타나는 등 전반적으로 나노전자공학 쪽에 많은 지원이 이루어지고 있다 현재까지의 투자. 된 공공지원금액은 3,200만 유로 이다.
기관 도시 웹사이트
Commissariat a l'Energie Atomique (CEA), LETI 조정역할 수행
( ) Grenoble http://www.rmnt.org
Alcatel OPTRONICS Paris http://www.alcatel.com/optronics GEMPLUS Gemenos http://gemplus.com STMicroelectronics Saint Genis Poully http://www.st.com Commissariat a l'Energie Atomique (CEA),
Valorisation Grenoble http://www.cea.fr PICOGIGA Paris http://www.picogiga.fr
MPO Averton (Boulogne
Billancourt) http://www.mpo.fr RECIF Paris http://www.recif.fr ANGENIEUX(Universite de Savoie) Le Bourget du Lac http://julie.univ-savoie.fr Universite de Paris V, Institut G. Roussy Paris http://www.univ-paris5.fr Institut d´Electronique et de Microelectronique,
Lille I Lille http://www.univ-lille1.fr Institut d´Electronique Fondamentale Orsay http://www.ief.u-psud.fr University of Strasbourg I, Sciences et
Ingenierie Supramoleculaire Strasbourg http://www.scd-ulp-u-strasbourg.fr Universite de Franche ComteLaboratoire de
Physique et Me trologie des Oscillateurs
Besancon http://lpmo.uni-fcomte.fr Centre National de la Recherche Scientifique
(CNRS), CEMES Toulouse http://www.cemes.fr/
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratory for Analysis and
Architecture of Systems (LAAS)
Toulouse http://www.cnrs.fr
표
< 3-48> RMNT 네트워크 참여기관
그림
< 3-27> RMNT 프로젝트의 세부 연구분야 분포
나 나노기술센터 지역네트워크
O : Laboratoire d'Analyses et d'Architectures des Systemes (LAAS)
파리 의 의
O : Marcoussis Laboratoire de Photonique et de Nanostructures (LPN), Orsay Institut d'Electronique Fondamentale in (IEF) (Minerve)
릴
O :Institut d'Electronique, de Microelectronique et deNanotechnologies (IEMN)
the european center of excellence in the field of Nanoelectronics
•CEA / LETI
•MINATEC
•Crolles II alliance:
Motorola, Philips, ST…
the european center of excellence in the field of Nanoelectronics
•CEA / LETI
•LPN Laboratory & IEF
•MINERVE & NABUCO projects
•Altis, Motorola, ST, Alcatel
•LPN Laboratory & IEF
•MINERVE & NABUCO
미나텍 (Centre for Innovation in Micro and Nanotechnology, Minatec) 설립계획은 그 르노블에 있는 원자력청 전자공학 정보기술연구소· (CEA-Leti)와 Institut National
에 의해서 년 시작되었다 Polytechnique de Grenoble(INPG) 2000 .
미나텍의 설립에는 프랑스정부 지역당국, , CEA, 개인투자 등으로부터 1억 9,300만 유로 가 투입되었다. CEA-LETI가 있는 그르노블의 사이언스 폴리곤 (Polygone Scientifique)에 위치하며, 20에이커가 넘는 부지에 1,000여명의 학생, 2,000여명의 연구원 엔지니어 교수, , 인력 그리고, 1,000여명의 기업인력이 동시에 연구개발을 진행할 수 있을 정도의 규모이 다.
미나텍은 “인재 양성”, “획기적 아이디어 발굴”, 그리고 이러한 것이 바탕이 된 산업화 의 추진에 초점을 맞추고 있다.
년 는 스위스의
1999 CEA-LETI CSEM (Swiss Centre for Electronics and 과 공동연구 협정을 체결하였는데 이것은 유럽의 대형 마이크로 나노기
Microtechnology) ·
술 연구소간의 첫 협정이었다 미나텍의 설립이 추진되면서. 2003년부터 유럽의 여러 연구 소들과 비슷한 협정이 연속적으로 체결되고 있는데 이것은 미나텍 센터가 유럽의 여러, 기관과의 협정을 통해서 시대의 흐름에 발맞추어 국제화를 추진하는 모습을 보여주는 것 이다 이러한 협정은 미나텍의 두 주체인. CEA와 INPG가 그동안 각자 추진해왔던 노력 들을 점차적으로 통합해가는 과정에서 이루어지고 있다. 이후 독일의 FhG-V Eμ
아일랜드의
(Fraunhofer Microelectronics Alliance), NMRC (National Microelectronics
그리고 벨기에의 등과
Research Centre) Imec (Interuniversity Micro-Electronics Centre) 협정을 체결하면서 유럽내에서 광범위한 나노기술연구 협력망을 갖추고 있다.
미나텍은 연구 교육 산업화를 위한 시스템이 유기적으로 연계되어 있는 종합연구센터이, , 며 각각의 역할에 맞게 5개 부분으로 나누어 진다.
연구 센터
o (BOC, BCA : Batiment Objets communicants, Composants avances) 마이크로 나노분야의 기초 및 응용에 이르기까지 체계적인 연구가 진행된다 이를 위해· . 서 CEA-LETI, CEA, INPG, CNRS에 있던 기존의 실험실 일부가 미나텍의 새로운 연구 동으로 재편성되었다 이와는 별도로 새로 건설된. 2동의 건물과 CEA-LETI의 클린룸이 연결이 되어 긴밀한 연구협력이 가능하게 된다 연구 분야는 나노전자공학 광전자 마. , , 이크로시스템 시스템디자인 및 집적화 생물공학 스마트 디바이스 광통신 등 첨단 나, , , , 노기술에 관련된 거의 모든 부분을 포함하고 있다.
빌딩
o INPG (Ecole d'ingenieurs INPG)
소속의 공과대학 곳 즉 전자공학 와 물리학 이 미나텍 내에
INPG 2 , ENSERG( ) ENSPG( )
설치되었고, INPG 통신학부의 일부가 이곳에 들어섰다 이곳에서는 나노분야의 기초에. 서부터 응용에 이르기까지 세계적인 수준의 인재를 양성하기위한 전문적인 교육이 실
시된다. 이외에 이곳에는 프랑스에서 가장 규모가 큰 대학간 마이크로전자센터 마이크로전자 및 시스템 교육센터 (Intercollegiate Microelectronics Center, CIME),
와 의 협동과정 등이 신설되어 연구소 산업계에서 필요한 인
(INPG CEA ), INSTN/CEA ,
재를 공급한다.
첨단기술센터
o (Batiment Haute Technologie, BHT)
나노기술을 혁신시키고 산업계로 기술을 이전하기위한 다양한 시스템이 도입된다 신생. 기업 첨단기술을 보유하고 있는 중간규모기업의 시범적 생산라인 기존 대기업의 연구, , 개발팀들이 이곳에 입주하여 학계와 산업계를 연결시켜주는 역할을 하게 된다.
마이크로 나노기술 연구지원센터
o · (Maison des micro et nanotechnologies, MMNT) 미나텍 내의 모든 조직과 연구활동에 대한 지원 국제협력의 증진의 역할을 담당한다, . 미나텍에서 근무하는 연구원 교수 그리고 공동연구자의 교류를 증진시키는 각종 행사, 가 개최되고 높은 수준의 국제학회의 개최장소로 이용된다 또한 과학기술정보 프랑스, . , 국내 및 유럽지역의 정보네트워크 신생기업에 대한 지원 등 미나텍 센터에 대한 다양, 한 서비스를 지원한다.
에너지 환경 센터
o · (Batiment Energie et Environnement)
센터내의 기술적인 지원을 담당하는 한다 주로 센터내의 클린룸에서 사용될 연료유체. 의 공급 및 관리 등을 담당한다.
라 원자력청 전자공학 정보기술연구소 라 원자력청 전자공학 정보기술연구소라 원자력청 전자공학 정보기술연구소
라 원자력청 전자공학 정보기술연구소.... ···· (CEA-Leti)(CEA-Leti)(CEA-Leti)(CEA-Leti)
는 년 월 프로젝트에 참가하는 필립스 모토롤라 등 개사 CEA-LETI 2004 4 Crolles 2 , ST, 3 와 Nanotec 300의 협정을 체결하였다 이 프로젝트를 위해서 새로운 클린룸을 설치하여. 가동 중에 있다. Nanotec 300의 핵심연구분야인 300mm 과제 (300mm 기판의 32nm 공정 를 위한 클린룸에는 소자제작 특성분석 및 계측을 위한 다양한 장비가 구비
CMOS ) ,
되어 있다 이곳의 연구분야는 리소그래피와 식각 트랜지스터 제작을 위한 재료연구와. , 공정 소자간 상호연결을 위한 재료연구 및 공정 그리고 혁신적인 트랜지스터의 설계 등, 크게 4부분으로 나눌 수 있는데 이미 상당한 결과들이 나오고 있다.
또한 CEA-LETI는 프랑스의 연구부 (Ministry of Research)와 체결한 기초기술연구협정 의 수행을 위해서 많은 박사후 연구과정을 (The Basic Technology Research agreement)
설치하였다.
마 마마
마. INPG, IMEP, LTM. INPG, IMEP, LTM. INPG, IMEP, LTM. INPG, IMEP, LTM
는 요제프 푸리에 대학교 와 함께
INPG , CNRS IMEP (Institute of Microelectronics,
와 과 공
Electromagnetism and Photonics) LTM (Microelectronics Technology Laboratory) 동연구를 진행하고 있는데 두 기관 역시 마이크로 나노기술의 개발에 중점을 두고있다, · .
는 년에 신설되었는데 프랑스에서 최고수준의 마이크로 나노연구센터 중의 하
IMEP 2001 ·
나이며 특히 마이크로 나노전자 마이크로광학 마이크로시스템 마이크로파 등의 연구에· , , , 강세를 보이고 있다 현재는. CMOS 및 차세대 CMOS의 연구에 집중을 하고 있으며 별도 로 새로운 물질 및 소자의 개발에도 힘을 쓰고 있다.
은 이미 나노전자분야에서는 세계적인 명성을 갖고 있는 연구기관이다
LTM . CEA-LETI,
마이크로일렉트로닉스와의 공동연구를 통해서 소자를 소형화하는 연구와 높은 유전율 ST
을 갖는 유전물질의 개발을 수행 중에 있다 또한 극자외선 나노리소그래피와 이와 관련. 된 폴리머 레지스터의 연구에도 집중을 하고 있다 수 나노미터까지 가능한 플라즈마 공. 정을 위한 식각과정 및 새로운 물질의 집적화에 대한 연구는 미래의 CMOS 소자의 핵심 이 될 것이다 지난 수년간. LTM은 이러한 새로운 물질의 식각에 대해 많은 연구를 해왔 다.