삼성반도체위해성평가
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• 01……….위해성평가란?
• 02……….삼성반도체의 실체
• 03……….위해성확인
• 04……….노출 평가
• 05……….용량/반응 평가
• 06……….위해도 결정
• 07……….Q&A
• 08……….참고자료
목차
위해성평가란?
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•위해성평가(Risk Assessment)
위해성평가
삼성반도체의 실체
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삼성반도체의 실체
-동영상-
http://bopstory.tistory.com/3239
삼성반도체의 문제의 공정
고열과 압력
그리고 ‘더미웨이퍼’
수 십번의 재활용
유기용제 세척
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Harzard
identification
독성자료
포토공정: PR(프라세오디뮴),BARC(Botton anti Reflective Coating)
HMDS(헥사메틸다이사이렌),각종Thinner(희석제),Developer(현상액) 세정공정:TCE(트리클로로에틸렌), 각종Thinner(희석제),H2SO4(황산) DMAc(디메킬아세트아미드)
CMP공정: Slurry
Wet공정:C6H6(벤젠) HF(불산) ,BHF, Stripper,H2SO4(황산화수소)
H202(과산화수소),IPA(아이코사펜타엔산),NH4OH(암모니아수)
HCL(염산) ,H3PO4(인산)
씬필림(Thinfilm)공정: TEOS, Cu(구리)도금액
출처-서울대학교 위해성평가
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독성자료(발암성)
독성자료(발암성)
o 외관 : 무색의 클로로포름같은 냄새를 지닌 액체 o 분자량 : 131.39
o 분자식 : ClCHCCL2 o 끓는점 : 189F(87C) o 녹는점 : -99F(-73C)
o 증기압 : 58mmHg(20C에서) o 증기밀도 : 4.53
o 비중 : 1.4642
o 용해도 (물) : 0.1%
o PH : 자료없음
o 취기한계 : 21ppm
o 증발율 : 0.69(카본테트라클로라이드가 1일경우) o 용해도 (용제) : 알콜, 에테르, 아세톤, 클로로포름, 벤젠, 식물성 기름에 용해됨
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독성자료(발암성)
에틸렌글리콜 녹는점 －12.6 ℃
끓는점 197.7℃
비 중 1.1131
분자량 62.07
성 상 무색,무취.
습기를 잘 흡수함.
독성자료(발암성)
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독성자료(발암성)
o 1급 발암물질
o 고농도 노출 시 급성사망 o 저농도 노출 시 벤젠중독
o 주로 흡입으로 인한 노출 경로가 많다. 피부로도 침투 가능하다.
독성자료(발암성)
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독성자료(비발암성)
o 물과 반응하여 고열발생.
o 발생가스 흡입 시 ‘폐부종’의 원인이 됨.
o 피부접촉 시 심한 통증과 피부아래 세포를 괴사.
뼈와 반응해 뼈를 무르게 만듬.
o 심각한 전신 독성으로 저칼슘혈증,
독성자료(비발암성)
·
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염기성을 띄기 때문에 생체조직에 대한 강한 자극성이 있음.
두피에 접촉할 경우 머리카락이 빠질 수 있고 마실 경우 위통, 구역질, 허탈상태에 빠질 수 있다.
암모니아 기체를 높은 농도로 흡입할 경우 후두경련,후두염,기관지염 등을 일으키며, 장기간 방치 시 눈,간,신장,허파의 손상을 일으킬 수 있다.
가벼운 무색의 기체로 녹는점 －77.7℃, 끊는점 －33.4℃이다.
자극적인 강한 냄새가 나며, 1ℓ의 물에 1,000㎤의 암모니아가 녹는다. 이것 은 압축하면 간단히 액체로 만들 수 있다.
노출 시나리오
Exposure Assessment
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Exposure Assessment
Exposure Assessment
1.공통적용
1)노출시간(ET)
07~16시 (8시간 근무/중간점심시간제외) 2)노출빈도(EF)
노출경로와 관계없이 일반적으로 쓰이는 값으로 가정해 350일/년 을 적용하였다.
3)노출기간(ED)
고인이 되신 故황민웅씨의 근무기간을 대표해 10년을 적용하였다.
4)체중(BW)
일반적인 성인 표준 체중 62.0Kg을 적용함.
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Exposure Assessment
5)기대수명(AT)
통계청(2007)에서 발표한 2006년 우리나라 평균 기대수명은 83.8 세이므로, 이를 기대수명으로 적용하였다.
2.대기
6)호흡률(IRinhalation)
위해성평가 과정에 적요할 것을 권고하는 수치인 성인 평균 호흡 률(평균 13.0㎥/일, 표준편차 0.9㎥/일)을 적용하였다
7)흡입노출에 대한 흡입계수 (ABSair-inhalation)
흡입된 오염물질은 모두 흡수된다고 가정하고, 흡수계수를 1로 적 용하였다.
Exposure Assessment
평생 일일 평균 노출량(LADD) 총 용량(total dose; ㎎)
체중(㎏) X 수명(days)
총 용량=
오염물질 농도 X 접촉율 X 노출 기간 X 흡수분율9X13X8X350X1 = 63.53(㎎/㎏/day) 62X83.8
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Exposure Assessment
발암 위해도 계산
Cancer Risk= 63.53 X 2.730X10^-2 =1.734369
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Dose-Response Assessment
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Dose-Response Assessment
Slope
Factor(SF) Reference Dose(RfD) 흡입 2.730X10^-2 8.571X10^-3 섭취 5.500X10^-2 4.000X10^-3 피부 접촉 6.111X10^-2 3.600X10^-3
Slope Factor(SF) and Reference Dose(RfD) of benzene
1.발암성 물질
1)벤젠
Dose-Response Assessment
2. 비발암성물질 1)암모니아수
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농도 증상
400ppm 목에 자극을 준다.
700ppm 눈이 상할 수 있다
1700ppm 기침을 하고 숨쉬기 힘들다.
순간적인 호흡곤란을 겪을 수 있다.
2500~4500ppm 조금만 노출되어도 치명적 이다.
5000ppm이상 호흡 정지로 사망한다.
Dose-Response Assessment
2)불산
농도 증상
NO DATA
발생가스 흡입 시 폐부종의 원인이 됨.
피부 접촉 시 강한 통증과 피부 아래 세포를 괴사시킴.
뼈와 반응해 뼈를 무르게 만듬
체내 불소농도 증가 시
Risk
Characterization
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Risk Characterization
평생 개인위해도 = 용량(dose) × 발암잠재력(potency) 1.734369 = 63.53 X 2.730X10^-2
인구 집단위해도 = 평생 개인위해도 × 노출 인구수 15609.321= 1.734369 X 9000
상대 위해도= 노출군의 발생률 / 비 노출군의 발생률 0.014= 127/9000 / 8873/9000
표준화사망비 = 노출군의 발생률 / 일반인구집단의 발생률 564.44 = 127/9000 / 2.5/100000
기대수명의 손실 = 평생개인위해도 × 36년 62.437 = 1.734369 X 36
Q & A
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•KRIS-위해성평가 정보사이트
•한겨레신문
•국제암연구소
•EPA-물리독성학정보
•산업위생학
저자: 박동운,백남원
한국방송통신대학교출판부
참고자료
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