5 ], (1a)

f (χ s.o. ) = χ −2 s.o. [2 − (1 + χ s.o. ) 0.5 − (1 − χ s.o. ) 0.5 ], (1b)

χ 0 = (~ω + iΓ)/E 0 , (1c)

χ s.o. = (~ω + iΓ)/(E 0 + ∆ 0 ) (1d)

d ”

 (1)\ " f Aü < Í  H y Œ •y Œ • E 0 , E 0 + ∆ 0 Õ ªo “ ¦ E 0 0 + ∆ 0

… 

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˜ · ú ˜ 9”    כ % ƒ! 3   © œ ± ú “ É r f ” ] X …  ;s   ½ ™× ¼ Ì “ s = å Qé ß –_  s

Ö  © \ " f ì  r o   ) a ‚  [ þ t õ  ƒ  5 Å q " l or — : r“ É r F g† < Æ& h  ì  rF g`  ¦



 H‘ : r& h Ü ¼– Ð    or †    [12].

ZnSe \ " f E 1 õ  E 1 +∆ 1 …  ;s  e ” > & h [ þ t“ É r 3 " é ¶ M 1 CP (3DM 1 CP) + þ AI s “ ¦ 5.05 eV   H % ƒ_  \  -t \ " f { 9 # Qè ß –



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(E) = −B 1 χ −1 1d ln(1 − χ 2 1d ) − B 2 χ1 −2 1sd ln(1 − χ 2 1sd ) (2)

#

Œl " f,

χ 1 = (~ω + iΓ)/E 1 , (2a)

χ 1sd = (~ω + iΓ)/(E 1 + ∆ 1 ), (2b)

#

Œl " f Bü < Í  H y Œ •y Œ • …  ;s \  @ /ô  Ç y © œ• ¸ü < V , # Qt l  B

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  [13–16].

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1 Ï|  ) a " î S X ‰ô  Ç ½ ¨› ¸  H E 2 ( ∼ 6.3 eV) ” > r F ô  Ç . E 2 …  ; s

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(E) = C

(1 − χ 2 2 ) − iχ 2 γ , (3)

#

Œl " f,

χ 2 = ~ω/E 2 (3a)

(3)

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ªa Ë > 1“ É r ì  rF g ellipsometry \  _  # Œ 8 £ ¤& ñ  ) a ZnSe/GaAs(100) é ß –  & ñ ~ à Ì} Œ •_  Ä »„   © œÃ º Û ¼& 7 ˜à Ô

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"

f      H ½ ¨› ¸  H E 1 õ  E 1 + ∆ 1 …  ;s \  _ ô  Ç  כ s  9 6.3 eV Â Ò   H \ " f  H E 2 Ì “ sõ  ƒ  › ' a ) a  . ¢ ¸ô  Ç E 0 0 + ∆ 0   H 8.3 eV Â Ò   H \ " f x ß ¼   è ß – . MDF — ¸4 S q“ É r — ¸Ž  H

% ò

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. 0 A_  d ” \ " f      H — ¸Ž  H B > h  à º[ þ t“ É r  1 (E) õ 

 2 (E)\  ¦ > í ß – l  0 A # Œ & h ] X ô  Ç  © œÃ º– Ð æ ¼% i  . Õ ª Q 

 1 (E)_  z  ´+ « >& h  X <s '   H Õ ªa Ë > 1\ " f ˜ Ѝ  H  כ % ƒ! 3  MDF s

 : rd ” `  ¦ s 6   x # Œ ½ ¨ô  Ç ° ú כ˜ Ð   ™ è  Œ •>    z Œ ¤ .

Õ

ªa Ë > 1\ " f " é ¶“ É r d ”  (1)õ  (3)_    õ \  @ /ô  Ç ½ + ËÜ ¼– Ð Â

Ò'  % 3 `  ¦ à º e ” “ ¦ Õ ªa Ë >\  ˜ Ðs   H à ºf ”   o¶ ú ˜³ ð  H e ” > 

&

h (E 0 , E 0 + ∆ 0 Õ ªo “ ¦ E 0 0 + ∆ 0 )[ þ t_  0 Au ü < " l or — : r x  ß

¼ \  -t s  (E 1 − G 1 , E 1 + ∆ 1 − G 1 ). ¢ ¸ô  Ç Õ ªa Ë >\ 

"

f E 2 e ” > & h [ þ t • ¸     9 > í ß –° ú כõ  ¸ ú ˜ { 9 u ô  Ç . s  כ

“

É r E 2 e ” > & h  ½ ¨› ¸ (E) Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 \ " f : £ ¤Z > ô  Ç ½ ¨› ¸(‚   _ — ¸€ ª œ)\  ¦ ˜ Ðs l  M :ë  H s  . ³ ð 1“ É r õ   à º¸   1 l xî ß – # Œ



Q ƒ  ½ ¨ [ þ t s  ˜ Г ¦ô  Ç e ” > & h  \  -t s  .   & ñ `  ¦ $ í  © œ

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¼– Ð ˜ Г   . ‘ : r ƒ  ½ ¨_  z  ´+ « >   õ   H ³ ð 1\ " f ˜ Ð# ŒÅ ҍ  H

 כ

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ú כõ  q 5 p w  9 5 eV s  © œ \  -t \ " f  H Charles C. Kim 1

p

x s  µ 1 ϳ ðô  Ç ° ú כõ  q 5 p wô  Ç  כ `  ¦ ˜ Ð% i  .

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´] j– Ð Peteroffü < Balkanski  H II-VI7 á ¤  o½ + ËÓ ü t ì ø ͕ ¸^ ‰ _  z  ´+ « >& h  ì ø Í Ö  ¦ Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 \  › ' aô  Ç ì  rF g`  ¦ ì  r$ 3  % i “ ¦ ZnSe \  @ / # Œ Ä »{ 9 ô  Ç 2 " é ¶ " l or — : r x ß ¼\  ¦ E 1 õ  E 1 +

∆ 1  s  ì  rF g† < Æ& h  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 \ " f µ 1 Ï|  % i  . ¢ ¸ô  Ç Õ ª[ þ t

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& h `  ¦ · ú ˜ à º \ O % 3 l  M :ë  H s % 3  . s  כ “ É r ZnSe_  spin- orbit splitting ∆ 1 ( ∼ 0.3 eV)s  2D " l or — : r_    ½ + Ë\  - t

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õ – Ð E 1 e ” > & h  ½ ¨› ¸  H E 1 + ∆ 1 õ  ƒ  › ' a s  e ”   H " l or 

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: r   ½ + Ë\  -t \  › ' aô  Ç x ß ¼ü <   u l  M :ë  H \  ‘ : r ƒ  ½ ¨\ 

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 H \ O % 3  . Õ ª Q  MDF s  : rd ” `  ¦  6   xô  Ç fitting ] X  – Ð Â

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< E 1 − G 1 = 4.75 eV s “ ¦ E 1 + ∆ 1 − G 1 = 5.05 eV s  .

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 (2)– РÒ'  % 3 `  ¦ à º e ”  . E 0 ü < E 0 + ∆ 0 Ì “ s“ É r 3DM 0

(4)

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Energy gap E

0

E

0

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E

1

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1

E

2

E

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+ ∆

0

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0

CP) (M

0

CP) (M

1

CP) (M

1

CP) (M

1

CP) (M

0

CP) ¸  • ¸

S. Adachi et al. RTHM 2.69 3.10 4.75 5.05 6.70 - 1991

Y. D. Kim et al. MBE 2.69 3.11 4.83 5.10 - - 1993

R. Dahmaniet et al. MBE 2.68 3.126 4.40 4.75 6.90 - 1994 Charles C. Kim et al. MBE 2.76 3.21 4.72 5.00 6.50 - 1996

C. C. Kim et al. MBE 2.67 3.18 4.83 5.15 - - 1997

4.79 5.10 M. Cardona et al. bulk - -

4.75 5.07 - - 1998

This study HWE 2.69 3.08 4.72 5.06 6.30 8.26 2003

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ªa Ë > 2. ZnSe/GaAs(100) é ß –  & ñ ~ à Ì} Œ •_  d 2 (E)dE 2 Û

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ªa Ë > 3. ZnSe/GaAs(100) é ß –  & ñ ~ à Ì} Œ •_  n(E), k(E) Û

¼& 7 ˜à Ô! 3 (SE z  ´+ « > X <s ' ü < MDF– Ð fit  ) a ° ú כ_  q “ §).

(5)

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ªa Ë > 4. ZnSe/GaAs(100) é ß –  & ñ ~ à Ì} Œ •_  α(E) Û

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n(E) =  ( 2 1 +  2 2 ) 1/2 +  1

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 1/2

(4)

k(E) =  ( 2 1 +  2 2 ) 1/2 −  1

2

 1/2

(5)

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α(E) = 4π λ

 ( 2 1 +  2 2 ) 1/2 −  1

2

 1/2

(6)

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ªa Ë > 5. ZnSe/GaAs(100) é ß –  & ñ ~ à Ì} Œ •_  R(E) Û

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(6)

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(n + 1) 2 + k 2 (7) Õ

ªa Ë > 3“ É r ZnSe/GaAs(100) é ß –  & ñ ~ à Ì} Œ •_  Ï ã J] X  t à º n(E), ™ è F g > à º k(E)\  ¦    · p . n(E)ü < k(E)  H SE 8 £ ¤

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ªa Ë > 4  H ZnSe é ß –  & ñ ~ à Ì} Œ •\  @ /ô  Ç f  ¨ à º> à º\  ¦   



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 [18].

IV. + s Ç Â ] Ø

ZnSe/GaAs(100) é ß –  & ñ ~ à Ì} Œ •_  F g† < Æ& h  : £ ¤$ í `  ¦ › ¸ 

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Optical Properties of ZnSe Epilayers Using Spectroscopic Ellipsometer

Dae-Jung Kim, Young-Moon Yu, Kwang-Jae Lee and Yong Dae Choi Department of Optical & Electronic Physics Mokwon University, Daejon 305-764

Ji-Hyun Moon, Seon-Hyang You and Byungsung O Department of Physics Chungnam University, Daejon 302-729

Yang-June Jung

Department of Physics, Mokpo National University, Muan 534-729 (Received 18 June 2003)

We have studied the optical response of ZnSe in the 1.5-8.7 eV photon energy range at room temperature by spectroscopic ellipsometry. The measured dielectric funtion spectra reveal distinct structures at energies of E

O

, E

O

+ ∆

O

, E

0O

+ ∆

O

, E

1

, E

1

+ ∆

1

, E

2

critical points (CPs). These data are analyzed on the basis of a simpled model of the interband transition. Thus, new critical points around 6.30 eV and 8.26 eV are found to be E

2

and E

O0

+ ∆

O

, respectively.

PACS numbers: 77

Keywords: Spectroscopic ellipsometer, Dielectric constant, ZnSe, HWE

E-mail: [email protected]

참조

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