• 검색 결과가 없습니다.

s Ž ˜ mX N Ë× D õ u § — ޔ X ¢ “ Õ ×U ê s Œ º Y 1−x Ca x MnO 3 U c lT c l8 ý < gX c l

N/A
N/A
Protected

Academic year: 2021

Share "s Ž ˜ mX N Ë× D õ u § — ޔ X ¢ “ Õ ×U ê s Œ º Y 1−x Ca x MnO 3 U c lT c l8 ý < gX c l"

Copied!
5
0
0

로드 중.... (전체 텍스트 보기)

전체 글

(1)

 1 Z 4, pp. 21∼25

V ê

s Ž ˜ mX N Ë× D õ u § —  ޔ X ¢ “ Õ ×U ê s Œ º Y 1−x Ca x MnO 3 U c lT c l8 ý < gX c l

ƒ

‘ š* å ¼ ÿ › · ) ç  @ ž B ò 6 B · ö ¶ BM ' å  · + ä  ø ¶ B0 å  · ) o ‘ ž+ ä 

“

  @ /† < Ɠ §  ƒ  õ † < Æ@ /† < Æ Ó ü t o † < Æõ , “  …  ; 402-751

(2010¸   10 Z 4 28{ 9  ~ à Î6 £ §, 2010¸   12 Z 4 13{ 9  à º& ñ ‘ : r ~ à Î6 £ §, 2011¸   1 Z 4 17{ 9  > F  S X ‰& ñ )

„

 • ¸• ¸\  ¦ ”   y © œÄ »„  ^ ‰\  ¦ “  0 A& h Ü ¼– Ð ] j Œ • l  0 AK " f ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸_  Y stabilized ZrO

2

(YSZ) l ó ø Í 0

A\  Ca`  ¦ ' ‘ ô  Ç YMnO

3

_  ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ ~ à Ì} Œ •`  ¦ 7 £ x ‚ à Ìr (   . Y

1−x

Ca

x

MnO

3

(YCMO) ~ à Ì} Œ •_  Ca_  › ¸

$ í

`  ¦ 0 % ∼ 30 %# 3 0 A ? /\ " f    or (   . ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ l ó ø Í0 A\  \ x   © œ î ß –& ñ  o  ) a YCMO ~ à Ì} Œ •“ É r Z O  ß

¼ YCMO\ " f˜ Ð   8 7 £ x   ) a Ca • ¸i ç `  ¦ ˜ Ð# ŒÅ Ò% 3  . Ca_  › ¸$ í x 7 £ x † < Ê\    " f, YCMO~ à Ì} Œ • _

 ½ ¨› ¸  H ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸\ " f  ~ ½ Ó½ ¨› ¸– Ð    % i “ ¦, ³ ð€    } 9 l • ¸ 7 £ x  % i  . „  • ¸• ¸ 7 £ x ô  Ç y © œÄ »„   YCMO ~ à Ì} Œ •“ É r þ j   H \  Å Ò3 l q ~ à ΍  H  s š ¸× ¼ü < F g l „  § 4  ƒ  ½ ¨\  Ä »6   x ½ + É  כ Ü ¼– Ð ˜ Г   .

Ù þ

˜d ” # Q: \ x   © œî ß –& ñ  o, YMnO

3

, ~ à Ì} Œ •_  ½ ¨› ¸ü < + þ AI 

Fabrication of Hexagonal Y 1−x Ca x MnO 3 Thin Films Through Epitaxial Phase Stabilization

Young An Park · Kil Dong Sung · Ki Myoung Song · Jong Hoon Jung · Namjung Hur

Department of Physics, Inha University, Incheon 402-751

(Received 28 October 2010 : revised 13 December 2010 : accepted 17 January 2011)

Hexagonal Y

1−x

Ca

x

MnO

3

(YCMO) thin films were grown on Y-stabilized ZrO

2

(YSZ) substrates by using a pulse laser deposition (PLD) method to fabricate artificial conducting ferroelectric sys- tem. The content of Ca in the YCMO thin films was varied in the range of x = 0 ∼ 30 %.

Epitaxially-stabilized YCMO thin films on hexagonal substrates showed enhanced Ca doping com- pared to bulk YCMO. With increasing x, the structure of the YCMO thin films changed from hexagonal to orthorhombic, and the surface roughness of the YCMO thin films increased. Ferro- electric YCMO with increased electrical conductivity should be useful in the study of the diode and photovoltaic effect observed recently.

PACS numbers: 81.15.-z, 81.15.Fg, 68.55.-a, 64.75.-g

Keywords: Epitaxial Phase Stabilization, YMnO

3

, Thin film structure and morphology

I. " e  ] Ø

RMnO

3

(R“ É r  Bž ÐÀ Ó)  & ñ “ É r R _  s “ : r ì ø Í â \     ¿ º

t  ½ ¨› ¸\  ¦ s À Ò>   ) a  . Rs “ : r ì ø Í â s  9 þ t M : (R = La- Dy)  H ` …\  v Û ¼ s à Ô(perovskites)½ ¨› ¸\  ¦ s À ғ ¦, R ì ø Í â

E-mail: [email protected]

s

  Œ •`  ¦ M : (R = Ho-Lu, Y, Sc)  H ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸\  ¦ s À Ò>   ) a



. \ V\  ¦ [ þ t # Q, s “ : r ì ø Í â s   H La s “ : r`  ¦ ”   LaMnO

3

  H



~ ½ Ó& ñ >  ` …\  v Û ¼ s à Ô ½ ¨› ¸\  ¦ t t ë ß –, ì ø Í â s   Œ •“ É r Y s “ : r`  ¦ Ÿ í† < Êô  Ç YMnO

3

(YMO)  H ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó& ñ > (P6

3

cm) ½ ¨

›

¸\  ¦ s ê  r  . s  Qô  Ç RMnO

3

 o½ + ËÓ ü t“ É r  € ª œô  Ç Ó ü t o & h  :

£ ¤$ í s  ƒ  ½ ¨÷ &“ ¦ e ”   H X <,  ~ ½ Ó& ñ >  LaMnO

3

  H La 0 Au 

\

 Sr`  ¦ • ¸i ç % i  8m , œ í @ / l $ † ½ Ó(colossal magne-

-21-

(2)

toresistance, CMR) õ  F K5 Å q-] X ƒ  ^ ‰ „  s  : £ ¤$ í s    z Œ ¤



 [1–6]. ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ YMO  H ì ø Íy © œ $ í õ  y © œÄ »„  $ í `  ¦ 1 l x r

\  ° ú   H  y © œ^ ‰“  X <, s  Qô  Ç ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ YMO\ • ¸ H o 

#

Q • ¸i ç `  ¦   H ƒ  ½ ¨ ”  ' Ÿ ÷ &% 3   [7–10]. P. duran et al. [9]“ É r Z O ß ¼YMO\  Ca`  ¦ ' ‘  # Œ Ca• ¸i ç | ¾ Ó_     o

\

   É r „  l & h  ½ ¨› ¸& h  : £ ¤$ í `  ¦ ƒ  ½ ¨ % i  . Ca_  ' ‘ | ¾ Ó s

 22 % t   H ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸\  ¦ Ä »t  % i “ ¦ Õ ª s  © œÂ Ò'   H



~ ½ Ó& ñ > (Pnma)½ ¨› ¸– Ð    o % i  . ¢ ¸ô  Ç, „  l & h  : £ ¤$ í

“

É r Ca _  • ¸i ç | ¾ Ós  10 %ë ß – ÷ &# Q• ¸ „  • ¸• ¸ S X ‰ƒ  y  Z  }  

”

   כ `  ¦ · ú ˜ à º e ” % 3  . Õ ª Q , A. Esteban et al. [10]  H 0

Aü < Ä »  >  YMO`  ¦ ' ‘  # Œ Õ ª ½ ¨› ¸\  ¦ ƒ  ½ ¨ % i   H X

<, Cas  › ¸F K ë ß – ' ‘ ÷ &# Q• ¸ ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó& ñ >  YMOü <  ~ ½ Ó& ñ

>

CaMnO

3

 ™ D ¥ ½ + ˝ ) a + þ AI – Ð ½ ¨$ í  ) a  “ ¦ µ 1 ϳ ðÙ þ ¡ . 0 A ü

<° ú  s  Z O ß ¼YMO\  H o # Q • ¸i ç `  ¦ à º' Ÿ ô  Ç z  ´+ « >[ þ t“ É r Y >

Y >

ƒ  ½ ¨ à º' Ÿ ÷ &% 3 t ë ß – " f– Ð   É r   õ \  ¦ µ 1 ϳ ð % i  .

s

   z  ´] j • ¸i ç | ¾ Ós  ± ú “ É r ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ Y

1−x

Ca

x

MnO

3

(YCMO)\  ¦ 7 á §  8 ´ òÖ  ¦& h Ü ¼– Ð ë ß –[ þ t l  0 AK  Ä ºo   H Pulse Laser Deposition(PLD) ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð  © œ î ß –& ñ  o\  ¦ : Ÿ x ô

 Ç YCMO~ à Ì} Œ •] j Œ •`  ¦ r • ¸ % i  . l ” > r _  ƒ  ½ ¨\ " f  © œ î

ß –& ñ  o\  ¦ : Ÿ x K   Bž ÐÀ Ó } © œç ß – í ß – oÓ ü t`  ¦  ~ ½ Ó½ ¨› ¸\ " f ¹ ¢ ¤

~ ½

Ó½ ¨› ¸– Ð, ¢ ¸  H ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸\ " f  ~ ½ Ó½ ¨› ¸– Ð 7 £ x ‚ à Ìr v   H ƒ  

½

¨ ´ ú §s  ”  ' Ÿ ÷ &% 3   [11–14]. s  Qô  Ç ƒ  ½ ¨ ×  æ \ " f  Bž Ð À

Ó TbMnO

3

\  ¦ ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ Al

2

O

3

l ó ø Í0 A\  7 £ x ‚ à Ìr &  “  0 A

&

h Ü ¼– Ð ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ TbMnO

3

~ à Ì} Œ •`  ¦ ë ß –× ¼  H ƒ  ½ ¨ à º' Ÿ ÷ &

%

3 Ü ¼ 9, s  Qô  Ç ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð ë ß –[ þ t # Q”   ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ TbMnO

3

~ Ã Ì }

Œ

•“ É r l ” > r _  y © œÄ »„  $ í s   8¹ ¡ ¤ y © œ o÷ &“ ¦, „  l  © œ\  _ K  Ä

»• ¸  ) a ì ø Íy © œÄ »„  -y © œÄ »„   „  s ü <  l  Ä »„  Ö  ¦ ´ òõ   

z Œ ¤  [15]. Ä ºo   H 0 A_  z  ´+ « >[ þ t \ " fü < ° ú  s  Z O ß ¼\ " f



 H Ô  ¦ î ß –& ñ ô  Ç ½ ¨› ¸\  ¦ ° ú   H YCMO\  ¦ ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ l ó ø Í\  `  ¦



9 “  0 A& h Ü ¼– Ð Õ ª ½ ¨› ¸\  ¦ î ß –& ñ  o r †   ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ •   H

ƒ

 ½ ¨\  ¦ à º' Ÿ  % i  . ¢ ¸ô  Ç, s X O >  î ß –& ñ  o  ) a YCMO _  H  o

# Q • ¸i ç \  _ ô  Ç „  l & h  : £ ¤$ í    o\  ¦ 8 £ ¤& ñ % i  .

s

 Qô  Ç ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ YMO_  H o # Q • ¸i ç `  ¦ # Œ „  • ¸• ¸

\

 ¦ Z  } s   H z  ´+ « >s  ×  æ כ ¹ô  Ç s Ä »  H   H A \   Òy Œ •  ) a „  • ¸$ í

`

 ¦ t   H y © œÄ »„  ^ ‰\ " f_  D h– Ðî  r Ó ü t o & h  ‰ & ³ © œ[ þ t s  Å Ò 3

l

q ~ à Γ ¦ e ” l  M :ë  H s  . \ V\  ¦ [ þ t # Q,  y © œ^ ‰BiFeO

3

\  ¦ s  6

 

x # Œ „  l & h   µ 1 Ï ì  rF G _  ~ ½ ӆ ¾ Ó`  ¦ › ¸& ñ # Œ  s š ¸× ¼ + þ

AI _  „  À Ó_  ~ ½ ӆ ¾ Óõ  F g„  À Ó_  ~ ½ ӆ ¾ Ó\  ¦    o r v   H ƒ  

½

¨ ”  ' Ÿ ÷ &% 3   [16,17]. s  Qô  Ç y © œÄ »„  ^ ‰_  ì  rF G \   

 É

r  s š ¸× ¼ + þ AI _  „  À Ó_  ~ ½ ӆ ¾ Ós   F g„  À Ó_  ~ ½ ӆ ¾ Ós 



7   H ƒ  ½ ¨  H y © œÄ »„  ^ ‰_  ì  rF G  © œI \  ¦ q  õ & h “   ~ ½ Ó Z O

Ü ¼– Ð { 9 `  ¦ à º e ” >  H † d Ü ¼– Ð+ ‹ y © œÄ »„  ^ ‰ B j— ¸o \  6 £ x6   x s

 0 p x  .

Ä

ºo   H 0 A_  ƒ  ½ ¨[ þ t`  ¦  „ ½ ÓÜ ¼– Ð „  • ¸• ¸\  ¦ ”   y © œÄ »

„

 ^ ‰ ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ • l  0 AK " f YMO\  Ca`  ¦ ' ‘  # Œ ¹ ¢ ¤

~

½ Ó½ ¨› ¸_  Y-stabilized ZrO

2

(YSZ) l ó ø Í0 A\  7 £ x ‚ à Ìr &  ¹ ¢ ¤

~

½ Ó½ ¨› ¸_  ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ •   H ƒ  ½ ¨\  ¦ à º' Ÿ  % i  .

Fig. 1. X-ray diffraction patterns of Y

1−x

Ca

x

MnO

3

thin films grown on Pt(111)/YSZ(111) substrates.

II. ÷ m Ç] M ö U ê s0 n É

YCMO ~ à Ì} Œ •“ É r PLD ~ ½ ÓZ O `  ¦ s 6   x # Œ Pt(111)/YSZ(111) l ó ø Í 0 A\  7 £ x ‚ à Ì÷ &% 3 “ ¦, Pt8 £ x _ 

¿

ºa   H 300 nm s  . ~ à Ì} Œ •`  ¦ 7 £ x ‚ Ã Ì l  0 AK  Ä º‚   YCMO r

o Ý ¼ Ö ¿ `  ¦ ë ß –[ þ t% 3  . YMO  ¿ “ É r Y

2

O

3

ü < MnO

2

\  ¦ 1:2 q Ö  ¦ – Ð [ O # Q" f „  l – Ð\  900

C \ " f 12r ç ß – 1 l x î ß –

\ P ô  Ç Ê ê\   r  1200

C \ " f 12r ç ß – 1 l x î ß – \ P  # Œ ë

ß –[ þ t% 3 “ ¦, s ü < q 5 p w ô  Ç ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð YCMO  ¿ “ É r 0 A_ 

›

¸$ í \  CaCO

3

_  q Ö  ¦`  ¦    or &  9 Æ Ò # Œ r  o

Ý ¼\  ¦ ë ß –[ þ t% 3  . Pt/YSZl ó ø Í“ É r 7 £ x ‚ Ã Ì l  „  \   [ j

—

: r(CH

3

COCH) õ  · ú ˜ ï`  ¦(C

2

H

5

OH) \  y Œ •y Œ • 5 ì  rm ”  [ j '

‘  % i  . ~ à Ì} Œ • 7 £ x ‚ à Ìr _  l ó ø Í “ : r • ¸  H 800

C s “ ¦, 10 mTorr _  í ß –™ è · ú š§ 4  \  30 ì  r 1 l x î ß – 7 £ x ‚ Ã Ì % i  . Y Us 

$

  H Nd-YAG Y Us $ (266 nm)\  ¦  6   x % i Ü ¼ 9 Å Ò à º



 H 5 Hz, 0 >  H 1.5 J/cm

2

s  . 7 £ x ‚ Ã Ì Ê ê ~ à Ì} Œ •\  í ß –™ è   

€ 9

`  ¦ ˜ ÐØ  æ K Å Òl  0 AK  400 Torr_  í ß –™ è· ú š§ 4  \  800

C

\

" f Ò'   © œ“ : r  t  ì  r { © œ 5

C – Ð …  ;…  ;y  “ : r • ¸\  ¦ ± ú Æ Ҁ  

"

f \ P % ƒo \  ¦ % i   [18].

~ Ã

Ì} Œ •_    & ñ $ í , ³ ð€   © œI  x 9 ¿ ºa \  ¦ 8 £ ¤& ñ l  0 AK 

“

¦ì  r K 0 p x X-‚    r] X  ì  r$ 3   © œu (High Resolution X-ray Diffraction, HR-XRD), „    ‰ & ³p  â (Scanning Electron Microscope, SEM), " é ¶  ‰ & ³p  â (Atomic Force Micro- scope, AFM)`  ¦  6   x # Œ 8 £ ¤& ñ % i  . ¢ ¸ô  Ç, ~ à Ì} Œ •_  „  

•

¸$ í `  ¦ 8 £ ¤& ñ l  0 A # Œ Pt 7 £ x ‚ à Ì÷ &t  · ú §“ É r YSZ l ó ø Í 0

A\  `  ¦ 2 ; ~ à Ì} Œ •`  ¦ 4- é ß – Z O (4-point probe)`  ¦ s 6   x # Œ

~ Ã

Ì} Œ •_  $ † ½ Ó`  ¦ 8 £ ¤& ñ % i  .

(3)

III. + s ÇÊ Ý õ m Í À X Ø8 ý

Figure 1“ É r PLD ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð 7 £ x ‚ Ã Ì  ) a YCMO r o Ý ¼ ~ à Ì} Œ • _

   & ñ ½ ¨› ¸\  ¦ X-‚    r] X  ì  r$ 3  ~ ½ ÓZ O \  _ K  ì  r$ 3 ô  Ç X <s  '

s  . YCMO_   r] X  x ß ¼  H YMO  © œ\    H   # Œ x 9  Q t

à º\  ¦ ³ ðl  % i  . “Pt*”– Ð ³ ðr ô  Ç x ß ¼  H Pt(111) _  Kβ line x ß ¼s  9, “*”– Ð ³ ðr ô  Ç  r] X  x ß ¼[ þ t“ É r — ¸¿ º YSZ(111) l ó ø Í_  Kα

1

lines, Kβ lines, Tungsten Lα

1

lines _   r] X  x ß ¼[ þ t s  . YMO~ à Ì} Œ •“ É r (001)€  _  ~ ½ ӆ ¾ ÓÜ ¼

–

Ð 7 £ x ‚ à Ì÷ &% 3 Ü ¼ 9, Ca† < ÊÄ »| ¾ Ós  7 £ x ½ + Éà º2 Ÿ ¤ (004)€  _  x  ß

¼ š ¸ É rA á ¤ Ü ¼– Ð €  • 0.3

m ”  s 1 l x   H  כ `  ¦ ^  ¦ à º e ”  .

s

 כ “ É r Y s  CaÜ ¼– Ð @ /^ ‰ ÷ &€  " f (00l)€  ç ß –_  ç ß –  s  ×  ¦

#

Q× ¼  H  כ `  ¦ _ p ô  Ç . P. Duran et al. [9]_  z  ´+ « >\ " f  H Z O

ß ¼ ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ YCMO\ " f " î 3 l q  © œ_  Ca_  ' ‘ | ¾ Ós  20

%{ 9  M : c» ¡ ¤     © œÃ º 0.07 ˚ A y Œ ™™ èô  Ç ì ø ̀  , Ä ºo  z  ´+ « >

_

 ~ à Ì} Œ • ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ YCMO\ " f  H Ca _  ' ‘ | ¾ Ós  ° ú  `  ¦ M : c» ¡ ¤     © œÃ º  H 0.20 ˚ A y Œ ™™ èÙ þ ¡ . Z O ß ¼ YCMO\ " f c» ¡ ¤ _ 

 

  © œÃ º    o| ¾ Ós  Ä ºo z  ´+ « >_  ~ à Ì} Œ •˜ Ð   Œ •“ É r  כ “ É r Z O  ß

¼ ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ YCMO\  z  ´] j Ca_  • ¸i ç | ¾ Ós  ~ à Ì} Œ •˜ Ð   8

&

h l  M :ë  H Ü ¼– Ð ˜ Г   .   " f, \ x  ~ à Ì} Œ •$ í  © œ`  ¦ s 6   x ô  Ç

 ©

œ î ß –& ñ  o\  ¦ : Ÿ x K  YCMO_  Ca_  z  ´] j † < ÊÄ »| ¾ Ó`  ¦ Z O ß ¼˜ Ð



  8 Z  } >  ] j Œ • ½ + É Ã º e ” 6 £ §`  ¦ S X ‰ “  Ù þ ¡ .

YCMO(10 %, 20 %) ~ à Ì} Œ •“ É r ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ (00l)€  _  ~ ½ ӆ ¾ Ó x

ß ¼÷  r ë ß –  m   33

  H % ƒ_   Œ •“ É r  r] X  x ß ¼[ þ t s  ” > r F  



 H X <, s   H  ~ ½ Ó& ñ >  (121), (002)€  _  ~ ½ ӆ ¾ Ó x ß ¼[ þ t õ    _

 { 9 u   9, s – РÒ'  ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸\   ~ ½ Ó& ñ > ½ ¨› ¸ { 9  Â

Ò [ O # Œe ”   H  כ `  ¦ · ú ˜ à º e ”  . YCMO(30 %)  H ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨

›

¸ (00l)€  _  ~ ½ ӆ ¾ Ó x ß ¼[ þ t s  ¢ - a„  y    t “ ¦  ~ ½ Ó& ñ >  (00l)€  _  ~ ½ ӆ ¾ Ó x ß ¼[ þ t ë ß – z Œ ™ e ”   H  כ Ü ¼– Ð ˜ Ð   _   

~

½ Ó& ñ >  ½ ¨› ¸– Ð  Ÿ ÷ ¶  כ `  ¦ · ú ˜ à º e ”  .

YCMO l ó ø Í\   ê ø Íô  Ç €  _  ~ à Ì} Œ •_  \ x „ à Ìr \  ¦ S X ‰ “    l

 0 AK  φÛ ¼ ± p`  ¦ à º' Ÿ  % i  . Figure 2  H YCMO _  (11- 22)€  _  ~ ½ ӆ ¾ Ó x ß ¼\  ¦ HR X-‚    r] X  ì  r$ 3 l \  ¦ s 6   x # Œ φ Û ¼ ± p ô  Ç  « Ñs  . YMO_  X <s ' \  ¦ ˜ Ѐ   60 • ¸ ç ß –  Ü ¼

–

Ð 6 > h_   r] X  x ß ¼      H  כ Ü ¼– Ð ˜ Ð  6  r  r„  

@

/g A`  ¦ ”   ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸e ” `  ¦ · ú ˜ à º e ”  . Ca† < ÊÄ »| ¾ Ós  7 £ x  K

• ¸ 6  r  r„   @ /g A“ É r > 5 Å q Ä »t ÷ &  y Œ •y Œ •_  x ß ¼_  ß ¼ l

 YMO\  q K " f & h   ×  ¦ # Q× ¼  H  כ Ü ¼– Ð ˜ Ð  ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó& ñ

>

 YCMO_   Òx q  ×  ¦ # Q× ¼  H  כ Ü ¼– Ð Æ Ò& ñ ½ + É Ã º e ”  .

Figure 3“ É r ~ à Ì} Œ •_  ³ ð€   ì  r$ 3 `  ¦ 0 AK  8 £ ¤& ñ ô  Ç SEMs  p

t s  . YMO~ à Ì} Œ •“ É r ³ ð€  s  B Ä º “ ¦Ø Ô>  ÷ &# Q e ” Ü ¼



, Ca_  † < ÊÄ »| ¾ Ós  7 £ x ½ + Éà º2 Ÿ ¤ z Œ —· ú ˜(grain)[ þ t s  Ò q t z Œ ¤



. ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸\  ¦ Ä »t    H YCMO(10 %, 20 %) _  z Œ —· ú ˜[ þ t

“

É r 100 ∼ 200 nm& ñ • ¸_  ß ¼l – Ð + þ A$ í ÷ &# Q e ” Ü ¼ ,  ~ ½ Ó

&

ñ > ½ ¨› ¸“   YCMO(30 %)~ à Ì} Œ •“ É r 50 nm î ß –¼ 1 Ú_   Œ •“ É r z Œ —

Fig. 2. φ-scan of Y

1−x

Ca

x

MnO

3

(11-22) peak for x = 0, x = 0.1, x = 0.2, x = 0.3.

Fig. 3. SEM image of surface morphology of Y

1−x

Ca

x

MnO

3

thin films for (a) x = 0, (b) x = 0.1, (c) x = 0.2, (d) x = 0.3.

· ú

˜[ þ t – Ð  7 % 3  . YCMO(10 %, 20 %)~ à Ì} Œ •_   â Ä º ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó

½

¨› ¸\  { 9 Â Ò  ~ ½ Ó½ ¨› ¸ [ O # Œe ” l  M :ë  H \  YMO\  q K 



• 2 ; ½ ¨› ¸\  ¦ s À ғ ¦ e ”  . ß ¼l   H z Œ —· ú ˜[ þ t“ É r ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ s

“ ¦  H z Œ —· ú ˜  s _   Œ •“ É r z Œ —· ú ˜[ þ t“ É r  ~ ½ Ó½ ¨› ¸– Ð ÷ &# Qe ” 

(4)

Fig. 4. AFM image of surface morphology of Y

1−x

Ca

x

MnO

3

thin films for (a) x = 0, (b) x = 0.1, (c) x = 0.2, (d) x = 0.3.

Fig. 5. Resistivity of Y

1−x

Ca

x

MnO

3

thin films(x = 0.1, 0.2, 0.3).



 H  כ Ü ¼– Ð ˜ Г   . Ca_  • ¸i ç | ¾ Ós  7 £ x  €  " f  ~ ½ Ó½ ¨› ¸

“

   Œ •“ É r z Œ —· ú ˜[ þ t s  7 £ x  % i Ü ¼ 9 s   H  ~ ½ Ó½ ¨› ¸ YCMO

 & h & h  Z þ t # Q   H  כ Ü ¼– Ð ì  r$ 3  ) a  . YCMO(30 %)_   â Ä

º  _   ~ ½ Ó& ñ >  ½ ¨› ¸– Ð  † ‡ \      Œ •“ ¦ ç  H{ 9 ô  Ç z Œ —

· ú

˜[ þ t s  Ò q t è ß –  כ Ü ¼– Ð ˜ Г   . 0 A_  SEMs p t \  @ /ô  Ç ì

 r$ 3 “ É r XRD \ " f   è ß – YCMOx ß ¼[ þ t _  ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸\ " f



~ ½ Ó½ ¨› ¸– Ð_     oü < ¸ ú ˜ { 9 u ô  Ç .

s

 Qô  Ç ~ à Ì} Œ •_  ³ ð€    } 9 l \  ¦ S X ‰ “   l  0 AK  AFMs  p

t \  ¦ 8 £ ¤& ñ % i Ü ¼ 9 Õ ª   õ \  ¦ Fig. 4 \    ? /% 3  .

YCMO ~ à Ì} Œ •_  R

M S

° ú כ“ É r y Œ •y Œ • (a)0.088 nm, (b)0.219 nm, (c)0.312 nm, (d)1.090 nm – Ð Ca_  ' ‘ | ¾ Ós  7 £ x ½ + Éà º2 Ÿ ¤

&

t   H  כ `  ¦ S X ‰ “  Ù þ ¡ . s „   SEM « Ñ\ " f ˜ Ð1 p w s  z Œ —· ú ˜ [ þ

t s  7 £ x  €  " f ³ ð€   R

M S

° ú כ• ¸ 7 £ x Ù þ ¡ . YCMO(10 %, 20 %)  H Ca _  ' ‘ | ¾ Ós  7 £ x  €  " f ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ü <  ~ ½ Ó½ ¨

›

¸ " f– Ð [ O # Œe ” # Q" f ³ ð€    } 9 l • ¸ ° ú  s  7 £ x ô  Ç  כ Ü ¼

–

Ð ˜ Ðs  9 YCMO(30 %)  H  ~ ½ Ó½ ¨› ¸– Ð  7 €  " f ³ ð€  



} 9 l   8¹ ¡ ¤ 7 £ x ô  Ç  כ Ü ¼– Ð ˜ Г   . ¢ ¸ô  Ç, l ” > r _  ¹ ¢ ¤

~

½ Ó½ ¨› ¸ YMO  YCMO(10 %, 20 %) ~ à Ì} Œ •“ É r l ó ø Íõ  ½ ¨› ¸

 { 9 u K " f ½ ¨› ¸ î ß –& ñ  o ÷ &# Q L :  F M ô  Ç ³ ð€  `  ¦ s À ғ ¦ e ”

t ë ß –, ½ ¨› ¸  ~ ½ Ó½ ¨› ¸– Ð ¢ - a„  y    K ! Q 2 ; YCMO(30

%) ~ à Ì} Œ •“ É r ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ l ó ø Íõ _  ½ ¨› ¸& h  ƒ  › ' a$ í s  ± ú  " f



  & ñ \   î  r ~ à Ì} Œ •s  ë ß –[ þ t # Q t €  " f ³ ð€  s   • 2 ;  כ Ü

¼– Ð ˜ Г   .

Figure 5  H 4- é ß – Z O `  ¦ s 6   x # Œ 8 £ ¤& ñ ô  Ç YCMO(10

%, 20 %) ~ à Ì} Œ •_  $ † ½ Ó X <s ' s  . YMO~ à Ì} Œ •“ É r $ † ½ Ó s

  -Á º & " f 8 £ ¤& ñ ½ + É Ã º \ O % 3 Ü ¼ , Cas  ' ‘ ÷ &€  " f YCMO(10 %, 20 %, 30 %) ~ à Ì} Œ •“ É r „  • ¸• ¸ 7 £ x  # Œ 8 £ ¤

&

ñ s  0 p xÙ þ ¡ . YCMO(20 %) Ò'  „  • ¸• ¸ ß ¼>  7 £ x 

# Œ YCMO(30 %)~ à Ì} Œ •õ  q 5 p w ô  Ç ß ¼l _  q $ † ½ Ó° ú כ`  ¦ 

&

’  . Õ ª Q , ½ ¨› ¸& h Ü ¼– Ѝ  H YCMO(20 %) ü < YCMO(30

%)  H ß ¼>   Ø Ôl  M :ë  H \   Ö ¸$ í  o \  -t • ¸  Ø Ô>    M

®

o  . YCMO(10 %)ü < YCMO(20 %)_   Ö ¸$ í  o \  -t 



 H " f– Ð q 5 p w ô  Ç ° ú כ“  166 meV, 164 meV° ú כ`  ¦ & ’ Ü ¼ , YCMO(30 %)  H 143 meV ° ú כs    M ® o  .

IV. + s Ç Â ] Ø

„

 • ¸• ¸\  ¦ ”   y © œÄ »„   YCMO~ à Ì} Œ •`  ¦ ë ß –[ þ t l  0 AK   © œ î

ß –& ñ  o\  ¦ : Ÿ x ô  Ç PLD ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ YSZl ó ø Í 0 A\  Ca _  › ¸$ í `  ¦ 0 ∼ 30% – Ð › ¸] X  # Œ YCMO~ à Ì} Œ •`  ¦ ë ß –[ þ t

%

3  . XRD S X ‰ “     õ  0 ∼ 20% t   H ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸\  ¦ Ä »t 

€  " f (004)€  _  x ß ¼ 0.3• ¸m ”  š ¸ É rA á ¤ Ü ¼– Ð s 1 l x   H

 כ

Ü ¼– РÒ'  ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸\  ¦ Ä »t  €  " f Cas  • ¸i ç ÷ &  H  כ

`

 ¦ S X ‰ “   % i “ ¦, 30%  H ¢ - a„  y   ~ ½ Ó½ ¨› ¸– Ð   ô  Ç  כ `  ¦ · ú ˜ Ã

º e ”  . φÛ ¼ ± pÜ ¼– Ð Ca› ¸$ í s  ´ ú § | 9 à º2 Ÿ ¤ ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸(11- 22)€  _  x ß ¼_  ß ¼l  ×  ¦ # Q× ¼  H  כ Ü ¼– Ð ˜ Ð  ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨

›

¸YCMO_   Òx q  ×  ¦ # Q[ þ U`  ¦ · ú ˜ à º e ”  . ¢ ¸ô  Ç, ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó

½

¨› ¸\ " f  ~ ½ Ó½ ¨› ¸– Ð    €  " f SEMõ  AFMÜ ¼– Ð ³ ð€  



© œI \  ¦ 8 £ ¤& ñ ô  Ç   õ  ß ¼l  100 ∼ 200nm_   H z Œ —· ú ˜\ 

"

f 50 nmî ß –¼ 1 Ú_   Œ •“ ¦ ç  H{ 9 ô  Ç z Œ —· ú ˜[ þ t – Ð    % i Ü ¼ 9, ³ ð

€

   } 9 l • ¸ 0.088 nm\ " f 1.090 nm– Ð ß ¼>  7 £ x  % i  .

YCMO ~ à Ì} Œ •_  „  • ¸• ¸ % i r  Ca_  • ¸i ç s  7 £ x ½ + Éà º2 Ÿ ¤ ß ¼

>

 Z  }  & ’ Ü ¼ 9, q $ † ½ Ó° ú כÜ ¼– Ð  Ö ¸$ í  o \  -t \  ¦ > í ß –ô  Ç

 

õ  ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸YCMO  H 164 meV, 166 meV“   ì ø ̀    

~

½ Ó½ ¨› ¸YCMO  H 143 meV ° ú כÜ ¼– Ð ½ ¨› ¸\       É r ° ú כs 



 M ® o  . þ j   H Å Ò3 l q ~ à Γ ¦ e ”   H „  • ¸• ¸ Z  }“ É r y © œÄ »„  $ í Ó ü t

| 9

“   BiFeO

3

\ " f   è ß – y © œÄ »„   ì  rF G \  _ ô  Ç  s š ¸× ¼

´

òõ   F g l „  § 4  ´ òõ \  ¦ Ä ºo  ë ß –Ž  H ¹ ¢ ¤ ~ ½ Ó½ ¨› ¸ YCMO

~ Ã

Ì} Œ •\ " f• ¸ l @ /  ) a  .

(5)

P

c p 8 ý ò k >

s

  7 Hë  H“ É r 2008¸  • ¸ & ñ  ÒF " é ¶( “ §¹ ¢ ¤“  & h  " é ¶ Â Ò † < ÆÕ ü tƒ  

½

¨› ¸$ í  \ O q )Ü ¼– Ð ô  Dz D G † < ÆÕ ü t”  < É ª F é ß –_  t " é ¶`  ¦ ~ à Î  ƒ  

½

¨÷ &% 3 6 £ §(KRF-2008-331-C00093).

Y

c p w Š à U Ø ”  ô

[1] K. Ghosh, C. J. Lobb, R. L. Greene, S. G. Karaba- shev, D. A. Shulyatev, A. A. Arsenov and Y.

Mukovskii, Phys. Rev. Lett. 81, 4740 (1988).

[2] B. B. Van Aken, J.-W. G. Bos, R. A. de Groot and T. T. M. Palstra, Phys. Rev. B 63, 125127 (2001).

[3] T. Katsufuji, S. Mori, M. Masaki, Y. Moritomo, N.

Yamamoto and H. Takagi, Phys. Rev. B 64, 104419 (2001).

[4] T. Goto, T. Kimura, G. Lawes, A. P. Ramirez and Y. Tokura, Phys. Rev. Lett. 92, 257201 (2004).

[5] P. Mandal and S. Das, Phys. Rev. B 56, 15073 (1997).

[6] T. Katsufuji, M. Masaki, A. Machida, M. Moritomo, K. Kato, E. Nishibori, M. Takata, M. Sakata, K.

Ohoyama, K. Kitazawa and H. Takagi, Phys. Rev.

B 64, 134434 (2002).

[7] M. N. Iliev, B. Lorenz, A. P. Litvinchuk, Y. Q.

Wang, Y. Y. Sun and C. W. Chu, J. Phy.: Con- dens. Matter. 17, 3333 (2005).

[8] M. Dlouh´ a, S. Vratislav, Z. Jir´ ak, J. Hejtm´ anek, K.

Kniˇ zek and D. Sedmidubskˆ y, Appl. Phys. A 74, 673 (2002).

[9] C. Moure, M. Villegas, J. F. Fernandez, J. Tartaj and P. Duran, J. Mat. Sci. 34, 2565 (1999).

[10] D. Vega, G. Polla, A. G. Leyva, P. Konig, H. Lanza and A. Esteban, J. Solid State Chem. 156, 458 (2001).

[11] N. Hur, S. W. Cheong, S. N. Kale, S. B. Ogale, R.

Choudhary, S. R. Shinde and T. Venkatesan, Appl.

Phys. Lett. 86, 112507 (2005).

[12] A. A. Bosak, A. A. Kamenev, I. E. Graboy, S. V.

Antonov, O. Yu. Gorbenko, A. R. Kaul, C. Dubour- dieu, J. P. Senateur, V. L. Svechnikov, H. W. Zand- bergen and B. Holl¨ ander, Thin Solid Films 400, 149 (2001).

[13] A. A. Bosak, C. Dubourdieu, J. P. S´ enateur, O. Yu.

Gorbenko and A. R. Kaul, J. Mater. Chem. 12, 800 (2002).

[14] N. Hur, S. W. Cheong, S. N. Kale, S. B. Ogale, R.

Choudhary, S. R. Shinde and T. Venkatesan, Appl.

Phys. Lett. 86, 112507 (2005).

[15] J. H. Lee, P. Murugavel, H. Ryu, D. Lee, J. Y. Jo, J.

W. Kim, H. J. Kim, K. H. Kim, Y. Jo, M. H. Jung, Y. H. Oh, Y. W. Kim, J. G. Yoon, J. S. Chung and T. W. Noh, Adv. Matter. 18, 3125 (2006).

[16] J. Dho, C. W. Leung, J. L. MacManus-Driscoll and M. G. Blamire, J. Crystal Growth 267, 548 (2004).

[17] T. Choi, S. Lee, Y. J. Choi, V. Kiryukhin, S. W.

Cheong, Science 324, 63 (2009).

[18] S. Y. Yang, L. W. Martin, S. J. Byrnes, T. E. Conry, S. R. Basu, D. Paran, L. Reichertz, J. Ihlefeld, C.

Adamo, A. Melville, Y. H. Chu, C. H. Yang, J.

L. Musfeldt, D. G. Schlom, J. W. Ager III and R.

Ramesh, Appl. Phys. Lett. 95, 062909 (2009).

수치

Fig. 1. X-ray diffraction patterns of Y 1−x Ca x MnO 3 thin films grown on Pt(111)/YSZ(111) substrates.
Fig. 3. SEM image of surface morphology of Y 1−x Ca x MnO 3 thin films for (a) x = 0, (b) x = 0.1, (c) x = 0.2, (d) x = 0.3
Fig. 4. AFM image of surface morphology of Y 1−x Ca x MnO 3 thin films for (a) x = 0, (b) x = 0.1, (c) x = 0.2, (d) x = 0.3.

참조

관련 문서

 `acb¨ FEd u;Õ CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC A.  `acb¨ FEd

This study selected 15 male Taekwondo athletes from C University in G Metropolitan City to study the difference between health fitness, dynamic stability

 &gt;MN d#  d#t f fT ;u FFFFFFFFFFFFFFFF .  &gt;MN d#  d#t f fT ;u B*A

흥사단

자동차용 GFRP( Gl as s Fi be rRe i nf or c ed Pl as t i c )복합재료로 실용화되어 폭 넓게 이용되고 있는 복합판재는 모재( Mat r i x) 를 플라스틱, 강화재 ( Rei nf or ce

 This highly important theorem holds for homogeneous linear ODEs only but does not hold for nonhomogeneous linear or nonlinear ODEs.. 2.1 Homogeneous Linear ODEs

1) Ruchholtz S, Pehle B, Lewan U, Lefering R, M?ller N, Oberbeck R, The emergency room transfusion score(ETS) : prediction of blood transfusion requirement

⇒ very strongly basic codntions are employed; KOH at high temperatures or using sodium amide (very strong base).. ⇒ using vinyl chloride at