CRYOPUMPING BASICS:
Operation
Operation - - Argon Hang Argon Hang - - Up Up
Argon HangArgon Hang--UpUp은은은은은은은은 새로운새로운새로운새로운새로운새로운새로운새로운 모델의모델의모델의
모델의모델의 모델의 모델의
모델의 PumpPump에서는에서는에서는에서는에서는에서는에서는에서는 11stst Stage Sensor
Stage Sensor 및및및및및및및및 Heater
Heater와와와와와와와와 연결된연결된연결된연결된연결된연결된연결된연결된 제어제어제어제어제어제어제어제어 모듈로
모듈로모듈로 모듈로모듈로 모듈로 모듈로
모듈로 방지할방지할방지할방지할방지할방지할방지할방지할 수수수수수수수수 있다있다있다있다있다있다있다있다..
–– 6565KK이상으로이상으로이상으로이상으로이상으로이상으로이상으로이상으로 온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절온도조절
He at er
Control Module
Te mp
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Se ns or
Constant 65 K
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 Pumping Pumping 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하
Activated Charcoal
수소수소수소수소수소수소수소수소((HH22) Pumping) Pumping저하는저하는저하는저하는저하는저하는저하는저하는 22ndnd StageStage가가가가가가가가 너무너무너무너무너무너무너무너무
냉각 냉각냉각 냉각냉각 냉각
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흡착된다흡착된다 흡착된다 흡착된다 흡착된다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 Pumping Pumping 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하
Array(Charcoal)
분자들이분자들이분자들이분자들이분자들이분자들이분자들이분자들이 Charcoal Charcoal 외부외부외부외부외부외부외부외부 표면에표면에표면에
표면에표면에 표면에 표면에
표면에 모인다모인다모인다모인다모인다모인다모인다모인다. .
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< 12K
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수소의수소의 수소의 수소의수소의
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새로운새로운 새로운 새로운
새로운 모델의모델의모델의모델의모델의모델의모델의모델의
Pump에서는Pump에서는에서는에서는에서는에서는에서는에서는 22ndnd Stage Stage Sensor
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He at er
Control Module
Te mp
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Array(Charcoal)
< 12~14K
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 수소 Pumping Pumping 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하 저하
참고사항 : Cryo pump 폭발은 수소에 의한 것이다.
그러나 산소와 결합하여 폭발을 유발하는 매개체가 되어야 한다.
H2 : O = 6 : 4 이상이면 폭발한다.
- IIP의의의 경우의 경우경우 정전시경우 정전시정전시 수소의정전시 수소의수소의수소의 기화에기화에기화에
기화에 의한의한의한 폭발의한 폭발폭발 예방을폭발 예방을예방을 위해예방을 위해위해위해 추가적추가적추가적
추가적 Purge Valve를를를 설치를 설치설치설치 하고하고하고
하고 있다있다있다. 있다 (UPS Battery로로로 15분로 분분분 정도정도정도정도 유지
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포함포함 포함)