- IIP의의의 경우의 경우경우 정전시경우 정전시정전시 수소의정전시 수소의수소의수소의 기화에기화에기화에
기화에 의한의한의한 폭발의한 폭발폭발 예방을폭발 예방을예방을 위해예방을 위해위해위해 추가적추가적추가적
추가적 Purge Valve를를를 설치를 설치설치설치 하고하고하고
하고 있다있다있다. 있다 (UPS Battery로로로 15분로 분분분 정도정도정도정도 유지
유지유지
유지 할할할 수할 수수 있도록수 있도록있도록 하는있도록 하는하는 기능하는 기능기능기능 포함
포함포함 포함)
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Safety Safety
갇히는갇히는 갇히는갇히는 갇히는 갇히는갇히는
갇히는 기체기체기체기체기체기체기체기체 양양양양양양양양 = Pressure x Speed x Time= Pressure x Speed x Time
Gas 용량 용량 용량 용량 (표준온도압력 표준온도압력 표준온도압력 표준온도압력)
수분 수분수분 수분수분 수분
수분수분 1000 1000 liters (gas)liters (gas) 1 liter (ice)
1 liter (ice) Nitrogen & Argon
Nitrogen & Argon 1000 liters (gas)1000 liters (gas) 1 liter (ice)
1 liter (ice) Hydrogen
Hydrogen 17 liters (gas)17 liters (gas)
이상적인 이상적인 이상적인 이상적인이상적인 이상적인 이상적인
이상적인 용량용량용량용량용량용량용량용량 -- 88”” FlangeFlange
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation(
Operation( 참고사항 참고사항 참고사항 참고사항 참고사항 참고사항 참고사항 참고사항 ) ) - - Capacity Capacity
CryoCryo pumppump를를를를를를를를 재생시키는재생시키는재생시키는재생시키는재생시키는재생시키는재생시키는재생시키는 목적은목적은목적은목적은목적은목적은목적은목적은 PumpPump로부터로부터로부터로부터로부터로부터로부터로부터 포획된포획된
포획된포획된 포획된 포획된포획된
포획된 GasGas들을들을들을들을들을들을들을들을 제거하여제거하여제거하여제거하여제거하여제거하여제거하여제거하여 PumpPump의의의의의의의의 용량을용량을용량을용량을용량을용량을용량을용량을 원래의원래의원래의원래의원래의원래의원래의원래의 상태오
상태오상태오 상태오상태오 상태오
상태오상태오 되돌리기되돌리기되돌리기되돌리기되돌리기되돌리기되돌리기되돌리기 위함에위함에위함에위함에위함에위함에위함에위함에 있다있다있다있다있다있다있다있다. .
Regeneration(
Regeneration( 재생 재생 재생 재생 재생 재생 재생 재생 ) )
언제든지언제든지 언제든지언제든지 언제든지 언제든지언제든지
언제든지 ProcessProcess DownDown되거나되거나되거나되거나되거나되거나되거나되거나 RegenerationRegeneration의의의의의의의의 기회가
기회가 기회가 기회가기회가 기회가
기회가기회가 주어져서주어져서주어져서주어져서주어져서주어져서주어져서주어져서 RegenerationRegeneration을을을을을을을을 실시하면실시하면실시하면실시하면실시하면실시하면실시하면실시하면 효과적인효과적인
효과적인효과적인 효과적인 효과적인효과적인
효과적인 Pump의Pump의의의의의의의 관리로관리로관리로관리로관리로관리로관리로관리로 Process UpProcess Up--timetime이이이이이이이이 이루어질
이루어질 이루어질 이루어질이루어질 이루어질이루어질
이루어질 것이다것이다것이다것이다것이다것이다것이다것이다..
언제 언제 언제 언제 언제 언제 언제
언제 Regeneration Regeneration 을 을 을 을 을 을 을 을 실시 실시 실시 실시 실시 실시 실시 실시 할 할 할 할 할 할 할 할 것인가 것인가 것인가 것인가 것인가 것인가 것인가 것인가 ? ?
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation
Purge의Purge의의의의의의의 중요성중요성중요성중요성중요성중요성중요성중요성
–– 수분의수분의수분의수분의수분의수분의수분의수분의 오염을오염을오염을오염을오염을오염을오염을오염을 최소화최소화최소화최소화최소화최소화최소화최소화 한다한다한다한다한다한다한다한다..
–– Radiation Shield 내부에Radiation Shield 내부에내부에내부에내부에내부에내부에내부에 설치한다설치한다설치한다설치한다설치한다설치한다설치한다설치한다..
–– NN22 Gas Gas 공급공급공급공급공급공급공급공급
–– CharcoalCharcoal을을을을을을을을 보호보호보호보호보호보호보호보호 깨끗한깨끗한깨끗한깨끗한깨끗한깨끗한깨끗한깨끗한 상태유지상태유지상태유지상태유지상태유지상태유지상태유지상태유지
–– 수소수소수소수소수소수소수소수소 용량이용량이용량이용량이용량이용량이용량이용량이 최대로최대로최대로최대로최대로최대로최대로최대로 확장확장확장확장확장확장확장확장
–– 일정한일정한일정한일정한일정한일정한일정한일정한 압력을압력을압력을압력을압력을압력을압력을압력을 유지하며유지하며유지하며유지하며유지하며유지하며유지하며유지하며 Exhaust된다Exhaust된다된다된다된다된다된다된다..
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Regeneration Regeneration
CryoCryo--Torr(OldTorr(Old Type) Type) 재생
재생재생 재생재생 재생 재생재생
–– WarmWarm--up up 및및및및및및및및 PurgePurge
–– 연장연장연장연장연장연장연장연장 PurgePurge
–– Pump RoughingPump Roughing
–– ROR(RateROR(Rate of Rise) Test of Rise) Test 상승률
상승률상승률 상승률상승률 상승률 상승률상승률
–– Cool-Cool-downdown
–– 5~65~6시간시간시간시간시간시간시간시간 소요된다소요된다소요된다소요된다소요된다소요된다소요된다소요된다.. Roughing Line
N2 Fill
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Regeneration Regeneration
CryoCryo--TorrTorr Regeneration TimeRegeneration Time
TIME (hrs) TEMP
(K)
Cool Down
5~6 Warm-Up
and Purge
Extended Purge,Rough,
& Rate of Rise
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Regeneration Regeneration
마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤 제어제어제어제어제어제어제어제어 Full Full Regeneration (
Regeneration (재생재생재생재생재생재생재생재생))
–– WarmWarm--up up 및및및및및및및및 Purge(Purge(310310310310KKKK))))
–– 연장연장연장연장연장연장연장연장 PurgePurge
–– Pump Roughing Pump Roughing ((HeaterHeater는는는는는는는는 계속계속계속계속계속계속계속계속 On On 된된된된된된된된 상태임상태임상태임
상태임상태임 상태임 상태임 상태임))
–– ROR(RateROR(Rate of Rise) Test of Rise) Test 상승률
상승률상승률 상승률상승률 상승률 상승률 상승률
–– CoolCool--downdown
–– 약약약약약약약약 2.5~32.5~3시간시간시간시간시간시간시간시간 소요된다소요된다소요된다소요된다소요된다소요된다소요된다소요된다..
Roughing Line
H ea t er
N2 Fill
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Regeneration Regeneration
마이콤마이콤 마이콤마이콤 마이콤 마이콤 마이콤
마이콤 Full Regeneration TimeFull Regeneration Time
TIME (hrs) TEMP
(K) Cool Down
2.5~3 Warm-Up
and Purge
Extended Purge,Rough,
& Rate of Rise
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Regeneration Regeneration
마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤 제어제어제어제어제어제어제어제어 Fast Fast Regeneration (
Regeneration (재생재생재생재생재생재생재생재생))
–– PumpPump는는는는는는는는 계속계속계속계속계속계속계속계속 작동된다작동된다작동된다작동된다작동된다작동된다작동된다작동된다..
–– 약약약약약약약약 11시간시간시간시간시간시간시간시간 소요소요소요소요소요소요소요소요
–– 공정공정공정공정공정공정공정공정 가스만가스만가스만가스만가스만가스만가스만가스만 재생재생재생재생재생재생재생재생 수분을
수분을수분을 수분을수분을 수분을 수분을
수분을 제외한제외한제외한제외한제외한제외한제외한제외한 22stst stage의stage의의의의의의의 응착응착응착
응착응착 응착 응착
응착 GasGas만만만만만만만만 제거한다제거한다제거한다제거한다제거한다제거한다제거한다제거한다..
–– 22stst stage Warmstage Warm--up up 및및및및및및및및 Purge
Purge
Roughing Line
H ea t er
N2 Fill
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Regeneration Regeneration
마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤 제어제어제어제어제어제어제어제어 Fast Fast Regeneration (
Regeneration (재생재생재생재생재생재생재생재생))
–– Cool-Cool-down, Roughing, down, Roughing, Heating
Heating 평가실시평가실시평가실시평가실시평가실시평가실시평가실시평가실시
–– Cool-Cool-downdown실시실시실시실시실시실시실시실시
He at er Te
mp er at ur e
Se ns or
Control Module
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Regeneration Regeneration
마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤마이콤 제어제어제어제어제어제어제어제어 Fast Regeneration (Fast Regeneration (재생재생재생재생재생재생재생재생) ) 장점장점장점
장점장점 장점 장점 장점 : :
–– 재생에재생에재생에재생에재생에재생에재생에재생에 따른따른따른따른따른따른따른따른 Down Time Down Time 감소감소감소감소감소감소감소감소
–– 일관적인일관적인일관적인일관적인일관적인일관적인일관적인일관적인 재생재생재생재생재생재생재생재생 재현재현재현재현재현재현재현재현
–– 작업자작업자작업자작업자작업자작업자작업자작업자 배제배제배제배제배제배제배제배제, 자동실행, 자동실행자동실행자동실행자동실행자동실행자동실행자동실행
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Regeneration Regeneration
마이콤마이콤 마이콤마이콤 마이콤 마이콤 마이콤
마이콤 Fast Regeneration TimeFast Regeneration Time
TIME (hrs) TEMP
(K)
Cool Down 1
Warm-Up and Purge
Extended Purge,Rough,
& Rate of Rise
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Regeneration Regeneration
Regeneration Summary Regeneration Summary
TIME (hrs) TEMP
(K)
5 2.5 - 3
~1
Cryo-Torr Regeneration 마이콤마이콤
마이콤마이콤 Full Regeneration 마이콤마이콤
마이콤마이콤 FastRegen
CRYO PUMP CRYO PUMP
Operation
Operation - - Regeneration Regeneration
CRYO PUMP CRYO PUMP
Sputter
Sputter 의 의 의 의 의 의 의 의 일반적인 일반적인 일반적인 일반적인 일반적인 일반적인 일반적인 일반적인 Regeneration Regeneration
- N2 Purge 압력은 Flow때의 기준으로 40~80psi가 비교적 좋다.
- Relief Valve Open은 대기압보다 2~3psi 높아지면 열리게 되어 있 다.
- Re-purge Cycle은 10회를 한다.
- Pumping은 1시간 이상을 해도 소용이 없다.
R egen R egen R egen R egen sta rt sta rt sta rt sta rt C ryo C ryo C ryo
C ryo pum ppum ppum ppum p offoff offoff
P u rge P u rgeP u rge P u rge v a lv e v a lv ev a lv e v a lv e open openopen open
H ea ter H ea terH ea ter H ea ter
on onon on
E x ten d E x ten dE x ten d E x ten d P u rge P u rge P u rge P u rge
T im e T im eT im e T im e 444
4 000m in0m inm inm in
R ough in g R ough in g R ough in g R ough in g
B a se B a se B a se B a se pres su re pres su re pres su re pres su re
5 5 5 5 0000uuuu
R O R R O R R O R R O R T est T estT est T est
1 1 1 1 555 K5KKK 3 3 3 3111 01000KKKK
1 11 1 777 K7KKK R egen R egenR egen R egen C om plete C om plete C om plete C om plete