¦Å Ò ì ø Í6 £ x$ í Õ ªW 1à ԏ : r Û ¼ ' a AZ O Ü ¼– Ð Ø ÔŒ 4 H õ í ß –™ èì r0 Al \ " f ITO l ó ø Í0 A\  w ò ø Íí ß – oÓ ü t

“

¦Å Ò  ì ø Í6 £ x$ í  Õ ªW 1à ԏ : r Û ¼ ' a AZ O Ü ¼– Ð  Ø ÔŒ 4 H õ  í ß –™ èì  r0 Al \ " f ITO l ó ø Í0 A\  w ò ø Íí ß – oÓ ü t

~ Ã

Ì} Œ •`  ¦ 7 £ x‚ Ã Ì # Œ Õ ª „  l & h  ‚ à ÌÒ  o$ í õ  î ß –& ñ $ í `  ¦ ƒ  ½ ¨ % i  . l ó ø ͓ : r • ¸    o\     F  g† < Æ& h  x 9  „  l  o

† <

Æ& h  : £ ¤$ í s  ß ¼>     % i  . F  g† < Æ& h  { ç ß – ç ß –  “ É r l ó ø ͓ : r • ¸ z  ´“ : r \ " f 500

^◦

C  t  7 £ x ½ + É M : 3.30\ 

"

f 3.40 eV t  7 £ x  % i  . l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x \    É r È Òõ Ö  ¦_  y Œ ™™ è  H 7 £ x‚ Ã Ì 1 l xî ß – } Œ •5 Å q \  Ò q t$ í  ) a Ô  ¦Ø  æ ì

 rô  Ç í ß –™ è_    ½ + Ë M :ë  H s % i  . l ó ø ͓ : r • ¸ 200

^◦

C \ " f ] j Œ • ) a w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_   o† < Æ& h  î ß –& ñ $ í “ É r 1]  t LiClO

4

„  K | 9  5 Å q \ " f „  · ú š −2 V\ " f +2 V % ò % i \ " f 1000  s 9 þ t s  à º' Ÿ ÷ &# Q• ¸ î ß –& ñ % i Ü ¼ 9 ì ø Í

@

/„  F G Ü ¼– Е ¸  6   x| ¨ c à º e ” % 3  .

PACS numbers: 68.60-P

Keywords: „  l & h  ‚ à ÌÒ  o: £ ¤$ í , î ß –& ñ $ í , ì ø Í@ /„  F G

I. " e  ] Ø

þ

j  H \  „  l & h  ‚ à ÌÒ  o(Electrochromic) ‰ & ³ © œ`  ¦ s 6   x # Œ

@

/€  & h _  ³ ðr l , „  l & h ‚ à ÌÒ  o Ä »o ‚ ½ Ó(smart window),   1

l

x _  Ê ê€   Ö  ¦ 1 p x \   6   x l  0 Aô  Ç „  l & h ‚ à ÌÒ  o ™ è  _  > hµ 1 ϓ É r  © œ\ O & h Ü ¼– Ð  H < É ª p  e ” l  M :ë  H \  „  l & h 

‚ Ã

ÌÒ  o F « Ñ> hµ 1 Ï(inorganic electrochromic materials)õ  Ó ü t

$ í

ƒ  ½ ¨\  › ' a d ” s  | 9 ×  æ ÷ &“ ¦ e ”   [1–3]. „  l & h  ‚ à ÌÒ  o ‰ & ³



© œ“ É r „  l  o† < Æ& h “   í ß – oü < ¨ 8 Š " é ¶ì ø Í6 £ x \  _ K  % i & h “  

‚ Ã

ÌÒ  o(coloration)õ  » 1 ÏÒ  o(bleaching)s  { 9 # Qè ß – . „  + þ A& h 

“

  „  l & h  ‚ à ÌÒ  o‰ & ³ © œ“ É r NiO, TiO

2

, V

₂

O

₅

, Ir

₂

O

₃

, CoO, MoO

₃

1 p x „  s F K5 Å q í ß – oÓ ü t \ " f ´ ú §s  { 9 # Q
 9 ¨ 8 Š " é ¶ì ø Í 6

£

x \  _ K  ‚ à ÌÒ  os  { 9 # Q
  H 6 £ §F G$ í ‚ à ÌÒ  oF « Ñ(cathodic coloration material)“   w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •(TiO

2

)_  ] j Œ • õ

 : £ ¤$ í “ É r Ä ºÃ ºô  Ç l > & h “   y © œ• ¸ü <  o† < Æ& h “   î ß –& ñ $ í , Z  }

“ É

r Ï ã J] X Ö  ¦, È Ò" î $ í 1 p x M :ë  H \  F  g† < Æ& h “   Ó ü t| 9 – Ð+ ‹ F  g# 3  0 A >  ƒ  ½ ¨÷ &# Q& ’  . Õ ª Q
 Ä ºÃ ºô  Ç w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ • _

 F  g† < Æ& h “   : £ ¤$ í õ  „  l & h  ‚ à ÌÒ  os    ½ + ˝ ) a D h– Ðî  r F  g

† <

ƙ è _  > hµ 1 Ï\  @ /ô  Ç ƒ  ½ ¨  H à º' Ÿ ÷ &t  · ú §€ Œ ¤Ü ¼
 w ò ø Í í

ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  „  l & h  ‚ à ÌÒ  o\  @ /ô  Ç ƒ  ½ ¨  H €  •ç ß – à º' Ÿ ÷ &

%

3  . Inoue 1 p x [4]“ É r % ƒ6 £ § Ü ¼– Ð Ti tetaoxide`  ¦ hydroly- sis \  _ K  } Œ •`  ¦ ] j Œ • # Œ 6 £ §F G$ í ‚ à ÌÒ  o ‰ & ³ © œ`  ¦ ˜ Ð% i  .

Ohzuku ü < Hirai [5]  H metatitanic acid\  ¦ \ P % ƒo  # Œ ] j



Œ

•ô  Ç anatase w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •`  ¦ s 6   x # Œ „  l & h  ‚ à ÌÒ  o

³

ðr l  ™ è \  ¦ ] j Œ • # Œ s  ™ è \  Li s “ : r`  ¦ Å Ò{ 9 r †  

 

õ  ”  ô  Ç 0 l qÒ  oÜ ¼– Ð   † < Ê`  ¦ › ' a¹ 1 Ï % i  . Seikeü < Nigai [6] Õ ªo “ ¦ Cantao 1 p x [7]“ É r w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •`  ¦ „   ¶ ú ˜7 £ x

‚

à Ìõ  Û ¼ ' a AÜ ¼– Ð y Œ •y Œ •_  r « Ñ\  ¦ ] j Œ • # Œ Ó ü t$ í `  ¦ ì  r

$

3 ô  Ç   õ  6 £ §F G$ í ‚ à ÌÒ  o: £ ¤$ í `  ¦
 ? /“ ¦ e ” 6 £ §`  ¦ t & h  % i  Ü

¼
 ‰ & ³F   H Ä ºÃ ºô  Ç ‚ à ÌÒ  o™ è \ " f_  ì ø Í@ /„  F G(counter- electrode) Ü ¼– Ð+ ‹_   6   x 0 p x$ í \  @ /K  ´ ú §“ É r ƒ  ½ ¨ à º '

Ÿ ÷ &“ ¦ e ”   [8, 9].   " f „  l & h  ‚ à ÌÒ  o “ ¦^ ‰™ è \  ¦ > h µ

1 Ï l  „  \  €  $  ¨ 8 Š " é ¶ì ø Í6 £ x \  _ K  ‚ à ÌÒ  os  ÷ &  H w ò ø Íí ß –



oÓ ü t ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ • # Œ s  Ó ü t| 9 _   © œ[ jô  Ç Ó ü t$ í `  ¦ ì  r$ 3  



 H  כ “ É r @ /é ß –y  ×  æ כ ¹  . ‘ : r ƒ  ½ ¨\ " f  H w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ Ã Ì }

Œ

•_  $ í 0 p x`  ¦ ¨ î  l  0 AK  ] j Œ • / B N& ñ ×  æ  © œ ×  æ כ ¹ô  Ç “  



 ÷ &  H l ó ø Í “ : r • ¸   o\     “ ¦Å Ò  ì ø Í6 £ x$ í  Õ ªW 1 à

ԏ : r Û ¼ ' a AZ O (rf reactive magnetron sputtering)Ü ¼– Ð ITO l ó ø Í0 A\  w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •\  ¦ ] j Œ • # Œ } Œ •_  ½ ¨› ¸ü <

F 

g† < Æ& h  x 9  „  l & h  ‚ à ÌÒ  o : £ ¤$ í `  ¦ † < Êa  › ¸  ì  r$ 3  % i  .

II. ÷ m Ç ] M ö

w

ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •“ É r F K5 Å q w ò ø ͳ ð& h (metallic titanium target, í  H • ¸ 99.95 %, f ”  â 3 inch, ¿ ºa  0.125 inch Pure Tech. Inc.)`  ¦  6   x # Œ ITO(Indium Tin Oxide ; In

²

O

3

: Sn, ¿ ºa  2000 ˚ A, €  $ † ½ Ó 10 Ω/cm

²

)  x 4 Ÿ ¤ ) a Ä »o  l  ó

ø Í0 A\  “ ¦Å Ò (13.56 MHz)  Õ ªW 1à ԏ : r  © œu \  ¦  6   x 

#

Œ ì ø Í6 £ x$ í Û ¼ ' a AÜ ¼– Ð ] j Œ • % i  . ‘ : r z  ´+ « >z  ´\ " f [ O 

-292-

Õ

ªa Ë > 1. “ ¦Å Ò   Õ ªW 1à ԏ : r Û ¼ ' a A © œu _  > h| Ä Ì• ¸.

>

 ] j Œ •ô  Ç “ ¦Å Ò   Õ ªW 1à ԏ : r Û ¼ ' a A © œu _  > h| Ä Ì• ¸  H Õ

ªa Ë > 1\ 
 
 e ”  .

w

ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ • l  0 AK  €  $  l ó ø Í`  ¦  r

„ 

(10 rpm)r v €  " f Û ¼ ' a As  à º' Ÿ ÷ &% 3  . w ò ø ͳ ð

&

h “ É r ³ ð€  _  í ß – oÓ ü t õ  š ¸% i 8 £ x`  ¦ ] j  l  0 AK   Ø Ô

Œ

4 H ì  r0 Al \ " f œ íl ”  / B N • ¸ 1.1∼1.4×10

⁻⁵

torr\  ¦ % 3 “ É r Ê

ê 10ì  rç ß – p o  Û ¼ ' a Aô  Ç Ê ê " é ¶   H  Ø ÔŒ 4 H õ  í ß –™ è

>

hÛ ¼ Å Ò{ 9 € ª œ`  ¦ MFC(Mass Flow Control) – Ð › ¸] X  # Œ 3.5 ∼3.6×10

⁻³

torr \ " f Û ¼ ' a A`  ¦ r  Œ • % i Ü ¼ 9 “ ¦Å Ò 

 ½ ¨1 l x„  § 4 (rf-power)“ É r 300 W – Ð “ ¦& ñ % i  .  Ø ÔŒ 4 H õ  í

ß –™ è_  í  H • ¸  H y Œ •y Œ • 99.99 %% i  . l ó ø ͓ : r • ¸  H RT(z  ´“ : r)

\

" f 500

^◦

C  t     or (   . l ó ø ͓ É r \ P ‚  Ü ¼– Ð Û ¼_ …“   Y

UÛ ¼ Û ¼ 9 ó ø Í`  ¦ \ P † < ÊÜ ¼– Ð+ ‹ \ P ÷ &% 3  . l ó ø Íõ  Û ¼_ …

“

 Y UÛ ¼ l ó ø ͓ É r ”  / B N×  æ \ " f x 9 ] X  >  ] X 8 ú ¤ ÷ &# Q e ” l  M : ë

 H \  l ó ø ͓ : r • ¸  H z  ´] j– Ð 8 £ ¤& ñ  ) a Û ¼_ …“  Y UÛ ¼ l ó ø ͓ : r • ¸ü <

1

l x{ 9 ô  Ç  כ Ü ¼– Ð ç ß –Å Ò % i  . z  ´“ : r \ " f ] j Œ • ) a  â Ä º_  r 

«

э  H Û ¼ ' a A 1 l xî ß – t 5 Å q& h Ü ¼– Ð Û ¼ '   ) a { 9  _  ¿ ºÑ ü t

^ ”

(bombardment)\  _ K  “ : r • ¸  © œ5 p x # Œ l ó ø ͓ : r • ¸

60ì  r Ê ê\   H €  • 90

^◦

C \  • ¸² ú ˜ % i  .   " f s   â Ä º\   H z 

´] j& h Ü ¼– Ð ~ à Ì} Œ •s  7 £ x‚ à Ì÷ &  H 1 l xî ß – l ó ø ͓ : r • ¸\  ¦   & ñ l 

 # Q§ > t ë ß – Ä »o _  ± ú “ É r \ P „  • ¸Ö  ¦ õ  F K5 Å qó ø Í_  Z  }“ É r \ P  6

 

x| ¾ Ó M :ë  H \  l ó ø ͓ : r • ¸  H 7 £ x‚ à Ì÷ &  H 1 l xî ß –\  €  • 90

^◦

C – Ð 

&

ñ # Œ s  “ : r • ¸\  ¦ z  ´“ : r Ü ¼– Ð ç ß –Å Ò “ ¦ l ó ø ͓ : r • ¸_  l ï  r

³

ð 1. “ ¦Å Ò  ì ø Í6 £ x$ í  Õ ªW 1à ԏ : r Û ¼ ' a A\  _ ô  Ç w

ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  ] j Œ •› ¸| .

Substrate temperature room temperature to 500

^◦

C Base pressure of system 1.1 ∼1.4×10

⁻⁵

torr

Total sputtering pressure(Ar+O

2

) 3.5 ∼3.6×10

⁻³

torr Sputtering power 300 W

Target-substrate distance 10 cm Sputtering time 80 min Variation in oxygen 5 ∼25 sccm Target material metallic titanium

Õ

ªa Ë > 2. ~ à Ì} Œ •_  s “ : r Å Ò{ 9 ì ø Í6 £ x`  ¦ 8 £ ¤& ñ l  0 Aô  Ç p [ jô  Ç

„ 

l & h  ‚ à ÌÒ  o! s q  © œu .

°

ú כÜ ¼– Ð & ñ % i  . ³ ð& h “ É r Ó ü t`  ¦ í  H¨ 8 Š r &  Í ‰ ty Œ • r (  Ü ¼ 9

³

ð& h õ  l ó ø Í s _   o   H €  • 10 cm% i  . Õ þ ›! Q5 Å q \  Å Ò { 9

 ) a í ß –™ è| ¾ Ó[5∼25 sccm(standard cubic cm/min)]õ  l  ó

ø ͓ : r • ¸\    É r } Œ •_  ¿ ºa  d  H α-step profilometer – Ð 8 £ ¤

&

ñ # Œ   & ñ “ ¦ 7 £ x‚ à ÌÒ  ¦“ É r ¿ ºa  d\  ¦ Û ¼ '  r ç ß –Ü ¼– Ð

¾ º# Q   & ñ % i  . } Œ •_  ¿ ºa   H Û ¼ '  Õ þ ›! Q? /  Ø ÔŒ 4 H Å

Ò{ 9 € ª œ`  ¦ 300 sccm Ü ¼– Ð { 9 & ñ >  ½ + É  â Ä º, Å Ò{ 9  ) a í ß –™ è

|

¾ Ó(5∼25 sccm)\     ¿ ºa  d  H 310 nm < d <1000 nm – Ð

 

 % i  . „  + þ A& h “   7 £ x‚ à ÌÒ  ¦“ É r í ß –™ è| ¾ Ó`  ¦ 15∼20 sccmÜ ¼

–

Ð # Œ ] j Œ •½ + É  â Ä º €  • 0.5 nm/min% i  . l ó ø ͓ : r • ¸  © œ 5

p

x \     ¿ ºa  d  H  H    o \ O % 3  . l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x \ 



 É r — ¸Ž  H r « Ñ_  ] j Œ •“ É r Û ¼ ' a A Õ þ ›! Q? /  Ø ÔŒ 4 H 300 sccm, í ß –™ è 15 sccmÜ ¼– Ð { 9 & ñ >  Å Ò{ 9 r &  ] j Œ • % i  .

Û

¼ '  › ¸| “ É r ³ ð 1õ  ° ú   . ] j Œ • ) a r « э  H X‚    r] X  © œ u

(XRD)– Ð } Œ •_  ½ ¨› ¸ q & ñ | 9 e ” `  ¦ S X ‰ “   % i Ü ¼ 9 7 £ x

‚ Ã

̝ ) a — ¸Ž  H r « э  H 8 £ ¤& ñ `  ¦ l  „   t  ”  / B N › ¸5 Å q \  V , # Q

˜

Ð › ' a % i  . í  H¨ 8 Š„  · ú š„  À ÓZ O (cyclic voltammetry)\  _  ô 

Ç ~ à Ì} Œ •_  s “ : r Å Ò{ 9  ì ø Í6 £ x õ  ? /½ ¨$ í r + « >`  ¦ l  0 Aô  Ç ~ Ã Ì }

Œ

•_  ‚ à ÌÒ  oõ  » 1 ÏÒ  o õ & ñ “ É r Õ ªa Ë > 2ü < ° ú  “ É r | › ¸ © œ (glove box) ? /\  [ O u   ) a p [ jô  Ç „  l & h  ‚ à ÌÒ  o! s q(electrochromic micro-cell)`  ¦ ] j Œ • # Œ › ¸  % i  . í  H¨ 8 Š„  · ú š„  À ÓZ O “ É r

~ Ã

Ì} Œ •\  ‚  + þ A& h Ü ¼– Ð „  · ú š`  ¦ “   # Œ „  À Ó_     o\  ¦ 8 £ ¤

&

ñ   H ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð } Œ •5 Å q \  s “ : r_  Å Ò{ 9 õ  Æ ÒØ  ¦ì ø Í6 £ x x 9  } Œ • _

 @ oõ & ñ • ¸ † < Êa  › ¸ ½ + É Ã º e ”  . „  l & h  ‚ à ÌÒ  o! s q ? /\ 

"

f w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •“ É r  Œ •1 l x„  F G(working electrode) Ü ¼– Ð



6   x “ ¦, Ñ þ ˜F K“ É r ì ø Í@ /„  F G(counter-electrode) Ü ¼– Ð  6   x

% i  . w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  ‚ à ÌÒ  o €  & h “ É r 2×1.5 cm

²

% i  Ü

¼ 9 — ¸Ž  H „  · ú š“ É r SCE(saturated calomel electrode) \ 

@

/K " f 8 £ ¤& ñ % i  . w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  ‚ à ÌÒ  oõ  » 1 ÏÒ  oõ 

&

ñ `  ¦ › ¸  l  0 Aô  Ç „  K | 9  Li

⁺

s “ : r" é ¶“ É r á Ԗ Ѐ 9  2 ; ˜ Ð W

1s ' (C

4

H

6

O

3

)\  ¦ 6   x B – Ð  6   xô  Ç 1 M o ½ ¢ § (  ï Q s 

_

 í ß – oì ø Í6 £ x`  ¦ _ p ô  Ç . ‚ à ÌÒ  oõ  » 1 ÏÒ  o_   s 9 þ t_  í  H¨ 8 Š õ

& ñ \  _ K  „  l & h  ‚ à ÌÒ  o$ í s  @ o ) a ~ à Ì} Œ •_  È Òõ Ö  ¦   



o  H  s 9 þ t s  ì ø Í4 Ÿ ¤ à º' Ÿ  ) a Ê ê „  K | 9  5 Å q \ " f r « Ñ\  ¦  

?

/# Q 7 £ x À Óà º– Ð [ j' ‘  “ ¦ è ß – Ê ê, | 9 ™ è\  ¦ Ô  ¦ # Q | › ¸r & " f ì

 rF  gF  g • ¸> (Kontron Inst, Uvikon 941 plus)– Ð   © œ 300 nm ∼900 nm % ò % i _  È Òõ Ö  ¦`  ¦ 8 £ ¤& ñ % i  . 8 £ ¤& ñ s  = å Qè ß – r

« э  H  r  ‚ à ÌÒ  o! s q 5 Å q \  V , # Q" f  s 9 þ t`  ¦ ì ø Í4 Ÿ ¤ à º' Ÿ r  ( 

 . } Œ •_   © œ    o  H CuKα X‚  (λ=1.54 ˚ A)`  ¦ s 6   xô  Ç



r] X l (Philip, pw 3710)\  ¦  6   x # Œ › ¸  % i Ü ¼ 9 € 9 ' 



 H Ni, 5 Å q„  · ú š“ É r 30 kV, € 9  F ' pà Ô „  À Ӎ  H 20 mA – Ð 

%

i  . s M : { 9  y Œ •(2θ)“ É r 20∼80

^◦

– Ð % i  . } Œ •_  ³ ð€  + þ A



© œ    o  H €  • 10 nm_  F K`  ¦ ~ à Ì} Œ • 0 A\  7 £ x‚ à Ìr &  „  • ¸$ í

`

 ¦ Z  }“   Ê ê\  Å Ò „   ‰ & ³p  â (Scanning Electron Micro- scope : 15 kV, 100 kX) Ü ¼– Ð › ' a¹ 1 Ï % i  .

III. + s ÇÊ Ý õ m Í À X Ø8 ý

Õ

ªa Ë > 3“ É r ITO  x 4 Ÿ ¤ ) a Ä »o  l ó ø Í0 A\  “ ¦Å Ò  ì ø Í6 £ x$ í



Õ ªW 1à ԏ : r Û ¼ ' a AÜ ¼– Ð ] j Œ • ) a w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  ç  H { 9

$ í `  ¦ › ¸  l  0 AK  z  ´“ : r \ " f ] j Œ • ) a } Œ •_  È Òõ Ö  ¦   



o\  ¦
  · p  כ s  . } Œ •_  ¿ ºa  8 £ ¤& ñ “ É r " f– Ð   É r 0 Au 

\

" f à º' Ÿ  % i  . Õ ªa Ë >\ " f · ú ˜ à º e ” 1 p w s  È Òõ Ö  ¦“ É r w ò ø Í

Õ

ªa Ë > 3. z  ´“ : r \ " f ] j Œ • ) a w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  " f– Ð   É r 0 Au \ " f_  È Òõ Ö  ¦   o.

Õ

ªa Ë > 4. l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x \    É r w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  È

Òõ Ö  ¦    o.

í

ß – oÓ ü t } Œ •_  " f– Ð   É r 0 Au  [r « Ñ_   À »  Òì  r(1), ×  æç ß –Â Ò ì

 r(2),  A  Òì  r(3)] \ " f y Œ •y Œ • 3  m ”  8 £ ¤& ñ ô  Ç   õ     t 

· ú

§€ Œ ¤Ü ¼ 9  | à Ð_  è  H \    y Œ ™ >  ì ø Í6 £ x   H Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 (0.43

< λ < 0.69)_  x ß ¼   © œ €  • 550 nm(photopic   © œ)\ 

"

f È Òõ Ö  ¦“ É r €  • 82 %`  ¦
 ? /% 3  . s    õ – Ð Â Ò'  } Œ •

“ É

r  _  ç  H{ 9 ô  Ç ¿ ºa – Ð ] j Œ • ÷ &% 3 6 £ §`  ¦ · ú ˜ à º e ”  . Õ ªü @ l

ó ø ͓ : r • ¸ 200

^◦

C, 300

^◦

C x 9  500

^◦

C \ " f ] j Œ • ) a r « Ñ[ þ t

•

¸ ç  H{ 9  >  ] j Œ •÷ &% 3 6 £ §`  ¦ r « Ñ_  " f– Ð   É r 0 Au (r « Ñ _ ,  À »  Òì  r, ×  æç ß –,  A  Òì  r 1 p x)_  È Òõ Ö  ¦`  ¦ y Œ •y Œ • 3  m ”  8

£

¤& ñ # Œ S X ‰ “   ½ + É Ã º e ” % 3  .

Õ

ªa Ë > 4  H l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x \    É r w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  È

Òõ Ö  ¦_     o\  ¦
  · p  כ s  . Õ ªa Ë >\ " f RT, 200 C, 300 C, 500 C – Ð ³ ðr   ) a  כ “ É r l ó ø ͓ : r • ¸ z  ´“ : r, 200

^◦

C, 300

^◦

C x 9  500

^◦

C \ " f ] j Œ • ) a r « Ñ\  ¦
  · p . Õ ªa Ë >

\

" f ^  ¦ à º e ”   H  כ % ƒ! 3  l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x €   } Œ •_  È Ò õ

Ö  ¦ s  y Œ ™™ è(f  ¨ à º7 £ x )   H  ⠆ ¾ Ó`  ¦ ˜ Ðs “ ¦ e ”  . s  כ

“ É

r Z  }“ É r l ó ø ͓ : r • ¸\ " f  H ”  / B N5 Å q \  Å Ò{ 9  ) a í ß –™ è Û ¼  '

a A 1 l xî ß – } Œ •5 Å q \  Ô  ¦Ø  æì  r >    ½ + ˝ ) a X <\  Õ ª " é ¶ “  s  e ” 



 H  כ Ü ¼– Ð Ò q ty Œ • ) a  . s    õ ü < Ä » ô  Ç z  ´+ « >  õ   H „   

¶ ú

˜ 7 £ x‚ à ÌZ O Ü ¼– Ð ] j Œ • ) a w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •\ " f• ¸ › ' a¹ 1 Ï÷ &% 3 



 [10,11]. } Œ •_  È Ò" î • ¸  H  ü @‚   % ò % i \ " f l ‘ : r& h “   T $ g f

 ¨ Ã º(fundamental absorption) { 9 # Q
l  M :ë  H \  / å L5 Å q

>  y Œ ™™ è H † d`  ¦ ˜ Ðs “ ¦ e ” Ü ¼ 9 ¢ ¸ô  Ç r  F  g‚   % ò % i \ " f È

Òõ Ö  ¦ ”  1 l x“ É r TiO

2

/ITO/Glass} Œ •_  F  g† < Æ& h  ç ß –[ O  M :ë  H s

 .

{ 9

ì ø Í& h Ü ¼– Ð r  F  g‚   % ò % i \ " f f  ¨ à º> à º(absorption coefficient) ፠ H  } 9 “ É r ³ ð€  (surface roughness)_  F  gí ß – ê

ø Í\  _ K  % ò † ¾ Ó`  ¦ ~ à ΍  H  . È Òõ Ö  ¦ T   H   H  & h Ü ¼– Ð T = (1 −R)

²

exp( −α(λ)d)/(1−R)

²

exp( −2α(λ)d)– Ð Å Ò# Q”    [12]. # Œl " f R“ É r ì ø Í Ö  ¦, d  H } Œ •_  ¿ ºa , λ  H   © œs  .

Õ

ª Q
 F  g† < Æ& h “   \  -t {  ç ß –     H % ƒ_   ú ª“ É r   © œ% ò % i \ 

Õ

ªa Ë > 5. # Œ Q l ó ø ͓ : r • ¸\ " f F  g  \  -t \    É r w

ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  f  ¨ à º> à º   o.

"

f F  gí ß –ê ø Í ’ < Hz  ´“ É r l ‘ : rf  ¨ à º(fundamental absorption)\  _ K  t C ÷ &Ù ¼– Ð f  ¨ à º> à º α = d

⁻¹

In(1/T ) – Ð  6   x½ + É Ã º e ”

  [12]. l ‘ : rf  ¨ à º_  ë  H t ~ ½ Ó\  -t  s  © œ\ " f { 9   F  g

\

 -t \    É r α _ ” > r$ í “ É r α = α

0

(E − E

g

)

^m

Ü ¼– Ð j þ t Ã

º e ” “ ¦ E = hν  H F  g  \  -t s  . E

^g

  H \  -t  ç ß –   s

“ ¦ α

0

  H E \  _ ” > r t  · ú §  H  © œÃ º . w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •

“ É

r ç ß –] X + þ A \  -t  ç ß –  `  ¦ ”   Ó ü t| 9 – Ð ç ß –Å Ò “ ¦ : £ ¤& ñ ° ú כ m=2 – Ð ‚  × þ ˜ % i   [12]. F  g  \  -t  hν > E

g

\  @ /K 

"

f  H Ó ü t| 9 “ É r F  gf  ¨ à º { 9 # Q
“ ¦, hν < E

^g

\  @ /K " f  H α=0 s Ù ¼– Ð F  g    H  8 s  © œ f  ¨ à º { 9 # Q
t  · ú §  H  .

Õ

ªa Ë > 5  H ITO l ó ø Í 0 A\  Û ¼ ' a AÜ ¼– Ð ] j Œ • ) a w ò ø Í í

ß – oÓ ü t r « Ñ\  @ /ô  Ç α

^1/2

= f (E) _ ” > r$ í \  ¦
  · p  כ s

 . f  ¨ à ºÛ ¼& 7 ˜à Ô _  ‚  + þ A Òì  r Ü ¼– РÒ' _  ü @¶ ú š\  _ K  α=0 \  @ /6 £ x ÷ &  H \  -t  ç ß –  “ É r l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x† < Ê\   



 €  •ç ß – 7 £ x ÷ &“ ¦, RT, 200

^◦

C, 300

^◦

C x 9  500

^◦

C \ " f ] j



Œ

• ) a r « Ñ_  \  -t  ç ß –  “ É r y Œ •y Œ • 3.30 eV, 3.35 eV, 3.35 eV, 3.40 eV Ü ¼– Ð > í ß –÷ &% 3  . s    õ   H l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x

\

    } Œ •_  ½ ¨› ¸ €  •ç ß –    “ ¦ e ” 6 £ §`  ¦ _ p ô  Ç . Õ ª



Q
 H. Tang 1 p x [13] s  Û ¼ ' a AÜ ¼– Ð Ä »o l ó ø Í “ : r • ¸ RT

\

" f ] j Œ •ô  Ç w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_   â Ä º anataseü < rutil  © œ _  \  -t  ç ß –  s  y Œ •y Œ • 3.2 eVü < 3.0 eV– Ð > í ß – ) a   õ ü <

q

“ § €   ‘ : r ƒ  ½ ¨   õ ˜ Ð  €  •ç ß –  Œ •>  > í ß –÷ &% 3  . s  Q ô 

Ç Ô  ¦{ 9 u   H ] j Œ •› ¸| \  _ ô  Ç } Œ •_  p [ j½ ¨› ¸\  Õ ª " é ¶ “   s

 e ”   H  כ Ü ¼– Ð  « Ñ  ) a  .

Õ

ªa Ë > 6“ É r ITO l ó ø Í0 A\  w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  ] j Œ •1 l xî ß –

”

 / B N › ¸? /– Ð Å Ò{ 9 ÷ &  H  Ø ÔŒ 4 H“ É r 300 sccm Ü ¼– Ð { 9 & ñ > 

“ ¦ í ß –™ è| ¾ Ó_     o\     80ì  r 1 l xî ß – Û ¼ ' a AZ O Ü ¼– Ð ]

j Œ •ô  Ç r « Ñ_  È Òõ Ö  ¦    o\  ¦
  · p  כ s  . í ß –™ è| ¾ Ós  10 ∼20 sccm\ " f ] j Œ • ) a r « Ñ_  È Òõ Ö  ¦“ É r r  F  g‚   % ò

%

i \ " f 80 % s  © œ`  ¦
 ? /# Q È Ò" î % i Ü ¼
 í ß –™ è| ¾ Ós  5 sccm \ " f ] j Œ • ) a } Œ •“ É r r « Ñ_  ³ ð€  s  ”  ô  Ç ' õ AÒ  oÜ ¼– Ð   

# Œ È Òõ Ö  ¦ s  ± ú >  8 £ ¤& ñ ÷ &% 3  . s    õ   H } Œ • › ¸$ í õ  ¿ º Õ

ªa Ë > 6. ”  / B N › ¸? / Å Ò{ 9 ÷ &  H í ß –™ è| ¾ Ó_     o\    É r w

ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  È Òõ Ö  ¦    o.

a

    o\  Õ ª " é ¶ “  s  e ”   H  כ Ü ¼– Ð  « Ñ  ) a  . s M : í ß –™ è

\

 ¦ 5 sccm \ " f 25 sccm t  Å Ò{ 9  €   ”  / B N › ¸? /_   Œ •1 l x

· ú

š§ 4 “ É r €  • 3.6×10

⁻³

torr  t     % i  .

Õ

ªa Ë > 7“ É r Õ ªa Ë > 6`  ¦   H  – Ð # Œ í ß –™ è Å Ò{ 9 € ª œ\    É r } Œ • _

 f  ¨ à º> à º    o\  ¦ > í ß –ô  Ç   õ \  ¦
  · p  כ s  . Û ¼  '

a A 1 l xî ß – ”  / B N › ¸? /\  í ß –™ è| ¾ Ó 5 sccm`  ¦ Å Ò{ 9  # Œ ] j Œ • ô 

Ç w ò ø Íí ß – oÓ ü t } Œ •“ É r   © œ 190∼400 nm % ò % i \ " f  © œ  H f

 ¨ à º> à º\  ¦ ˜ Ðs “ ¦ e ” Ü ¼
 í ß –™ è| ¾ Ó 15∼25 sccm`  ¦ ”  / B N

›

¸\  Å Ò{ 9  # Œ } Œ •`  ¦ ] j Œ •ô  Ç  â Ä º  H f  ¨ à º s  ß ¼t  · ú §

€

Œ ¤ . s  כ “ É r ITO/Glass/TiO

2

~ à Ì} Œ •\ " f ŠҖ Ð ITOü < w  ò

ø Íí ß – oÓ ü t_  \  -t  ç ß –  s  y Œ •y Œ • €  • 3.5 eVü < 3.2 eVs Ù ¼

–

Ð f  ¨ à º  © œ o   ü @‚   % ò % i \  ” > r F  l  M :ë  H \  í ß –

™

è| ¾ Ó 15∼25 sccm % ò % i \ " f  H í ß –™ è| ¾ Ó\  _ ô  Ç } Œ •_  f  ¨ à º

s  & h >  { 9 # Qè ß –  כ Ü ¼– Ð Ò q ty Œ • ) a  .

ì

ø Í6 £ x$ í Û ¼ ' a A(reactive sputtering)Z O “ É r  o½ + ËÓ ü t~ Ã Ì }

Œ

•(compound film)`  ¦ ] j Œ •   H X <\  F  g# 3 0 A >   6   x ÷ &

Ù

¼– Ð Û ¼ ' a A1 l xî ß – ³ ð& h  Ó ü t| 9 _  ³ ð€   © œI `  ¦ · ú ˜ € 9 כ ¹

e ”

 .   " f í ß –™ èÅ Ò{ 9 € ª œ\    É r ³ ð& h Ó ü t| 9 _  7 £ x‚ à ÌÒ  ¦   



o\  ¦ › ¸    H  כ “ É r @ /é ß –y  ×  æ כ ¹  .

Õ

ªa Ë > 7. ”  / B N › ¸? / Å Ò{ 9 ÷ &  H í ß –™ è| ¾ Ó_     o\    É r w

ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_    © œ\    É r f  ¨ à º> à º   o.

Õ

ªa Ë > 8. ”  / B N › ¸? / Å Ò{ 9 ÷ &  H í ß –™ è| ¾ Ó_     o\    É r w

ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  7 £ x‚ à ÌÒ  ¦    o.

Õ

ªa Ë > 8“ É r ”  / B N › ¸? /  Ø ÔŒ 4 H Å Ò{ 9 € ª œ“ É r 300 sccm Ü ¼– Ð { 9 

&

ñ >  “ ¦, í ß –™ è Å Ò{ 9 € ª œ\    É r 7 £ x‚ à ÌÒ  ¦    o\  ¦
 



· p  כ s  . } Œ •_  7 £ x‚ à ÌÒ  ¦“ É r ”  / B N › ¸? / í ß –™ èÅ Ò{ 9 € ª œs  5∼15 sccm % ò % i \ " f / å L  y  y Œ ™™ è† < Ê`  ¦ ˜ Ðs “ ¦ e ”  . s  כ “ É r w  ò

ø Í ³ ð& h s  í ß – o÷ &# Q í  H à º F K5 Å q ˜ Ð  í ß – o ) a w ò ø Í ³ ð& h _  Û

¼ ' ÷ &  H Ö  ¦ s  ± ú l  M :ë  H s  . 7 £ ¤ í ß –™ èÅ Ò{ 9 € ª œs  5∼15 sccm % ò % i \ " f  H w ò ø Í ³ ð& h s  / å L  y  í ß – oH † d`  ¦ _ p  

“

¦ Õ ª s Ê ê  H 7 £ x‚ à ÌÒ  ¦ s   H    o\  ¦
 ? /t  · ú §€ Œ ¤ . s 

 

õ – РÒ'  í ß –™ è| ¾ Ó 5 sccm ”  / B N › ¸5 Å q \  Å Ò{ 9 ÷ &€   } Œ •_ 

¿

ºa   © œ{ © œy  ¿ º,  >  ] j Œ • ) a  כ `  ¦ · ú ˜ à º e ” % 3 Ü ¼ 9 z  ´] j

–

Ð s  r « Ñ\  ¦ α-step profilometer – Ð 8 £ ¤& ñ ô  Ç   õ  €  • 1000 nm“    כ Ü ¼– Ð S X ‰ “   ÷ &% 3  .

Õ

ªa Ë > 9  H l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x \    É r w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  X

‚ 

  r] X J ‡  `  ¦
  · p  כ s  . # Œl " f r « Ñ A, B, C, D, E, F, G, H  H y Œ •y Œ • l ó ø ͓ : r • ¸ RT. 100

^◦

C, 150

^◦

C, 200

◦

C, 250

^◦

C, 300

^◦

C, 350

^◦

C x 9  500

^◦

C \ " f ] j Œ • ) a ~ à Ì} Œ • s

 . brookite½ ¨› ¸  H › ' a¹ 1 Ï÷ &t  · ú §€ Œ ¤Ü ¼ 9 @ / Òì  r rutil õ  anatase w ò ø Íí ß – oÓ ü t  © œs  ™ D ¥½ + ˝ ) a ½ ¨› ¸_   r] X x ß ¼ €  •

>  › ' a¹ 1 Ï÷ &% 3  . s    õ   H Williams ü < Hess [14] “ ¦

Õ

ªa Ë > 9. l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x \    É r w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  X‚  



r] X  J ‡  .

Õ

ªa Ë > 10. l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x \    É r w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  7

£

x‚ à ÌÒ  ¦   o.

Å

Ò  Û ¼ ' a AZ O Ü ¼– Ð ] j Œ •ô  Ç w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •“ É r l ó ø ͓ : r

•

¸ 600

^◦

C  t  rutilõ  anatase w ò ø Íí ß – oÓ ü t  © œs  ™ D ¥½ + ˝ ) a

½

¨› ¸_   © œ`  ¦ › ' a¹ 1 Ï % i Ü ¼
 600

^◦

C s  © œ\ " f  H rutil ½ ¨› ¸

 t C & h s % i  “ ¦ ˜ Г ¦ ô  Ç  z  ´õ  { 9 u ô  Ç . Õ ª Q
 ‘ : r

ƒ 

½ ¨\ " f  H ‰ & ³$ ô  Ç   & ñ | 9 _   r] X  : £ ¤f ç “ É r
 
t  · ú §

€

Œ ¤Ü ¼ 9 : £ ¤ y  r « Ñ A, B, C, D, E, F  H  r] X y Œ • 20∼35

^◦

\ 

"

f q & ñ | 9  C Ê ê(background) y © œ > 
 
 e ” 6 £ §`  ¦ ^  ¦ Ã

º e ” % 3  .

Õ

ªa Ë > 10“ É r l ó ø ͓ : r • ¸\    É r 7 £ x‚ à ÌÖ  ¦_     o\  ¦
  · p

 כ

s  . 350

^◦

C  t   H 7 £ x‚ à ÌÖ  ¦_   H    o\  ¦ ˜ Ðs t  · ú §“ ¦ e ”

 . s    õ   H 7 £ x‚ à ÌÖ  ¦ s  l ó ø Í\  • ¸² ú ˜   H Û ¼ '   ) a " é ¶



_  à º\ ë ß –  _  _ ” > r† < Ê`  ¦
 ? / 9 w ò ø Í " é ¶   <  ʓ É r í ß –

™

è_  & h ‚ à Ì(sticking)> à º    o, l ó ø ÍÜ ¼– РÒ' _  F 7 £ xµ 1 Ï, Û

¼ ' a A á Ô Ý ¼ ? / ² D G ™ è& h  · ú š§ 4 y Œ ™™ è 1 p x“ É r Á ºr  % i 



. Õ ª Q
 500

^◦

C \ " f  H 7 £ x‚ à ÌÖ  ¦_   H    o\  ¦
 ? /“ ¦ e ”

 . s  כ “ É r Û ¼ '   ) a " é ¶  ü < l ó ø ͓ : r • ¸, í ß –™ è| ¾ Ó  s _  ì

ø Í6 £ xÖ  ¦_  s \  _ K  } Œ • ¿ ºa     o €  •ç ß – e ”   H  כ Ü ¼– Ð



« Ñ  ) a  .

Õ

ªa Ë > 11“ É r l ó ø ͓ : r • ¸    o\    É r w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ • _

 ‚ à ÌÒ  o: £ ¤$ í `  ¦
  · p  כ s  . / B N: Ÿ x& h “ É r ‚ à ÌÒ  o õ  » 1 ÏÒ  o È

Òõ Ö  ¦“ É r   5 g" f  _  s  \ O Ü ¼
 ] j Œ • ) a r « Ñ(As- prepard) ˜ Ð   H €  •ç ß – ± ú > 
 
 e ”  . s  r « Ñ[ þ t“ É r „   l

& h  ‚ à ÌÒ  o™ è (glass/ITO/TiO

2

/LiAlF

₄

/WO

₃

/ITO) \ 

"

f_  ì ø Í@ /„  F G(counter-electrode) Ü ¼– Ð  6   x½ + É 0 p x$ í s  e ”

6 £ §`  ¦ _ p ô  Ç . 7 £ ¤ ì ø Í@ /„  F G_  Ó ü t| 9 “ É r & h { © œô  Ç „   

}

Œ

• 5 Å q \  Å Ò{ 9 õ  » 1 ς à Ìs  ì ø Í4 Ÿ ¤ ÷ &# Q• ¸ } Œ •s  È Ò" î >  ÷ &“ ¦

¢

¸ô  Ç È Òõ Ö  ¦_     o  _  \ O   H s “ : r $  © œ : £ ¤$ í `  ¦ t 

“

¦ e ” # Q  ô  Ç .

Õ

ªa Ë > 12  H # Œ Q l ó ø ͓ : r • ¸\ " f ‚ à ÌÒ  oõ  » 1 ÏÒ  o_  í  H¨ 8 ŠS   Ã

º\    É r „    „  ² ú ˜x 9 • ¸° ú כ_     o\  ¦
  · p  כ s  . # Œ l

" f r « Ñ a  H l ó ø ͓ : r • ¸ RT, r « Ñ b  H l ó ø ͓ : r • ¸ 200

^◦

C, r

« Ñ c  H l ó ø ͓ : r • ¸ 300

^◦

C, r « Ñ d  H l ó ø ͓ : r • ¸ 500

^◦

C

Õ

ªa Ë > 11. l ó ø ͓ : r • ¸    o\    É r w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  ‚ à ÌÒ  o :

£

¤$ í    o.

\

" f ] j Œ • ) a } Œ •s  . } Œ •5 Å q \  Å Ò{ 9  <  ʓ É r » 1 ς à Ì÷ &  H „   | ¾ Ó

“ É

r ‚ à ÌÒ  o ¢ ¸  H » 1 ÏÒ  o÷ &  H 1 l xî ß – í  H¨ 8 Š „  · ú š„  À Ó/ B G‚  (cyclic voltammograms)_  €  & h q – Ð > í ß – % i  . Õ ªa Ë >\ " f · ú ˜ Ã

º e ” 1 p w s  œ íl  í  H¨ 8 Š \  _ K  õ • ¸ô  Ç ‚ à ÌÒ  o„   | ¾ Ós  “  

÷

&# Q ‚ à ÌÒ  o`  ¦ 0 A # Œ ¶ ú š{ 9 ÷ &% 3 ~   o ½ ¢ §_  € ª œs  » 1 ÏÒ  or  ~ Ã Ì }

Œ • ? /\  ¦  4 R
š ¸  H € ª œ˜ Ð  ´ ú §Ü ¼Ù ¼– Ð  6 £ § í  H¨ 8 Š \  _ K  }

Œ •\  “  ÷ &  H „   | ¾ Ós  ×  ¦ # Q[ þ t “ ¦ s – Ð “   # Œ ‚ à ÌÒ  oõ 

»

1 ÏÒ  o_  ‰ & ³ © œs  q % i & h Ü ¼– Ð    o ) a  כ Ü ¼– Ð  « Ñ  ) a  .

7

£

¤ í  H¨ 8 Š S   à º œ íl   © œI \ " f  H 6 £ §_  „   | ¾ Ó(} Œ •5 Å q \  Å Ò { 9

÷ &  H o ½ ¢ § s “ : r_  € ª œ)s  € ª œ_  „   | ¾ Ó(} Œ •5 Å q \   4 R
š ¸



 H o ½ ¢ § s “ : r_  € ª œ)˜ Ð  ß ¼Ù ¼– Ð } Œ •5 Å q \  o ½ ¢ § s  €  •ç ß – » ¡ ¤& h 

 )

a  כ Ü ¼– Ð b ” # Q”   . ¢ ¸ô  Ç í  H¨ 8 ŠS   à º 7 £ x † < Ê\     „  

^

‰ „   | ¾ Ós   _  0\  ] X   Hô  Ç  כ “ É r ì ø Í6 £ x s  % i & h Ü ¼– Ð { 9

# Q
“ ¦ e ” 6 £ §`  ¦ ^  ¦ à º e ” Ü ¼ 9 ‚ à ÌÒ  o! s q? /\ " f } Œ •_  ‚ à ÌÒ  o

Õ

ªa Ë > 12. # Œ Q l ó ø ͓ : r • ¸\ " f w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  ‚ à ÌÒ  oõ 

»

1 ÏÒ  o_  í  H¨ 8 Š … Î Ü Ã º\    É r „    „  ² ú ˜x 9 • ¸   o. (a) RT, (b) 200

^◦

C, (c) 300

^◦

C Õ ªo “ ¦ (d) 500

^◦

C.

Õ

ªa Ë > 13. l ó ø ͓ : r • ¸    o\    É r í  H¨ 8 Š „  · ú š„  À Ó / B G‚  . (a) RT, (b) 200

^◦

C, (c) 300

^◦

C Õ ªo “ ¦ (d) 500

^◦

C.

õ  » 1 ÏÒ  o & ñ • ¸ B Ä º €  •K ”   M : e ” `  ¦ · ú ˜ à º e ” % 3  . r « Ñ b_   â Ä º  H í  H¨ 8 Š … Î Ü Ã º 1000   à º' Ÿ ÷ &# Q• ¸ ´ ú §“ É r s “ : r s  Å

Ò{ 9 ÷ &“ ¦ » 1 ÏÒ  o÷ &  H  כ `  ¦ · ú ˜ à º e ” % 3 Ü ¼ 9 s    õ   H s  r 

«

Ñ_  s “ : r $  © œ0 p x§ 4 s   © œ Ä ºÃ º # Œ ì ø Í@ /„  F G Ü ¼– Ð  6   x s

  © œ & h { © œ  “ ¦ ó ø Íé ß – ) a  . s M : ì ø Í@ /„  F G“ É r „  l & h 

‚ Ã

ÌÒ  o™ è \ " f ~ à Ì} Œ •`  ¦ ‚ à ÌÒ  or v l  0 AK  s “ : r • ¸^ ‰\  ¦ : Ÿ x 

#

Œ „  l & h  ‚ à ÌÒ  o ~ à Ì} Œ •\  s “ : r`  ¦ Å Ò{ 9 r v   H % i ½ + É`  ¦ ô  Ç .

Õ

ªa Ë > 13“ É r l ó ø ͓ : r • ¸\    É r í  H¨ 8 Š „  · ú š„  À Ó/ B G‚  `  ¦
 

 · p  כ s  . s  Õ ªa Ë >\ " f / B N: Ÿ x& h “ É r ‚ à ÌÒ  oõ  » 1 ÏÒ  o_  í  H¨ 8 Š S 

 à º 1000   à º' Ÿ  ) a Ê ê\   H ‚ à ÌÒ  oõ  › ' aº   ) a 6 £ §F G x ß ¼



 H ± ú “ É r „  · ú šA á ¤ Ü ¼– Ð ¼ # s ÷ &€  " f » 1 ÏÒ  oõ & ñ s     o ) a  כ

`

 ¦ ˜ Ðs “ ¦ e ”  . s  Qô  Ç í  H¨ 8 Š „  · ú š„  À Ó& Ú Ô_  „  s   H } Œ • 5

Å

q \  Å Ò{ 9  ) a „   _     o\  ¦ _ p  Ù ¼– Ð » 1 ÏÒ  o÷ &  H 1 l xî ß –

\

 } Œ •_  ½ ¨› ¸   o { 9 # Q
  H  כ Ü ¼– Ð ^  ¦ à º e ”  . í  H¨ 8 Š S 

 à º 1000   à º' Ÿ  ) a Ê ê r « Ñ (b)_   â Ä º  H 6 £ §F G(‚ à ÌÒ  o) õ

 € ª œF G_  x ß ¼(» 1 ÏÒ  o) r « Ñ (a), (c) x 9  (d) ˜ Ð  y © œ 

>


 
“ ¦ ¢ ¸ô  Ç í  H¨ 8 Š „  · ú š„  À Ó/ B G‚  _  €  & h s  €  •ç ß – ß ¼

>


 
 e ”  . s    õ   H s “ : r $  © œ0 p x§ 4 s  Ä ºÃ ºô  Ç Õ ª a Ë

> 12_  r « Ñ (b)ü < { 9 u ô  Ç . Õ ª Q
 r « Ñ (b)\ " f 6 £ §F G õ

 € ª œF G_  x ß ¼  H y © œ “ ¦, ‚ à ÌÒ  o! s q ? / Ò\ " f  H r « Ñ\  s 

“

: r s  Å Ò{ 9 ÷ &€   r « Ñ ³ ð€  _  Ò  os  ' õ AÒ  oÜ ¼– Ð    “ ¦ ¢ ¸ô  Ç }

Œ •\ " f s “ : r s  Æ ÒØ  ¦ ÷ &€   È Ò" î ô  Ç Ò  oÜ ¼– Ð    % i 6 £ §`  ¦ › ' a

¹

1 Ï ½ + É Ã º e ” % 3 Ü ¼
 r « Ñ\  ¦ ã ¼| 9 # Q ? /# Q 7 £ x À Óà º– Ð [ j' ‘ ô  Ç Ê

ê È Òõ Ö  ¦`  ¦ 8 £ ¤& ñ ô  Ç   õ  ‚ à ÌÒ  oõ  » 1 ÏÒ  oÈ Òõ Ö  ¦_  @ /q 

ß

¼t  · ú §€ Œ ¤ . s  כ “ É r    ‚ à ÌÒ  oõ  » 1 ÏÒ  o_  í  H¨ 8 Š  s 9 þ t`  ¦ Ã

º' Ÿ ô  Ç Ê ê ‚ à ÌÒ  o! s q\ " f r « Ñ\  ¦  | 9 # Q? /# Q [ j' ‘  # Œ È Ò õ

Ö  ¦`  ¦ 8 £ ¤& ñ   H õ & ñ \ " f @ /l ×  æ \  ” ¸Ø  ¦ ÷ &€  " f ‚ à ÌÒ  o ) a r

« Ñ  ^ ‰& h Ü ¼– Ð €  •ç ß – » 1 ÏÒ  o÷ &# Q ‚ à ÌÒ  oõ  È Òõ Ö  ¦_   s

 €  • > 
 è ß –  כ Ü ¼– Ð ç ß –Å Ò ½ + É Ã º e ”  .

Õ

ªa Ë > 14  H l ó ø ͓ : r • ¸ RT, 200

^◦

C, 300

^◦

C \ " f ITO l  ó

ø Í0 A\  ì ø Í6 £ x$ í  Õ ªW 1à ԏ : r Û ¼ ' a AÜ ¼– Ð ] j Œ • ) a w ò ø Íí ß –



oÓ ü t ~ à Ì} Œ •`  ¦ Å Ò + þ A „   ‰ & ³p  â Ü ¼– Ð › ' a¹ 1 Ïô  Ç  כ s  .  

”

 \ " f ^  ¦ à º e ”   H  כ % ƒ! 3  (a) RT (b) 200

^◦

C Õ ªo “ ¦ (c) 300

^◦

C \ " f ] j Œ • ) a } Œ •“ É r  / B N$ í } Œ •Ü ¼– Ð + þ A$ í ÷ &# Q e ” Ü ¼ 9 200

^◦

C \ " f ] j Œ • ) a } Œ •_    & ñ ± ú  · ú ˜(grain)_  ß ¼l   8 ç  H { 9

  . Õ ª Q
 300

^◦

C \ " f ] j Œ • ) a } Œ •“ É r } Œ •s  › ¸x 9  “ ¦

 

& ñ ± ú  · ú ˜_  ß ¼l  €  •ç ß – ß ¼> 
 z Œ ¤ . s  כ “ É r “ : r • ¸

7

£

x ÷ &€     & ñ ± ú  · ú ˜(grain)s  €  •ç ß – 7 £ x ÷ &“ ¦ { 9 > (grain boundary)  y Œ ™™ è # Œ s “ : r_  Å Ò{ 9 ì ø Í6 £ x s  ¸ ú ˜ { 9 # Q
t 

· ú

§“ É r  כ Ü ¼– Ð  « Ñ  ) a  . 500

^◦

C \ " f ] j Œ • ) a r « Ñ_   ”  

“ É

r ‘ : r  7 Hë  H \ " f  H ] jØ  ¦ ÷ &t  · ú §€ Œ ¤Ü ¼
 l ó ø ͓ : r • ¸ 300

^◦

C ü

< Ä »  >  { 9 >  ß ¼>  7 £ x   ) a  כ `  ¦ S X ‰ “  ½ + É Ã º e ” % 3 



.   " f “ : r • ¸\    É r   & ñ ± ú  · ú ˜ ß ¼l     o  H } Œ •_  $ í 0

p

x    oü < › ' aº   e ” 6 £ §`  ¦ · ú ˜ à º e ” % 3  . s  Qô  Ç  z  ´“ É r Õ ª a Ë

> 13\ " f 200

^◦

C \ " f ] j Œ • ) a } Œ •_  $ í 0 p x s  Ä ºÃ º† < Ê`  ¦ [ O 

"

î K  ï  r  .

IV. + s Ç Â ] Ø

“

¦Å Ò  Û ¼ ' a AZ O Ü ¼– Ð ] j Œ • ) a w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •_  l  ó

ø ͓ : r • ¸    o\     F  g† < Æ& h  x 9  „  l  o† < Æ& h “   : £ ¤$ í \  p  u

  H % ò † ¾ Ó`  ¦ › ¸ ì  r$ 3 ô  Ç   õ \  ¦ כ ¹€  • & ñ o  €    6 £ § õ 

° ú   .

]

j Œ • ) a w ò ø Íí ß – oÓ ü t ~ à Ì} Œ •“ É r r « Ñ_  # Œ Q/ B M_  È Òõ Ö  ¦`  ¦ 8

£

¤& ñ ô  Ç   õ  ¿ ºa   H ç  H{ 9  >  ] j Œ •÷ &% 3 Ü ¼ 9 l ó ø ͓ : r • ¸



© œ5 p x† < Ê\     È Òõ Ö  ¦“ É r €  •ç ß – y Œ ™™ è % i Ü ¼
 \  -t  ç ß –

 

“ É r €  •ç ß – 7 £ x    H  ⠆ ¾ Ó`  ¦
 ? /% 3  . ”  / B N › ¸? / í ß –™ è Å

Ò{ 9 € ª œ\    É r } Œ •_  7 £ x‚ à ÌÒ  ¦    o  H í ß –™ è Å Ò{ 9 € ª œs  5∼15 sccm % ò % i \ " f  H ß ¼>  y Œ ™™ è % i Ü ¼ 9 s  כ “ É r w ò ø Í ³ ð& h  Ó

ü t| 9 s  í ß – o÷ &# Q í  H à º F K5 Å q ˜ Ð  í ß – o ) a w ò ø Í ³ ð& h Ó ü t| 9  _  Û ¼ ' ÷ &  H Ö  ¦ s  ± ú l  M :ë  H“    כ Ü ¼– Ð ó ø Íé ß – ) a  . } Œ •_ 

½

¨› ¸  H l ó ø ͓ : r • ¸  © œ5 p x \  _ ô  Ç ‰ & ³$ ô  Ç   & ñ | 9 _  XRD  r ] X

 : £ ¤f ç “ É r › ' a¹ 1 Ï÷ &t  · ú §€ Œ ¤ . } Œ •_  ‚ à ÌÒ  o: £ ¤$ í “ É r l ó ø ͓ : r • ¸

\

   É r ‚ à ÌÒ  oõ  » 1 ÏÒ  o È Òõ Ö  ¦_  ‰ & ³$ ô  Ç    o  H \ O % 3 Ü ¼


P c

p 8 ý ò k >

s

  7 Hë  H“ É r 2001¸  • ¸  â l @ /† < Ɠ § K ü @ |  ƒ  ½ ¨q t " é ¶

\

 _ K  ƒ  ½ ¨÷ &% 3 6 £ §.

Y c

p w Š à U Ø ”  ô

[1] C. G. Granqvist, Appl. Phys. A57, 3 (1993).

[2] Kil Dong Lee, Sol. Energy Mater. and Sol. Cells 57, 21 (1999).

[3] R. D. Rauh, Electrochimica Acta 44, 3165 (1999).

[4] E. Inoue, H. Kokado and A, Izawa, Oyo Buturi 43, 54 (1974) [in Japanese].

[5] T. Ohzuku and T. Hirai, Electrochim. Acta 27, 1283 (1982).

[6] T. Seike and J. Nagai, Sol. Energy Mater. 22, 107 (1991).

[7] M. P. Cantao, J. L. Cisneros and R. M. Torresi, Thin Solid Films 259, 70 (1995).

[8] L. Kullman, A. Azens and C. G. Granqvist, J. Appl.

Phys. 81, 8002 (1997).

[9] A. Azenes and L. Kullman, Sol. Energy Mater. and Sol. Cells 56, 193 (1999).

[10] K. N. Rao, M. A. Murthy and S. Mohan, Thin Solid Films 176, 181 (1989).

[11] H, Kuster and J. Ebert, Thin Solid Films 70, 43 (1980).

[12] D. Mardare, M, Tasca, M. Delibas and G. I. Rusu, Applied Surface Science 156, 200 (2000).

[13] H. Tang, K. Prasad, R. Sanjines, P. E. Schmid and F. Levy, J. Appl. Phys. 75, 15 (1994).

[14] L. M. Williams and D. W. Hess, J. Vac. Sci. Technol.

A1, 1810 (1983).

-298-

Properties of Electrochromic Titanium-oxide Films Deposited by rf Reactive Magnetron Sputtering

at Different Substrate Temperature

Kil Dong Lee

Division of Natural Science (Physics Major), Kyonggi University, Suwon 442-760 (Received 2 May 2002, in final form 4 June 2002)

Titanium-oxide (TiO

2

) films were deposited on an indium tin oxide (ITO) substrate at different substrate temperatures by using rf reactive magnetron sputtering in an Ar/O

2

atmosphere, and their electrochromic properties and stability were investigated. The optical and the electrochemical properties of the TiO

2

films showed strong dependences on the substrate temperature. The optical band gap of the film increased from 3.30 eV to 3.40 eV when the substrate temperature was increased from room temperature to 500

^◦

C. A decrease in the transmittance of the films with increasing substrate temperature was observed and may have been mainly due to insufficient incorporation of oxygen in the films during deposition. The chemical stability of the TiO

2

film deposited at a substrate temperature of 200

^◦

C was found to be stable and could be used as a counter-electrode when subjected to 1000 cycles between −2 V and +2 V in a 1-M solution of LiClO

4

.

PACS numbers: 68.60-P

Keywords: Electrochromic properties, Stability, Counter-electrode