«ù m Ç } º T ± z º> 0R X »ì Å; c ° o ¼Ü à Šù p § ÿ Y c lS û m Ç C I8 ý
m ù o Ú õ m Í PL8 ý ì Å× D
»Â 6 Ò^ ï B ∗ · Horchhong Cheng · ` 9 é s · T M 4 w H · »* å ¤
/ B
N Å Ò@ / < Æ § Ó ü t o < Æõ , / B N Å Ò 314-701 (2007¸ 12 Z 4 11{ 9 ~ Ã Î6 £ §)
/ B N| 9 ½ © è\ ¦ s 6 x # é ß Ñ þ | 9 G ' p" f\ ¦ ] j l 0 AK / B N| 9 ½ © è s ß ¼ ÐH q w (PSM)\ ¦ ] j
¦, Õ ª ³ ð \ · ú Â Ò ` ¦ f ¨ Ã Ìr & ì ø Í Ö ¦ õ PL_ o\ ¦ ¸ % i . PSM ³ ð \ · ú Â Ò s f ¨ Ã Ì
÷
& : £ ¤& ñ © \ " f ì ø Í Ö ¦ õ PL_ [ jl y è ¦, PL_ Å Ò 4 x Ä ºo & h Ò os 1 l x % i . s M : · ú Â
Ò _ 0 l x ¸ 7 £ x ÷ & Å Ò 4 x Ä ºo _ & h Ò os 1 l x É r 8 ß ¼> z ¤ . s Qô Ç & ³ © ` ¦ · ú Â Ò Å Ò Ó o\
í < Ê ) a à ºí ß o à Ôµ ¢ § \ _ ô Ç © Â Ò Ú ÔA Õ ª ì ø Í â ` ¦ ½ ¨$ í H ¦Ï ã J] X Ò ¦8 £ x õ $ Ï ã J] X Ò ¦8 £ x _ Ï ã J] X Ò ¦ x 9 F
g < Æ& h ¿ ºa _ o Ð K × æd © s l M :ë H \ H כ Ü ¼ Ð K $ 3 % i .
PACS numbers: 78.55.Mb
Keywords: / B N| 9 ½ © è, / B N| 9 ½ © è s ß ¼ ÐH q w , · ú Â Ò , é ß Ñ þ | 9 G ' p" f, ì ø Í Ö ¦, PL
I. " e  ] Ø
ç ß > 0 l u á Ô Ð# oà Ô\ ç ß _ Ä » & ñ Ð µ 1 ß) t
" f ‘Human genomics’ r @ / ¸A ÷ & ¦, s Qô Ç ½ ¨
õ \ ¦ ½ ÓÜ ¼ Ð Ä » _ l 0 p x` ¦ ½ ©" î ¦ Ä » & ñ Ð\ ¦ :
x K ë ß [ þ t # Qt H é ß Ñ þ | 9 _ ½ ¨ ¸\ ¦ µ 1 ß) | 9 # î _ u « Ñ x 9
\
V~ ½ Ó\ 6 £ x6 x l 0 Aô Ç ‘ íÛ ¼à Ô > 0 l u á Ô Ð# oà Ô’ ½ ¨ Ö ¸ µ
1 Ï [1]. s ü < 8Ô ¦ # Q é ß Ñ þ | 9 _ ½ ¨ ¸ x 9 Ã º6 x ^ Ð" f _
% i ½ + És µ 1 ß) t " f É r Ä »l ì r [ þ t õ é ß Ñ þ | 9 Ã º6 x
^
© ñ ç ß _ 6 x s Å Ò3 l q` ¦ ~ Ã Î ¦ e . þ j H \ H Ò q t" î _
é ß 0 A^ Ò q t^ ì r [ þ t õ [ j í[ þ t` ¦ ´ òÖ ¦& h s ¦ ç ß ¼ #
> ì r$ 3 H ~ ½ ÓZ O Ü ¼ Ð s ¸} 9 (biochip)õ ° ú É r l Õ
ü
t s / å L5 Å q y S X í ß ÷ & ¦ e . : £ ¤ y | 9 # î _ µ 1 Ï & ³s Ä » Ã
ºï r s é ß Ñ þ | 9 à ºï r \ " f ½ ©" î ÷ &l M :ë H \ | 9 # î _
é ß \ s 6 x ÷ & H é ß Ñ þ | 9 G ' p" f ß ¼> Å Ò3 l q ~ Ã Î ¦ e . é ß Ñ þ
| 9 Ø ¦ ~ ½ ÓZ O \ H | 9 | ¾ Ó ì r$ 3 Z O , F gì r$ 3 Z O , l o < Æ& h ì
r$ 3 Z O 1 p x s e Ü ¼ 9 s × æ \ " f F gì r$ 3 Z O s Å Ò Ð 6 x ÷ &
¦ e [2].
: r ½ ¨\ " f H / B N| 9 ½ © è (porous silicon)\ ¦ ç ß a = ' õ
A · ú Â Ò (human serum albumin)1 p x õ ° ú É r é ß Ñ þ | 9 ` ¦ y
t ½ + É Ã º e H G ' p" f > hµ 1 Ï\ s 6 x ½ + É Ã º e H l í ½ ¨
\
¦ r ¸ % i .
/ B N| 9 ½ © è H 1990¸ % ò ² D G _ Canham\ _ K r F g
% ò
% i _ y © ô Ç PL (photoluminescence) & ³ © [3]s ' a ¹ 1 Ï ) a
∗
E-mail: [email protected]
s
Ê ê ´ ú § É r ½ ¨\ ¦ : x # l í Ó ü t$ í x 9 µ 1 Ï F g B j m 7 £ § 1
p
x s µ 1 ß) & . / B N| 9 ½ © è H © : r \ " f ] j / B N& ñ s ç ß é
ß ¦, H q ³ ð & h ` ¦ ¸ ½ ¨ ¸ Ð ÷ &# Q e # Q µ 1 Ï F
g s ¸× ¼ [4], I ª t [5], F g ¸ ' a [6], s ¸G ' p" f [7–9] 1 p x Ü ¼ Ð_ 6 £ x6 x \ ' a d ` ¦ ¿ º ¦ ½ ¨ ' ÷ & ¦ e
.
/ B N| 9 ½ © è\ ¦ s ¸G ' p" f Ð s 6 x ½ + É Ã º e H 0 p x
$ í
` ¦ Ð# ï r þ j í_ ½ ¨ H M. Schultzberg \ _ K s À
Ò# Q& [10]. Õ ª H ª ô Ç ª F G í ß o ¸| Ü ¼ Ð ] j ô Ç
/ B N| 9 ½ © è_ ³ ð \ ç ß a =' õ A · ú Â Ò õ x Ú Ôo ¸ p (fibrinogen)` ¦ f ¨ à Ìr & " é ¶¼ # F gì r$ 3 l Õ ü t` ¦ : x K Ï ã J] X Ò
¦ õ è F g > Ã º_ o\ ¦ q § % i . Õ ª õ / B N| 9 ½ ©
è ³ ð \ ç ß a =' õ A · ú Â Ò s f ¨ à Ì÷ & x Ú Ôo ¸ p` ¦ f
¨ Ã Ìr â Ä º Ð Ï ã J] X Ò ¦ õ è F g > Ã º_ o ß ¼ H
כ
` ¦ · ú ¤Ü ¼ , z ´] j s ¸G ' p" f Ð 6 £ x6 x t H 3 l w % i
.
z
´] j Ð / B N| 9 ½ © è\ ¦ s ¸G ' p" f Ð s 6 x 9 H r ¸
H M. J. Sailor 1 p x \ _ K r ÷ &% 3 [11,12]. Õ ª H spin coating l Õ ü t` ¦ s 6 x # / B N| 9 ½ © è ³ ð \ é ß Ñ þ | 9 ` ¦ f
¨ Ã Ìr Ê ê ª ô Ç 0 l x ¸_ : \ (pepsin)` ¦ ] X 8 ú ¤ r & é
ß Ñ þ | 9 _ ì r K \ É r ì ø Í Ö ¦ Û ¼& 7 à Ô! 3 _ o\ ¦ ¸
% i . Õ ª õ : \ _ 0 l x ¸ 7 £ x < Ê\ ì ø Í Û ¼& 7 à
Ô! 3 _ & h Ò os 1 l x s z ¤Ü ¼ , : \ _ 0 l x ¸ 7.2 pmol s
\ " f H ì ø Í Ö ¦ Û ¼& 7 à Ô! 3 _ o \ O # Q y t Ô ¦
0 p x % i .
-27-
þ
j H R. J. Martin-Palma H ª F G í ß or À Óx 9 ¸ü < r ç
ß ` ¦ ¸] X # 8 £ x ½ ¨ ¸ (multilayer stacks) ½ ¨ ¸\ ¦
/ B N| 9 ½ © è\ ¦ ] j # é ß Ñ þ | 9 f ¨ Ã Ì\ É r ì ø Í Ö ¦ _
o\ ¦ ¸ % i [13]. Õ ª õ é ß Ñ þ | 9 s f ¨ à Ì÷ & ì ø Í Ö
¦ s $ H d` ¦ ' a ¹ 1 Ï % i Ü ¼ s & ³ © _ B j& m 7 £ § \ @ / K
" f H ½ ©" î t H 3 l w % i .
s
ü < ° ú s ´ ú § É r ½ ¨\ ¸ Ô ¦ ½ ¨ ¦ f t / B N| 9
½
© è\ ¦ s ¸G ' p" f Ð s 6 x t 3 l w ¦ e H s Ä » H y t
 Òì r / B N| 9 ½ © è ³ ð 8 £ x _ ¸% i , y t ñ_ p , é
ß Ñ þ | 9 f ¨ Ã Ìr H F g < Æ& h : £ ¤$ í _ o\ @ /ô Ç B j
&
m 7 £ § p ½ ©" î 1 p x _ ë H ] j& h s K ÷ &t 3 l w ¦ e l M : ë
H s .
: r ½ ¨\ " f H / B N| 9 ½ © è\ ¦ · ú Â Ò G ' p" f Ð s 6 x l 0
AK s × æ 8 £ x ½ ¨ ¸\ ¦ ° ú H PSM (porous silicon micro- cavity)` ¦ ] j ¦ · ú Â Ò f ¨ Ã Ì\ É r ì ø Í Ö ¦ x 9 PL Û ¼
&
7 à Ô! 3 _ o\ ¦ ¸ % i .
II. ÷ m Ç] M öU ê s0 n É
8 £ x ½ ¨ ¸\ ¦ ° ú H / B N| 9 ½ © è H Ô æ è (B) doping ) a q
$ ½ Ó 0.06 ∼ 0.12 Ω·cm_ p+ þ A(100) é ß & ñ ½ © è J ? s
( \ ¦ 15% HF- \ ò ø Í` ¦ 6 xÓ o 5 Å q \ V , # Q Galvanos- tat/Potentiosta t (Hokuto Denko, HA 301) x 9 Arbi- trary Function Generator (Hokuto Denko, HB 105)\ ¦ s 6
x # À Óx 9 ¸ü < ª F G í ß or ç ß ` ¦ or & ] j % i
. : r ½ ¨\ " f H À Óx 9 ¸ü < ª F G í ß or ç ß ` ¦ y y 83 mA/cm
2, 3.48 s x 9 25mA/cm
2, 4.00 s Ð # $ Ï ã J] X Ò ¦ õ ¦Ï ã J] X Ò ¦ s Å Òl & h Ü ¼ Ð § H 8 £ x _ / B N| 9 ½ © è 8
£
x` ¦ ] j % i . Õ ªo ¦ s 8 £ x _ / B N| 9 ½ © è8 £ x` ¦ Ú Ô A
Õ ª ì ø Í â Ü ¼ Ð H Fig. 1 õ ° ú É r ½ ¨ ¸_ PSM` ¦ ] j
% i . PSM_ ½ ¨ ¸ H © Â Ò_ Ú ÔA Õ ª ì ø Í â õ , × æd Â
Ò_ / B N| 9 ½ © è µ 1 Ï F g8 £ x (active layer), Â Ò_ Ú ÔA Õ ª ì
ø Í â Ü ¼ Ð ½ ¨$ í ÷ &# Q e Ü ¼ 9, PSM × æd  Ò\ 0 Au ô Ç µ 1 Ï F
g8 £ x _ ] j ¸| É r À Óx 9 ¸ 100 mA/cm
2, ª F G í ß or ç
ß 21.30 s Ð % i . s M : Ú ÔA Õ ª ì ø Í â _ × æd © É r 720 nm Ð [ O > % i .
: r ½ ¨\ " f 6 x ô Ç · ú Â Ò É r y y 5 %, 20 % 0 l x ¸
\
¦ ° ú H · ú Â Ò Å Ò Ó o (] j ¸" é ¶ : ( Å Ò)0 l qz )` ¦ s 6 x
%
i . · ú Â Ò f ¨ Ã Ìr PSM ³ ð _ + þ AI H Atomic Force Microscope (Park Scientific Instrument, AutoProbe CP)
`
¦ s 6 x # ' a ¹ 1 Ï % i .
PSM _ ì ø Í Û ¼& 7 à Ô! 3 É r UV/VIS Spectrophotometer (Shimadzu Co., UV-3101PC)\ ¦ s 6 x # 8 £ ¤& ñ % i Ü ¼ 9, PL Û ¼& 7 à Ô! 3 É r CCD (charge coupled devices) © Ã Ì ) a
Fig. 1. The apparatus for the fabrication of porous sili- con microcavity.
Monochromator (SPEX, 750MP)\ ¦ s 6 x # 8 £ ¤& ñ % i
. s M : # l F g " é ¶ É r © s 457 nm Ar s : r Y Us $ (Omnichrome, 543-AP-A01)\ ¦ 6 x % i .
PSM é ß _ + þ A © É r Å Ò & ³p â (PHILIPS, XL30SFEG)` ¦ s 6 x # ' a ¹ 1 Ï % i . Õ ªo ¦ PSM © Â Ò ü
<  Ò\ 0 Au ô Ç $ Ï ã J] X Ò ¦ x 9 ¦Ï ã J] X Ò ¦ 8 £ x õ × æd  Ò\ 0
Au ô Ç µ 1 Ï F g8 £ x _ / B N ¸ (porosity) x 9 Ï ã J] X Ò ¦ É r PSM © I
Ð H 8 £ ¤& ñ s # Q§ > l M :ë H \ y y ° ú É r ¸| Ü ¼ Ð Z > ¸ _
é ß { 9 8 £ x / B N| 9 ½ © è\ ¦ ] j # 8 £ ¤& ñ % i . s M : /
B
N ¸ H × æ | ¾ ÓZ O [14]Ü ¼ Ð, Ï ã J] X Ò ¦ (n) É r
n = 1 2d ( 1
λ
r− 1 λ
r+1)
−1(1)
_
' a > d [15]` ¦ s 6 x # ½ ¨ % i . (1)d \ " f d H /
B N| 9 ½ © è8 £ x _ ¿ ºa s 9, λ x 9 λ
r+1 É r ì ø Í Ö ¦ 8 £ ¤& ñ \ " f ç
ß [ O & ³ © M :ë H \ H ] X ô Ç ¿ º 4 x Ä ºo _ © ` ¦ y
y · p . # l " f ] X ô Ç ¿ º 4 x Ä ºo H / B N| 9 ½ © è _
ì ø Í Ö ¦ Û ¼& 7 à Ô! 3 # 3 0 A ? /\ " f e _ Ð × þ ½ + É Ã º e H :
£ ¤& ñ ô Ç © ° ú כ Ê ê_ ì ø Í Ö ¦ Ð" f, : r ½ ¨\ " f H PSM _
× æd © \ K { © H 720 nm ý aÄ º\ e H ç ß [ O 4 x Ä º o
[ þ t` ¦ × þ % i .
III. + s ÇÊ Ý õ m Í À X Ø8 ý
1. PSM8 ý mì Å, «y ¢, ò i >± n Ç õ t Ú
Fig. 2 H PSM _ é ß ` ¦ Å Ò & ³p â Ü ¼ Ð n É r
s . s PSM_ µ 1 Ï F g8 £ x _ ] j ¸| É r À Óx 9 ¸ 100 mA/cm
2, ª F G í ß or ç ß 21.30 ss ¦ Õ ª © Â Òü < Â Ò\
À Óx 9 ¸ü < ª F G í ß or ç ß ` ¦ or v " f $ Ï ã J] X Ò ¦ õ
Fig. 2. Cross-section image of porous silicon microcavity measured by the SEM.
¦Ï ã J] X Ò ¦` ¦ ° ú H 8 £ x` ¦ 15 Å Òl ÷ &> % i . PSM ½ ¨ ¸
\
" f y 8 £ x > _ ç H{ 9 ¸ F g < Æ& h : £ ¤$ í \ × æ כ ¹ô Ç % ò ¾ Ó
`
¦ p } 9 Ã º e H X < [16] : r ½ ¨\ " f ] j ô Ç PSM_ y 8 £ x
s _ > É r q §& h ç H{ 9 ô Ç כ Ü ¼ Ð z ¤ .
Fig. 3 É r À Óx 9 ¸ü < ª F G í ß or ç ß \ É r PSM _ /
B
N ¸, ¿ ºa Õ ªo ¦ Ï ã J] X Ò ¦` ¦ · p כ s . Fig. 3\
"
fü < ° ú s À Óx 9 ¸ 83 mA/cm
2s ¦ ª F G í ß or ç ß s 3.48 s â Ä º 8 £ x _ ¿ ºa H 140 nm, / B N ¸ H 51 %, Ï
ã J] X Ò ¦ É r 1.29 s % 3 . Õ ªo ¦ À Óx 9 ¸ 25 mA/cm
2s
¦ ª F G í ß or ç ß s 4.00 s â Ä º 8 £ x _ ¿ ºa H 96 nm,
/ B N ¸ H 35 %, Ï ã J] X Ò ¦ É r 1.89 s % 3 . PSM × æd  Ò\ e
H µ 1 Ï F g8 £ x _ ¿ ºa H 1,170 nm, / B N ¸ H 69 %, Ï ã J] X Ò
¦ É r 1.20 s % 3 . / B N ¸ ß ¼ Ï ã J] X Ò ¦ s É r כ Ü ¼ Ð
z ¤ .
2. PSM8 ý ° o ¼Ü à Šÿ Y c l ¤V R Ë
Fig. 4 H · ú Â Ò f ¨ Ã Ì Ê ê PSM ³ ð _ ¸_ þ v` ¦ AFM Ü
¼ Ð ' a ¹ 1 Ïô Ç õ s . Fig. 4(a)\ " fü < ° ú s · ú Â Ò f ¨
Ã
Ì / B N| 9 ½ © è_ ¨ î ç H Y J f â É r 10 ∼ 30 nm s % 3 Ü ¼
, Fig. 4(b)\ " fü < ° ú s · ú Â Ò f ¨ Ã ÌÊ ê\ H ¸ ½ ¨ ¸
\
¦ ° ú H / B N| 9 ½ © è 8 £ x s · ú Â Ò Ü ¼ Ð _ G 0 >4 R ½ © è Y
J _ þ j ¦& h õ þ j$ & h s _ ç ß s 40 ˚ A \ " f 17
˚ A& ñ ¸ Ð y è H כ Ü ¼ Ð z ¤ . Õ ªo ¦ · ú Â Ò f ¨ Ã Ì
/ B N| 9 ½ © è_ } 9 l (roughness) H ¨ î ç H 15.26 ˚ A s
%
3 Ü ¼ , · ú Â Ò f ¨ Ã ÌÊ ê\ H ¨ î ç H 3.31 ˚ A Ü ¼ Ð ß ¼> y è
% i .
Fig. 5 H · ú Â Ò f ¨ Ã Ì Ê ê PSM ½ ¨ ¸\ ¦ s À Ò H © Â Ò Ú
ÔA Õ ª ì ø Í â _ ¦Ï ã J] X Ò ¦8 £ x õ $ Ï ã J] X Ò ¦8 £ x` ¦ Å Ò
&
³p â Ü ¼ Ð S X @ / # ' a ¹ 1 Ïô Ç õ s . Fig. 5(a)\ " fü <
° ú
s · ú Â Ò f ¨ Ã Ì \ H l / B N _ ß ¼l (pore size) ¦Ï ã J
Fig. 3. The schematic process to produce of porous sil- icon microcavity. (a) The current density and etching time. (b) The porosity thickness of layers. (c) The re- fractive indices of layers.
] X
Ò ¦ 8 £ x É r 10 ∼ 15 nm, $ Ï ã J] X Ò ¦8 £ x É r 20 ∼ 30nm Ð
8 £ x s _ > s q §& h ç H{ 9 % i Ü ¼ , · ú Â Ò ` ¦ f ¨
Ã
Ìr v l / B N _ ß ¼l ^ & h Ü ¼ Ð 40 ∼ 100 nm Ð & 4
R > ½ ¨ì r s Ô ¦S X z ´ô Ç כ Ü ¼ Ð z ¤ . s ° ú É r " é ¶
É
r · ú Â Ò Å Ò Ó o\ í < Ê÷ &# Q ¢ - aØ æ ] j % i ½ + É` ¦ ¦ e H
è| ¾ Ó_ à ºí ß o à Ôµ ¢ § _ % ò ¾ ÓÜ ¼ Ð ½ © è Y J (skeleton)s 6
x K ÷ &# Q l / B N _ ß ¼l & t H כ Ü ¼ Ð K $ 3 ) a .
Fig. 6 É r 5 %, 20 % 0 l x ¸\ ¦ ° ú H · ú Â Ò ` ¦ PSM ³ ð
\
f ¨ Ã Ìr ~ ´ M :_ ì ø Í Ö ¦ Û ¼& 7 à Ô! 3 ` ¦ · p כ s . · ú Â
Ò ` ¦ f ¨ Ã Ìr v ^ & h ì ø Í Ö ¦ É r f ¨ Ã Ì Ð y
è ¦, Û ¼& 7 à Ô! 3 É r & h Ò os 1 l x % i . & h Ò os 1 l x _ & ñ ¸
H Fig. 6(b) \ " f % ! 3 · ú Â Ò _ 0 l x ¸ 5 % â Ä º 15
∼ 20nm, Fig. 6(c) \ " f % ! 3 · ú Â Ò _ 0 l x ¸ 20 % â Ä
º 20 ∼ 30nm Ð z ¤ . · ú Â Ò _ 0 l x ¸ 7 £ x ½ + ÉÃ º2 ¤
&
h
Ò os 1 l x & ³ © s 7 £ x H כ Ü ¼ Ð z ¤ . s כ É r · ú Â
Ò f ¨ à Ìr à ºí ß o à Ôµ ¢ § \ _ ô Ç © Â Ò Ú ÔA Õ ª ì ø Í â _
< H © s { 9 # Q ¦ s Ð K ½ © è Y J _ x 9 ¸ y è Ð ì
ø Í Ö ¦ s l M :ë H Ü ¼ Ð Ò q ty ) a .
Fig. 4. Surface images of porous silicon microcavity mea- sured by the AFM.
Fig. 5. Cross-sectional images of high refractive and low refractive index layer of upper bragg reflector.
Fig. 6. Reflectance spectra of porous silicon microcav- ity in visible region. (a) Before albumin adsorption (b) After 5 % albumin adsorption (c) After 20 % albumin adsorption.
Fig. 7 É r · ú Â Ò _ 0 l x ¸ 5 %, 20 % { 9 M : PSM_ PL
Fig. 7. Room temperature PL spectra measured under excitation wavelength of 457 nm by Ar-ion laser. (a) Before albumin adsorption (b) After 5 % albumin ad- sorption (c) After 20 % albumin adsorption.
:
£ ¤$ í s . Fig. 7(a)\ " fü < ° ú s · ú Â Ò f ¨ Ã Ì PL : £ ¤$ í
É
r Å Ò 4 x Ä ºo © s 720 nms % 3 Ü ¼ 9, ì ø Íu ; ¤ (FWHM)
É
r 60 nms % 3 . Õ ª Q Fig 7(b), 7(c)\ " fü < ° ú s
· ú
Â Ò s f ¨ à Ì÷ & µ 1 Ï F g _ [ jl H y è ¦, Å Ò 4 x Ä ºo
13 ∼ 16nm & ñ ¸ & h Ò os 1 l x % i . s M : · ú Â Ò _ 0 l x
¸ 5 %\ " f 20 % Ð 7 £ x ì ø Íu ; ¤ É r 65 nm \ " f 70 nm Ð 7 £ x % i . s ° ú É r õ H · ú Â Ò s f ¨ Ã Ì H d Ü ¼ Ð
"
f © Â Ò Ú ÔA Õ ª ì ø Í â s < H © ÷ &# Q µ 1 Ï F g8 £ x ? /\ " f / B N s
{ 9 # Q± ú Ã º e H ¸| s 4 R µ 1 Ï F g _ [ jl y è
¦ ì ø Íu ; ¤ É r 7 £ x H כ Ü ¼ Ð [ O " î ½ + É Ã º e . Õ ªo ¦ Å
Ò 4 x Ä ºo & h Ò os 1 l x ÷ & H & ³ © É r f ¨ Ã Ì ) a · ú Â Ò \ _ K
Ú ÔA Õ ª ì ø Í â ` ¦ ½ ¨$ í H ¦Ï ã J] X Ò ¦8 £ x õ $ Ï ã J] X Ò ¦8 £ x _
Ï ã J] X Ò ¦ x 9 F g < Æ& h ¿ ºa _ o Ð K × æd © s
l M :ë H Ü ¼ Ð Ð# .
IV. + s Ç Â ] Ø
¸ ½ ¨ ¸\ ¦ ° ú H / B N| 9 ½ © è\ ¦ é ß Ñ þ | 9 G ' p" f Ð s 6 x
l 0 AK ª F G í ß or À Óx 9 ¸ü < r ç ß ` ¦ Å Òl & h Ü ¼ Ð
or & PSM` ¦ ] j ¦ · ú Â Ò f ¨ Ã Ì\ É r ì ø Í Ö ¦ õ PL _ o\ ¦ ¸ % i . Õ ª õ PSM ³ ð \ · ú Â Ò
`
¦ f ¨ Ã Ìr â Ä º ì ø Í Ö ¦ õ PL_ [ jl y è % i Ü ¼ 9, ì
ø Í Û ¼& 7 à Ô! 3 õ PL_ Å Ò 4 x Ä ºo _ & h Ò os 1 l x & ³ © s
z ¤ . s Qô Ç & ³ © É r · ú Â Ò \ í < Ê÷ &# Q e H à ºí ß o
à Ôµ ¢ § \ _ ô Ç © Â Ò Ú ÔA Õ ª ì ø Í â _ < H © Ü ¼ Ð µ 1 Ï F g8 £ x
?
/\ " f_ / B N ¸| s · ú Â Ò f ¨ Ã Ì Ð 4 R ì ø Í Ö
¦ õ µ 1 Ï F g _ [ jl y è H כ Ü ¼ Ð Ð# . ¢ ¸ô Ç Å Ò 4
x Ä ºo _ & h Ò os 1 l x & ³ © É r f ¨ Ã Ì ) a · ú Â Ò Å Ò Ó o\ _
ô
Ç Ú ÔA Õ ª ì ø Í â _ ½ ¨ ¸ o Ð ô Ç × æd © _ o M
:ë H Ü ¼ Ð K $ 3 ) a .
/ B N| 9 ½ © è_ ³ ð \ · ú Â Ò s f ¨ à Ì÷ & PL, ì ø Í Ö ¦ 1
p
x _ F g < Æ& h : £ ¤$ í s ô Ç H z ´ É r / B N| 9 ½ © è\ ¦ é ß Ñ þ
| 9 G ' p" f Ð > hµ 1 Ïs 0 p x ½ + É כ Ü ¼ Ð l @ / ) a . Õ ª Q y
¸ a % ~ ¦ ì ø Í6 £ x r ç ß s  ú ª ¦ F & ³$ í s ª ñô Ç G ' p" f Ð_
>
hµ 1 Ï` ¦ 0 AK " f H Ð ª ô Ç l í ½ ¨ 9 כ ¹½ + É כ Ü ¼
Ð « Ñ ) a .
Y
c p w à U Ø ô
[1] Ernst, Young, Focus on Fundamentals (ERNST &
YOUNG, London, 2001), p. 12.
[2] Jong Seol Yuk and Kwon-Soo Ha, Experimental and Molecular Medicine 37, 1 (2005).
[3] L. T. Canham, Appl. Phys. Lett. 57, 1046 (1990).
[4] K. Hirschaman, L. Tsybeskov, S. Duttagupta and P. Fauchet, Nature 384, 338 (1996).
[5] C. S. Solanki, R. R. Bilyalov, J. Portmans, J. Nijs and R. Mertens, Solar Energy Materials and Solar cells 83, 101 (2004).
[6] H. F¨ oll, M. Christophersen, J. Carstensen and G.
Hassw, Materials Science and Engineering R 39, 93 (2002).
[7] Luca De Stefano, Lucia Rotiroti, Ivo Rendina, Luigi Moretti, Viviana Scognamiglio, Mose Rossi, Sabato D’Auria, Biosensors and Bioelectronics 21, 1664
(2006).
[8] Claudia Steinem, Andreas Janshoff, Victor S.-Y.
Lin, Nicolas H. Volcker and M. Reza Ghadiri, Tetra- hedron 60, 11259 (2004).
[9] Finny P. Mathew, Evangelyn C. Alocilja, Biosensors and Bioelectronics 20, 1656 (2005).
[10] Maria Schultzberg, Master thesis, Molecular Biotechnology Programme Uppsala University School of Engineering, 1999.
[11] Manuel M. Orosco, Claudia Pacholski, Gorden M.
Milskelly and Michael J. Sailor, Advanced Mater.
18, 1393 (2006).
[12] Boyce E. Collins, Keiki-Pua S. Dancil, Gaurav Abbi and Michael J. Sailor, Adv. Funct. Mater. 3, 187 (2002).
[13] R. J. Martin-Palma, V. Torres-Costa, M. Arroyo- Hernandez, M. Manso, J. Perez-Rigueiro, J.M.
Martinez-Duart, Microelectronics Journal 35, 45 (2004).
[14] G. D. Francia, S. Turchini, T. Prosperi, F. Martelli, G. Amato and M. D. Santis, J. Appl. Phys. 76, 3787 (1994).
[15] H. A. MacLeod, Thin-Film Optical Filters (Adam Hilger, London, 1969).
[16] M. G. Berger, M. Thonissen, R. Arens-Fischer, H.
Munder, H. Luth, M. Arbtzen, W. Theiss, Thin
Solid Films 255, 313 (1995).
Variations in the Reflectance and in the Photoluminescence Spectrum of an Albumin-adsorbed Porous Silicon Microcavity
Han-Jung Kim,
∗Horchhong Cheng, Seon-Hwa Park, Ki-Won Lee and Young-You Kim Department of Physics, Kongju National University, Kongju 314-701
(Received 11 December 2007)
To use porous silicon as a biosensor, we made a porous silicon microcavity (PSM) and investigated the variations in its reflectance and in its photoluminescence (PL) spectrum. When the PSM was exposed to human serum albumin (HSA) and the albumin was adsorbed on the surface of the PSM, the reflectance and the PL intensity at a specific wavelength were decreased, and the main PL peak shifted to red. Also, the red shift of the main peak increased with increasing concentration of the albumin solution. These experimental results open a possibility for biosensors being developed based on variations in the reflectance and in the PL spectrum from a PSM.
PACS numbers: 78.55.M
Keywords: Porous silicon, Porous silicon microcavity, Albumin, Protein sensor, Reflectance, PL
∗
