CRYO PUMP CRYO PUMP
CRYOPUMPING CRYOPUMPING
BASICS
BASICS
-- 일정한일정한일정한일정한일정한일정한일정한일정한 운동을운동을운동을운동을운동을운동을운동을운동을 하는하는하는하는하는하는하는하는 분자는분자는분자는분자는분자는분자는분자는분자는 운동운동운동운동운동운동운동운동 에너지를
에너지를 에너지를 에너지를에너지를 에너지를에너지를
에너지를 갖고갖고갖고갖고갖고갖고갖고갖고 있다있다있다있다있다있다있다있다..
-- 온도가온도가온도가온도가온도가온도가온도가온도가 분자의분자의분자의분자의분자의분자의분자의분자의 평균평균평균평균평균평균평균평균 운동운동운동운동운동운동운동운동 에너지를에너지를에너지를에너지를에너지를에너지를에너지를에너지를 결정한다
결정한다 결정한다 결정한다결정한다 결정한다결정한다 결정한다..
-- 온도가온도가온도가온도가온도가온도가온도가온도가 높으면높으면높으면높으면높으면높으면높으면높으면 높을높을높을높을높을높을높을높을 수록수록수록수록수록수록수록수록, , 분자들은분자들은분자들은분자들은분자들은분자들은분자들은분자들은 더더더더더더더더 빠르게빠르게
빠르게빠르게 빠르게 빠르게빠르게
빠르게 운동한다운동한다운동한다운동한다운동한다운동한다운동한다운동한다..
분자와 분자와 분자와 분자와 분자와 분자와 분자와
분자와 온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도
CRYO PUMP CRYO PUMP
분자와 분자와 분자와 분자와 분자와 분자와 분자와
분자와 온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도
-- 기체기체기체기체기체기체기체기체 분자가분자가분자가분자가분자가분자가분자가분자가 가장가장가장가장가장가장가장가장 빠르게빠르게빠르게빠르게빠르게빠르게빠르게빠르게 운동한다운동한다운동한다운동한다운동한다운동한다운동한다운동한다.. -- 액체액체액체액체액체액체액체액체 분자의분자의분자의분자의분자의분자의분자의분자의 운동은운동은운동은운동은운동은운동은운동은운동은 느리다느리다느리다느리다느리다느리다느리다느리다..
-- 고체고체고체고체고체고체고체고체 분자의분자의분자의분자의분자의분자의분자의분자의 운동이운동이운동이운동이운동이운동이운동이운동이 가장가장가장가장가장가장가장가장 느리다느리다느리다느리다느리다느리다느리다느리다..
분자와 분자와 분자와 분자와 분자와 분자와 분자와
분자와 온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도
CRYO PUMP CRYO PUMP
분자와 분자와 분자와 분자와 분자와 분자와 분자와
분자와 온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도
온도를 온도를 온도를 온도를온도를 온도를온도를
온도를 측정하는데측정하는데측정하는데측정하는데측정하는데측정하는데측정하는데측정하는데 세세세세세세세세 개의개의개의개의개의개의개의개의 단위가단위가단위가단위가단위가단위가단위가단위가 사용사용사용사용사용사용사용사용 된다된다된다된다된다된다된다된다.. -- 켈빈켈빈켈빈켈빈켈빈켈빈켈빈켈빈((K)K)
-- 섭씨섭씨섭씨섭씨섭씨섭씨섭씨섭씨((℃℃℃℃℃℃℃℃)) -- 화씨화씨화씨화씨화씨화씨화씨화씨((℉℉℉℉℉℉℉℉))
※
※
※
※※
※
※※ 켈빈켈빈켈빈켈빈켈빈켈빈켈빈켈빈((K) K) 온도온도온도온도온도온도온도온도 단위가단위가단위가단위가단위가단위가단위가단위가 냉동냉동냉동냉동냉동냉동냉동냉동 학학학학학학학학 및및및및및및및및 진공진공진공진공진공진공진공진공 기술에기술에기술에기술에기술에기술에기술에기술에 사용된다사용된다사용된다
사용된다사용된다 사용된다 사용된다 사용된다..
온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도
온도 단위 단위 단위 단위 단위 단위 단위 단위
CRYO PUMP CRYO PUMP
분자와 분자와 분자와 분자와 분자와 분자와 분자와
분자와 온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도 온도
CryoCryo pumppump는는는는는는는는 서로서로서로서로서로서로서로서로 다른다른다른다른다른다른다른다른 온도를온도를
온도를온도를 온도를 온도를 온도를
온도를 유지하는유지하는유지하는유지하는유지하는유지하는유지하는유지하는 냉각냉각냉각냉각냉각냉각냉각냉각 표면에
표면에 표면에 표면에표면에 표면에
표면에표면에 종류가종류가종류가종류가종류가종류가종류가종류가 다른다른다른다른다른다른다른다른 기체를기체를기체를기체를기체를기체를기체를기체를 Pumping
Pumping한다한다한다한다한다한다한다한다..
Control Module H2O
O2, N2, Ar
H2, He, Ne
CRYO PUMP CRYO PUMP
Cryo Cryo Pump Pump 개념 개념 개념 개념 개념 개념 개념 개념
물의 물의 물의
물의 끓는끓는끓는 온도끓는 온도온도온도 373 K 100o C 212o F Room Temperature 293 K 20o C 68o F 물의
물의 물의
물의 냉점냉점냉점 온도냉점 온도온도온도 273 K 0o C 32o F Nitrogen 끓는끓는끓는끓는 온도온도온도온도 77 K -196o C -320o F Hydrogen 끓는끓는끓는끓는 온도온도온도온도 20 K -253o C -423o F Helium 끓는끓는끓는끓는 온도온도온도온도 4.2 K -269o C -452o F 절대온도절대온도
절대온도절대온도 0.0 K -273o C -459o F
분자들의분자들의분자들의
분자들의 활동이활동이활동이 정지활동이 정지정지정지 된다된다된다된다.
CRYO PUMP CRYO PUMP
℃℃℃
℃ ℉℉℉℉
(℉℉℉℉-32) * 5 / 9 = ℃℃℃℃
℉℉℉
℉ ℃℃℃℃
(℃℃℃℃ * 9 / 5) + 32 = ℉℉℉℉
기체 기체기체 기체기체 기체 기체
기체 분자가분자가분자가분자가분자가분자가분자가분자가 충분히충분히충분히충분히충분히충분히충분히충분히 냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된 표면과표면과표면과표면과표면과표면과표면과표면과 접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을 하여
하여 하여 하여하여 하여하여
하여 과도한과도한과도한과도한과도한과도한과도한과도한 열열열열열열열열 손실로손실로손실로손실로손실로손실로손실로손실로 얼음으로얼음으로얼음으로얼음으로얼음으로얼음으로얼음으로얼음으로 변하여변하여변하여변하여변하여변하여변하여변하여 얼음얼음얼음얼음얼음얼음얼음얼음 층을
층을층을 층을층을 층을 층을
층을 형성하며형성하며형성하며형성하며형성하며형성하며형성하며형성하며 그그그그그그그그 냉각냉각냉각냉각냉각냉각냉각냉각 표면에표면에표면에표면에표면에표면에표면에표면에 PumpingPumping이이이이이이이이 되는
되는 되는 되는되는 되는
되는되는 것것것것것것것것..
Cryo Cryo condensation( condensation( 응축 응축 응축 응축 응축 응축 응축 응축 ) )
CRYO PUMP
CRYO PUMP
Control Module
기체기체기체기체기체기체기체기체 분자가분자가분자가분자가분자가분자가분자가분자가 충분히충분히충분히충분히충분히충분히충분히충분히 냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된 표면과표면과
표면과표면과 표면과 표면과 표면과
표면과 접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을 하여하여하여하여하여하여하여하여 과도한과도한과도한과도한과도한과도한과도한과도한 열
열 열 열열 열
열열 손실로손실로손실로손실로손실로손실로손실로손실로 얼음으로얼음으로얼음으로얼음으로얼음으로얼음으로얼음으로얼음으로 변하여변하여변하여변하여변하여변하여변하여변하여 여러여러
여러여러 여러 여러 여러
여러 층을층을층을층을층을층을층을층을 형성하며형성하며형성하며형성하며형성하며형성하며형성하며형성하며 그그그그그그그그 냉각냉각냉각냉각냉각냉각냉각냉각 표면에
표면에 표면에 표면에표면에 표면에 표면에
표면에 PumpingPumping이이이이이이이이 되는되는되는되는되는되는되는되는 것이다것이다
것이다것이다 것이다 것이다 것이다 것이다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 응축 응축 응축 응축 응축 응축 응축 응축
많은많은많은많은많은많은많은많은 GasGas들이들이들이들이들이들이들이들이 충돌하면서충돌하면서충돌하면서충돌하면서충돌하면서충돌하면서충돌하면서충돌하면서 수분은수분은
수분은수분은 수분은 수분은 수분은
수분은 충분히충분히충분히충분히충분히충분히충분히충분히 냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된 11stst Stage
Stage Array와Array와와와와와와와 충돌을충돌을충돌을충돌을충돌을충돌을충돌을충돌을 일으킨다일으킨다
일으킨다일으킨다 일으킨다 일으킨다 일으킨다 일으킨다..
이들이들이들이들이들이들이들이들 수분들이수분들이수분들이수분들이수분들이수분들이수분들이수분들이 더욱더욱더욱더욱더욱더욱더욱더욱 많이많이많이많이많이많이많이많이 모여서모여서
모여서모여서 모여서 모여서 모여서
모여서 11stst Stage Array에Stage Array에에에에에에에 얼음
얼음 얼음 얼음얼음 얼음 얼음
얼음 층을층을층을층을층을층을층을층을 형성한다형성한다형성한다형성한다형성한다형성한다형성한다형성한다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 응축 응축 응축 응축 응축 응축 응축 응축
Control Module H2O
산소산소산소산소산소산소산소산소, , 질소질소질소질소질소질소질소질소 그리고그리고그리고그리고그리고그리고그리고그리고 ArAr과과과과과과과과 같은같은
같은같은 같은 같은 같은
같은 수분을수분을수분을수분을수분을수분을수분을수분을 제외한제외한제외한제외한제외한제외한제외한제외한 기체들은
기체들은 기체들은 기체들은기체들은 기체들은
기체들은기체들은 11stst Stage Stage Array
Array를를를를를를를를 통과하여통과하여통과하여통과하여통과하여통과하여통과하여통과하여 Pump Pump 내부로
내부로 내부로 내부로내부로 내부로 내부로
내부로 들어간다들어간다들어간다들어간다들어간다들어간다들어간다들어간다..
22ndnd Stage ArrayStage Array와와와와와와와와 충돌하여
충돌하여 충돌하여 충돌하여충돌하여 충돌하여 충돌하여
충돌하여 이들이들이들이들이들이들이들이들 또한또한또한또한또한또한또한또한 얼음얼음얼음얼음얼음얼음얼음얼음 층을
층을 층을 층을층을 층을
층을층을 형성한다형성한다형성한다형성한다형성한다형성한다형성한다형성한다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 냉각 응축 응축 응축 응축 응축 응축 응축 응축
Control Module O2, N2, Ar
기체 기체 기체 기체기체 기체기체
기체 분자가분자가분자가분자가분자가분자가분자가분자가 충분히충분히충분히충분히충분히충분히충분히충분히 냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된 표면과표면과표면과표면과표면과표면과표면과표면과 접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을접촉을 하여하여하여하여하여하여하여하여 과도란
과도란 과도란 과도란과도란 과도란과도란
과도란 열열열열열열열열 손실로손실로손실로손실로손실로손실로손실로손실로 인해인해인해인해인해인해인해인해 운동력이운동력이운동력이운동력이운동력이운동력이운동력이운동력이 떨어져떨어져떨어져떨어져떨어져떨어져떨어져떨어져 그곳에서
그곳에서 그곳에서 그곳에서그곳에서 그곳에서 그곳에서
그곳에서 축적되어축적되어축적되어축적되어축적되어축적되어축적되어축적되어 PumpingPumping이이이이이이이이 되는되는되는되는되는되는되는되는 것것것것것것것것. .
; ; CryoCryo PumpPump는는는는는는는는 CharcoalCharcoal에서에서에서에서에서에서에서에서 H2, He, and H2, He, and NeNe을을을을을을을을 Pumping Pumping 한다한다한다한다한다한다한다한다. .
Cryo Cryo adsorption(흡수 adsorption( 흡수 흡수 흡수 흡수 흡수 흡수 흡수 ) )
CRYO PUMP
CRYO PUMP
22ndnd Stage ArrayStage Array 아래아래아래아래아래아래아래아래 부분에부분에
부분에부분에 부분에 부분에 부분에
부분에 부착한부착한부착한부착한부착한부착한부착한부착한 CharcoalCharcoal이이이이이이이이 HH22, He, , He, NeNe을을을을을을을을 냉각냉각냉각냉각냉각냉각냉각냉각
흡수한다흡수한다 흡수한다흡수한다 흡수한다 흡수한다 흡수한다 흡수한다..
Charcoal Charcoal 성분성분성분성분성분성분성분성분
-- 코코넛코코넛코코넛코코넛코코넛코코넛코코넛코코넛((초기모델초기모델초기모델초기모델초기모델초기모델초기모델초기모델) ) -- 현재는현재는현재는현재는현재는현재는현재는현재는 PalletPallet을을을을을을을을 사용사용사용사용사용사용사용사용. .
Charcoal
Charcoal 조각의조각의조각의조각의조각의조각의조각의조각의 떨어짐을떨어짐을떨어짐을떨어짐을떨어짐을떨어짐을떨어짐을떨어짐을 방지하기
방지하기 방지하기 방지하기방지하기 방지하기 방지하기
방지하기 위하여위하여위하여위하여위하여위하여위하여위하여..
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수
Control Module
Charcoal Array
비비비비비비비비 응축성응축성응축성응축성응축성응축성응축성응축성 GasGas인인인인인인인인 HH22, He, , He, NeNe은은은은은은은은 11stst, 2nd Array , 2nd Array
사이를 사이를 사이를 사이를사이를 사이를
사이를사이를 통과한다통과한다통과한다통과한다통과한다통과한다통과한다통과한다..
벽과벽과벽과벽과벽과벽과벽과벽과 22ndnd Stage ArrayStage Array와와와와와와와와 충돌을
충돌을 충돌을 충돌을충돌을 충돌을
충돌을충돌을 한다한다한다한다한다한다한다한다..
Charcoal Charcoal 표면에표면에표면에표면에표면에표면에표면에표면에 접촉이접촉이접촉이접촉이접촉이접촉이접촉이접촉이 되며
되며 되며 되며되며 되며
되며되며 흡수흡수흡수흡수흡수흡수흡수흡수 포획이포획이포획이포획이포획이포획이포획이포획이 된다된다된다된다된다된다된다된다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수 냉각흡수
Control Module
H2, He, Ne
CharcoalCharcoal과과과과과과과과 같은같은같은같은같은같은같은같은 물질은물질은물질은물질은물질은물질은물질은물질은 더
더 더 더더 더
더더 큰큰큰큰큰큰큰큰 면적과면적과면적과면적과면적과면적과면적과면적과 유한유한유한유한유한유한유한유한 기공을기공을기공을기공을기공을기공을기공을기공을 제공함제공함
제공함제공함 제공함 제공함 제공함 제공함..
넓은넓은넓은넓은넓은넓은넓은넓은 표면적은표면적은표면적은표면적은표면적은표면적은표면적은표면적은 큰큰큰큰큰큰큰큰 용량을용량을용량을용량을용량을용량을용량을용량을 제공한다제공한다
제공한다제공한다 제공한다 제공한다 제공한다 제공한다..
Hydrogen, Neon, and Hydrogen, Neon, and Helium Gas
Helium Gas들이들이들이들이들이들이들이들이 흡수됨흡수됨흡수됨흡수됨흡수됨흡수됨흡수됨흡수됨..
표면적표면적표면적표면적표면적표면적표면적표면적 용량은용량은용량은용량은용량은용량은용량은용량은 11501150--
1250
1250 mm22/gm/gm이다이다이다이다이다이다이다이다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
분자 분자 분자 분자 분자 분자 분자
분자 포획 포획 포획 포획 포획 포획 포획 포획 이론 이론 이론 이론 이론 이론 이론 이론 - - Cryo Cryo adsorption adsorption
Activated Charcoal
자유분자 자유분자자유분자 자유분자
입구 입구입구 입구 내부공간
내부공간내부공간 내부공간
CryoCryo Pump의Pump의의의의의의의 Pumping Pumping System
System은은은은은은은은 Cold Head Cold Head 주위에
주위에 주위에 주위에주위에 주위에주위에
주위에 만들어만들어만들어만들어만들어만들어만들어만들어 짐짐짐짐짐짐짐짐..
–– 기체를기체를기체를기체를기체를기체를기체를기체를 응축시키거나응축시키거나응축시키거나응축시키거나응축시키거나응축시키거나응축시키거나응축시키거나 흡수흡수흡수흡수흡수흡수흡수흡수 포획하는데
포획하는데 포획하는데 포획하는데 포획하는데 포획하는데 포획하는데
포획하는데 필요한필요한필요한필요한필요한필요한필요한필요한 온도를온도를온도를온도를온도를온도를온도를온도를 만든다
만든다 만든다 만든다만든다 만든다 만든다 만든다..
–– 온도가온도가온도가온도가온도가온도가온도가온도가 다른다른다른다른다른다른다른다른 22단단단단단단단단 StageStage가가가가가가가가 필요하다
필요하다 필요하다 필요하다필요하다 필요하다 필요하다 필요하다..
HeliumHelium의의의의의의의의 팽창에팽창에팽창에팽창에팽창에팽창에팽창에팽창에 의하여의하여의하여의하여의하여의하여의하여의하여 만들어
만들어 만들어 만들어만들어 만들어만들어
만들어 진다진다진다진다진다진다진다진다..
1st Stage:
65 - 80 K
2nd Stage:
10 - 14 K
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성
Radiation ShieldRadiation Shield가가가가가가가가 Cold Cold HeadHead의의의의의의의의 11차차차차차차차차 StageStage에에에에에에에에
부착된다 부착된다 부착된다 부착된다부착된다 부착된다부착된다 부착된다..
–– 전도도가전도도가전도도가전도도가전도도가전도도가전도도가전도도가 좋은좋은좋은좋은좋은좋은좋은좋은 Copper(Cu
Copper(Cu)를)를를를를를를를 사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다..
–– 부식을부식을부식을부식을부식을부식을부식을부식을 방지하기위한방지하기위한방지하기위한방지하기위한방지하기위한방지하기위한방지하기위한방지하기위한 NickelNickel 도금을
도금을 도금을 도금을도금을 도금을
도금을도금을 사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다..
Radiation Shield
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성
11stst stage (65 - 80stage ( K) K) Array
Array는는는는는는는는 Radiation Shield Radiation Shield 에
에 에 에에 에에
에 부착된다부착된다부착된다부착된다부착된다부착된다부착된다부착된다..
–– 수분을수분을수분을수분을수분을수분을수분을수분을 응착응착응착응착응착응착응착응착 시킨다시킨다시킨다시킨다시킨다시킨다시킨다시킨다..
CharcoalCharcoal이이이이이이이이 부착된부착된부착된부착된부착된부착된부착된부착된 Array
Array가가가가가가가가 Cold Head 2nd Cold Head 2nd stage (
stage (10 - 14 K)K)에에에에에에에에 부착된다
부착된다 부착된다 부착된다부착된다 부착된다부착된다 부착된다..
–– OO22, N, N22, , ArAr을을을을을을을을 응축시킨다응축시킨다응축시킨다응축시킨다응축시킨다응축시킨다응축시킨다응축시킨다..
–– HH22, He, Ne, He, Ne을을을을을을을을 흡수흡수흡수흡수흡수흡수흡수흡수 포획한다포획한다포획한다포획한다포획한다포획한다포획한다포획한다
Control Module H2O
O2, N2, Ar
H2, He, Ne
12 K Arrays w/ Charcoal
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성
11stst, 2nd stage, 2nd stage는는는는는는는는 Heater
Heater와와와와와와와와 온도온도온도온도온도온도온도온도 센서를센서를센서를센서를센서를센서를센서를센서를 갖고
갖고 갖고 갖고갖고 갖고갖고
갖고 있는데있는데있는데있는데있는데있는데있는데있는데 최적의최적의최적의최적의최적의최적의최적의최적의 Pumping
Pumping이이이이이이이이 이루어질이루어질이루어질이루어질이루어질이루어질이루어질이루어질 수수수수수수수수 있도록
있도록 있도록 있도록있도록 있도록있도록
있도록 적적한적적한적적한적적한적적한적적한적적한적적한 온도로온도로온도로온도로온도로온도로온도로온도로 조절과조절과
조절과조절과 조절과 조절과조절과
조절과 유지가유지가유지가유지가유지가유지가유지가유지가 된다된다된다된다된다된다된다된다. .
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성
He at er Te
mp er at ur e
Se ns or
CryoCryo Pump의Pump의의의의의의의 기능은기능은기능은기능은기능은기능은기능은기능은 센서와센서와
센서와센서와 센서와 센서와센서와
센서와 히터가히터가히터가히터가히터가히터가히터가히터가 연결된연결된연결된연결된연결된연결된연결된연결된 Control Box
Control Box에에에에에에에에 의하여의하여의하여의하여의하여의하여의하여의하여 제어되고제어되고
제어되고제어되고 제어되고 제어되고제어되고
제어되고 모니터모니터모니터모니터모니터모니터모니터모니터 된다된다된다된다된다된다된다된다. .
고장진단 고장진단고장진단 고장진단
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성
Control Module
1
1st
stDisplacer
DisplacerStainless housingStainless housing
열열열열열열열열 유지용유지용유지용유지용유지용유지용유지용유지용 황동황동황동황동황동황동황동황동 스크린스크린스크린스크린스크린스크린스크린스크린
수지계열수지계열수지계열수지계열수지계열수지계열수지계열수지계열 케이스케이스케이스케이스케이스케이스케이스케이스
Displacer Housing
Seal Brass Screen
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기
2
2nd
ndDisplacer
Displacer1st Displacer1st Displacer위에위에위에위에위에위에위에위에 연결된
연결된 연결된 연결된연결된 연결된연결된
연결된 22ndnd Displacer
Displacer는는는는는는는는 온도를온도를온도를온도를온도를온도를온도를온도를 더욱
더욱 더욱 더욱더욱 더욱더욱
더욱 낮춤낮춤낮춤낮춤낮춤낮춤낮춤낮춤. .
열열열열열열열열 보전을보전을보전을보전을보전을보전을보전을보전을 위하여위하여위하여위하여위하여위하여위하여위하여 납납납납납납납납 볼을
볼을 볼을 볼을볼을 볼을볼을
볼을 사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다사용한다..
수지계열수지계열수지계열수지계열수지계열수지계열수지계열수지계열 케이스케이스케이스케이스케이스케이스케이스케이스
Displacer Housing
Exhaust Valve
Seal Bronze Screen
Inlet Valve Seal
Lead Shot
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기
두개의두개의두개의두개의두개의두개의두개의두개의 DisplacersDisplacers가가가가가가가가 TDC(Top
TDC(Top Dead Dead Center)
Center)에에에에에에에에 위치한위치한위치한위치한위치한위치한위치한위치한 상태에서상태에서
상태에서상태에서 상태에서 상태에서 상태에서
상태에서 한한한한한한한한 주기가주기가주기가주기가주기가주기가주기가주기가 시작된다
시작된다 시작된다 시작된다시작된다 시작된다 시작된다 시작된다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기
Inlet Valve Exhaust Valve
Top- Dead Center (TDC)
두개의두개의두개의두개의두개의두개의두개의두개의 DisplacersDisplacers가가가가가가가가 TDC(Top
TDC(Top Dead Dead Center)
Center)에에에에에에에에 위치한위치한위치한위치한위치한위치한위치한위치한 상태에서상태에서
상태에서상태에서 상태에서 상태에서상태에서
상태에서 한한한한한한한한 주기가주기가주기가주기가주기가주기가주기가주기가 시작된다
시작된다 시작된다 시작된다시작된다 시작된다시작된다 시작된다..
흡입흡입흡입흡입흡입흡입흡입흡입 Valve OpenValve Open
DisplacerDisplacer DownDown
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기
Inlet Valve Exhaust Valve
Top- Dead Center (TDC)
Inlet Valve
두개의두개의두개의두개의두개의두개의두개의두개의 DisplacersDisplacers가가가가가가가가 TDC(Top
TDC(Top Dead Dead Center)
Center)에에에에에에에에 위치한위치한위치한위치한위치한위치한위치한위치한 상태에서상태에서
상태에서상태에서 상태에서 상태에서상태에서
상태에서 한한한한한한한한 주기가주기가주기가주기가주기가주기가주기가주기가 시작된다
시작된다 시작된다 시작된다시작된다 시작된다시작된다 시작된다..
흡입흡입흡입흡입흡입흡입흡입흡입 Valve OpenValve Open
DisplacerDisplacer DownDown
HeliumHelium이이이이이이이이 11stst Displacer
Displacer위의위의위의위의위의위의위의위의 공간을공간을공간을공간을공간을공간을공간을공간을 채우며채우며
채우며채우며 채우며 채우며채우며
채우며 22stst DisplacerDisplacer를를를를를를를를 통과
통과 통과 통과통과 통과통과
통과 나머지나머지나머지나머지나머지나머지나머지나머지 공간을공간을공간을공간을공간을공간을공간을공간을 채운다채운다
채운다채운다 채운다 채운다채운다 채운다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기
Inlet Valve Exhaust Valve
Top- Dead Center (TDC)
Inlet Valve
BDC(BottomBDC(Bottom Dead Dead Center)
Center)에서에서에서에서에서에서에서에서 Inlet ValveInlet Valve Close
Close 된다된다된다된다된다된다된다된다..
Exhaust ValveExhaust Valve Open Open 된다
된다 된다 된다된다 된다된다 된다..
DisplacerDisplacer가가가가가가가가 Up Up 된다된다된다된다된다된다된다된다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기
Inlet Valve Exhaust Valve
Top- Dead Center (TDC)
Inlet Valve
냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된 HeliumHelium이이이이이이이이 두두두두두두두두 Diaplacer
Diaplacer의의의의의의의의 열열열열열열열열 교환기에교환기에교환기에교환기에교환기에교환기에교환기에교환기에 의해
의해 의해 의해의해 의해의해
의해 열이열이열이열이열이열이열이열이 제거제거제거제거제거제거제거제거 되며되며되며되며되며되며되며되며 Displacer
Displacer를를를를를를를를 통과하여통과하여통과하여통과하여통과하여통과하여통과하여통과하여 아래로
아래로 아래로 아래로아래로 아래로아래로
아래로 이동한다이동한다이동한다이동한다이동한다이동한다이동한다이동한다..
HeliumHelium은은은은은은은은 Exhaust Exhaust Valve
Valve를를를를를를를를 통하여통하여통하여통하여통하여통하여통하여통하여 방출된다방출된다방출된다방출된다방출된다방출된다방출된다방출된다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기
Inlet Valve Exhaust Valve Inlet Valve
DisplacerDisplacer가가가가가가가가 다시다시다시다시다시다시다시다시 TDCTDC에에에에에에에에 위치한다위치한다
위치한다위치한다 위치한다 위치한다위치한다 위치한다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기
Inlet Valve Exhaust Valve Inlet Valve
DisplacerDisplacer가가가가가가가가 다시다시다시다시다시다시다시다시 TDCTDC에에에에에에에에 위치한다위치한다
위치한다위치한다 위치한다 위치한다위치한다 위치한다..
잔류잔류잔류잔류잔류잔류잔류잔류 Helium이Helium이이이이이이이 빠져나감빠져나감빠져나감빠져나감빠져나감빠져나감빠져나감빠져나감
Exhaust Valve CloseExhaust Valve Close
정해진정해진정해진정해진정해진정해진정해진정해진 rpmrpm으로으로으로으로으로으로으로으로 구동됨구동됨구동됨구동됨구동됨구동됨구동됨구동됨 CTI CTI -- 72 rpm 72 rpm
Ebara
Ebara -- 50~90 rpm50~90 rpm
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기
Inlet Valve Exhaust Valve Inlet Valve
매매매매매매매매 주기후주기후주기후주기후주기후주기후주기후주기후 DisplacerDisplacer는는는는는는는는 더욱더욱
더욱더욱 더욱 더욱더욱
더욱 냉각이냉각이냉각이냉각이냉각이냉각이냉각이냉각이 된다된다된다된다된다된다된다된다..
22ndnd StageStage는는는는는는는는 11stst Stage
Stage보다보다보다보다보다보다보다보다 더더더더더더더더 냉각이냉각이냉각이냉각이냉각이냉각이냉각이냉각이 된다된다된다된다된다된다된다된다. .
팽창팽창팽창팽창팽창팽창팽창팽창 시키기시키기시키기시키기시키기시키기시키기시키기 전에전에전에전에전에전에전에전에 흡입되는흡입되는흡입되는흡입되는흡입되는흡입되는흡입되는흡입되는 Helium
Helium을을을을을을을을 미리미리미리미리미리미리미리미리 냉각시킨다
냉각시킨다 냉각시킨다 냉각시킨다 냉각시킨다 냉각시킨다냉각시킨다 냉각시킨다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기 냉각기
Inlet Valve Exhaust Valve Inlet Valve
Compressor Pump
Heat
Exchanger
Oil Mist Separator Adsorber
Coldhead
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - Helium Helium 회로 회로 회로 회로 회로 회로 회로 회로
CRYO PUMP CRYO PUMP
System
System 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 설계 - - System System 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성 구성
Crossover
Crossover 압력 압력 압력 압력 압력 압력 압력 압력 계산 계산 계산 계산 계산 계산 계산 계산
Pump 8
Pump 8”” = 150 = 150 Torr-Torr-litersliters를를를를를를를를 기준으로기준으로기준으로기준으로기준으로기준으로기준으로기준으로 Crossover
Crossover공식을공식을공식을공식을공식을공식을공식을공식을 보면보면보면보면보면보면보면보면 다음과다음과다음과다음과다음과다음과다음과다음과 같다같다같다같다같다같다같다같다. . : : Crossover valueCrossover value
= P in
= P in TorrTorr Chamber volume(300liter) Chamber volume(300liter)
150 150 TorrTorr--litersliters
= .5
= .5 TorrTorr=500mTorr=500mTorr
300
300liters
liters 이와이와이와 이와이와 이와 이와
이와 같이같이같이같이같이같이같이같이 CryoCryo pumppump의의의의의의의의 특성을특성을특성을특성을특성을특성을특성을특성을 이용하면이용하면이용하면이용하면이용하면이용하면이용하면이용하면 좀더좀더좀더좀더좀더좀더좀더좀더 빠른빠른빠른빠른빠른빠른빠른빠른 Process Time
Process Time과과과과과과과과 Cleaner VacuumCleaner Vacuum을을을을을을을을 얻을얻을얻을얻을얻을얻을얻을얻을 수수수수수수수수 있다있다있다있다있다있다있다있다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
Crossover
Crossover
Roughing Pump
Roughing Pump로로로로로로로로 CryoCryo Pump를Pump를를를를를를를 PumpingPumping할할할할할할할할 때에때에
때에때에 때에 때에 때에
때에 Crossover Crossover 시점이시점이시점이시점이시점이시점이시점이시점이 지나면지나면지나면지나면지나면지나면지나면지나면 Roughing Roughing Valve Close
Valve Close후후후후후후후후 HiHi--vacvac ValveValve를를를를를를를를 OpenOpen하여야하여야하여야하여야하여야하여야하여야하여야 한다한다
한다한다 한다 한다 한다 한다. .
-- Roughing Time Roughing Time 감소감소감소감소감소감소감소감소 -- 설비효율증대설비효율증대설비효율증대설비효율증대설비효율증대설비효율증대설비효율증대설비효율증대
-- Molecular Back stream Molecular Back stream 방지방지방지방지방지방지방지방지
CRYO PUMP CRYO PUMP
Crossover
Crossover
Argon HangArgon Hang--UpUp은은은은은은은은 11stst Stage
Stage가가가가가가가가 너무너무너무너무너무너무너무너무 냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된냉각된 경우에
경우에경우에 경우에경우에 경우에
경우에경우에 발생발생발생발생발생발생발생발생 될될될될될될될될 수수수수수수수수 있다있다있다있다있다있다있다있다..
Argon이Argon이이이이이이이 11stst StageStage에에에에에에에에 응축이
응축이응축이 응축이응축이 응축이
응축이응축이 되는되는되는되는되는되는되는되는 현상이현상이현상이현상이현상이현상이현상이현상이 방생한다방생한다방생한다
방생한다방생한다 방생한다 방생한다 방생한다..
이이이이이이이이 곳에서곳에서곳에서곳에서곳에서곳에서곳에서곳에서 Argon은Argon은은은은은은은 부분압력이
부분압력이부분압력이 부분압력이 부분압력이 부분압력이 부분압력이
부분압력이 낮아낮아낮아낮아낮아낮아낮아낮아 질질질질질질질질 때까지때까지때까지때까지때까지때까지때까지때까지 머무르게
머무르게머무르게 머무르게머무르게 머무르게 머무르게
머무르게 된다된다된다된다된다된다된다된다..
< 65 K
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Argon Hang Argon Hang - - Up Up
1010-10 -10 1010-7 -7 1010-4 -4 1010--3 3 Water 130K 153K 185K 198.5K Water 130K 153K 185K 198.5K Argon 23.7K 28.6K 35.9K 39.2K Argon 23.7K 28.6K 35.9K 39.2K
EQUILIBRIUM VAPOR PRESSURE EQUILIBRIUM VAPOR PRESSURE
그그그그그그그그 다음다음다음다음다음다음다음다음, , 평형압력평형압력평형압력평형압력평형압력평형압력평형압력평형압력 상태에상태에상태에상태에상태에상태에상태에상태에 도달하게도달하게도달하게
도달하게도달하게 도달하게 도달하게
도달하게 된다된다된다된다된다된다된다된다..
–– Argon Argon 기화된다기화된다기화된다기화된다기화된다기화된다기화된다기화된다..
–– PumpdownPumpdown 늦어진다늦어진다늦어진다늦어진다늦어진다늦어진다늦어진다늦어진다..
–– 가상으로가상으로가상으로가상으로가상으로가상으로가상으로가상으로 가득찬가득찬가득찬가득찬가득찬가득찬가득찬가득찬 현상이현상이현상이현상이현상이현상이현상이현상이 발생을
발생을발생을 발생을발생을 발생을 발생을
발생을 한다한다한다한다한다한다한다한다..
65 K
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Argon Hang Argon Hang - - Up Up
이렇게이렇게이렇게이렇게이렇게이렇게이렇게이렇게 기화된기화된기화된기화된기화된기화된기화된기화된 ArgonArgon들은들은들은들은들은들은들은들은 원래의원래의원래의
원래의원래의 원래의 원래의
원래의 22stst StageStage에에에에에에에에 Pumping
Pumping이이이이이이이이 될될될될될될될될 때까지때까지때까지때까지때까지때까지때까지때까지 계속계속계속
계속계속 계속 계속
계속 기화가기화가기화가기화가기화가기화가기화가기화가 된다된다된다된다된다된다된다된다..
65 K
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Argon Hang Argon Hang - - Up Up
CRYOPUMPING BASICS:
CRYOPUMPING BASICS:
Operation
Operation - - Argon Hang Argon Hang - - Up Up
Argon HangArgon Hang--UpUp은은은은은은은은 새로운새로운새로운새로운새로운새로운새로운새로운 모델의모델의모델의
모델의모델의 모델의 모델의
모델의 PumpPump에서는에서는에서는에서는에서는에서는에서는에서는 11stst Stage Sensor
Stage Sensor 및및및및및및및및 Heater
Heater와와와와와와와와 연결된연결된연결된연결된연결된연결된연결된연결된 제어제어제어제어제어제어제어제어 모듈로
모듈로모듈로 모듈로모듈로 모듈로 모듈로
모듈로 방지할방지할방지할방지할방지할방지할방지할방지할 수수수수수수수수 있다있다있다있다있다있다있다있다..
–– 6565KK이상으로이상으로이상으로이상으로이상으로이상으로이상으로이상으로 온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절
He at er
Control Module
Te mp
er at ur e
Se ns or
Constant 65 K
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 Pumping Pumping 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하
Activated Charcoal
수소수소수소수소수소수소수소수소((HH22) Pumping) Pumping저하는저하는저하는저하는저하는저하는저하는저하는 22ndnd StageStage가가가가가가가가 너무너무너무너무너무너무너무너무
냉각 냉각냉각 냉각냉각 냉각
냉각냉각(<12(<12K)K)되어서되어서되어서되어서되어서되어서되어서되어서 발생을발생을발생을발생을발생을발생을발생을발생을 할할할
할할 할 할
할 수수수수수수수수 있다있다있다있다있다있다있다있다. .
–– 수소가수소가수소가수소가수소가수소가수소가수소가 CharcoalCharcoal에에에에에에에에 계속계속계속계속계속계속계속계속 흡착된다흡착된다흡착된다
흡착된다흡착된다 흡착된다 흡착된다 흡착된다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 Pumping Pumping 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하
Array(Charcoal)
분자들이분자들이분자들이분자들이분자들이분자들이분자들이분자들이 Charcoal Charcoal 외부외부외부외부외부외부외부외부 표면에표면에표면에
표면에표면에 표면에 표면에
표면에 모인다모인다모인다모인다모인다모인다모인다모인다. .
–– 기공이기공이기공이기공이기공이기공이기공이기공이 막힘으로막힘으로막힘으로막힘으로막힘으로막힘으로막힘으로막힘으로 사용되지사용되지사용되지사용되지사용되지사용되지사용되지사용되지 않는않는않는
않는않는 않는 않는
않는 공간이공간이공간이공간이공간이공간이공간이공간이 발생하고발생하고발생하고발생하고발생하고발생하고발생하고발생하고 Pumping Speed
Pumping Speed가가가가가가가가 늦어진다
늦어진다늦어진다 늦어진다늦어진다 늦어진다 늦어진다늦어진다..
< 12K
이러한이러한이러한이러한이러한이러한이러한이러한 현상이현상이현상이현상이현상이현상이현상이현상이 계속계속계속계속계속계속계속계속 되어되어되어되어되어되어되어되어 수소의수소의
수소의수소의 수소의 수소의수소의
수소의 부분압력이부분압력이부분압력이부분압력이부분압력이부분압력이부분압력이부분압력이 높아진다
높아진다 높아진다 높아진다높아진다 높아진다높아진다 높아진다..
수소의수소의수소의수소의수소의수소의수소의수소의 Pumping Pumping 저하는저하는저하는저하는저하는저하는저하는저하는 새로운새로운새로운
새로운새로운 새로운 새로운
새로운 모델의모델의모델의모델의모델의모델의모델의모델의
Pump에서는Pump에서는에서는에서는에서는에서는에서는에서는 22ndnd Stage Stage Sensor
Sensor 및및및및및및및및 HeaterHeater와와와와와와와와 연결된
연결된연결된 연결된연결된 연결된 연결된
연결된 제어제어제어제어제어제어제어제어 모듈로모듈로모듈로모듈로모듈로모듈로모듈로모듈로 방지할방지할방지할방지할방지할방지할방지할방지할 수수수
수수 수 수
수 있다있다있다있다있다있다있다있다..
–– 1212K ~ 14KK ~ 14K로로로로로로로로 온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절
He at er
Control Module
Te mp
er at ur e
Se ns or
Array(Charcoal)
< 12~14K
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 Pumping Pumping 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하
참고사항 : Cryo pump 폭발은 수소에 의한 것이다.
그러나 산소와 결합하여 폭발을 유발하는 매개체가 되어야 한다.
H2 : O = 6 : 4 이상이면 폭발한다.
- IIP의의의 경우의 경우경우 정전시경우 정전시정전시 수소의정전시 수소의수소의수소의 기화에기화에기화에
기화에 의한의한의한 폭발의한 폭발폭발 예방을폭발 예방을예방을 위해예방을 위해위해위해 추가적추가적추가적
추가적 Purge Valve를를를 설치를 설치설치설치 하고하고하고
하고 있다있다있다. 있다 (UPS Battery로로로 15분로 분분분 정도정도정도정도 유지
유지유지
유지 할할할 수할 수수 있도록수 있도록있도록 하는있도록 하는하는 기능하는 기능기능기능 포함
포함포함 포함)
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Safety Safety
NO NO NO NO
System Control NC
NC
NC
NC
갇히는갇히는 갇히는갇히는 갇히는 갇히는갇히는
갇히는 기체기체기체기체기체기체기체기체 양양양양양양양양 = Pressure x Speed x Time= Pressure x Speed x Time
Gas 용량 용량 용량 용량 (표준온도압력 표준온도압력 표준온도압력 표준온도압력)
수분 수분수분 수분수분 수분
수분수분 1000 1000 liters (gas)liters (gas) 1 liter (ice)
1 liter (ice) Nitrogen & Argon
Nitrogen & Argon 1000 liters (gas)1000 liters (gas) 1 liter (ice)
1 liter (ice) Hydrogen
Hydrogen 17 liters (gas)17 liters (gas)
이상적인 이상적인 이상적인 이상적인이상적인 이상적인 이상적인
이상적인 용량용량용량용량용량용량용량용량 -- 88”” FlangeFlange
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation(
Operation( 참고사항 참고사항 참고사항 참고사항 참고사항 참고사항 참고사항 참고사항 ) ) - - Capacity Capacity
CryoCryo pumppump를를를를를를를를 재생시키는재생시키는재생시키는재생시키는재생시키는재생시키는재생시키는재생시키는 목적은목적은목적은목적은목적은목적은목적은목적은 PumpPump로부터로부터로부터로부터로부터로부터로부터로부터 포획된포획된
포획된포획된 포획된 포획된포획된
포획된 GasGas들을들을들을들을들을들을들을들을 제거하여제거하여제거하여제거하여제거하여제거하여제거하여제거하여 PumpPump의의의의의의의의 용량을용량을용량을용량을용량을용량을용량을용량을 원래의원래의원래의원래의원래의원래의원래의원래의 상태오
상태오상태오 상태오상태오 상태오
상태오상태오 되돌리기되돌리기되돌리기되돌리기되돌리기되돌리기되돌리기되돌리기 위함에위함에위함에위함에위함에위함에위함에위함에 있다있다있다있다있다있다있다있다. .
Regeneration(
Regeneration( 재생 재생 재생 재생 재생 재생 재생 재생 ) )
언제든지언제든지 언제든지언제든지 언제든지 언제든지언제든지
언제든지 ProcessProcess DownDown되거나되거나되거나되거나되거나되거나되거나되거나 RegenerationRegeneration의의의의의의의의 기회가
기회가 기회가 기회가기회가 기회가
기회가기회가 주어져서주어져서주어져서주어져서주어져서주어져서주어져서주어져서 RegenerationRegeneration을을을을을을을을 실시하면실시하면실시하면실시하면실시하면실시하면실시하면실시하면 효과적인효과적인
효과적인효과적인 효과적인 효과적인효과적인
효과적인 Pump의Pump의의의의의의의 관리로관리로관리로관리로관리로관리로관리로관리로 Process UpProcess Up--timetime이이이이이이이이 이루어질
이루어질 이루어질 이루어질이루어질 이루어질이루어질
이루어질 것이다것이다것이다것이다것이다것이다것이다것이다..
언제 언제 언제 언제 언제 언제 언제
언제 Regeneration Regeneration 을 을 을 을 을 을 을 을 실시 실시 실시 실시 실시 실시 실시 실시 할 할 할 할 할 할 할 할 것인가 것인가 것인가 것인가 것인가 것인가 것인가 것인가 ? ?
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation
Purge의Purge의의의의의의의 중요성중요성중요성중요성중요성중요성중요성중요성
–– 수분의수분의수분의수분의수분의수분의수분의수분의 오염을오염을오염을오염을오염을오염을오염을오염을 최소화최소화최소화최소화최소화최소화최소화최소화 한다한다한다한다한다한다한다한다..
–– Radiation Shield 내부에Radiation Shield 내부에내부에내부에내부에내부에내부에내부에 설치한다설치한다설치한다설치한다설치한다설치한다설치한다설치한다..
–– NN22 Gas Gas 공급공급공급공급공급공급공급공급
–– CharcoalCharcoal을을을을을을을을 보호보호보호보호보호보호보호보호 깨끗한깨끗한깨끗한깨끗한깨끗한깨끗한깨끗한깨끗한 상태유지상태유지상태유지상태유지상태유지상태유지상태유지상태유지
–– 수소수소수소수소수소수소수소수소 용량이용량이용량이용량이용량이용량이용량이용량이 최대로최대로최대로최대로최대로최대로최대로최대로 확장확장확장확장확장확장확장확장
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