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나노수광소자

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1.2. 핵심 요소 기술 및 내용

광대역 수광기술

- 기존에 실용화된 Silicon 기반 수광물질이나 III-V 반도체 수광물질들이 가지는 bandgap의 한계를 극복하기 위하여 광대역 흡수성질을 가지는 nanophotodetector에 대한 연구가 진행

- 흡수 대역의 제한이 없는 zero bandgap 물질(예 : graphene)을 사용하거나 두 가지 이상의 흡수 성질을 가지는 layer를 적층하여 사용

- 원자 1층의 두께를 가지고도 광을 흡수하는 2D 반도체 물질을 이용하는 nanophotodetector와 solution process로 적층이 가능한 perovskite 물질 기반 nanophotodetector의 연구가 활발히 진행

광포집 구조 접합 기술

- 기존의 수광소자에 나노안테나 또는 메타원자들의 배열이 결합된 구조를 도입함으로써 수광효율 (responsivity)이 증가

초저전력 카메라

- 외부 전원이 매우 적게 필요하거나 아예 필요없이 자체적으로 광전류를 발생시키는 기술

- 4차 산업혁명에서는 IoT 기술의 근간이 되는 각종 소자들이 주변 곳곳에 사용될 것이라 예상되므로 nanophotodetector 또한 초저전력 또는 무전력 소자로서의 연구가 활발히 진행

거리 측정 카메라

LIDAR

- 자율주행이 가능한 자동차의 경우 피사체의 거리를 빠른 시간에 측정해야 하는데 카메라의 이미지를 software적으로 처리하는 방식보다 안전하고 빠른 반응을 보이는 전기적 방식의 time-of-flight 방식의 수광소자의 개발이 진행 중

- 기존의 LIDAR는 MEMS array나 회전하는 거울을 이용하여 측정하는 방식을 사용하여 수 ms 정도의 반응 속도를 가지고 있으나, 빠르게 운동하는 자동차의 경우 문제가 생길 수 있어 수백 ns 정도의 반응 속도를 가지는 전기적인 gating이 가능한 nanophotodetector의 연구가 진행 중

1.3. 잠재 수요 분야 및 기대효과

수광소자 전체의 세계시장조사 기관의 예측은 기관별로 상이하므로 각 기관의 예측치를 각각 서술 - Transparent Market Research의 조사 결과에 따르면, 2017년 444.8백만 달러부터 2026년 867.7백만

달러로의 증가가 예측되고 있으며 시장의 증가 원인은 주로 고효율의 수광소자이며, 이는 주된 수요처가 될 것으로 예상2)

-Technonavio의 조사 결과에 따르면 2018부터 2022년 사이의 시장규모는 17.3억 달러로 예상되고 있으며, 주된 수요처는 기계학습 분야나 인간과 기계사이의 인터페이스 분야 등으로 이는 각광받는 4차 산업이 될 것으로 예측3)

1.4. 해결해야 할 기술 이슈

광대역 수광기술

- 광대역 흡수 성질을 가지는 단일 물질은 대개 responsivity가 낮으므로 이를 극복하기 위한 다양한 이종 접합의 시도가 필수

- 이때 접합면의 접합저항과 물질의 적층 시 발생하는 불순물을 처리해야 하는 데 실험실 수준에서 이를 완벽히 해결하는 것은 불가능

- 따라서 클린룸이나 후드가 설치된 대규모 팹시설에서 소자제작공정을 진행해야 하는데, 이에 따르는 비용이 발생

광포집 구조 접합 기술

- 현재 메타표면의 제작기술은 설계 아이디어가 최적화되기 까지는 아직 기술수준이 미약하고 미세공정에 소요되는 예산에 따라 그 기술수준이 결정되므로 무한정 증가시키기 어렵다는 문제가 존재

- 따라서 최적화를 위해서는 앞으로 수년간 연구가 더 진행되어야 할 것으로 예상

초저전력 카메라

- 현재 실리콘 기반의 초저전력 카메라의 성능을 뛰어 넘는 새로운 초저전력 카메라의 개발은 아직 물질들의 안정화가 되지 않음으로 인하여 시기상조로 판단

- 그러나 4차산업의 수요가 뒷받침되고 있어서 이 분야의 연구는 전 세계적으로 매우 활발하여 조만간 뛰어난 성능의 nanophotodetector array가 개발될 것으로 기대

거리 측정 카메라

LIDAR

- 회전식이 아닌 고정형 수광소자의 개발은 관련 반도체 기술과 산업이 함께 발전해야 이루어지므로, 2019년 기준 소자 관련 수요가 충분해질 때까지 기다려야 기술개발에 대한 needs가 형성

3) https://www.technavio.com/report/global-photo-detector-market-analysis-share-2018

2 기술 동향

2.1. 국내 동향

성균관대학교

- MoS2 single layer 반도체의 흡광 양자효율을 약 1,000배 향상4)

- 연구팀은 spin coating된 은나노선 다발 위에 PVP layer를 coating했는데, 이후 thermal CVD로 만든 원자 1층으로 이루어진 MoS2 layer를 PMMA를 통하여 transfer한 후 이 layer에 Cr/Au의 두 전극을 붙여 흡광 양자 효율을 측정

- 은나노선 다발이 가지는 표면플라즈몬 특성 때문에 효율이 좋지 않던 MoS2 layer의 흡광 특성이 획기적 으로 향상

Soslab

- 광주과학기술원 출신 대학원생들이 주축으로 차량용 및 산업용 LIDAR를 개발5)

- 사물의 색상이나 날씨에 따라 반사파가 돌아오는 멀티에코현상을 보정하는 기능을 담은 알고리즘에 솔리드스테이트 고정형 타입의 LIDAR를 개발

2.2. 해외 동향

University of Toronto,

캐나다

- Colloidal Quantum Dot 물질을 Perovskite 물질에 넣어 광대역 나노수광소자를 개발6)

- MAPbI2.5Br0.5에 PbS colloidal quantum dot을 embedding한 물질을 광흡수층으로 사용하여 300~

1,400nm에 이르는 광대역 수광소자를 개발

- External quantum efficiency는 90%, Detectivity는 5×1012 Jones 달성

- 연구자들은 PbS에서 생성된 exciton이 PbS/MAPbI2.5Br0.5경계에서 Fowler-Nordheim tunneling 현상을 통하여 효율적으로 electron과 hole로 분해되는 현상을 규명

4) Nano Lett, 18, 2316-2323 (2018) 5) http://soslab.co/ko/products-ko

킹압둘라과학기술대학교

,

사우디

-Gd-doped ZnO nanorods를 perovskite물질에 넣어 광대역 나노수광소자를 개발7)

-CH3NH3PbI3물질에 vertically-aligned Gd-doped ZnO nanorods를 embedding하여 250~1,357nm에 이르는 광대역 나노수광소자를 개발

-28A/W에 달하는 최대 responsivity와 1.1×1012 Jones의 detectivity를 달성

Autonomous University of Madrid,

스페인

-Franckeite 물질과 van der Waals 물질의 이종접합을 수광층으로 이용하여 나노수광소자를 개발8) -Franckeite는 pseudohexagonal (H)층과 pseudotetragonal (Q)층이 접합된 sulfosalt 계열의 물질로서

H는 SnS2나 FeS2물질이고, Q는 PbS, SnS, SbS 물질로 정의

- 이 두 종류의 물질은 mechanically 적층하거나 액상으로 적층시킬 수 있으며 적층 후에는 type-II 반도체 이종접합과 비슷하게 valence band는 H층에, conduction band는 Q층에 존재

-640nm 파장에서 100mA/W의 최대 responsivity를 획득

University of Texas at Austin,

미국

- 유기 수광소자와 메타 표면을 결합하여 수광특성을 개선9)

-P3HT:PC71BM과 ZnO층 사이에 금으로 된 메타표면을 도입하여 600nm 근처의 가시광에 대한 responsivity를 2배 향상

- 메타표면 근처의 전자기장 증가가 흡광 특성을 향상

University of London,

영국

/ Sandia National Laboratories,

미국

- 완전흡수가 가능한 photoconductive 메타표면을 이용한 THz 수광소자10)

-P3HT:PC71BM과 ZnO층 사이에 금으로 된 메타표면을 도입하여 600nm 근처의 가시광에 대한 responsivity를 2배 향상

- 메타표면 근처의 전자기장 증가가 흡광 특성을 향상

7) ACS Appl. Mater. Interfaces, 9, 37832 (2017) 8) Nat. Commun., 8:14409 (2016)

9) Nano Lett, 18, 3362-3367 (2018) 10) Nano Lett, 19, 2888-2896 (2019)

3 시사점(기술수준)

국내와 세계적인 기술수준의 차이는 모든 분야를 종합적으로 판단하면 세계수준의

70~80%

수준이지만

,

이는 선택과 집중에 의한 효과로 발생하는 것이지 경쟁력이 없다고 해석하는 것은 무리

- 기존의 III-V 수광소자의 경우 국내 관련 산업은 수십 년째 침체되어 있고 상당부분 수입에 의존하는 실정이나 이는 수요가 적어서 발생하는 문제이지 기술수준이 떨어져서 발생하는 문제는 아니라고 판단 - 도리어 신물질 관련 연구는 국내 학계에서 매우 활발히 진행되고 있고 관련 지적재산권 출원도 잦은

편이어서 새로운 기술에 대해서는 경쟁력이 충분하다고 판단

- 4차산업의 수요를 예측하는 것은 어려우나 관련 산업의 기술개발은 국내에서도 상당한 수준의 투자를 지속하고 있기 때문에, 수요가 창출되는 분야에 매우 빠르게 대응할 수 있다고 기대

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