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CO<sub>2</sub> Sensing Properties of SnO<sub>2</sub>-Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Composite Nanofibers Via Electrospinning Method

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(1)

한국표면공학회지 J. Korean Inst. Surf. Eng.

Vol. 50, No. 4, 2017.

https://doi.org/10.5695/JKISE.2017.50.4.289

<연구논문>

ISSN 1225-8024(Print) ISSN 2288-8403(Online)

전기방사법으로 합성된 SnO

2

-Cr

2

O

3

복합나노섬유의 이산화탄소 가스감응 특성

이재형, 김재훈, 김진영, 김상섭*

인하대학교 신소재공학과

CO 2 Sensing Properties of SnO 2 -Cr 2 O 3 Composite Nanofibers Via Electrospinning Method

Jae-Hyoung Lee, Jae-Hun Kim, Jin-Young Kim, and Sang Sub Kim*

Department of Materials Science & Engineering, Inha University, Incheon 22212, Republic of Korea (Received July 11, 2017 ; revised July 28, 2017 ; accepted August 1, 2017)

Abstract

Detection of CO

2

gas in both indoor and outdoor atmospheres is now becoming an important issue because of greenhouse effect and climate crisis. In this study, gas sensors based on SnO

2

-Cr

2

O

3

composite nanofibers were fabricated by the electrospinning method to detect CO

2

gas. The gas sensors showed a response to ppm level of CO

2

gas from room temperature to 200

o

C while the highest response was observed at 150

o

C.

The gas response is enhanced by the catalytic property of Cr

2

O

3

. Selective CO

2

detection is obtained through the chemical reaction of Cr

2

O

3

to chromium carbonate. All the results suggest the SnO

2

-Cr

2

O

3

composite material is promising for the use of CO

2

gas sensors.

Keywords : Nanofiber, CO

2

gas, Gas sensor, Electrospinning, SnO

2

-Cr

2

O

3

1. 서 론

CO2가스는 자동차 연료의 연소와 산업현장에서 배출되는 주된 가스 중 하나로 최근에는 지구온난화, 해수면 상승 등 생태계에 가장 큰 영향을 미치는 가 스 중 하나로 알려져 있다. 미국 연방 직업안전·보건 국은 대기 중 CO2의 농도가 4 %를 초과할 경우 일상 생활과 생명에 위험한 수치라 지정하였고[1], 이에 따 라 CO2가스검출을 위한 고선택성, 빠른 감응속도를 갖는 가스센서의 개발이 널리 진행 중이다[1-4].

1차원 구조의 나노재료는 박막형, 다른 구조의 재 료에 비해 표면적이 넓어 전하의 이동성이 Bulk형

재료보다 우수하다. 또한 금속 산화물은 다른 물질 과 비교할 때, 비독성, 열적, 화학적 안정성이 뛰어 나다[30]. 이로 인해 1차원 구조의 산화물 반도체는 전기적, 화학적으로 안정한 특징을 갖는 동시에 미 세농도의 가스검출에 매우 뛰어난 성질을 갖고 있 다[5-10]. 그 중 SnO2는 대표적인 n-형 가스센서 재 료로서 여러 종류의 가스를 검출할 수 있어 다른 금 속산화물 재료보다 월등히 뛰어나 많이 연구가 되 고 있다[11-14]. 그러나 센서의 작동온도가 높고, 낮 은 가스 선택성, 느린 반응 및 회복속도로 인해 재 료의 성능을 향상시킬 수 있는 연구가 필수적이다.

최근 금속입자 기능화[15,16], Hollow 섬유 구조 제작[17,18], p-n 헤테로 접합형성을 위한 코어-쉘 구조[19-22]와 복합나노섬유 제작[6,23] 등의 다양 한 방법을 이용하여 센서의 가스 선택성 및 반응속 도를 향상시키는 연구가 진행 중이다. 그 중 헤테 로 접합이 형성된 나노섬유 가스센서의 경우 p-n접

*

Corresponding Author: Sang Sub Kim

Department of Materials Science & Engineering, Inha University

Tel: +82-32-860-7546 ; Fax: +82-32-862-5546

E-mail: [email protected]

(2)

합으로 인한 센서 고유 저항의 증가, 섬유를 구성 하고 있는 입자들로 인한 넓은 반응 표면적의 이유 로 센서 재료에서 매우 각광받고 있는 물질이다.

본 연구에서는 전기방사법을 이용하여 p-n 접합이 형성된 SnO2-Cr2O3복합나노섬유를 제작하고, CO2 스에 대한 가스 감응특성을 조사하였다. 전기방사법 은 나노재료를 제작하는 다양한 방법 중 상대적으로 저렴하고, 다량의 샘플제작이 용이하다는 점에서 널 리 이용되고 있는 방법이다[24,25]. 본 연구에서 합 성된 SnO2-Cr2O3 복합나노섬유는 가스와 감응이 가 능한 넓은 표면적을 갖는 동시에 기존의 SnO2나노 섬유에 CO2가스에 촉매역할을 하는 Cr2O3가 혼재되 어 CO2가스에 대한 감응성 및 선택성이 확인되었다.

2. 실험방법

그림 1은 나노섬유 용액을 합성하기 위한 용액 제조 과정의 모식도이다. 첫 번째 공정인 전기방사 법을 위해 용액을 다음과 같이 제작하였다.

Ethanol(J. T. Baker), N. N. Dimethylformamide (DMF, 99.8 %, Sigma-Aldrich Corp.)과 Poly Vinyl Acetate (PVAc, molar weight of ~850,000)를 4시간 동안 용해시켜 폴리머 용액을 형성하였다. 그 후, Tin(II) Chloride Dihydrate(SnCl2.2H2O, Sigma- Aldrich Corp.)와 Cr(NO3)2. 9H2O (99 % Sigma- Aldrich Corp.)를 첨가한 후, 12시간동안 용해시켰 다. 시편의 조성은 xSnO2-(1-x)Cr2O3 (x = 0.1, 0.5, 0.9) 범위로 조절하여 용액을 합성하였다.

합성된 용액을 전기방사법을 이용하여 나노섬유 를 합성하였다. 인가전압은 15kv, -10kv으로 고정하 고, Feeding Rate는 0.01 ml/h, 콜렉터와 바늘 사이 의 거리는 20 cm로 설정하여 15분동안 전기방사를 실시하였다.

두 번째 공정으로 제작된 나노섬유를 Air 분위기 에서 승온속도 10oC/min, 600oC에서 2시간 동안 하소를 실시하였다. 이 과정에서 고분자와 잔존용 매 등을 제거하는 동시에 산화물 상(Phase) 나노섬 유를 얻을 수 있었다.

전극을 형성하기 위해 세 번째 공정으로 제작된 나노섬유 시편을 금속 마스크를 이용하여 전극을 형성하였다. 전극은 스퍼터링(Sputtering) 증착법을 이용하여 Ti ~50 nm, Pt ~200 nm를 Ar가스 분위 기에서 증착시켰다.

나노섬유의 미세구조는 주사전자현미경(FE-SEM, Hitachi S-4200)를 이용하여 관찰하였고, 상 구조는 X-ray diffraction(XRD, Phillips X’pert MRD)를 이 용해 분석하였다.

3. 결과 및 고찰

SEM 이미지를 통해 SnO2-Cr2O3 복합체가 나노섬 유 형태로 형성되었음을 그림 2를 통해 확인하였다.

그림 2의 Inset 이미지들을 통해 As-spun 상태의 SnO2-Cr2O3 나노섬유가 하소과정 중 As-spun 상태 의 직경인 3.135 μm 에서 하소 후 약 1.33 μm 정 도로 감소하였음을 알 수 있다. 그림 2b, 2c, 2d에 각 조성별 나노섬유의 SEM이미지를 나타내었다.

나노섬유의 평균직경이 각각 1.24 μm, 1.32 μm, 1.43μm으로 측정되었고, 이를 통해 조성별 직경과

Fig. 2. FE-SEM images of (a) as-spun, (b) 0.5SnO

2

- 0.5Cr

2

O

3

, (c) 0.1SnO

2

-0.9Cr

2

O

3

, and (d) 0.9SnO

2

- 0.1Cr

2

O

3

composite nanofibers.

Fig. 1. Schematic illustration of the fabrication process

of SnO

2

-Cr

2

O

3

composite nanofibers-based gas

sensors.

(3)

형상의 차이가 거의 없음을 확인하였다.

SnO2와 Cr2O3 상의 형성 여부를 확인하기 위해 XRD 분석을 실시하였다. 그림 3에 0.5SnO2- 0.5Cr2O3 시편의 XRD 패턴을 나타내었다. SnO2 경우 26.52o와 51.7o에서 각각 (110), (211)면

(JCPDS No: 88-0287), Cr2O3의 경우 33.8o에서 (104)면 (JCPDS No: 84-0315)이 존재하는 것으로 판단하건대 SnO2와 Cr2O3 상이 잘 형성되었음을 알 수 있다.

0.1SnO2-0.9Cr2O3의 CO2가스에 대한 감응곡선과 감응도를 그림 4에 나타내었다. 감응도는 공기에서 의 저항(Ra)과 가스를 흘려주었을 때 감소된 저항 (Rg)의 비를 이용하여 계산하였다. 상온에서 CO2 1 ppm의 농도를 흘려주었을 때, 감응도는 1.01의 매 우 낮은 수치로 측정되었으며, 작동온도가 150oC 인 분위기에서는 1 ppm의 감응도가 약 1.167로 상 온에서 200oC의 작동온도 범위 중 가장 높게 측정 되었다. 그림 5에서는 0.5SnO2-0.5Cr2O3 조성의 시 편에 대한 CO2가스 감응을 나타내었다. 그림 5a에 있는 0.1SnO2-0.9Cr2O3 시편의 데이터에서 보인 바 와 같이 CO2가스와 감응 시 센서의 저항이 감소하 였다. 감응도는 그림 5b에 보이는 바와 같이 상온 에서 150oC까지 온도가 상승함에 따라 같이 증가 하였고, 150oC보다 높은 온도인 200oC에서는 감소 하는 경향을 보였다.

Fig. 3. Typical X-ray diffraction pattern taken from 0.5SnO

2

-0.5Cr

2

O

3

composite nanofibers.

Fig. 4. (a) Resistance curves of the 0.1SnO

2

-0.9Cr

2

O

3

nanofibers sensor towards various CO

2

concentrations at different temperatures. (b) Summary of corresponding responses.

Fig. 5. (a) Resistance curves of the 0.5SnO

2

-0.5Cr

2

O

3

nanofibers sensor towards various CO

2

concentrations at

different temperatures. (b) Summary of corresponding

responses.

(4)

n-type SnO2가 많이 포함된 0.9SnO2-0.1Cr2O3 데이터를 그림 6에 나타내었다. 타 조성의 샘플들 과 동일하게 상온에서도 CO2가스와 반응을 하였고, 모든 측정온도범위에서 CO2가스와 반응 시 센서의 저항이 감소하였다. 그러나 감응도가 가장 우수한 작동온도는 100oC로 측정되어 타 조성의 시편들과 차이점을 보였다. 센서의 감응도는 CO2를 10 ppm 농도로 흘려주었을 때, 100oC에서 1.062, 150oC 서 1.051로 측정되어 0.1SnO2-0.9Cr2O3와 0.5SnO2- 0.5Cr2O3에서의 감응도보다 낮은 특성을 보였다.

그림 4, 5, 6의 결과 모든 경우에 CO2가스의 농 도가 증가할수록 가스의 감응도(Ra/Rg)가 향상되고, 센서의 성능이 가장 우수한 150oC의 온도에서 0.1SnO2-0.9Cr2O3 조성의 경우 CO2 10 ppm의 감응 도가 1.188로 다른 조성의 경우(0.5SnO2-0.5Cr2O3 : 1.185, 0.9SnO2 - 0.1Cr2O3 : 1.051) 보다 더 높은 감응도를 나타내었다. 작동온도가 150oC일 때 CO2

가스의 농도 별 감응도를 그림 7에 정리한 결과, Cr2O3의 조성이 높아질수록 CO2가스에 대한 감응 도가 더 높음을 알 수 있다.

M. W. Abee의 연구팀과 U. A. Kitzinger 연구팀은 Cr2O3가 CO2와 상온에서 반응하면 Cr2O3의 표면에 Chromium Carbonate(Cr2(CO3)3)가 형성된다는 결과를 보고한 바 있다 [26,27]. 또한 M. R. -Nasarabadi의 연구팀은 Chromium Carbonate가 Cr2O3와 CO2 분해되는 결과를 보고하였다 [31]. Cr2O3와 CO2 반응하여 Cr2(CO3)3를 형성하는 화학반응식을 아래 의 식(1)에 나타내였다.

(1)

대기중의 CO2가 Cr2O3와 접촉하면 (1)번의 반응 식을 통해 Cr2O3 입자 표면에 Cr2(CO3)3가 형성되 는 과정에서 Cr2O3내부에 있는 전자와 SnO2의 전

Cr2O3+3CO2+2eCr2(CO3)3

Fig. 6. (a) Resistance curves of 0.9SnO

2

-0.1Cr

2

O

3

nanofibers sensor towards various CO

2

concentrations at different temperatures. (b) Summary of corresponding responses.

Fig. 7. CO

2

Responses of SnO

2

-Cr

2

O

3

nanofibers gas sensors at 150

o

C.

Fig. 8. Sensing mechanism operating in SnO

2

-Cr

2

O

3

composite nanofibers gas sensors: (a) modulation of

hole accumulation layer at the Cr

2

O

3

surface. (b)

n<<p. (c) n>>p.

(5)

자가 Chromium Carbonate 형성을 위해 Cr2O3의 표 면으로 이동한다. 그림 8a에 나타낸 바와 같이 Cr2O3 가 전자를 잃는 과정에서 Cr2O3의 입자 표면에서는 p-type 물질의 전도층인 HAL (Hole Accumulation Layer)의 두께가 증가되어 센서의 전체적인 저항이 감소하게 된다. 조성에 따른 감응도 차이의 원인을 HAL 면적의 차이를 바탕으로 그림 8b와 8c에 설 명하였다. Cr2O3의 조성이 높은 그림 8b의 경우 HAL의 면적이 넓어 저항의 감소가 상대적으로 크 기 때문에 가스에 대한 감응도가 클 것이다. 반면, SnO2의 조성이 Cr2O3의 조성보다 많은 그림 8c의 경우에는 HAL의 면적이 적어 저항의 감소가 작기 때문에 감응도가 낮을 것으로 판단된다.

본 연구팀에서는 p-n 헤테로 접합을 갖는 복합나 노섬유를 제작하여 H2, H2S, NO2가스에 선택성을 갖는 산화물 반도체 가스센서에 관한 연구를 보고 한 바 있다 [6,23,24]. 해당 연구결과에서는 1차원 나노재료 가스센서의 기본 메커니즘인 Radial Mod- ulation Mechanism, Grain Boundary Mechanism 더해 RGO (Reduced Graphene Oxide)의 촉매역할,

ZnO와 CuO 입자포면에서의 Metallic Transformation 의 영향이 추가적으로 발생하여 특정 가스에 대한 선택성을 향상시켰다는 이론을 제시한 바 있다. 본 연구에서는 Cr2O3가 Chromium Carbonate로 상변태 하는 과정을 기반으로 하는 촉매역할이 나노섬유 가스센서의 기본 메커니즘에 추가되어 CO2가스에 대한 선택성을 향상되었다고 추정할 수 있다.

합성된 SnO2-Cr2O3 복합나노섬유의 CO2에 대한 선택적 감응성능을 조사하기 위해 Benzene, Toluene, CO가스에 대한 감응도를 작동온도 150oC에서 측 정하였으며, 그 결과를 그림 9에 정리하였다. CO2

가스에 대한 감응성이 가장 우수한 0.1SnO2-0.9Cr2O3 복합섬유에 대해 비교해 보면 Benzene, Toluene, CO 모두 약 1.0006 정도로 CO2가스에 비해 매우 낮은 감응도를 보였다. 따라서 본 연구에서 합성된 SNO2-Cr2O3 복합나노섬유는 Cr2O3가 Chromium Carbonate로 상변태하는 촉매역할이 추가되어 타 가 스보다 CO2가스에 매우 높은 선택성을 갖는다는 것 을 추론할 수 있다.

나노재료를 기반으로 하는 가스센서의 경우 재현 성이 낮아 재현성을 향상시키는 연구가 필요하다

Fig. 9. (a) Resistance curves of the 0.1SnO

2

-0.9Cr

2

O

3

composite nanofibers sensor towards various concentrations of benzene, CO, toluene at 150

o

C. (b) Summary of gas responses of 0.1SnO

2

-0.9Cr

2

O

3

nanofibers sensor.

Fig. 10. (a) Resistance curves and (b) Responses of

reproduced SnO

2

-Cr

2

O

3

nanofibers gas sensors at

150

o

C.

(6)

[28,29]. 제작된 센서소자의 재현성을 조사하기 위 해 그림 4, 5, 6의 복합나노섬유와 동일한 조성의 복합나노섬유를 합성하여 CO2가스에 대한 감응도 를 150oC 온도에서 측정하였다. 그림 10에 정리된 바와 같이 세 조성의 복합나노섬유는 모두 기존과 매우 유사한 가스감응 거동을 보였고, 감응도 역시 0.1SnO2-0.9Cr2O3에서 가장높에 나타났다. 따라서 본 연구에서 합성된 SnO2-Cr2O3나노섬유를 이용하여 제작된 센서소자는 재현성이 높고, 신뢰성이 우수 함을 알 수 있다.

4. 결 론

CO2에 선택성을 갖는 가스센서의 제작을 위해, SnO2- Cr2O3복합나노섬유를 전기방사법을 이용하여 0.1SnO2- 0.9Cr2O3, 0.5SnO2-0.5Cr2O3, 0.9SnO2-0.1Cr2O3 세 종류 의 조성으로 합성하였다. 150oC의 작동온도에서 0.1 SnO2-0.9Cr2O3 시편에서 감응도가 가장 높게 측정 되었고, SnO2의 함유량과 관계없이 모든 조성의 시 편에서 CO2가서를 흘려주었을 경우 저항이 감소하 는 경향을 보였다. 이는 Cr2O3 표면이 CO2가스와 반응 시 Chromium Carbonate의 형성으로 인해 HAL의 두께가 증가하여 저항이 감소하기 때문으 로 추정된다. Benzene, CO, Toluene 가스의 감응도 가 CO2의 감응도에 비해 현저히 낮게 측정되어 CO2

가스에 대한 선택적 검출 가능성을 확인하였다. 또 한 Cr2O3의 양이 증가할 수 록 HAL의 면적이 넓 어지면 저항 변화의 폭이 같이 증가하여 CO2가스 에 대한 감응도가 향상되었다.

Acknowledgement

이 논문은 2016년도 정부(교육부)의 재원으로 한 국연구재단의 지원을 받아 수행된 기초연구사업임 (2016R1D1A1B03935228).

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수치

Fig. 2. FE-SEM images of (a) as-spun, (b) 0.5SnO 2 - -0.5Cr 2 O 3 , (c) 0.1SnO 2 -0.9Cr 2 O 3 , and (d) 0.9SnO 2  -0.1Cr 2 O 3  composite nanofibers.
Fig. 4. (a) Resistance curves of the 0.1SnO 2 -0.9Cr 2 O 3 nanofibers sensor towards various CO 2  concentrations at different temperatures
Fig. 8. Sensing mechanism operating in SnO 2 -Cr 2 O 3 composite nanofibers gas sensors: (a) modulation of hole accumulation layer at the Cr 2 O 3  surface
Fig. 10. (a) Resistance curves and (b) Responses of reproduced SnO 2 -Cr 2 O 3  nanofibers gas sensors at 150 o C.

참조

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