Z Ø ¤° Ç Ä Z ØA 00 n É® z º V R ËX ê sc Ü R In 2 O 3 :Zn U c lT c l8 ý ºÑ ÷ ° Ë Ñ] K ¡X ì Ä ¹ ÅM X ì Ä ¤V R Ë

(1)

Ä

Z Ø ¤° Ç Ä Z ØA 00 n É® z º V R ËX ê sc Ü R In ² O 3 :Zn U c lT c l8 ý ºÑ ÷ ° Ë Ñ] K ¡X ì Ä ¹ ÅM X ì Ä ¤V R Ë

"

k ò 6 B® £ ^∗

¸ @ / < Æ § õ < Æ §¹ ¢ ¤ < ÆÂ Ò (Ó ü t o §¹ ¢ ¤), F g Å Ò 501-759 (2008¸ 3 Z 4 7{ 9 ~ Ã Î6 £ §)

In

2

O

3

:Zn ~ Ã Ì} ` ¦ ì r Á º\ P ì r K Z O Ü ¼ Ð Ä »o l ó ø Í 0 A\ $ í © r ( . Zn\ ¦ 0 ∼ 10 wt% t ' #

$ í

© r In

2

O

3

:Zn ~ Ã Ì} _ & ñ ½ ¨ ¸ H { 9 ~ ½ Ó½ ¨ ¸s 9, (222) s Ì º§ Â > $ í © ) a Zn s Ô ¦í HÓ ü t Ð '

) a In

2

O

3

(In

2

O

3

:Zn) ~ Ã Ì} Ü ¼ Ð S X ÷ &% 3 . In

2

O

3

:Zn ~ Ã Ì} _ F g < Æ& h È Òõ Ö ¦ É r 400 ∼ 1200 nm % ò

%

i \ " f 80 ∼ 95 %s % 3 . Zn` ¦ 0 wt% ' # $ í © r In

2

O

3

:Zn ~ Ã Ì} _ F g < Æ& h \ -t { ç ß

É r 3.656 eV s % 3 ¦, In

2

O

3

:Zn ~ Ã Ì} _ F g < Æ& h \ -t { ç ß É r Zn _ 0 l x ¸ 7 £ x < Ê\ y è

%

i . Zn\ ¦ 7 wt% ' # $ í © r r « Ñ_ â Ä º p-+ þ A ¸$ í s É r r « Ñ Ð a % ~ ¤ H X <, s r « Ñ _

$ ½ Ó, î r ì ø Í 0 l x ¸, f . Ë > Ã º, s 1 l x ¸ H y y 13.6 kΩ/, 5.68 × 10

¹⁸

cm

⁻³

, 109.86 m

²

/C, 13.97 cm

²

/V·s s % 3 .

PACS numbers: 73.20.-r, 74.25 Gz

Keywords: In

2

O

3

:Zn ~ Ã Ì} , ì r Á º\ P ì r K Z O , F g È Òõ Ö ¦, F g < Æ& h \ -t { ç ß , f . Ë ´ òõ

I. " e Â ] Ø

ZnO, SnO, In 2 O 3 :Sn ü < ° ú É r È Ò" î ¦ ¸$ í s e H

~ Ã

Ì} É r panel display, µ 1 Ï F g è , ~ Ã Ì} à Ô ½ t Û ¼' , I

ª t 1 p x _ F GÓ ü t| 9 Ð" f ; ¤V , > 6 x ÷ & ¦ e [1–4].

s

Qô Ç F G Ó ü t| 9 ` ¦ s 6 x H F g è _ $ í 0 p x` ¦ > h

l 0 AK " f H r F g % ò % i \ " f F g È Òõ Ö ¦ s Z } ¦, l

¸ ¸ a % ~ ô Ç . È Ò" î ô Ç ¸$ í ~ Ã Ì} _ : £ ¤$ í É r

~ Ã

Ì} _ í ß o © I ü < Ô ¦í HÓ ü t Ð ' ) a Ó ü t| 9 _ ª \ _ > r

¦, 7 £ x Ã Ìl Õ ü t, \ P % o 1 p x _ ¸| \ ² ú .

þ

j H \ NiO, NiO:Li, CuClO 2 , Cu ₂ SrO ₂ , CuGaO ₂ ° ú

É

r È Ò" î ô Ç p-+ þ A ¸$ í ~ Ã Ì} \ @ /ô Ç ½ ¨ ´ ú §s s À Ò# Q 4

R È Ò" î ô Ç p-n ] X ½ + Ë è F g è Ð" f s 6 x s 0 p x

> ÷ &% 3 ¦ D h Ðî r È Ò" î ô Ç p-+ þ A ¸$ í ~ Ã Ì} _ $ í © õ :

£ ¤$ í ½ ¨\ ' a ô Ç ' a d s 7 £ x ¦ e [5–7]. In ² O 3 ~ Ã Ì }

É r n-+ þ A ì ø Í ¸^ ~ Ã Ì} Ü ¼ Ð F g < Æ& h \ -t Ì s É r 3.6 eV s 9, ~ Ã Ì~ Ã Ì $ í © ~ ½ ÓZ O \ " f & ñ ~ Ã Ì} ¢ ¸ H q

&

ñ $ í ~ Ã Ì} Ü ¼ Ð $ í © r ~ ´ Ã º e ¦ Õ ª & ñ ½ ¨ ¸ H ^ d { 9

~

½ Ó½ ¨ ¸ Ð © Ã º a ⁰ = 10.118 ˚ A s [8,9]. Moõ Cr\ ¦ Ô

¦í HÓ ü t Ð ' # $ í © ô Ç In ₂ O 3 :Mo ~ Ã Ì} õ In 2 O 3 :Cr

~ Ã

Ì} _ â Ä º, Mo ⁺⁶ õ Cr ⁺⁶ _ " é ¶ ü < In ⁺³ _ " é ¶

s M :ë H \ ZnO:Al, In ² O 3 :Sn, SnO 2 ü < ° ú É r È

Ò" î ô Ç ¸$ í ~ Ã Ì} Ð ¸$ í s 8 a % ~ ¦ · ú 94 R e

∗

E-mail: [email protected]

[10]. ¢ ¸ô Ç Znõ Cu ° ú É r 2 " é ¶ è\ ¦ Ô ¦í HÓ ü t Ð '

# $ í © ô Ç ~ Ã Ì} _ â Ä º, In 2 O ₃ \ " f In ⁺³ o \ Zn ⁺² õ Cu ⁺² _ " é ¶ @ /u ÷ &# Q ô Ç > h_ f . Ë s ë ß [ þ t # Q

. s כ É r " é ¶ { H ~ ½ Ó\ ~ Ã Î> Ô ¦í HÓ ü tï r 0 A Ð

6 x ¦, " é ¶ { ÐÂ Ò' \ ¦ ~ Ã Î [ þ t # f . Ë 0 l x

¸ü < p-+ þ A ¸$ í s 7 £ x ô Ç . n-+ þ A ¸$ í ` ¦ I ? / H In 2 O 3 ~ Ã Ì} \ Sn ⁺⁴ ¢ ¸ H F ⁻¹ s : r` ¦ Ô ¦í HÓ ü t Ð ' #

l & h : £ ¤$ í ` ¦ ¾ Ó © r v H ½ ¨ [11, 12] H ´ ú §s s À Ò# Q

&

t ë ß , In 2 O ₃ ~ Ã Ì} \ ~ Ã Î> Ô ¦í HÓ ü t` ¦ Å Ò{ 9 # p-+ þ A ¸

$ í

\ ' a ô Ç Ð ¦ H ´ ú §t · ú § .

È

Ò" î ô Ç ¸$ í ~ Ã Ì} In 2 O 3 ~ Ã Ì} ` ¦ $ í © H ~ ½ ÓZ O

\

H / B N7 £ x Ã ÌZ O [13–15], rf-sputteringZ O [16–18], o < Æ

&

h ~ ½ ÓZ O [19–24] 1 p x s s 6 x ÷ & ¦ e H X < / B N7 £ x Ã ÌZ O , rf- sputteringZ O 1 p x É r o < Æ& h ¸$ í ` ¦ ¸] X H כ É r Ä ºÃ º

¦_ / B N © u \ ¦ 9 כ ¹ Ð 9 ~ Ã Ì} _ $ í © 5 Å q ¸

Ö

¼o H é ß & h s e . Õ ª Q ì r Á º\ P ì r K Z O É r ¦6 x ^ 6

xÓ o` ¦ \ P ) a l ó ø Í 0 A\ ì r Á º # ì ø Í ¸^ ~ Ã Ì} x 9 S ! o Ó

ü

t ~ Ã Ì} ` ¦ $ í © H ~ ½ ÓZ O Ü ¼ Ð" f, ~ Ã Ì} ] j ¸ õ & ñ s É r

~

½ ÓZ O \ q # ç ß é ß # © 6 x _ ¸$ í ~ Ã Ì} ] j ¸ 1 p x \

´ ú

§s s 6 x ÷ & ¦ e .

: r z ´+ « >\ " f H ì r Á º\ P ì r K Z O Ü ¼ Ð In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} ` ¦ Ä » o

l ó ø Í 0 A\ $ í © r ( . In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ & ñ ½ ¨ ¸\ ¦

½

©" î > 0 A # X- r] X ì rF g l (x-ray diffractome- ter)\ ¦ s 6 x % i Ü ¼ 9, Zn 0 l x ¸\ É r In 2 O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _

³

ð õ p [ j½ ¨ ¸ H Å Ò & ³p â (scanning electron

-451-

(2)

1. In 2 O 3 :Zn U c lT c l V R ËX ê s

: r z ´+ « >\ " f H ì r Á º\ P ì r K © u \ ¦ ] j # Ä »o l ó ø Í 0

A\ In 2 O ₃ ~ Ã Ì} õ In 2 O ₃ :Zn ~ Ã Ì} ` ¦ $ í © r ( . l ó ø Í _

' õ A ¸ H ~ Ã Ì} _ $ í © õ : £ ¤$ í \ × æ כ ¹ô Ç Ã º Ð 6 x

l M :ë H \ 6 x ) a Ä »o l ó ø Í (Corning 7059)` ¦ o < Æ& h [

j' ô Ç 6 £ § í6 £ § [ j' l \ ¦ s 6 x # 7 £ x À ÓÃ º Ð [ j' ô

Ç Ê ê | ¸ # 6 x % i . In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} $ í © \ 6 x ô

Ç r É r InCl 3 (Aldrich, 99.9 %), ZnCl 2 (Aldrich, 99.9

%) s 9, s 7 £ x À ÓÃ º\ 0 l q # 0.02 ] t Ã º6 xÓ o` ¦ ë ß H Ê ê 7

£

x À ÓÃ ºü < ç ß _ \ ò ø Í` ¦` ¦ ' # ì r Á º6 xÓ o` ¦ ë ß [ þ t # Q

6 x % i . l ó ø Íõ ì r Á ºl s _ o H 25 cm Ð { 9

&

ñ > Ä »t % i ¦, 500 ^◦ C Ð : r ¸ { 9 & ñ > Ä »t ) a

l Ð î ß \ 0 Au ô Ç \ P ) a Ä »o l ó ø Í 0 A\ ì r Á º6 xÓ o` ¦ B

ì r { © 2 cc/min_ ì r Á ºÖ ¦ Ð ì r Á ºô Ç 6 £ § " f" fy Í t y

r v Ä »o l ó ø Í 0 A\ È Ò" î ¦ ¸$ í s a % ~ É r In 2 O ₃

~ Ã

Ì} s $ í © ÷ &% 3 ¦, Õ ª o < Æì ø Í6 £ xd [25] É r 6 £ § õ ° ú .

2InCl 3 + 3H 2 O → In 2 O 3 + 6HCl (1) s

M : l ó ø Í_ : r ¸\ ¦ 500 ^◦ C Ð { 9 & ñ > Ä »t ô Ç כ É r ì r Á

º\ P ì r K Z O Ü ¼ Ð In ² O 3 ~ Ã Ì} $ í © r & h { © ô Ç : r ¸ H 500

◦ C Ð Ð ¦ ) a [26] e # Q : r z ´+ « >\ " f H l ó ø Í_ : r ¸

\

¦ 500 ^◦ C Ð { 9 & ñ > Ä »t % i . Zn Ô ¦í HÓ ü t s '

)

a In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} $ í © É r In 2 O 3 ~ Ã Ì} ` ¦ $ í © ½ + É M :_ ì r Á

º6 xÓ o\ ZnCl ² \ ¦ 1 wt% ç ß Ü ¼ Ð 0\ " f 10 wt% '

ô

Ç ì r Á º6 xÓ o` ¦ \ P ) a Ä »o l ó ø Í0 A\ ì r Á º # $ í © r (

.

2. In ₂ O ₃ :Zn U c lT c l8 ý ¤V R Ë ¤X N Ë

ì

r Á º\ P ì r K Z O Ü ¼ Ð Ä »o l ó ø Í0 A\ $ í © ) a In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì }

_ & ñ ½ ¨ ¸ü < © Ã º\ ¦ ¸ l 0 AK X-ray diffractometer (XRD, PANalytical. X’pert pro mpd,

Fig. 1. X-ray diffraction patterns of In 2 O 3 films de- posited with various Zn Concentration ((A) 0 ∼ 5 wt%

and (B) 6 ∼ 10 wt%).

Netherlands)\ ¦ 6 x % i . s M : " l oÛ ¼ É r CuK α (λ

= 1.5418 ˚ A) s ¦, 5 Å q · ú É r 50 kV, 9 F ' pà Ô À Ó

(3)

Fig. 2. Surface morphologies of In ₂ O ₃ :Zn films deposited with various Zn concentration.

H 50 mA, scanning speed H 2 ^◦ /min, 8 £ ¤& ñ y ¸ # 3 0 A 2θ\ ¦ 10 ^◦ \ " f 70 ^◦ t or v " f x- r] X Á º] (_ [ j l

\ ¦ l 2 ¤ % i . Ô ¦í HÓ ü t Ð ' ô Ç Zn 0 l x ¸ o\

É r In 2 O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _ ³ ð õ p [ j½ ¨ ¸ H Å Ò & ³p

â

(FE-SEM, Hitachi, S-4800, Japan)` ¦ s 6 x # r « Ñ _

³ ð ` ¦ ' a ¹ 1 Ï % i ¦, \ -t ì r í ß " l oÛ ¼ ì rF g l (EDS, Horiba, EMAX, Japan) Ð r « Ñ_ o < Æ& h ¸$ í ` ¦ ì r$ 3

%

i . In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ F gf ¨ Ã º x 9 È Òõ : £ ¤$ í 8 £ ¤& ñ É r UV- VIS-NIR spectrophotometer (Hitachi, U-3051, Japan)\ ¦ s

6 x # 200 ∼ 1200 nm % ò % i \ " f 8 £ ¤& ñ % i ¦, F g f ¨ Ã º Û

¼& 7 à Ô! 3 Ü ¼ ÐÂ Ò' ~ Ã Ì} \ { 9 ô Ç y n C \ -t (hν)\ @ / 6

£

x H F g f ¨ Ã º> Ã º (α)\ ¦ 8 £ ¤& ñ % i . ¢ ¸ô Ç F g \ -t

@

/ F gf ¨ Ã º Õ ªA á Ô ÐÂ Ò' (α · hν) ² = 0 & h ` ¦ ü @¶ ú # In ₂ O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _ f ] X s \ -t { ç ß ` ¦ ½ ¨ % i .

r

« Ñ_ l q $ ½ Óõ î r ì ø Í 0 l x ¸, s 1 l x ¸ H Hall ´ òõ \ ¦ van der PauwZ O Ü ¼ Ð z ´ : r \ " f 8 £ ¤& ñ % i ¦, s M :

)

a l © _ [ jl H 0.51 T% i .

III. ÷ m Ç] M ö+ s ÇÊ Ý õ m Í w ² o

1. In 2 O 3 :Zn U c lT c l8 ý + s ÇX N Ë º Ô

¦í HÓ ü t Ð ' ô Ç Zn 0 l x ¸\ É r In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ " l o Û

¼ r] X Á º] ( H Fig. 1 õ ° ú . Fig. 1\ · p ü <

Fig. 3. EDS spectra of In 2 O 3 :Zn films deposited with various Zn concentration.

° ú

s (a) ∼ (f) H l ó ø Í_ : r ¸\ ¦ 500 ^◦ C Ð { 9 & ñ > Ä » t

¦ Zn 0 l x ¸\ ¦ 0 ∼ 10 wt% # 3 0 A ? /\ " f 1 wt%m

or v " f Ä »o l ó ø Í 0 A\ $ í © ô Ç In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ " l o Û

¼ r] X Á º] ( Ð" f In ² O 3 _ (222) s É r r] X

Ð Ì º§ Â > $ í © ÷ &% 3 ¦, Zn_ 0 l x ¸ 7 £ x < Ê\

(222) _ [ jl ç ß y è % i . r « Ñ[ þ t _ & ñ

½

¨ ¸ H { 9 ~ ½ Ó½ ¨ ¸s 9 & ñ + þ AI Ð $ í © H d` ¦ · ú Ã º e

H X < 500 ^◦ C \ " f $ í © ) a In 2 O 3 ~ Ã Ì} _ © Ã º H a 0 = 10.111 ˚ A s % 3 ¦, s כ É r JCDPS (06-416) _ õ ü < ¸ { 9 u

% i . : r z ´+ « >\ " f Ô ¦í HÓ ü t Ð ' ô Ç Zn 0 l x ¸_ # 3 0 A

?

/\ " f Zn_ 0 l x ¸ 7 £ x # ¸ r « Ñ_ & ñ ½ ¨ ¸ H _

o t · ú § ¦ é ß { 9 © _ ~ Ã Ì} Ü ¼ Ð $ í © ÷ &% 3 ¦ É r í

ß oÓ ü t © É r S X ÷ &t · ú § ¤ . s כ É r In 2 O 3 \ " f In ³⁺ o \ Zn ²⁺ s Ô ¦í HÓ ü t Ð u ¨ 8 ) a In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} e

`

¦ S X ½ + É Ã º e .

¢

¸ô Ç In ₂ O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ p [ jô Ç & ñ _ ß ¼l H Debye- Scherrer d [27]` ¦ 6 x # In 2 O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _ (222) " l o Û

¼ r] X Á º] ( [ jl ü < ì ø Íu ; ¤(FWHM) Ü ¼ ÐÂ Ò' > í ß ½ + É Ã

º e .

t = 0.9λ

B cos θ _B (2)

#

l " f t H & ñ { 9 _ ß ¼l , B H x- r] X Á º] ( x ß ¼_ þ

j@ /y © ¸_ 1/2s ÷ & H / B M \ " f 8 £ ¤& ñ ô Ç r] X _ ì ø Íu ; ¤,

(4)

Ð ' a ¹ 1 Ïô Ç õ H Fig. 2 ü < ° ú . Fig. 2\ · p ü

< ° ú s (a), (b), (c), (d), (e), (f) H Zn _ 0 l x ¸\ ¦ y y 0.0 wt%, 2.0 wt%, 4.0 wt%, 6.0 wt%, 8.0 wt%, 10.0 wt% ' # Ä »o l ó ø Í 0 A\ $ í © r In ₂ O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _

³ ð (x100K)Ü ¼ Ð" f Ñ ü æ H ¸+ þ A_ In 2 O ₃ :Zn _

&

ñ { 9 [ þ t s Ä »o l ó ø Í 0 A\ ç H{ 9 > $ í © H d` ¦ · ú Ã º e

¦, In ² O 3 :Zn _ & ñ { 9 _ ß ¼l H 25 ∼ 40 nm s % 3 ¦, Ô

¦í HÓ ü t Ð ' ô Ç Zn_ 0 l x ¸ 7 £ x # ¸ In 2 O ₃ :Zn _

³

ð + þ AI ü < & ñ { 9 _ ß ¼l ü < ¸ ª É r _ t · ú §

¤ . s ü < ° ú É r õ H Debye-Scherrer d ` ¦ 6 x # In ₂ O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _ (222) x- r] X Á º] ( [ jl ü < ì ø Íu ; ¤ (FWHM) Ü ¼ ÐÂ Ò' > í ß ô Ç In ₂ O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ grain_ ß ¼ l

ü < q §½ + É M : { 9 u < Ê` ¦ · ú Ã º e .

l

ó ø Í : r ¸\ ¦ 500 ^◦ C Ð Ä »t ¦, Ô ¦í HÓ ü t Ð ' ô Ç Zn 0

l

x ¸ o\ É r In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ EDS Û ¼& 7 à Ô! 3 É r Fig.

3 ü < ° ú . Fig. 3\ " f (a), (b), (c), (d), (e), (f) H Zn _ 0 l x

¸\ ¦ y y 0.0 wt%, 2.0 wt%, 4.0 wt%, 6.0 wt%, 8.0 wt%, 10.0 wt% ' # Ä »o l ó ø Í 0 A\ $ í © r In ₂ O 3 :Zn ~ Ã Ì }

_ EDS Û ¼& 7 à Ô! 3 Ü ¼ Ð" f In, O, Zn Õ ªo ¦ Si\ @ /ô Ç x

ß ¼ ' a8 £ ¤ ÷ &% 3 H X < Si x ß ¼ H Ä »o l ó ø ÍÜ ¼ ÐÂ Ò' ~ ½ ÓØ ¦

)

a x ß ¼s . In 2 O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _ EDS Û ¼& 7 à Ô! 3 8 £ ¤& ñ r ³ ð ï

r r « Ñ Ð" f In L-line (InAs), Zn K-line (Zn), O K-line (quartz)` ¦ 6 x % i ¦ In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ y " é ¶ è\ " f ~ ½ Ó Ø

¦ ÷ & H : £ ¤$ í " l oÛ ¼ _ & h ` ¦ ¨ 8 í ß # r « Ñ\ ¦ ½ ¨$ í ¦ e

H y " é ¶ è_ o < Æ& h ¸$ í ` ¦ ì r$ 3 ô Ç õ In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì }

_ Zn/(Zn+In)q H ì r Á º6 xÓ o 5 Å q \ " f Zn/(Zn+In)q ü

< _ { 9 u % i .

3. In ₂ O ₃ :Zn U c lT c l8 ý ° Ë Ñ] K ¡X ì Ä ¤V R Ë

In ₂ O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _ F g È Òõ Ö ¦ õ F gf ¨ Ã º Û ¼& 7 à Ô! 3 É r UV- VIS-NIR spectrophotometer\ ¦ s 6 x # 200 - 1200 nm _ © % ò % i \ " f z ´ : r \ " f 8 £ ¤& ñ % i Ü ¼ 9, In ² O 3 :Zn

~ Ã

Ì} \ { 9 ô Ç y n C_ © _ o\ É r F g È Òõ Ö ¦ É r Fig.

4 ü < ° ú . Fig. 4\ · p ü < ° ú s In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} _

Fig. 4. Optical transmission spectra of In ₂ O ₃ :Zn films deposited with various Zn concentration. ((A) 0 ∼ 5 wt% and (B) 6 ∼ 10 wt% ).

F

g È Òõ Ö ¦ É r 400 ∼ 1200 nm © % ò % i \ " f 80 ∼ 95 %s

%

3 ¦, Zn_ 0 l x ¸ 7 £ x < Ê\ In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ F g È Ò õ

Ö ¦ s ç ß m 7 £ x < Ê` ¦ · ú Ã º e ¦ Zn_ 0 l x ¸ 7 £ x < Ê

\

In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ l íf ¨ Ã ºé ß s © © A á ¤ Ü ¼ Ð

ç ß s 1 l x % i .

¢

¸ô Ç In ₂ O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _ F g < Æ& h \ -t { ç ß É r F g f

¨ Ã º Û ¼& 7 à Ô! 3 Ü ¼ ÐÂ Ò' In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ F gf ¨ Ã º> Ã º (α) ü < r « Ñ\ { 9 ô Ç y n C \ -t (hν)_ ' a > d [28,29]

(α · hν) ⁿ = A(hν − E g ) (3) Ü

¼ ÐÂ Ò' ½ ¨½ + É Ã º e . # l " f A H © Ã ºs ¦, hν H r

«

Ñ\ { 9 ô Ç y n C \ -t , E g H r « Ñ_ F g < Æ& h \ -t { ç

ß , n = 2 â Ä º f ] X s , n = 1/2 â Ä º ç ß ] X s .

Fig. 5 H f ] X s + þ A ì ø Í ¸^ ~ Ã Ì} In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} (0 wt%) \ { 9 ô Ç y n C \ -t _ o\ @ /ô Ç (α · hν) ² _ ' a

>

\ ¦ · p Õ ªa Ë >Ü ¼ Ð" f (α · hν) ² = 0 & h _ f Â Òì r

`

¦ ü @¶ ú # In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ F g < Æ& h \ -t { ç ß ` ¦

½

¨ô Ç õ Õ ª ° ú כ É r 3.656 eV s % 3 H X < s õ H M. Chen 1

p

x _ õ ü < { 9 u < Ê` ¦ · ú Ã º e [8].

Fig. 6 É r Ä »o l ó ø Í : r ¸\ ¦ 500 ^◦ C Ð Ä »t ¦ Zn 0 l x

¸ or v " f $ í © ô Ç In ₂ O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ F g < Æ& h \ -

(5)

Fig. 5. Plot of (α · hν) ² vs the incident photon energy hν in In 2 O 3 :Zn film (0 wt%).

Fig. 6. Variation of optical energy band gap of In 2 O 3 :Zn films with Zn concentration.

t

{ ç ß _ o\ ¦ · p Õ ªa Ë >Ü ¼ Ð" f In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì}

?

/\ " f Zn 0 l x ¸ 7 £ x < Ê\ In 2 O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _ F g < Æ

&

h \ -t { ç ß s y è < Ê` ¦ · ú Ã º e . s כ É r » ¡ ¤ @

)

a í ß oÓ ü t ì ø Í ¸^ \ " f Fermi \ -t _ 7 £ x ¢ ¸ H y è\ l

ô Ç ¦ ½ + É Ã º e [30,31]. ¢ ¸ô Ç s õ H In 2 O 3 :Zn

~ Ã

Ì} _ F g È Òõ Ö ¦ 8 £ ¤& ñ õ l íf ¨ Ã ºé ß s é ß © A á ¤ Ü ¼ Ð s

1 l x ô Ç H z ´ (Fig. 4)õ ¸ { 9 u < Ê` ¦ · ú Ã º e .

Fig. 7. Variation of sheet resistivity of In 2 O 3 :Zn films with Zn concentration.

4. In 2 O 3 :Zn U c lT c l8 ý ¹ ÅM X ì Ä ¤V R Ë

In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} \ @ /ô Ç Hall ´ òõ \ ¦ z ´ : r \ " f 8 £ ¤& ñ ô Ç

õ p-+ þ A ì ø Í ¸^ ~ Ã Ì} e ` ¦ · ú Ã º e % 3 Ü ¼ 9, Zn 0 l x ¸\

É r $ ½ Ó_ o H Fig. 7 õ ° ú . Fig. 7\ · p

ü < ° ú s : r z ´+ « >\ " f Ô ¦í HÓ ü t Ð ' ô Ç Zn 0 l x ¸ # 3 0 A

?

/\ " f In ² O 3 ~ Ã Ì} _ n-+ þ A ¸$ í É r ~ Ã Î> Ô ¦í HÓ ü t Ð '

ô

Ç Zns 5 wt% t H 5 Å q& h Ü ¼ Ð " f" fy y è % i ¦, 5 wt% ü < 6 wt%_ # Q " e > Ô ¦í HÓ ü t0 l x ¸\ " f Ä » _

Ã ºü < f . Ë _ Ã º @ /| Ä Ì& h Ü ¼ Ð ° ú f ` ¦ · ú Ã º e . 6 wt% s © ' In ₂ O ₃ \ " f In ³⁺ o \ Zn ²⁺ s

@

/u H d Ü ¼ Ð" f ô Ç > h_ f . Ë s ë ß [ þ t # Q t ¦ In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì}

?

/\ " f f . Ë s _ Ã º Ð ´ ú § 4 R" f r « Ñ H p-+ þ A ¸

$ í

` ¦ > ) a . s ü < ° ú É r ´ òõ H bulk ì ø Í ¸^ \ ~ Ã Î

>

Ô ¦í HÓ ü t ' < ÊÜ ¼ Ð" f n-+ þ A ì ø Í ¸^ \ " f p-+ þ A ì ø Í ¸^ Ð

oô Ç H z ´õ Ä » [32]. Zn` ¦ 7 wt% ' ô Ç

â

p-+ þ A ¸$ í s y è % i . s כ É r In 2 O 3

½

¨ ¸\ " f Á º| 9 " fü < í ß ê ø Í_ 7 £ x ü < ' aº e [33]. Zn 0 l x

ø Í 0 l x ¸, f . Ë > Ã º, s 1 l x ¸ H y y 13.6 × 10 ³ Ω/, 5.68

× 10 ¹⁸ cm ⁻³ , 108.86 m ² /C, 13.97 cm ² V·s s % 3 .

IV. + s Ç Â ] Ø

In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} ` ¦ ì r Á º\ P ì r K Z O Ü ¼ Ð Ä »o l ó ø Í (Corn- ing 7059) 0 A\ $ í © r ( . In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} \ Ô ¦í HÓ ü t Ð '

ô Ç Zn 0 l x ¸\ É r In 2 O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _ & ñ ½ ¨ ¸, ~ Ã Ì} _

³ ð + þ AI ü < p [ j½ ¨ ¸\ ¦ ¸ ¦, In 2 O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _ F

g È Òõ Ö ¦, F gf ¨ Ã º, F g < Æ& h \ -t { ç ß ` ¦ 8 £ ¤& ñ % i Ü ¼

(6)

{ 9

: r _ q H ì r Á º6 xÓ o_ F K5 Å q s : r _ q ü < _ { 9

u % i .

F g < Æ& h \ -t { ç ß É r Zn 0 l x ¸ 7 £ x

< Ê\ y è % i .

~ Ã

Ì} É r È Ò" î ô Ç p-+ þ A ¸$ í ~ Ã Ì} s % 3 ¦, $

½ Ó, î r ì ø Í 0 l x ¸, f . Ë > Ã º, s 1 l x ¸ H y y 13.6 kΩ/, 5.68 × 10 ¹⁸ cm ⁻³ , 109.86 m ² /C, 13.97 cm ² /V·s s % 3 .

P

c p 8 ý ò k >

s

7 Hë H É r 2007 < Æ¸ ¸ ¸ @ / < Æ § < ÆÕ ü t ½ ¨q t " é ¶

\

_ # Ã º' ÷ &% 3 Ü ¼ 9 s \ y × ¼w n m .

Y

c p w Ã U Ø ô

[1] H. P. Paruska, T. Parodos, N. M. Kalkhoraud and W. D. Halverson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 345, 269 (1994).

[2] T. Myata, T. Minami, K. Saikai and S. Takata, J.

Lumin. 60/61, 926 (1994).

[3] T. Toyama, M . Yoshimi, T. Tachi, K. Hiratsuka, H. Okamoto and Y. Hamakawa, OP-DET 9, 401 (1994).

[4] Y. Matsmuto, G. A. Hirata, H. Takakura, H.

Okamoto and Y. Hamakawa, J. Appl. Phys. 67, 6538 (1990).

[5] H. Otha, K. Kawamura and M. Orita, M. Hirano, Appl. Phys. Lett. 77, 475 (2000).

P. Parilla, C.Teplin, T. Kaydanova, A. Meidaner, C. Curtis, A. Martinson, T. Coutts, D. Readey, H.

Hosono and J. Perkins, Thin Solid Films 445, 193 (2003).

[11] K. L. Chopra and D. K. Pandya, Thin Solid Films 102, 1 (1983).

[12] A. L. Dawar and J. C. Joshi J. Mater. Sci. 19, 1 (1984).

[13] Y. Y. Ma and R. H. Bube, J. Electrochem. Soc. 131, 2 (1957).

[14] A. Azens, M. Kitenbergs and U. Kanders, Vacuum 46, 745 (1995).

[15] J.-G. Zhang, C. E. Tracy, D. K. Benson and S. K.

Deb, J. Mater. Res. 8, 2649 (1993).

[16] H. Gerischer, Electroanal. Chem. and Inter. Elec- trochem. 58, 263 (1976).

[17] T. Nanba, T. Takahashi, J. Takada, A. Osaka, Y.

Miura, I. Yasui, A. Kishimoto and T. Kudo, J. Non- Znyst. Solids 178, 233 (1994).

[18] T. Nanba, T. Takahashi, S. Takada, J. Takada, A.

Osaka, Y. Miura, T. Kudo and I. Yasui, Jpn. J. Ce- ram. Soc. 103, 222 (1995).

[19] A. Proth and D. F. Willians, J. Appl. Phys. 52, 6685 (1981).

[20] K. H. Heckner and A. Rothe, Proc. Soc. Photo-Opt.

Instr. Eng. 305, 2255 (1994).

[21] M. Morita and MaZnomol. Chem. Phys. 195, 609 (1994).

[22] A. Pennisi and F. Simone, Appl. Phys. A 57, 13 (1993).

[23] A. Pennisi, and F. Simone, Solar Energy Mater. &

Solar Cells 39, 333 (1995).

[24] S. J. Visco, M. Liu, M. M. Doeff, Y. P. Ma, C. Lam-

pert and L. C. De Jonghe, Solid State Ionics 60, 175

(1993).

(7)

[25] K. L. Chopra S. Major and D. K. Panda, Thin Solid Films 102, 1(1983)

[26] Dong Ju Seo and Sun Hum Park, Physica B 357, 420 (2005).

[27] B. D. Cullty, Elements of X-ray Diffraction, 2nd ed.

(Addison-Wesley, 1978), Chap. 3, p. 102.

[28] C. G. Granqvist, Sol. Energy Mat. Sol. Cells 60, 201 (2000).

[29] J. I. Pankove, Optical Process in Semiconductors (Dover Pub. Inc. New York, 1971), Chap. 3.

[30] T. Minami, T. Kakumu and S. Takata, J. Vac. Sci.

Technol. A 14, 689 (1996).

[31] T. Ometa, N. Ueda and K. Ueda, Appl. Phys. Lett.

64, 1077 (1994).

[32] S. M Sze, Physics of Semiconductor Devices (Wiley, New York, 1981) 32

[33] M. Bagheri-Mohagheghi and M. Shokooh-Saremi, Semicon. Sci. Technol. 18, 97 (2003).

Structural, Optical, and Electrical Properties of In ₂ O ₃ :Zn Films Deposited by Using Spray Pyrolysis

Dong Ju Seo ^∗

Division of Science Education (Physics Education), Chosun University, Gwangju 501-759 (Received 7 March 2008)

In

2

O

3

:Zn films were deposited on glass substrates by using spray pyrolysis. The crystal structures of the In

2

O

3

:Zn films prepared with Zn concentrations up to 10 wt% were identified as Zn-doped In

2

O

3

(In

2

O

3

:Zn) with the preferred (222) orientation of a cubic structure. There were no new compounds in the In

2

O

3

:Zn. The optical transmission of the samples deposited with various Zn concentrations were about 80 ∼ 95 % in the wavelength range from 400 to 1200 nm. The optical energy band gap of the In

2

O

3

:Zn films deposited with a Zn concentration of 0 wt% was 3.656 eV.

The optical energy band gaps of the In

2

O

3

:Zn films decreased with increasing Zn concentration.

The sheet resistivity, the carrier concentration, the Hall coefficient, and the mobility of the In

2

O

3

:Zn films deposited with a Zn concentration of 7 wt% were 13.6 kΩ/, 5.68 × 10

¹⁸

cm

⁻³

, 109.86 m

²

/C, and 13.97 cm

²

/V·s respectively.

PACS numbers: 73.20.-r, 74.25 Gz

Keywords: In

2

O

3

:Zn film, Spray pyrolysis, Optical transmission, Optical energy band gap, Hall effect

∗

E-mail: [email protected]

Z Ø ¤°  Ç Ä Z ØA 00 n É® z º V R ËX ê sc Ü R In 2 O 3 :Zn U c lT c l8 ý   ºÑ ÷ ° Ë Ñ] K ¡X ì Ä  ¹ ÅM X ì Ä  ¤V R Ë

Ä

Z Ø ¤°  Ç Ä Z ØA 00 n É® z º V R ËX ê sc Ü R In 2 O 3 :Zn U c lT c l8 ý   ºÑ ÷ ° Ë Ñ] K ¡X ì Ä  ¹ ÅM X ì Ä  ¤V R Ë

"

k ò 6 B® £ ∗



¸  @ / < Æ § õ  < Æ §¹ ¢ ¤  < ÆÂ Ò (Ó ü t o  §¹ ¢ ¤), F g Å Ò 501-759 (2008¸  3 Z 4 7{ 9  ~ Ã Î6 £ §)

In

O

:Zn ~ Ã Ì}  `  ¦ ì  r Á º\ P ì  r K Z O Ü ¼ Ð Ä »o l ó ø Í 0 A\  $ í  © r (   . Zn\  ¦ 0 ∼ 10 wt%  t  '   # 

$ í

 © r   In

O

:Zn ~ Ã Ì}  _    & ñ ½ ¨ ¸  H { 9 ~ ½ Ó½ ¨ ¸s  9, (222)  s  Ì º§ Â >  $ í  ©   ) a Zn s  Ô  ¦í  HÓ ü t  Ð '  

  ) a In

O

(In

O

:Zn) ~ Ã Ì}  Ü ¼ Ð S X    ÷ &% 3  . In

O

:Zn ~ Ã Ì}  _  F g  < Æ& h È Òõ Ö  ¦ É r 400 ∼ 1200 nm % ò

%

i \ " f 80 ∼ 95 %s % 3  . Zn`  ¦ 0 wt% '   #  $ í  © r   In

O

:Zn ~ Ã Ì}  _  F g  < Æ& h \  -t  { ç ß  



É r 3.656 eV s % 3  ¦, In

O

:Zn ~ Ã Ì}  _  F g  < Æ& h \  -t  { ç ß    É r Zn _  0 l x  ¸ 7 £ x  < Ê\     y   è 

%

i  . Zn\  ¦ 7 wt% '   #  $ í  © r   r « Ñ_   â Ä º p-+ þ A    ¸$ í s   É r r « Ñ Ð  a % ~   ¤  H X <, s  r « Ñ _

   $  ½ Ó, î  r ì ø Í 0 l x  ¸, f . Ë > Ã º, s 1 l x  ¸  H y  y   13.6 kΩ/, 5.68 × 10

cm

, 109.86 m

/C, 13.97 cm

/V·s s % 3  .

PACS numbers: 73.20.-r, 74.25 Gz

Keywords: In

O

:Zn ~ Ã Ì}  , ì  r Á º\ P ì  r K Z O , F g È Òõ Ö  ¦, F g  < Æ& h \  -t  { ç ß   , f . Ë ´ òõ 

I. " e Â ] Ø

ZnO, SnO, In 2 O 3 :Sn ü < ° ú  É r È Ò" î  ¦    ¸$ í s  e    H

~ Ã

Ì}   É r panel display,    µ 1 Ï F g  è , ~ Ã Ì}  à Ô ½ t Û ¼' , I 



ª   t  1 p x _    F GÓ ü t| 9  Ð" f ;  ¤V , >   6 x ÷ & ¦ e    [1–4].

s

 Qô  Ç   F G Ó ü t| 9 `  ¦ s 6 x   H F g    è _  $ í 0 p x`  ¦ > h



 l  0 AK " f  H r  F g  % ò % i \ " f F g È Òõ Ö  ¦ s  Z  }  ¦,   l

   ¸ ¸ a % ~    ô  Ç . È Ò" î ô  Ç    ¸$ í ~ Ã Ì}  _  : £ ¤$ í  É r

~ Ã

Ì}  _  í ß  o © I ü < Ô  ¦í  HÓ ü t  Ð '    ) a Ó ü t| 9 _   ª \  _  > r

 ¦, 7 £ x  Ã Ìl Õ ü t, \ P % o  1 p x _   ¸| \     ² ú    .

þ

j   H \  NiO, NiO:Li, CuClO 2 , Cu 2 SrO 2 , CuGaO 2 ° ú

 É

r È Ò" î ô  Ç p-+ þ A    ¸$ í ~ Ã Ì}  \  @ /ô  Ç   ½ ¨ ´ ú §s  s À Ò# Q 4

R È Ò" î ô  Ç p-n ] X ½ + Ë  è  F g    è  Ð" f s 6 x s  0 p x

>  ÷ &% 3  ¦ D h Ðî  r È Ò" î ô  Ç p-+ þ A    ¸$ í ~ Ã Ì}  _  $ í  © õ  :

£ ¤$ í   ½ ¨\   ' a ô  Ç  ' a d  s  7 £ x   ¦ e    [5–7]. In 2 O 3 ~ Ã Ì }



 É r n-+ þ A ì ø Í ¸^  ~ Ã Ì}  Ü ¼ Ð F g  < Æ& h \  -t  Ì  s É r    3.6 eV s  9, ~ Ã Ì~ Ã Ì $ í  ©  ~ ½ ÓZ O \    " f   & ñ ~ Ã Ì}   ¢ ¸  H q   

&

ñ $ í ~ Ã Ì}  Ü ¼ Ð $ í  © r ~ ´ Ã º e   ¦ Õ ª   & ñ ½ ¨ ¸  H ^ d  { 9 

~

½ Ó½ ¨ ¸ Ð     © Ã º a 0 = 10.118 ˚ A s   [8,9]. Moõ  Cr\  ¦ Ô

 ¦í  HÓ ü t  Ð '   #  $ í  © ô  Ç In 2 O 3 :Mo ~ Ã Ì}  õ  In 2 O 3 :Cr

~ Ã

Ì}  _   â Ä º, Mo +6 õ  Cr +6 _  " é ¶      ü < In +3 _  " é ¶



     s  M :ë  H \  ZnO:Al, In 2 O 3 :Sn, SnO 2 ü < ° ú  É r È

Ò" î ô  Ç    ¸$ í ~ Ã Ì}   Ð     ¸$ í s   8 a % ~  ¦ · ú  94 R e  

E-mail: [email protected]

 [10]. ¢ ¸ô  Ç Znõ  Cu ° ú  É r 2  " é ¶  è\  ¦ Ô  ¦í  HÓ ü t  Ð '  

#  $ í  © ô  Ç ~ Ã Ì}  _   â Ä º, In 2 O 3    \ " f In +3  o \  Zn +2 õ  Cu +2 _  " é ¶   @ /u ÷ &# Q ô  Ç > h_  f . Ë s  ë ß [ þ t # Q



 . s  כ  É r " é ¶      {    H ~ ½ Ó\  ~ Ã Î> Ô  ¦í  HÓ ü tï  r 0 A Ð





Z Ø ¤° Ç Ä Z ØA 00 n É® z º V R ËX ê sc Ü R In 2 O 3 :Zn U c lT c l8 ý ºÑ ÷ ° Ë Ñ] K ¡X ì Ä ¹ ÅM X ì Ä ¤V R Ë

Z Ø ¤° Ç Ä Z ØA 00 n É® z º V R ËX ê sc Ü R In ² O 3 :Zn U c lT c l8 ý ºÑ ÷ ° Ë Ñ] K ¡X ì Ä ¹ ÅM X ì Ä ¤V R Ë

k ò 6 B® £ ^∗

¸ @ / < Æ § õ < Æ §¹ ¢ ¤ < ÆÂ Ò (Ó ü t o §¹ ¢ ¤), F g Å Ò 501-759 (2008¸ 3 Z 4 7{ 9 ~ Ã Î6 £ §)

:Zn ~ Ã Ì} ` ¦ ì r Á º\ P ì r K Z O Ü ¼ Ð Ä »o l ó ø Í 0 A\ $ í © r ( . Zn\ ¦ 0 ∼ 10 wt% t ' #

© r In

:Zn ~ Ã Ì} _ & ñ ½ ¨ ¸ H { 9 ~ ½ Ó½ ¨ ¸s 9, (222) s Ì º§ Â > $ í © ) a Zn s Ô ¦í HÓ ü t Ð '

) a In

:Zn) ~ Ã Ì} Ü ¼ Ð S X ÷ &% 3 . In

:Zn ~ Ã Ì} _ F g < Æ& h È Òõ Ö ¦ É r 400 ∼ 1200 nm % ò

i \ " f 80 ∼ 95 %s % 3 . Zn` ¦ 0 wt% ' # $ í © r In

:Zn ~ Ã Ì} _ F g < Æ& h \ -t { ç ß

É r 3.656 eV s % 3 ¦, In

:Zn ~ Ã Ì} _ F g < Æ& h \ -t { ç ß É r Zn _ 0 l x ¸ 7 £ x < Ê\ y è

i . Zn\ ¦ 7 wt% ' # $ í © r r « Ñ_ â Ä º p-+ þ A ¸$ í s É r r « Ñ Ð a % ~ ¤ H X <, s r « Ñ _

$ ½ Ó, î r ì ø Í 0 l x ¸, f . Ë > Ã º, s 1 l x ¸ H y y 13.6 kΩ/, 5.68 × 10

/V·s s % 3 .

:Zn ~ Ã Ì} , ì r Á º\ P ì r K Z O , F g È Òõ Ö ¦, F g < Æ& h \ -t { ç ß , f . Ë ´ òõ

ZnO, SnO, In 2 O 3 :Sn ü < ° ú É r È Ò" î ¦ ¸$ í s e H

Ì} É r panel display, µ 1 Ï F g è , ~ Ã Ì} à Ô ½ t Û ¼' , I

ª t 1 p x _ F GÓ ü t| 9 Ð" f ; ¤V , > 6 x ÷ & ¦ e [1–4].

Qô Ç F G Ó ü t| 9 ` ¦ s 6 x H F g è _ $ í 0 p x` ¦ > h

l 0 AK " f H r F g % ò % i \ " f F g È Òõ Ö ¦ s Z } ¦, l

¸ ¸ a % ~ ô Ç . È Ò" î ô Ç ¸$ í ~ Ã Ì} _ : £ ¤$ í É r

Ì} _ í ß o © I ü < Ô ¦í HÓ ü t Ð ' ) a Ó ü t| 9 _ ª \ _ > r

¦, 7 £ x Ã Ìl Õ ü t, \ P % o 1 p x _ ¸| \ ² ú .

j H \ NiO, NiO:Li, CuClO 2 , Cu ₂ SrO ₂ , CuGaO ₂ ° ú

É

r È Ò" î ô Ç p-+ þ A ¸$ í ~ Ã Ì} \ @ /ô Ç ½ ¨ ´ ú §s s À Ò# Q 4

R È Ò" î ô Ç p-n ] X ½ + Ë è F g è Ð" f s 6 x s 0 p x

> ÷ &% 3 ¦ D h Ðî r È Ò" î ô Ç p-+ þ A ¸$ í ~ Ã Ì} _ $ í © õ :

£ ¤$ í ½ ¨\ ' a ô Ç ' a d s 7 £ x ¦ e [5–7]. In ² O 3 ~ Ã Ì }

É r n-+ þ A ì ø Í ¸^ ~ Ã Ì} Ü ¼ Ð F g < Æ& h \ -t Ì s É r 3.6 eV s 9, ~ Ã Ì~ Ã Ì $ í © ~ ½ ÓZ O \ " f & ñ ~ Ã Ì} ¢ ¸ H q

ñ $ í ~ Ã Ì} Ü ¼ Ð $ í © r ~ ´ Ã º e ¦ Õ ª & ñ ½ ¨ ¸ H ^ d { 9

½ Ó½ ¨ ¸ Ð © Ã º a ⁰ = 10.118 ˚ A s [8,9]. Moõ Cr\ ¦ Ô

¦í HÓ ü t Ð ' # $ í © ô Ç In ₂ O 3 :Mo ~ Ã Ì} õ In 2 O 3 :Cr

Ì} _ â Ä º, Mo ⁺⁶ õ Cr ⁺⁶ _ " é ¶ ü < In ⁺³ _ " é ¶

s M :ë H \ ZnO:Al, In ² O 3 :Sn, SnO 2 ü < ° ú É r È

Ò" î ô Ç ¸$ í ~ Ã Ì} Ð ¸$ í s 8 a % ~ ¦ · ú 94 R e

[10]. ¢ ¸ô Ç Znõ Cu ° ú É r 2 " é ¶ è\ ¦ Ô ¦í HÓ ü t Ð '

# $ í © ô Ç ~ Ã Ì} _ â Ä º, In 2 O ₃ \ " f In ⁺³ o \ Zn ⁺² õ Cu ⁺² _ " é ¶ @ /u ÷ &# Q ô Ç > h_ f . Ë s ë ß [ þ t # Q

. s כ É r " é ¶ { H ~ ½ Ó\ ~ Ã Î> Ô ¦í HÓ ü tï r 0 A Ð

6 x ¦, " é ¶ { ÐÂ Ò' \ ¦ ~ Ã Î [ þ t # f . Ë 0 l x

¸ü < p-+ þ A ¸$ í s 7 £ x ô Ç . n-+ þ A ¸$ í ` ¦ I ? / H In 2 O 3 ~ Ã Ì} \ Sn ⁺⁴ ¢ ¸ H F ⁻¹ s : r` ¦ Ô ¦í HÓ ü t Ð ' #

l & h : £ ¤$ í ` ¦ ¾ Ó © r v H ½ ¨ [11, 12] H ´ ú §s s À Ò# Q

t ë ß , In 2 O ₃ ~ Ã Ì} \ ~ Ã Î> Ô ¦í HÓ ü t` ¦ Å Ò{ 9 # p-+ þ A ¸

\ ' a ô Ç Ð ¦ H ´ ú §t · ú § .

Ò" î ô Ç ¸$ í ~ Ã Ì} In 2 O 3 ~ Ã Ì} ` ¦ $ í © H ~ ½ ÓZ O

H / B N7 £ x Ã ÌZ O [13–15], rf-sputteringZ O [16–18], o < Æ

h ~ ½ ÓZ O [19–24] 1 p x s s 6 x ÷ & ¦ e H X < / B N7 £ x Ã ÌZ O , rf- sputteringZ O 1 p x É r o < Æ& h ¸$ í ` ¦ ¸] X H כ É r Ä ºÃ º

¦_ / B N © u \ ¦ 9 כ ¹ Ð 9 ~ Ã Ì} _ $ í © 5 Å q ¸

¼o H é ß & h s e . Õ ª Q ì r Á º\ P ì r K Z O É r ¦6 x ^ 6

xÓ o` ¦ \ P ) a l ó ø Í 0 A\ ì r Á º # ì ø Í ¸^ ~ Ã Ì} x 9 S ! o Ó

t ~ Ã Ì} ` ¦ $ í © H ~ ½ ÓZ O Ü ¼ Ð" f, ~ Ã Ì} ] j ¸ õ & ñ s É r

½ ÓZ O \ q # ç ß é ß # © 6 x _ ¸$ í ~ Ã Ì} ] j ¸ 1 p x \

§s s 6 x ÷ & ¦ e .

: r z ´+ « >\ " f H ì r Á º\ P ì r K Z O Ü ¼ Ð In 2 O 3 :Zn ~ Ã Ì} ` ¦ Ä » o

l ó ø Í 0 A\ $ í © r ( . In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} _ & ñ ½ ¨ ¸\ ¦

©" î > 0 A # X- r] X ì rF g l (x-ray diffractome- ter)\ ¦ s 6 x % i Ü ¼ 9, Zn 0 l x ¸\ É r In 2 O ₃ :Zn ~ Ã Ì} _

ð õ p [ j½ ¨ ¸ H Å Ò & ³p â (scanning electron

: r z ´+ « >\ " f H ì r Á º\ P ì r K © u \ ¦ ] j # Ä »o l ó ø Í 0

A\ In 2 O ₃ ~ Ã Ì} õ In 2 O ₃ :Zn ~ Ã Ì} ` ¦ $ í © r ( . l ó ø Í _

' õ A ¸ H ~ Ã Ì} _ $ í © õ : £ ¤$ í \ × æ כ ¹ô Ç Ã º Ð 6 x

l M :ë H \ 6 x ) a Ä »o l ó ø Í (Corning 7059)` ¦ o < Æ& h [

j' ô Ç 6 £ § í6 £ § [ j' l \ ¦ s 6 x # 7 £ x À ÓÃ º Ð [ j' ô

Ç Ê ê | ¸ # 6 x % i . In ² O 3 :Zn ~ Ã Ì} $ í © \ 6 x ô

Ç r É r InCl 3 (Aldrich, 99.9 %), ZnCl 2 (Aldrich, 99.9

%) s 9, s 7 £ x À ÓÃ º\ 0 l q # 0.02 ] t Ã º6 xÓ o` ¦ ë ß H Ê ê 7

x À ÓÃ ºü < ç ß _ \ ò ø Í` ¦` ¦ ' # ì r Á º6 xÓ o` ¦ ë ß [ þ t # Q

6 x % i . l ó ø Íõ ì r Á ºl s _ o H 25 cm Ð { 9

ñ > Ä »t % i ¦, 500 ^◦ C Ð : r ¸ { 9 & ñ > Ä »t ) a

l Ð î ß \ 0 Au ô Ç \ P ) a Ä »o l ó ø Í 0 A\ ì r Á º6 xÓ o` ¦ B

ì r { © 2 cc/min_ ì r Á ºÖ ¦ Ð ì r Á ºô Ç 6 £ § " f" fy Í t y

r v Ä »o l ó ø Í 0 A\ È Ò" î ¦ ¸$ í s a % ~ É r In 2 O ₃

Ì} s $ í © ÷ &% 3 ¦, Õ ª o < Æì ø Í6 £ xd [25] É r 6 £ § õ ° ú .

M : l ó ø Í_ : r ¸\ ¦ 500 ^◦ C Ð { 9 & ñ > Ä »t ô Ç כ É r ì r Á

º\ P ì r K Z O Ü ¼ Ð In ² O 3 ~ Ã Ì} $ í © r & h { © ô Ç : r ¸ H 500

◦ C Ð Ð ¦ ) a [26] e # Q : r z ´+ « >\ " f H l ó ø Í_ : r ¸

¦ 500 ^◦ C Ð { 9 & ñ > Ä »t % i . Zn Ô ¦í HÓ ü t s '

)