PET M “ ˜ m ü; c V R ËX ê sc Ü R IZO õ m Í IZTO U c lT c l8 ý š ¼ã _ ˏ ¹ Åy ¢ — ¤V R Ë

PET M “ ˜ m  ü; c V R ËX ê sc Ü R IZO õ m Í IZTO U c lT c l8 ý š ¼ã _ ˏ ¹ Åy ¢ — ¤V R Ë

)

í <` 9 * å  ·  ™ »é s* > · ƒ ‘ šŠ û BZ 9  ·  ™ »ø ¶ B<  ^∗

@

/½ ¨d  ¦a Ë :@ /† < Ɠ §, Ó ü t o ·ì ø ͕ ¸^ ‰õ † < Ƅ  / B N,  â í ß – 712-702 ( 2003¸   4 Z 4 14{ 9  ~ à Î6 £ §)

“

¦Å Ò   Õ ªW 1à ԏ : r Û ¼( ' a A`  ¦ s 6   x # Œ PET l ó ø Í(polyethylene terephthalate webs) 0 A\  In

2

O

3

- ZnO (IZO) > \ P _  È Ò" î „  • ¸$ í ~ à Ì} Œ •[ þ t`  ¦ $ í  © œr v “ ¦, s [ þ t_  „  l & h , F  g† < Æ& h  x 9  ½ ¨› ¸& h  : £ ¤$ í 1 p x`  ¦ › ¸



 % i  . PET 0 A\  $ í } Œ • ) a IZO ~ à Ì} Œ •“ É r Ä »o  l ó ø Í 0 A\  $ í } Œ • ) a IZO ~ à Ì} Œ •\  q  # Œ €   $ † ½ Ós  7 £ x

 “ ¦ ³ ð€  › ¸• ¸  } 9 # Qt   H é ß –& h s  e ” t ë ß –, Zn $ í ì  r_  { 9  Ò SnÜ ¼– Ð @ /^ ‰  ) a In

2

O

3

-ZnO-SnO

2

(IZTO) ~ à Ì} Œ •\ " f  H q & ñ | 9 ½ ¨› ¸_  ³ ð€  s  $ í  © œ  9 $ † ½ Ós  y Œ ™™ è† < Êõ   8Ô  ¦ # Q \ P  ¢ ¸  H _ þ v • ¸\  _ ô  Ç ü @ Â

Ò Û ¼à ÔY UÛ ¼\  @ /K " f• ¸ B Ä º î ß –& ñ  ) a „  l & h  : £ ¤$ í `  ¦ t m >  H † d`  ¦ · ú ˜€ Œ ¤ . : £ ¤ y , In

2

O

3

: ZnO: SnO

2

= 90: 7: 3 wt%_  $ í ì  r q \  ¦ t    IZTO ~ à Ì} Œ •“ É r 4.3 × 10

⁻⁴

Ω ·cm _  q $ † ½ Óõ  1 nm s  _  ³ ð€  › ¸• ¸

\

 ¦ t    B Ä º Ä ºÃ ºô  Ç È Ò" î „  • ¸ : £ ¤$ í `  ¦ ˜ Ð# Œº ¡ § Ü ¼– Ð+ ‹, PETü < ° ú  “ É r e  ¦  Û ¼h Ë : l ó ø Í 0 A_  $ “ : r $ í } Œ •\  e ”

# Q" f  © œ & h ] X ô  Ç D h– Ðî  r È Ò" î „  • ¸$ í Ó ü t| 9 – Ð 6 £ x6   x| ¨ c à º e ” `  ¦  כ Ü ¼– Ð ó ø Íé ß – ) a  .

PACS numbers: 73.61.Tm, 78.66.Jg, 81.15.Cd

Keywords: IZO, IZTO, È Ò" î „  • ¸$ í ~ à Ì} Œ •, F  g† < Æ& h  $ í | 9 , „  l & h  $ í | 9 , Û ¼( ' a A

I. " e  ] Ø

È

Ò" î „  • ¸$ í í ß – oÓ ü t (TCO: transparent conducting ox- ide) ~ à Ì} Œ •“ É r ¨ î ó ø ͳ ðr  © œu (FPD: flat panel display)
 '  u

J V , , Õ ªo “ ¦ ~ à Ì} Œ •+ þ A I € ª œ„  t ü < ° ú  “ É r  € ª œô  Ç F  g„   

™

è [ þ t_  È Ò" î „  F G Ü ¼– Ð V , o   6   x ÷ &“ ¦ e ”  . [1–8] { 9  ì ø

Í& h Ü ¼– Ð TCO ~ à Ì} Œ •“ É r r  F  g % ò % i \ " f Z  }“ É r F  g È Òõ Ö  ¦ õ

 „  l „  • ¸• ¸  H Ó ü t : r, ç  H| 9 _  ³ ð€  › ¸• ¸ (surface rough- ness) ü < / B N& ñ õ & ñ _  ¼ # o $ í \  e ” # Q" f• ¸ Ä ºÃ ºô  Ç : £ ¤$ í `  ¦ t

 .  ô  Ç . ‰ & ³F   © œ V , o  æ ¼s   H TCO ~ à Ì} Œ •“ É r Ä »o  l

ó ø Í 0 A\  Û ¼( à Ôa A(sputtering) ~ ½ ÓZ O \  _  # Œ $ í  © œ ) a In

2

O

3

-SnO

2

(ITO) ~ à Ì} Œ •“  X <, ITO ~ à Ì} Œ •s  ± ú “ É r q $ † ½ Ó õ

 Z  }“ É r È Òõ Ö  ¦`  ¦
 ? /l  0 AK " f  H 300

^o

C s  © œ_  “ ¦

“

: r \ " f $ í } Œ •÷ &# Q    H  כ Ü ¼– Ð · ú ˜ 94 R e ”  . [9] þ j  H \ 



 H TCO ~ à Ì} Œ •_  l ó ø ÍÓ ü t| 9 `  ¦ È Ò" î Ä »o  @ /’   polyethy- lene terephthalate (PET), poly carbonate (PC), ¢ ¸  H polyether sulfonate (PEC) ü < ° ú  “ É r e  ¦  Û ¼h Ë : Ó ü t| 9 – Ð @ /^ ‰

 9  H ƒ  ½ ¨ r • ¸÷ &“ ¦ e ”  . [11,12] s  ×  æ \ " f• ¸ PET



 H PC ü < PEC ˜ Ð   H r  F  g % ò % i \ " f Z  }“ É r È Òõ Ö  ¦ õ 

± ú

“ É r à ºì  r È Òõ Ö  ¦ (water vapor transmission rate) `  ¦ t  u 

´ ÷  rë ß –  m  , È Ò" î Ä »o  l ó ø Í @ /’   PET l ó ø Í`  ¦  6   x

€   FPD  © œu _  Á º>  y Œ ™™ è  H Ó ü t : r q 6   x€  \ " f• ¸  â Ô q t

∗

E-mail: [email protected]

§

4 `  ¦ S X ‰ ˜ н + É Ã º e ”  . Õ ª  X <, PETü < ° ú  “ É r e  ¦ o  Q\  ¦ l  ó

ø ÍÜ ¼– Ð  6   x½ + É  â Ä º  H ˜ Ð: Ÿ x 100

^o

C s  _  ± ú “ É r “ : r • ¸\ 

"

f $ í } Œ •½ + É Ã º µ 1 Ú\  \ O   H X <, s M : $ “ : r $ í } Œ • ) a q & ñ | 9  ITO



 H _ þ v\ P (moist heat)\  @ /ô  Ç $ † ½ Ó§ 4 s   Œ • " f r ç ß –s   â õ

† < Ê\     „  l „  • ¸• ¸ü < F  g È Òõ Ö  ¦ s  ‰ & ³$  >  y Œ ™™ è 



 H é ß –& h `  ¦ œ íA  >   ) a  . [13]

‘

: r ƒ  ½ ¨\ " f  H s  Qô  Ç ITO ~ à Ì} Œ •_    & h `  ¦ K    l  0

Aô  Ç ô  Ç r • ¸– Ð" f, PET 0 A\  In

2

O

3

-ZnO (IZO) ü < Sns  Â

Òì  r ' ‘   ) a In

2

O

3

-ZnO-SnO

2

(IZTO) ~ à Ì} Œ •`  ¦ “ ¦Å Ò    Õ

ªW 1à ԏ : r Û ¼( ' a A (rf-magnetron sputtering)`  ¦ s 6   x 

#

Œ ] j Œ • % i  . : £ ¤ y , IZO x 9  IZTO ~ à Ì} Œ •_  $ í ì  r › ¸$ í q

\  ¦ y Œ •y Œ • ² ú ˜o  # Œ 1 l x{ 9  › ¸| \ " f $ í } Œ • “ ¦ s [ þ t_  „   l

& h , F  g† < Æ& h  x 9  ½ ¨› ¸& h  : £ ¤$ í `  ¦ " f– Ð q “ §K  4 Ÿ § Ü ¼– Ð+ ‹, Sn_  ' ‘  ´ òõ \  ¦ µ 1 ßj Ë µõ   Ö  ¦  Q D h– Ðî  r TCO ~ à Ì} Œ •Ü ¼– Ð _

 6 £ x6   x 0 p x$ í `  ¦ % ƒ6 £ § Ü ¼– Ð › ¸  % i  .s p , IZO ~ à Ì} Œ •

“

É r FPD ™ è – Ð_  6 £ x6   x \  e ” # Q" f ×  æ כ ¹ô  Ç כ ¹™ è[ þ t“   ³ ð€  

$

† ½ Ó, F  g È Òõ Ö  ¦, „  l & h  î ß –& ñ $ í , ³ ð€  › ¸• ¸, Õ ªo “ ¦ l ó ø Í

\

 @ /ô  Ç Â Ò‚ à ̧ 4  1 p x s  PET 0 A\  ] j Œ • ) a ITO ~ à Ì} Œ •˜ Ð  Ä º Ã

º    H & h s  ˜ Г ¦  ) a   e ”  . [9–12] Õ ª Q
 @ /Â Òì  r_  e

 ¦  Û ¼h Ë : l ó ø ͓ É r à ºì  r (H

2

O) ¢ ¸  H Ä »l  _ " t $ ™à Ôü < ° ú  “ É r f

 ¨‚ Ã Ì Ó ü t| 9 `  ¦ Ÿ í† < Ê “ ¦ e ” l  M :ë  H \ , Û ¼( ' a Ar  s [ þ t_  7

£

xµ 1 Ï\  _ K  ”  / B N • ¸ $   | ¨ c ÷  rë ß –  m   7 £ x‚ à ̝ ) a IZO

~ Ã

Ì} Œ •_  „  l & h  : £ ¤$ í _  $  \  ¦ œ íA ô  Ç . s \  ‘ : r ƒ  ½ ¨\ 

"

f  H PET ü < ° ú  “ É r e  ¦  Û ¼h Ë : l ó ø Í 0 A\ " f• ¸ î ß –& ñ  ) a 7 £ x‚ à Ì

-332-

:

£

¤$ í `  ¦ ° ú   H Ä »} © œô  Ç TCO Ó ü t| 9  Ê ê˜ Ð– Ð" f, SnO

2

 ' ‘ 

 )

a IZO 7 £ ¤, IZTO\  ¦ ] jî ß –ô  Ç . PET 0 A\  $ í } Œ • ) a # Q‹ "  : £ ¤

&

ñ $ í ì  r › ¸$ í q \  ¦ t    IZTO ~ à Ì} Œ •“ É r l ” > r_  ITO
 IZO

~ Ã

Ì} Œ •˜ Ð  Ä ºÃ ºô  Ç È Ò" î „  • ¸ : £ ¤$ í `  ¦
 è ­ q ÷  rë ß –  m  , _

þ

v • ¸ü < \ P õ  ° ú  “ É r ü @Â Ò Û ¼à ÔY UÛ ¼\  @ /K " f• ¸ B Ä º î ß –& ñ

 )

a „  l & h  : £ ¤$ í `  ¦ ˜ Ð# ŒÅ Ò>   ) a  .

II. ÷ m Ç ] M ö

Û

¼( ' a A6   x IZO x 9  IZTO   ¿ “ É r í  H • ¸ 99.999% (5N) _

 In

₂

O

₃

, ZnO, x 9  SnO

₂

_  ì  r´ ú ˜F « Ñ\  ¦  6   x % i  . IZO 

 ¿ “ É r In

2

O

3

: ZnO_  q Ö  ¦`  ¦ 95: 5 ¢ ¸  H 90: 10 wt% – Ð, IZTO   ¿ “ É r In

2

O

3

: ZnO: SnO

2

_  $ í ì  r › ¸$ í q \  ¦ 90: 7:

3 ¢ ¸  H 90: 3: 7 wt% – Ð % i  . (s  Qô  Ç   ¿ $ í ì  r q Ö  ¦

–

Ð Û ¼( à Ôa A $ í } Œ • ) a ~ à Ì} Œ •`  ¦ IZO(90: 10) <  ʓ É r IZTO(90:

7: 3) 1 p x õ  ° ú  s  ³ ðr  l – Ð ô  Ç .) €  $  3 l q& h  $ í ì  r q – Ð

™

D ¥½ + Ëô  Ç IZO x 9  IZTO ì  r´ ú ˜`  ¦ 12 r ç ß –1 l xî ß –  ½ ™× ¼x 9 `  ¦ z  ´r 

# Œ ™ D ¥½ + Ëô  Ç + ', ”  / B N \ " f 4r ç ß – 1 l xî ß – 1  ™ è$ í Ê ê, 2“  u  

 ¿ f . Ë  8\  Y  J “ ¦À Ò V , “ ¦ á ÔY UÛ ¼  © œu – Ð 500 kg×  æ/cm

²

· ú š

‚

Ã Ì Ê ê, ì  r W Œ •\ O õ  · ú š‚ à Ì`  ¦ ì ø Í4 Ÿ ¤ô  Ç + '\  800

^o

C_  Ar ì  r 0 Al \ " f 2r ç ß – 1 l xî ß – “ ¦+ þ A or (   .

ô 

Ǽ # , l ó ø ÍÜ ¼– Ð  6   xô  Ç PET (Dupont ST 504)  H solid- state polycondensation õ  à ºì  r È Òõ Ö  ¦(a water vapor transmission rate) s  y Œ •y Œ • 0.7-0.8 dl/g ü < 4.2 g/cm

²

day s

 . Ä »o …  ;s  “ : r • ¸(glass transition temperature)  H 80

o

C – Ð" f, 210

^o

C \ " f 15-20 h 1 l xî ß –   & ñ  o s À Ò# Q”   0.1

% s  _  à º» ¡ ¤Ò  ¦ (contraction rate)`  ¦ t     כ `  ¦  6   x 

%

i l  M :ë  H \  150

^o

C \ " f• ¸ B Ä º î ß –& ñ  ) a : £ ¤$ í `  ¦ ° ú   H  .

¢

¸ô  Ç PET 0 A\   H à ºì  r È Òõ Ö  ¦ õ  Ä »l  _ " t $ ™à Ô_  f  ¨‚ à Ì`  ¦

×

 ¦ s “ ¦, l ó ø ÍÜ ¼– Ð" f_   ҂ à ̧ 4 `  ¦ † ¾ Ó © œr v l  0 AK  z  ´o 

(silica) 8 £ x s  7 £ x‚ à Ì÷ &# Q e ”  . l ó ø ͳ ð€  _  Ô  ¦í  HÓ ü t“ É r ~ Ã Ì o


 — 2 ;f . Ë 1 p x_  ‰ & ³ © œ x 9  } Œ •_   ҂ à Ì$ í `  ¦ $  r v l  M :ë  H

\

, PET l ó ø Í`  ¦ B jò ø Í`  ¦ – Ð [ j' ‘  Ê ê,   ¿ õ  ¨ î + þ A >   © œ

‚ Ã

Ìô  Ç Ê ê,   ¿ ³ ð€  _  Ô  ¦í  HÓ ü t õ  í ß – o8 £ x`  ¦ ] j  l  0 AK 

"

f B  7 £ x‚ Ã Ì r  25 sccm_  Ar Û ¼\  ¦ Ä »{ 9  # Œ, 10ì  r 1 l xî ß –

\

Vq  Û ¼( ' a A`  ¦ z  ´r  % i  . Ä º‚  , $ כ ›! Q ? /_  œ íl  ”   /

B

N • ¸\  ¦ 10

⁻

6 torr – Ð Ä »t ô  Ç Ê ê, Ar Û ¼\  ¦ Ä »{ 9 r & , $ כ ›

!

Q ? /_  ”  / B N • ¸\  ¦ 3.2 × 10

⁻³

torr – Ð { 9 & ñ >  Ä »t ô  Ç   6

£ §, 7 £ x‚ à Ì`  ¦ z  ´r  % i  . — ¸Ž  H ~ à Ì} Œ •[ þ t“ É r í  H à ºô  Ç Ar ì  r0 A l

\ " f ] j Œ •÷ &% 3 Ü ¼ 9, “ ¦Å Ò  “   „  § 4 “ É r 75 W,   ¿ õ

 l ó ø Íõ _   o   H 7 cm, Õ ªo “ ¦ 7 £ x‚ Ã Ì œ íl _  l ó ø Í “ : r

•

¸  H  © œ“ : r Ü ¼– Ð % i  .

~ Ã

Ì} Œ •_  ½ ¨› ¸\  @ /K " f  H AFM (Digital Instrument Co.)  © œ(image)Ü ¼– РÒ'  ³ ð€   p [ j½ ¨› ¸\  ¦ › ' a8 £ ¤† < Êõ   

Ö

 ¦  Q X-‚    r] X (XRD) J ‡  Ü ¼– РÒ'  ~ à Ì} Œ •_    & ñ $ í `  ¦ ì  r

$

3  % i “ ¦, ~ à Ì} Œ •_  ¿ ºa   H α-step (Veeco Co.) õ  Spectra Thick 2000`  ¦ y Œ •y Œ •  6   x # Œ 8 £ ¤& ñ % i  . F  g† < Æ& h  : £ ¤$ í _ 

›

¸   H UV-VIS spectrophotometer (Shimadzu Co.)\  ¦   6

 

x # Œ, 200-800 nm_    © œ% ò % i \ " f F  g È Òõ • ¸\  ¦ 8 £ ¤& ñ 

%

i Ü ¼ 9, 8 £ ¤& ñ r  l ó ø Í\  @ /ô  Ç ˜ Ð& ñ \ O s  / B N l 8 £ x`  ¦ l ï  r Ü ¼

–

Ð % i  . ô  Ǽ # , „  l & h  : £ ¤$ í “ É r 4-pin probe ~ ½ ÓZ O \     y

Œ

• ~ à Ì} Œ •_  €   $ † ½ Ó(sheet resistance)`  ¦ 8 £ ¤& ñ % i  . ¢ ¸ô  Ç TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  _ þ v\ P \  @ /ô  Ç $ † ½ Ó§ 4 `  ¦ ¨ î  l  0 AK " f



 H, “ : r • ¸ü < _ þ v • ¸_  › ¸| `  ¦ ² ú ˜o ô  Ç ¿ º 7 á x À Ó_  ü @Â Ò Û ¼à Ô Y

UÛ ¼\  ¦  Òõ ô  Ç Ê ê, TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  €  $ † ½ Ó    o\  ¦ 8 £ ¤& ñ 

% i  .

III. + s ÇÊ Ý õ m Í À X Ø8 ý

1.  Œ ºX ì Ä — ¤V R Ë

TCO ~ à Ì} Œ •_  ³ ð€  › ¸• ¸  H ³ ðr  ™ è _  à º" î õ  x 9 ] X ô  Ç

› '

a >  e ” Ü ¼ 9, : £ ¤ y  [ j@ / ³ ðr ™ è – Ð ´ ú §“ É r › ' a d ” `  ¦ = å J

“

¦ e ”   H Ä »l  „   µ 1 ÏF  g ™ è _  à º" î `  ¦ S X ‰ ˜ н + É Ã º e ”   H

×

 æ כ ¹ô  Ç כ ¹™ ès  . Õ ªa Ë > 1“ É r as-deposited TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  AFM(atomic force microscope)  © œõ  ~ à Ì} Œ •_  ³ ð€   ¨ î  Ö ¸

$ í

`  ¦ K $ 3 ½ + É Ã º e ”   H é ß –€   ì  r$ 3 (section analysis) Û ¼& 7 ˜ à

Ô! 3 `  ¦
  · p  כ s  . Õ ªa Ë > 1(a)ü < 1(b)\  y Œ •y Œ •
  · p IZO(95: 5) ü < IZO(90: 10) ~ à Ì} Œ •[ þ t_   â Ä º, þ j@ / Z  } s  (R

_{M AX}

)  y Œ •y Œ • 4.944 nmü < 2.905 nm“   ± ú ˜ – Ðî  r tip 2-3 > h\  ¦ ] jü @ “ ¦  H # Q* ‹ô  Ç ç  H\ P s 
 : £ § D h• ¸ › ' a8 £ ¤ ÷ &t 

· ú

§  H  . Õ ªo “ ¦ ³ ð€  › ¸• ¸\  ¦ ¨ î ½ + É Ã º e ”   H rms ° ú כ“ É r y Œ • y

Œ • 2.147 nmü < 1.422 nm– Ð" f ³ ð€  s  €  •ç ß –  • 2 ;  כ `  ¦ ^  ¦ Ã

º e ”  . ì ø ̀  , Õ ªa Ë > 1(c)\ 
  · p IZTO(90: 3: 7) ~ à Ì} Œ • _

  â Ä º  H, R

M AX

° ú כs  5.976 nm, rms ° ú כ“ É r 1.957 nm – Ð 0

A_  IZO ~ à Ì} Œ •[ þ t õ   H s   H ˜ Ðs t  · ú §Ü ¼
, = å Q s  ¶ ð7 á ¤ ô 

Ç l Ñ ü æ — ¸€ ª œ_  Å Ò © œ(columnar) ½ ¨› ¸_    & ñ w n [ þ t s  x 9 | 9 

>  ³ ð€   $ í  © œ`  ¦ Šҕ ¸ “ ¦ e ”   H  כ `  ¦ ^  ¦ à º e ”  . s  Q ô 

Ç Å Ò © œ½ ¨› ¸   & ñ w n [ þ t“ É r $ “ : r $ í } Œ • ) a ITO ~ à Ì} Œ •\ " f_ 

 

& ñ w n õ  B Ä º f  ¨  ô  Ç — ¸€ ª œ`  ¦ t m “ ¦ e ”  . $ “ : r $ í } Œ • ) a ITO ~ à Ì} Œ •_   â Ä º, Z  } s  30 nm s  © œ_  ± ú ˜ – Ðî  r tip [ þ t s

 ³ ð€  \  $ í  © œ÷ &l  M :ë  H \  OLEDü < ° ú  “ É r ³ ðr ™ è  ] j



Œ •\  e ” # Q" f ¾ º[ O „  À Ó_  " é ¶ “  s  ÷ &# Q ™ è _  à º" î \  u 

"

î & h s  | ¨ c à º e ” Ü ¼ 9 ¢ ¸ô  Ç ³ ð€  $ † ½ Ó 7 £ x _  " é ¶ “  s  | ¨ c à º

•

¸ e ”  . [11,12] ô  Ǽ # , Õ ªa Ë > 1(d)\ 
  · p IZTO(90 : 7:

3) ~ à Ì} Œ •\ " f  H s ü < ° ú  “ É r ± ú ˜ – Ðî  r tip[ þ t s 
 # Q* ‹ô  Ç   

&

ñ  © œ• ¸ › ' a8 £ ¤ ÷ &t  · ú §`  ¦ ÷  rë ß –  m  , é ß –€   ì  r$ 3  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3  Ü

¼– РÒ'  8 £ ¤& ñ  ) a rms ° ú כ ¢ ¸ô  Ç 0.770 nm– Ð" f Õ ª ³ ð€  s 

Õ

ªa Ë > 1. PET 0 A\  $ í } Œ • ) a È Ò" î „  • ¸$ í í ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •[ þ t_  AFM  © œ x 9  é ß –€  ì  r$ 3  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 [ þ t. (a) IZO(95: 5) ~ à Ì} Œ •, (b) IZO(90: 10) ~ à Ì} Œ •, (c) IZTO(90: 3: 7) ~ à Ì} Œ •, (d) IZTO(90: 7: 3) ~ à Ì} Œ •

B

Ä º ç  H| 9 ô  Ç q & ñ | 9  ½ ¨› ¸e ” `  ¦ r & h Ü ¼– Е ¸ S X ‰ “  ½ + É Ã º e ”

 .

Õ

ªa Ë > 2  H PET 0 A\  $ í } Œ • ) a as-deposited TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t _

 X-‚    r] X (XRD) J ‡  [ þ t`  ¦
 ? /% 3  . y Œ • Õ ªa Ë >_  Ä º 8

£

¤ ¶ ú š{ 9 Õ ªa Ë >\   H   & ñ x ß ¼[ þ t`  ¦ ˜ Ð   [ jy  › ' a8 £ ¤ l  0 A # Œ 2θ ≥ 30

^o

\  @ /ô  Ç  r] X  J ‡  `  ¦ S X ‰ @ / # Œ Õ ª 2 ;  כ s 



. 2θ ≈ 25

^o

  H~ ½ Ó\ " f
 
  H x ß ¼  H PET 0 A\  hard coating ) a z  ´o   8 £ x \  _ ô  Ç  כ Ü ¼– Ð S X ‰ “  ÷ &% 3  .   " f, IZO ~ à Ì} Œ •“ É r $ í ì  r q \  › ' a > \ O s  PET  ^ ‰_  x ß ¼\  ¦ ] j ü

@ “ ¦  H   & ñ $ í `  ¦ € Œ ™r    H # Q* ‹ô  Ç x ß ¼[ þ t • ¸ › ' a8 £ ¤ ÷ &t 

· ú

§  H q & ñ | 9  ½ ¨› ¸e ” `  ¦ · ú ˜ à º e ”  . ô  Ǽ # , IZTO ~ à Ì} Œ •[ þ t_ 

 â

Ä º, ZnO $ í ì  r \  q  # Œ SnO

²

$ í ì  r s   © œ@ /& h Ü ¼– Ð ´ ú § s

 Ÿ í† < ʝ ) a IZTO(90: 3: 7) ~ à Ì} Œ •“ É r [400], [440], [622] ~ ½ ӆ ¾ Ó Ü

¼– Ð Ä º‚   $ í  © œô  Ç    & ñ ½ ¨› ¸e ” `  ¦ · ú ˜ à º e ”   H X <, s  x  ß

¼[ þ t“ É r ITO ~ à Ì} Œ •\ " f › ' a8 £ ¤ ÷ &  H   & ñ x ß ¼[ þ t õ   _  { 9  u

 % i  . [14] s \  ì ø ÍK , IZTO(90: 7: 3) ~ à Ì} Œ •_   â Ä º, XRD J ‡  “ É r IZO ~ à Ì} Œ •[ þ t õ   _  Ä »   9, # Q* ‹ô  Ç   & ñ

Õ

ªa Ë > 2. PET 0 A\  $ í } Œ • ) a as-deposited TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  XRD J ‡  . y Œ •  â Ä º_  Ä º8 £ ¤ ¶ ú š{ 9 • ¸  H 2θ ≥ 30

^o

\  @ /ô  Ç



r] X  J ‡  `  ¦ S X ‰ @ /ô  Ç Õ ªa Ë >e ” .

$ í

x ß ¼• ¸  Ž Ø  ¦ ÷ &t  · ú §  H q & ñ | 9 e ” `  ¦ ~ 1 >  · ú ˜ à º e ”  .

{ 9

ì ø Í& h Ü ¼– Ð q & ñ | 9 “ É r    & ñ \  q  # Œ 6 £ x§ 4 s   Œ •l  M : ë

 H \  l ó ø Í\  @ /ô  Ç Â Ò‚ à ̧ 4 s  & ”   . : £ ¤ y , PETü < ° ú  s 

 

+ þ As  ~ 1 >  { 9 # Q
  H e  ¦  Û ¼h Ë : l ó ø Í\  @ /K " f  H q & ñ

| 9

 ½ ¨› ¸\  ¦ t m   H IZTO(90: 7: 3) ~ à Ì} Œ •s , ³ ð€  › ¸• ¸ % i  r

  © œ Ä ºÃ ºô  Ç & h `  ¦ “ ¦ 9ô  Ç €  , TCO ~ à Ì} Œ •Ü ¼– Ð" f ´ ò6   x

$ í

s  B Ä º Z  }  “ ¦ ½ + É  כ s  . Õ ª Q
, TCO ~ à Ì} Œ •_  ´ ò6   x

$ í

“ É r ‘ : r| 9 & h Ü ¼– Ð F  g È Òõ Ö  ¦ õ  „  l „  • ¸$ í _  Ä ºÃ º$ í \  _ 

”

> rô  Ç .  6 £ §“ É r ‘ : r z  ´+ « >\ " f ] j Œ •ô  Ç TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  „  l 

&

h  : £ ¤$ í `  ¦ ] jr  “ ¦  ô  Ç .

2.  ¹ ÅM X ì Ä — ¤V R Ë

Õ

ªa Ë > 3“ É r as-deposited IZO x 9  IZTO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  €   $ † ½ Ó

`

 ¦ 7 £ x‚ Ã Ì r ç ß –_  † < Êà º– Ð
  · p  כ s  . — ¸Ž  H ~ à Ì} Œ •“ É r  © œ

“

: r \ " f 1 l x{ 9 ô  Ç › ¸| Ü ¼– Ð ] j Œ •÷ &% 3 Ü ¼ 9, €   $ † ½ ӓ É r 5 × 5 cm

²

_  1 l x{ 9 ô  Ç ß ¼l _  r « Ñ\ " f 8 £ ¤& ñ ÷ &% 3  . { 9 ì ø Í& h Ü ¼

–

Ð, TCO ~ à Ì} Œ •_  q $ † ½ Óõ  ¿ ºa \  ¦ ρ ü < d– Ð y Œ •y Œ •
 è ­ q M

:, ~ à Ì} Œ •_  €   $ † ½ Ó R

_s

= ρ/d – Ð Å Ò# Q”   . s  d ” \ " f ˜ Ð

Õ

ªa Ë > 3. PET 0 A\  $ í } Œ • ) a TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  7 £ x‚ Ã Ì r ç ß –\ 

@

/ô  Ç €  $ † ½ Ó_  _ ” > r$ í . Õ ªa Ë >\ 
  · p ‚  [ þ t“ É r q $ † ½ Ó

° ú

כ_  Æ Ò& ñ `  ¦ 0 Aô  Ç ´ ú » ¡ §‚  `  ¦
  · p  כ e ” .



 H  ü < ° ú  s , ~ à Ì} Œ •_  €   $ † ½ ӓ É r ¿ ºa \  ì ø Íq Y V “ ¦ ¿ º a

  H 7 £ x‚ à ÌÒ  ¦ õ  7 £ x‚ Ã Ì r ç ß –_  Y  L \  _ K    & ñ ÷ &l  M :ë  H \ , 7

£

x‚ Ã Ì r ç ß –s  U  ´# Q| 9 à º2 Ÿ ¤ €   $ † ½ ӓ É r y Œ ™™ è >   ) a  .   

"

f, TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  q $ † ½ ӓ É r ρ = R

s

× ¯r × t– Ð Å Ò# Qt > 

 )

a  . # Œl " f, ¯rõ  t  H y Œ •y Œ • TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  ¨ î ç  H 7 £ x‚ à ÌÒ  ¦ õ

 7 £ x‚ à Ìr ç ß –`  ¦ _ p ô  Ç . s  d ” Ü ¼– РÒ' , Õ ªa Ë > 3\ " f ˜ Ð



 H  % ƒ! 3 , €   $ † ½ Ó_  z  ´+ « >° ú כõ  fitting`  ¦ : Ÿ x K  y Œ • ~ à Ì} Œ •[ þ t _  q $ † ½ Ó ° ú כ`  ¦ Æ Ò& ñ ½ + É Ã º e ”  . s X O >  Æ Ò& ñ  ) a q $ † ½ Ó

° ú

כ“ É r, IZO(90: 5)  H 8.3×10

⁻⁴

, IZO(90: 10)“ É r 8.0×10

⁻⁴

, IZTO(90: 3: 7)  H 5.6×10

⁻⁴

, Õ ªo “ ¦ IZTO(90: 7: 3)_ 

 â

Ä º\   H 5.3 × 10

⁻⁴

Ω ·cm– Ð
 z Œ ¤ . s M :, TCO ~ à Ì} Œ • [

þ

t_  7 £ x‚ à ÌÒ  ¦“ É r IZO(90: 5) ü < IZO(90: 10) ~ à Ì} Œ •“ É r y Œ •y Œ •

¯

r = 18 õ  14 nm/min, IZTO(90: 3: 7)ü < IZTO(90: 7:

3) ~ à Ì} Œ •“ É r 16 nm/min – Ð" f z  ´+ « >Ü ¼– РÒ'  f ” ] X  8 £ ¤& ñ ÷ &% 3 



. IZO ~ à Ì} Œ •_   â Ä º, ZnO $ í ì  r q   © œ@ /& h Ü ¼– Ð ´ ú §s  ' ‘ 

  ) a IZO(90: 10) ~ à Ì} Œ •s  IZO(95: 5) ~ à Ì} Œ •\  q  # Œ 7 £ x

‚ Ã

ÌÒ  ¦“ É r b  # Qt   H ì ø ̀  , q $ † ½ ӓ É r  ™ è  Œ •“ É r  כ Ü ¼– Ð
  z

Œ ¤ . ô  Ǽ # , PET0 A\  $ í } Œ • ) a IZO ~ à Ì} Œ •“ É r Ä »o l ó ø Í 0 A\ 

$ í

} Œ • ) a IZO ~ à Ì} Œ • (2 − 3 × 10

⁻⁴

Ω ·cm)\  q  # Œ [8,11]

q

$ † ½ Ós  ß ¼>  7 £ x ô  Ç  כ `  ¦ ˜ Ð# ŒÅ ҍ  H X <, s   H Û ¼( ' a A r

 PET l ó ø Í\  Ÿ í† < ʝ ) a H

₂

O $ í ì  r õ  Ä »l  _ " t $ ™à Ô[ þ t_  7 £ x µ

1 Ïs  IZO 8 £ x \  f  ¨‚ à Ì÷ &l  M :ë  H“    כ Ü ¼– Ð Æ Ò8 £ ¤ ) a  .

IZO ~ à Ì} Œ •_  „  l & h  : £ ¤$ í “ É r 7 £ x‚ Ã Ì r  “  „  · ú š ¢ ¸  H ”   /

B

N Õ þ ›! Q ? /_  ”  / B N • ¸ü < · ú š§ 4 (Ar)“ É r Ó ü t : r í ß –™ è ì  r0 Al \ 



 " f• ¸ ß ¼>  ² ú ˜ | 9  à º e ”  . 7 £ ¤, “ ¦Å Ò  Û ¼( ' a A ~ ½ Ó Z O

`  ¦  6   x   H  â Ä º, IZO ~ à Ì} Œ •_   o† < ƀ ª œ : r& h  › ¸$ í q   H 7

£

x‚ Ã Ì   H 1 l xî ß – í  H à ºô  Ç Ar ì  r0 Al ë ß –Ü ¼– Е ¸ › ¸] X | ¨ c à º e ”  Ü

¼
, 7 £ x‚ Ã Ì ×  æ í ß –™ è Ä »{ 9 | ¨ c  â Ä º\   H õ e ç _  í ß –™ è f  ¨

³

ð 1. PET 0 A\  $ í } Œ • ) a TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  ü @Â Ò _ þ v\ P  Û

¼à ÔY UÛ ¼\  @ /ô  Ç €  $ † ½ Ó ° ú כ_     o, ∆R

s

= R

s

(after stress) −R

s

(before stress) (Ω/).

stress condition

sample HTLM LTHM

IZO(95: 5) 4.5 2.4

IZO(90: 10) 0 -2.4

IZTO(90: 3: 7) -0.4 14.0

IZTO(90: 7: 3) 0.9 0.3

‚

à Ì÷ &# Q „  l „  • ¸• ¸ ß ¼>  y Œ ™™ è   H  כ Ü ¼– Ð · ú ˜ 94 R e ” 



. [11,12] Õ ª  X <, Õ ªa Ë > 3\ " f ˜ Ѝ  H  ü < ° ú  s , Sns  { 9  Â

Ò ' ‘ ÷ &  H IZTO ~ à Ì} Œ •\ " f  H IZO ~ à Ì} Œ •\  q  # Œ q $ 

†

½ Ós  ß ¼>  y Œ ™™ èô  Ç  כ `  ¦ ^  ¦ à º e ”  . IZTO ~ à Ì} Œ •_  $ í ì  r › ¸

$ í

q  s \    É r 7 £ x‚ à ÌÒ  ¦“ É r  _  q 5 p w t ë ß –, q $ † ½ ӓ É r SnO

2

$ í ì  r s  ZnO $ í ì  r \  q  # Œ  © œ@ /& h Ü ¼– Ð ´ ú §s  Ÿ í† < Ê

 )

a IZTO(90: 7: 3) ~ à Ì} Œ •s  €  •ç ß –  Œ •“ É r  כ Ü ¼– Ð
 z Œ ¤ .

s

 Qô  Ç z  ´+ « >   õ   H PET l ó ø Í_  • ¸{ 9 Ü ¼– Ð œ íA   ) a IZO 8

£

x_  „  l & h  : £ ¤$ í $  \  ¦ ZnO_  { 9  Ò\  ¦ SnO

2

– Ð @ /^ ‰r  ( ”

Ü ¼– Ð+ ‹ s \  ¦  © œ W½ + É Ã º e ” 6 £ §`  ¦ _ p    H  כ s  .

ô 

Ǽ # , PET  © œ\  $ í } Œ • ) a TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  _ þ v\ P \  @ / ô 

Ç „  l & h  î ß –& ñ $ í `  ¦ ¨ î  l  0 A # Œ, 150

^o

C_  | › ¸ ô 

Ç / B N l  ×  æ \ " f 30ì  r1 l xî ß – \ P % ƒo    H “ ¦“ : r $ _ þ v(HTLM:

high temperature & low moisture) › ¸| õ  80

^o

C_  “ : r

•

¸ü < RH 90 %_  _ þ v • ¸ \ " f 30ì  rç ß – \ P % ƒo    H $ “ : r “ ¦ _

þ v(LTHM: low temperature & high moisture) › ¸|  1 p x ¿ º 7

á

x À Ó_  ü @Â Ò Û ¼à ÔY UÛ ¼\  ¦  Òõ ô  Ç Ê ê, TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  €  $ 

†

½ Ó_     o\  ¦ 8 £ ¤& ñ % i  . ³ ð 1“ É r y Œ • TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t \  @ /K  HTLM õ  LTHM_  Û ¼à ÔY UÛ ¼\  ¦  l  „  õ  Ê ê_  €  $ 

†

½ Ó_  s  ° ú כ ∆R

_s

`  ¦
  · p  כ s  . IZO ~ à Ì} Œ •_   â Ä º, LTHM ˜ Ð   H HTLM \  _ ô  Ç €  $ † ½ Ó_     o  H X <, s 



 H 150

^o

C \ " f \ P % ƒo    H 1 l xî ß – PET l ó ø Í_  … ô a(positive bending) \  _ ô  Ç IZO 8 £ x_    + þ A M :ë  H \  €  $ † ½ Ós  ß ¼>  7

£

x ô  Ç „  ÒÜ ¼– Ð Æ Ò8 £ ¤ ) a  . 7 £ ¤, IZO ~ à Ì} Œ •“ É r _ þ v • ¸\  _ ô  Ç Û ¼ à

ÔY UÛ ¼\  @ /K " f  H q “ §& h  î ß –& ñ ô  Ç ì ø ̀  , \ P & h  Û ¼à ÔY UÛ ¼

\

 @ /K " f  H PET  ^ ‰_    + þ A\  _ ô  Ç % ò † ¾ Ó`  ¦ ´ ú §s  ~ à Γ ¦ e ”

6 £ §`  ¦ _ p ô  Ç .

IZTO(90: 3: 7) ~ à Ì} Œ •_   â Ä º,   É r ~ à Ì} Œ •[ þ t õ   H ² ú ˜o , LTHM › ¸| `  ¦  €   €  $ † ½ Ós  ß ¼>  7 £ x ô  Ç . s   â

†

¾ ӓ É r IZTO(90: 3: 7) \   H ZnO $ í ì  r ˜ Ð  SnO

2

$ í ì  r s

  © œ@ /& h Ü ¼– Ð ´ ú §s  Ÿ í† < Ê÷ &# Q e ” Ü ¼Ù ¼– Ð  © œ“ : r \ " f $ í } Œ •

 )

a ITO ~ à Ì} Œ •õ   _  q 5 p wô  Ç : £ ¤$ í `  ¦ ˜ Ðs l  M :ë  H s  . z  ´ ]

j– Ð,  © œ“ : r $ í } Œ • ) a q & ñ | 9  ITO\ " f  H 100

^o

C s  _  “ : r

•

¸\ " f• ¸ q & ñ | 9 \ " f    & ñ Ü ¼– Ð  © œ   o ~ 1 >  { 9 # Q




 H  כ õ  Ä »  > , IZTO(90: 3: 7) ~ à Ì} Œ •\ " f  H 30ì  r 1 l xî ß –

Õ

ªa Ë > 4. PET 0 A\  $ í } Œ • ) a as-deposited TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  F 

g È Òõ  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 .

_  HTLM ¢ ¸  H LTHM › ¸|   Òõ \  _  # Œ  © œ   o ~ 1 

>

 { 9 # Q
  H  כ s  XRD 8 £ ¤& ñ Ü ¼– РÒ'  S X ‰ “   % i  . ITO



 H í ß –™ è   € 9 (O

2

vacancy) \  _ ô  Ç n+ þ A „  • ¸$ í `  ¦ t m Ù ¼

–

Ð, [14] _ þ v • ¸ Z  }“ É r ¨ 8 Š â \ " f  H í ß –™ è ˜ Ð © œ÷ &€  " f „  

î  rì ø Í _  y Œ ™™ è\  _ K  „  l  „  • ¸$ í s  ± ú  t >   ) a  .



 " f, IZTO(90: 3: 7) ~ à Ì} Œ •_  „  l & h  : £ ¤$ í “ É r, ITO ü <



ð ø Ít – Ð, \ P & h  Û ¼à ÔY UÛ ¼˜ Ð   H _ þ v • ¸\  _ ô  Ç Û ¼à ÔY U Û

¼\   8¹ ¡ ¤   y Œ ™y  ì ø Í6 £ x # Œ HTLM ˜ Ð   H LTHM \  @ / K

 €  $ † ½ Ós   8¹ ¡ ¤ / å L  y     o >  ÷ &  H  כ s  . ô  Ǽ # , IZO
 IZTO(90: 7: 3) ~ à Ì} Œ •[ þ t“ É r 300

^o

C s  _  “ : r • ¸\ 

"

f  H  © œ   o  _  › ' a8 £ ¤ ÷ &t  · ú §“ ¦ q & ñ | 9  ½ ¨› ¸\  ¦ Õ ª@ /

–

Ð Ä »t    H X <, ³ ð 1– Ð Â Ò'  · ú ˜ à º e ” 1 p w s , IZTO(90: 7:

3) ~ à Ì} Œ •“ É r ü @Â Ò Û ¼à ÔY UÛ ¼\  @ /K   © œ î ß –& ñ  ) a „  l & h  : £ ¤

$ í

`  ¦ ˜ Ð# ŒÅ ғ ¦ e ”  .

3. ° Ë Ñ] K ¡X ì Ä — ¤V R Ë

Õ

ªa Ë > 4  H 7 £ x‚ Ã Ì r ç ß –`  ¦ 10 min Ü ¼– Ð # Œ ] j Œ •ô  Ç as- deposited TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  F  g È Òõ  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 `  ¦
  · p  כ s

 . IZO(90: 10) ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] jü @ €  , r  F  g % ò % i \ " f Bragg ì ø Í \  _ ô  Ç y Œ • ~ à Ì} Œ •[ þ t_  F  g È Òõ  : £ ¤$ í “ É r F  g È Òõ  Ö

 ¦_  ”  1 l x x ß ¼[ þ t_  0 Au ü < > hà º 1 p x \ " f  _  q 5 p w > 

 è ß – . s   H, Bragg ì ø Í \  _ ô  Ç ç ß –[ O ´ òõ   H ~ à Ì} Œ •[ þ t _  ¿ ºa ü <   © œ_  † < Êà º– Ð Å Ò# Qt l  M :ë  H \ , y Œ • ~ à Ì} Œ •[ þ t_ 

r  F  g % ò % i \ " f_  ¨ î ç  H È Òõ Ö  ¦ õ  ¿ ºa   _  q 5 p w† < Ê

`

 ¦ _ p    H  כ s  . ì ø ̀  , IZO(90: 10) ~ à Ì} Œ •_   â Ä º\ 



 H, ”  1 l x x ß ¼_  0 Au ü < > hà º   ~ à Ì} Œ •[ þ t õ   H ‰ & ³$ y   



É r ' Ÿ 1 l x`  ¦ ˜ Г   . s   H, Õ ªa Ë > 3\ " f
 z Œ ¤1 p w s , IZO(90:

10) ~ à Ì} Œ •_  7 £ x‚ à ÌÒ  ¦ s    ~ à Ì} Œ •[ þ t \  q  # Œ  © œ@ /& h Ü ¼– Ð  Œ •



" f 7 £ x‚ Ã Ì r ç ß –`  ¦ 1 l x{ 9  >  Ä »t ½ + É  â Ä º IZO(90: 10) ~ Ã Ì }

Œ

•_  ¿ ºa    É r ~ à Ì} Œ •˜ Ð  · û ª>  $ í } Œ •÷ &l  M :ë  H \  œ íA 

 )

a ‰ & ³ © œs  . — ¸Ž  H TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t“ É r r  F  g % ò % i \ " f 80 % s

 © œ_  Z  }“ É r ¨ î ç  H È Òõ Ö  ¦`  ¦
 ? /“ ¦ e ”  . ‘ : r z  ´+ « >\ " f



 H r  F  g % ò % i \ " f ¨ î ç  H È Òõ Ö  ¦ s  85−90%“   PET l  ó

ø Í`  ¦  6   x % i “ ¦, y Œ • ~ à Ì} Œ •[ þ t_  F  g È Òõ  Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 “ É r ˜ Ð& ñ

\ O

s  / B N l 8 £ x`  ¦ l ï  r Ü ¼– Ð # Œ 8 £ ¤& ñ ÷ &% 3  . s  Qô  Ç z  ´+ « >

›

¸| [ þ t`  ¦ “ ¦ 9ô  Ç €  , ‘ : r z  ´+ « >\ " f ] j Œ • ) a TCO } Œ •[ þ t_  F 

g È Òõ  : £ ¤$ í “ É r B Ä º Ä ºÃ ºô  Ç  כ Ü ¼– Ð ó ø Íé ß – ) a  . ‚ à Г ¦– Ð,  ï _ ç

Ä »o  l ó ø Í 0 A_  IZO(90: 10) ~ à Ì} Œ •_   â Ä º\   H r  F  g

% ò

% i \ " f_  ¨ î ç  H È Òõ Ö  ¦ s  80−90 %s “ ¦, [15] PET l ó ø Í 0

A_  ITO ~ à Ì} Œ •_   â Ä º\   H 65 −80 % à ºï  r s  . [8,11]

ô 

Ǽ # , f  ¨ à ºé ß – % ò % i \ " f F  g È Òõ Ö  ¦ T   H T = A exp( −αd) Ü

¼– Ð Å Ò# Q”   . # Œl " f, A, α, Õ ªo “ ¦ d  H y Œ •y Œ •  © œÃ º, f  ¨ Ã

º> à º, Õ ªo “ ¦ ~ à Ì} Œ •_  ¿ ºa \  ¦
  · p . A  H f  ¨ à ºé ß –\ 

"

f  _  1s l  M :ë  H \  ~ à Ì} Œ •_  ¿ ºa  d\  ¦ · ú ˜€   0 Ad ” Ü ¼– ÐÂ Ò '

 f  ¨ à º> à º α\  ¦ ½ ¨½ + É Ã º e ”  . ô  Ǽ # , f ” ] X  …  ;s \  @ /ô  Ç α ü < { 9   F  g_  \  -t  hν ç ß –_  › ' a >   H Tauc_  z  ´+ « >d ” \  _ K   6 £ § õ  ° ú  s  Å Ò# Q”   . [16]

αhν = A

⁰

(hν − E

og

)

^1/2

#

Œl " f, E

og

ü < A

⁰

“ É r y Œ •y Œ • F  g† < Æ& h  {  ç ß –  (band gap)õ 



© œÃ º\  ¦ > p wô  Ç . s – РÒ'  ~ à Ì} Œ •_  {  ç ß –   E

_og

  H (αhν)

²

@

/ hν_  Õ ªA á Ô\ 
 
  H f ” ‚    Òì  r`  ¦ ƒ   © œ # Œ hν-

»

¡

¤ \ " f_  ] X ¼ # Ü ¼– РÒ'  ½ ¨½ + É Ã º e ”  . Õ ªa Ë > 4_  X <s ' 

\

 ¦ s 6   x # Œ ½ ¨ô  Ç y Œ • TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  F  g† < Æ& h  {  ç ß –  

“

É r, IZO(95: 5)  H 3.423 eV, IZO(90: 10)“ É r 3.407 eV, IZTO(90: 3: 7)  H 3.530 eV, IZTO(90: 7: 3)“ É r 3.439 eV – Ð Æ Ò& ñ ÷ &% 3  . F  g† < Æ& h  {  ç ß –  “ É r TCO ~ à Ì} Œ •[ þ t_  › ¸

$ í

$ í ì  r q \     €  •ç ß –_  s  e ” Ü ¼
, @ /^ ‰– Ð ZnO $ í ì

 r s  ´ ú §s  ' ‘  | ¨ c à º2 Ÿ ¤ y Œ ™™ èô  Ç . s   H ZnO $ í ì  r s  7 £ x 

½ +

Éà º2 Ÿ ¤ 450 nm s  _    © œ % ò % i \ " f f  ¨ à º 7 £ x  l  M

:ë  H s  . [17] s ü < ° ú  s , ‘ : r z  ´+ « >\ " f ] j Œ •ô  Ç TCO ~ Ã Ì }

Œ

•[ þ t s  q “ §& h  Ä ºÃ ºô  Ç F  g È Òõ Ö  ¦ õ  V , “ É r {  ç ß –  `  ¦ t m 

>

 ÷ &  H s Ä »  H Å Ò  ) a › ¸$ í $ í ì  r“   In

2

O

3

 3.75 eV_  V , 

“ É

r {  ç ß –  `  ¦ ° ú “ ¦ e ” l  M :ë  H s  . [18]

IV. + s Ç Â ] Ø

“

¦Å Ò   Õ ªW 1à ԏ : r Û ¼( ' a A`  ¦  6   x # Œ È Ò" î „  • ¸$ í

IZO x 9  IZTO ~ à Ì} Œ •[ þ t`  ¦ PET l ó ø Í 0 A\  $ í } Œ •r v “ ¦, s 

[ þ

t_  „  l & h , F  g† < Æ& h , Õ ªo “ ¦ ½ ¨› ¸& h  : £ ¤$ í [ þ t`  ¦ › ¸  % i 



. IZO ~ à Ì} Œ •“ É r Û ¼( ' a Ar  PET l ó ø Í\  Ÿ í† < Ê÷ &# Q e ”   H H

₂

O, Õ ªo “ ¦ Ä »l  _ " t $ ™à Ôü < ° ú  “ É r f  ¨‚ à ÌÓ ü t| 9 \  _  # Œ „   l

„  • ¸$ í s  ß ¼>  $  ÷ &# Q, Ä »o  l ó ø Í 0 A\  $ í } Œ • ) a IZO

~ Ã

Ì} Œ •\  q “ § # Œ €   $ † ½ Óõ  ³ ð€  › ¸• ¸ ß ¼>  7 £ x    H é

ß –& h s  e ”  . Õ ª Q
, Zn $ í ì  r_  { 9  Ò\  ¦ Sn Ü ¼– Ð @ /^ ‰ô  Ç IZTO ~ à Ì} Œ •`  ¦ $ í } Œ •r ~  ´  â Ä º, s  Qô  Ç ’ < Hz  ´_   _  @ /Â Ò ì

 r`  ¦ ˜ Ð © œr ~  ´ à º e ” `  ¦ ÷  rë ß –  m   \ P  ¢ ¸  H _ þ v • ¸ü < ° ú  

“ É

r ü @Â Ò Û ¼à ÔY UÛ ¼\  @ /K " f• ¸ „  l & h  î ß –& ñ $ í s  Ø  æì  r y 

†

¾ Ó © œ÷ &  H  z  ´`  ¦ S X ‰ “   % i  . : £ ¤ y , IZTO(90: 7: 3) ~ Ã Ì }

Œ

•“ É r 4.3 × 10

⁻⁴

Ω ·cm_  q $ † ½ Óõ  1nm s  _  ³ ð€  › ¸• ¸

\

 ¦ t u  ´ & ñ • ¸– Ð B Ä º Ä ºÃ ºô  Ç È Ò" î „  • ¸ : £ ¤$ í `  ¦ ˜ Ðs “ ¦ e ” 



.   " f, IZTO ~ à Ì} Œ •“ É r PET ü < ° ú  “ É r e  ¦  Û ¼h Ë : l ó ø Í 0 A

\

 $ “ : r $ í } Œ •r ~  ´ à º e ”   H  © œ Ä »} © œô  Ç È Ò" î „  • ¸$ í Ó ü t| 9  _  Ê ê˜ Ð{ 9   כ Ü ¼– Ð l @ /  ) a  .  Ö  ¦  Q, ‘ : r z  ´+ « >\ " f ] j Œ • ô 

Ç IZTO/PET È Ò" î „  • ¸l ó ø ͓ É r e  ¦  Û ¼h Ë : l ó ø Í`  ¦ s 6   xô  Ç Ä

»l „   µ 1 ÏF  g ™ è _  È Ò" î „  F G Ü ¼– Ð+ ‹• ¸ Ø  æì  rô  Ç 6 £ x6   x  0

p

x$ í `  ¦ ] jr  “ ¦ e ”  .

P c

p 8 ý ò k >

‘

: r ƒ  ½ ¨  H 2001¸  • ¸ @ /½ ¨d  ¦a Ë :@ /† < Ɠ § ƒ  ½ ¨q  t " é ¶ \  _ K  à º' Ÿ ÷ &% 3 5 p u.

Y c

p w Š à U Ø ”  ô

[1] T. Minami, T. Kakumu, and S. Takata, J. Vac. Sci.

Technol. A14, 1704 (1996).

[2] H. Hiramatsu, W. S. Seo, and K. Koumoto, Chem.

Mater. 10, 3033 (1998).

[3] Y. Yan, S. J. Pennycook, J. Dai, R. P. H. Chang, A.

Wang, and T. J. Marks, Appl. Phys. Lett. 73, 2585 (1998).

[4] T. Minami, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1765 (1999).

[5] T. Minami, T. Miyata, and T. Yamamoto, J. Vac.

Sci. Technol. A 17, 1822 (1999).

[6] K. L. Chopra, S. Major, and D. K. Pandya, Thin Solid Films 102, 1 (1983).

[7] S. Takata, T. Minami, and H. Nanto, Thin Solid Films 135, 183 (1986).

[8] J. H. Shin, S. H. Shin, J. I. Park, and H. H. Kim, J.

Appl. Phys. 89, 5199 (2001).

[9] A. Kaijou, M. Ohyama, M. Shibata, K. Inoue, U. S.

Patent No. 5, 972, 527 (1999).

[10] S. H. Park, H. M. Kim, B. R. Rhee, and E. Y. Gho, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1429 (2001).

[11] H. M. Kim, S. K. Jeung, J. S. Ahn, Y. J. Kang, and C. K. Je, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1 (2003).

[12] K. Noda, H. Sato, H. Itaya, and M. Yamada, Jpn.

J. Appl. Phys. 42, 1 (2003).

[13] R. K. Jain and R. C. Lind, J. Opt. Soc. Am. 73, 647 (1983).

[14] G. S. Chae, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1282 (2001).

[15] K.-H. Kim, S.-H. Park, J.-J. Kim, and H.-M. Kim, Saemuli, 46, 213 (2003).

[16] J. Tauc, Amorphous and Liquid Semiconductor (Plenum, New York, 1974).

[17] H. M. Kim and B. R. Rhee, Saemuli 44, 23 (2001).

[18] S. Schmitt-Rink, D. A. B. Miller, and D. S. Chemla,

Phys. Rev. B 35, 8113 (1987).

Characteristic of Transparent Conducting IZO and IZTO Films Deposited on PET Webs by Rf–Magnetron Sputtering

Sun-Young Sohn, Hwa-Min Kim, Seoung-Hwan Park and Jong-Jae Kim

^∗

Department of Physics & Semiconductor Science,

Catholic University of Daegu, Kyongsan 712-702 (Received 14 April 2003)

Transparent conducting oxide (TCO) thin films, such as In

2

O

3

ZnO (IZO) and In

2

O

3

ZnOSnO

2

(IZTO) films, were prepared on polyethylene terephthalate (PET) webs in a pure Ar gas by rf magnetron sputtering, and the electrical, optical, and crystallographic properties of the films were investigated. The IZO films deposited on PET substrates were quite lacking in electrical sheet resistance and surface unformity compared to those deposited on glass substrates. The Sn-doped IZO ( i.e., IZTO) films, however, showed that these weakpoints could almost be compensated for if some part of the Zn in the IZO target was replaced by Sn. The IZTO films, especially those with In

2

O

3

: ZnO: SnO

2

= 90: 7: 3 wt% exhibited a low enough resistivity of 4.8 × 10

⁴

Ω.cm an excellent optical transmittance, a uniform surface roughness of below 1 nm, and a good stability against external moist-heat stresses. The IZTO is expected to be a most promising material for TCO films deposited on plastic substrates, including PET.

PACS numbers: 73.61.Tm, 78.66.Jg, 81.15.Cd

Keywords: In

2

O

3

ZnO(IZO), In

2

O

3

ZnOSnO

2

(IZTO),Transparent conducting film, Sputtering

∗

E-mail: [email protected]