GaAs ü; c V R ËX ê sS â Ã Å ZnSe ; cY «8 ý Photoreflectance ¤V R Ë
»® £g ` @ · 9 - > Ú
∗· T ò 6 B] > · + ä ' å ç ¡
% ò
z @ / < Æ § Ó ü t o < Æõ , â í ß 712-749
) í <+ ä ¸
â
î r @ / < Æ § | » ¡ ¤¨ 8 â Ò q t" î < ÆÂ Ò, ½ ¨p 730-850 (2002¸ 10 Z 4 7{ 9 ~ à Î6 £ §)
Molecular beam epitaxy(MBE)Z O Ü ¼ Ð $ í © r ZnSe/GaAs \ x 8 £ x_ F g < Æ& h : £ ¤$ í ` ¦ photore- flectance(PR) Z O Ü ¼ Ð ì r$ 3 % i . © : r PR Û ¼& 7 à Ô! 3 \ " f 1.4ü < 2.7 eV H % \ " f ' a8 £ ¤ ) a ñ H y
y GaAsü < ZnSe_ { ç ß \ -t \ ' aº ) a ñs . ZnSe_ Á º î r & ñ / B N õ ! 9î r & ñ / B N_ ì r o
РÒ' ZnSe \ x 8 £ x s ¢ - a y s ¢ - a ) a © I m  Òì r& h Ü ¼ Ð s ¢ - a ) a © I s 9, GaAs % ò % i \
"
f ' a8 £ ¤ ) a ¿ º > h_ × æ^ o ? ) a ñ H y y ZnSe/GaAsü < GaAs/GaAs_ > \ " f y y è ß ñs
. : r ¸ o\ É r z ´+ « >\ " f H ZnSe ' aº ) a ñ[ þ t s y \ x 8 £ x_ > \ " f_ & ñ à º» ¡ ¤ s
#
× æ^ o ? ) a > _ ñ[ þ t s ì r o ÷ &# Q z ¤Ü ¼ 9, Varshni ' a > d Ü ¼ РÒ' ZnSeü < GaAs_ : r ¸> Ã
º (∆E / ∆T)\ ¦ ½ ¨ % i .
PACS numbers: 78, 66.F
Keywords:Fg¸ ìrFgZO, e>¿ºa, >
I. " e  ] Ø
þ
j H ì r \ x à Ìr (molecular beam epitaxy; MBE)
F K5 Å q Ä »l o < Æ l ^ 7 £ x Ã Ì (metal-organic chemical vapor deposition; MOCVD)1 p x õ ° ú É r ì ø Í ¸^ $ í © l Õ
ü
t_ µ 1 Ï Ü ¼ Ð ¦¾ ¡ §| 9 _ ZnSe \ x 8 £ x_ $ í © s 0 p x
>
÷ &% 3 . a-e7 á ¤ o½ + ËÓ ü t ì ø Í ¸^ ZnSe H © : r \ " f
2.68 eV_ { ç ß ` ¦ t H ' õ AÒ o> \ P µ 1 ÏF g è _ ]
j \ e # Q" f B Ä º × æ כ ¹ô Ç Ó ü t| 9 s . : £ ¤ y , a-e o½ + Ë Ó
ü
t ì ø Í ¸^ \ ¦ l í Ð H ' õ AÒ o> \ P µ 1 ÏF g è _ ] j \
"
f & ñ < Ês & h É r ZnSe \ x 8 £ x $ í © \ @ /ô Ç ½ ¨ H V ,
o s À Ò# Qt ¦ e . Õ ª Q , b-d7 á ¤ o½ + ËÓ ü t ì ø Í ¸^
\
q # s : r$ í s y © ¦, $ í ì r 7 £ x l · ú s Z } l M :ë H
\
? /·ü @Â Ò& h < Ês µ 1 ÏÒ q t÷ &l ~ 1 . ZnSe_ © Ã º
H 5.668 s 9, GaAs_ © Ã º H 5.653 Ü ¼ Ð, GaAs l ó ø Í 0 A\ $ í © H â Ä º 0.27 % & ñ ¸_ Â Ò& ñ ½ + Ë(lattice mismatch) Ü ¼ Ð K ZnSe \ x 8 £ x É r > \ ê ø Íô Ç ~ ½ Ó ¾ Ó Ü
¼ Ð s » ¡ ¤$ í 6 £ x§ 4 (biaxial compressive stress)` ¦ ~ Ã Î> ÷ &
#
Q ½ ¨ ¸\ + þ A` ¦ { 9 Ü ¼v > ÷ & ¦, ZnSeü < GaAs_
>
\ + þ A\ _ ô Ç s ¢ - a õ 0 A_ % ò ¾ ÓÜ ¼ Ð > : £ ¤$ í
∗email: [email protected]
s
$ ÷ & 9, s Qô Ç + þ A É r ZnSe \ x 8 £ x_ ¿ ºa \ É r
?
/Â Ò 0 A(built-in potential) o\ ¦ 4 Rü < Y Us $ s
¸× ¼(laser diode; LD) [1]ü < ° ú É r è ] j r ~ 1 > \ P o
&
³ © ` ¦ { 9 Ü ¼v H é ß & h s e [2]. ¢ ¸ô Ç, ZnSeü < GaAs_
>
\ Znü < As, Gaõ Se_ ½ + ËÜ ¼ Ð ô Ç < Ê ï r0 A _
+ þ A$ í s : £ ¤ y ´ ú §s { 9 # Qè ß . s Q < Ê\ ¸ Ô ¦ ½ ¨ ¦, µ
1 ÏF g s ¸× ¼(light emitting diode; LED), Y Us $ s
¸× ¼, F g Ø ¦ l (photodetector; PD) [3] 1 p x_ ' õ A0 l qÒ o >
\ P
_ F g è ] j \ ¦ 9½ + É ë ß . s Qô Ç ½ ¨ ¸_ $ í © r
+ þ A$ í ÷ & H < Ê © I (defect state) x 9 + þ A 1 p x É r X-
r] X (X-ray diffraction; XRD), f ¨ Ã º(absorption), F g À Òp W
1G ' pÛ ¼ (photoluminescence; PL), F g À Ó(photocurrent;
PC), F g6 x| ¾ Ó(photocapacitance; PCAP) [4] 1 p x_ 8 £ ¤& ñ Ü ¼
Ð ½ ¨ à º ' ÷ &# Q M ® o . : r ½ ¨\ " f H ì ø Í] X $ í GaAs l ó ø Í0 A\ ì r \ x à Ìr (molecular beam epi- taxy; MBE) Z O Ü ¼ Ð $ í © ) a 5000 ˚ A_ ZnSe \ x 8 £ x_ F g
<
Æ& h : £ ¤$ í ` ¦ photoreflectance(PR) ì rF gZ O Ü ¼ Ð ¸ ì r
$
3 % i . PR 8 £ ¤& ñ Ü ¼ Ð ZnSeü < GaAs s 7 á x] X ½ + Ë > \
"
f + þ A\ _ K è ß GaAs { ç ß \ -t _ ¦ \ - t
Ð_ s 1 l x õ ZnSe @ /_ Á º î r & ñ / B N õ ! 9î r
&
ñ / B N_ ì r o \ ¦ ' a8 £ ¤ % i Ü ¼ 9, : £ ¤ y , ZnSeü < GaAs >
\
> r F H ï ß # (residual) + þ A\ _ ô Ç > : £ ¤$ í _
oü < r « Ñ_ : r ¸ _ > r$ í ` ¦ ¸ % i .
-357-
II. ÷ m Ç ] M ö
: r ½ ¨\ " f 6 x ) a r « Ñ H MBEZ O Ü ¼ Ð ì ø Í] X $ í GaAs l ó ø Í 0 A\ 1500 ˚ A_ GaAs ¢ - aØ æ8 £ x (buffer layer)\ ¦
$ í
© r v ¦, Õ ª 0 A\ 5000 ˚ A_ ZnSe \ x 8 £ x` ¦ $ í © r (
. PR 8 £ ¤& ñ É r ¸ c Ü ¼ Ð 0.1 mW/cm
2He-Ne Y Us
$
(633 nm)\ ¦ 6 x % i ¦, Y Us $ _ ¸ Å Ò Ã º H F g é
ß 5 Å q l \ ¦ s 6 x # ¸] X % i . # l F g " é ¶ Ü ¼ Ð H 250 W ) í
Û ¼J $ -½ + É Ð p Ï þ á Ô\ ¦ 6 x # s \ ¦ í& h o 0.27 m ì rF g l (Spex 270M)\ E $ Ý ¼ Ð | 9 5 Å q r ( . s ì rF g l
\ ¦ : x K ¸ H é ß Ò oF g` ¦ r « Ñ\ { 9 r & , r « Ñ ÐÂ Ò '
ì ø Í ÷ & H y n C` ¦ p-i-n Si F g Ø ¦ l Ð Ø ¦ # lock-in 7
£
x; ¤ l (EG & G 5302) Ð 7 £ x; ¤ô Ç ° ú כ` ¦ ( É Ó' Ð ~ Ã Î [ þ t
%
i . : r ¸_ > r z ´+ « > É r CTI cryogenics(Model 22) He í H
¨ 8
~ ½ Ód ` ¦ s 6 x # , 14 ∼ 300 K\ " f à º' % i .
III. + s ÇÊ Ý õ m Í À X Ø8 ý
Õ
ªa Ë > 1 É r ZnSe/GaAs s 7 á x] X ½ + Ë ½ ¨ ¸\ ¦ © : r \ " f 8 £ ¤& ñ ô
Ç PR Û ¼& 7 à Ô! 3 Ü ¼ Ð, GaAs { ç ß \ -t \ _ ô Ç ñ
1.4 eV H % \ " f ' a8 £ ¤ ÷ &% 3 . Õ ªa Ë >\ " f Ð1 p w s , { ç
ß \ -t Â Ò H \ " f ¿ º > h_ ñ × æ^ o ?÷ &# Q e H כ
Õ
ªa Ë > 1. © : r \ " f ZnSe/GaAs_ PR Û ¼& 7 à Ô! 3 .
`
¦ ^ ¦ Ã º e H X <, s \ ¦ I õ II Ð ? /% 3 . s Qô Ç × æ^ o ?
)
a { ç ß \ -t _ ' a8 £ ¤ É r ¿ º t _ 0 p xô Ç H" é ¶ Ü ¼ Ð Ò q
ty K ^ ¦ Ã º e . { ç ß \ -t ? /\ " f + þ A$ í ) a < Ê ï
r0 A_ Ö ¸$ í o Ð # GaAs { ç ß \ -t ü < × æ^ o ?
)
a â Ä º [5]ü < ZnSe \ x 8 £ x õ GaAs ¢ - aØ æ8 £ x s _ >
\
_ ô Ç l # ü < GaAs ¢ - aØ æ8 £ x õ GaAs l ó ø Í s _ >
\
_ ô Ç PR ñ_ l # ü <_ × æ^ o ? [6]\ _ ô Ç כ s . Õ ª a Ë
>\ " f Å Ò ) a PR ñ_ 0 Au 1.4 eV כ Ü ¼ Ð ^ ¦ M :, PR ñ_ × æ^ o ?_ © 0 p xô Ç H" é ¶ É r Ê ê \ _ ô Ç כ Ü
¼ Ð « Ñ÷ &# Qt 9, 1.3 eV\ " f ' a8 £ ¤ ) a Å Ò ¨ î ò ø Íô Ç
ñ H { ç ß \ -t ? /\ + þ A$ í ) a < Ê ï r0 A_ Ö ¸$ í Ü ¼
Ð è ß כ Ü ¼ Ð Ò q ty ) a . Õ ªo ¦ 2.7 eV\ " f ' a8 £ ¤
)
a PR ñ H ZnSe { ç ß \ -t \ _ ô Ç ñs 9, ç ß
q @ /g A + þ AI _ # QL : ñ(shoulder peak) ' a8 £ ¤ ÷ &% 3
. GaAs l ó ø Í0 A\ ZnSe \ x 8 £ x` ¦ ~ Õ ª Qf (tetragonal distortion), 7 £ ¤ # QF M l (lattice dislocation) \ O s à º
¨ î
~ ½ Ó ¾ Óõ à ºf ~ ½ Ó ¾ ÓÜ ¼ Ð © à º ² ú t > , à »Ä º ¸+ þ A Ü
¼ Ð $ í © H e > ¿ ºa (critical layer thickness; CLT)
H 0.17 µms 9, s â Ä º\ ZnSe \ x 8 £ x É r © Ã
º s \ _ ô Ç + þ A§ 4 ` ¦ ~ Ã Î> ) a . s Qô Ç + þ A§ 4 É r ZnSe \ x 8 £ x_ » ¡ ¤@ ) a Á º î r & ñ / B N(heavy-hole; E
HH) õ
! 9î r & ñ / B N (light-hole; E
LH)` ¦ ì r o r v H % i ½ + É` ¦ ô Ç
. ZnSe \ x 8 £ x` ¦ s Qô Ç e > ¿ ºa Ð ¿ º, > $ í ©
>
÷ & , ZnSeü < GaAs s _ > \ # QF M l
µ
1 ÏÒ q t # ZnSe \ x 8 £ x É r s ¢ - a(relaxation) ÷ & 9, s ¢ - a ) a ZnSe \ x 8 £ x É r $ í © : r ¸\ " f z ´ : r Ü ¼ Ð ° ú Ã º2 ¤ GaAs ü <
_
\ P Ø ½ Ó > Ã º_ s Ð # + þ A` ¦ ~ Ã Î> ) a . Õ ª a Ë
>\ " f ^ ¦ Ã º e 1 p w s ZnSe \ x 8 £ x_ PR ñ q @ /g A Ü
¼ Ð # QL : ñ ' a8 £ ¤ ) a כ É r s Qô Ç + þ A_ " é ¶ \ _
# , E
HHü < E
LH Ð ì r o ) a כ s . Õ ª Q , ZnSe \ x 8
£
x_ ¿ ºa 5000 ˚ A כ ` ¦ ¦ 9 ZnSe H Â Òì r& h Ü
¼ Ð s ¢ - a ) a © I s Ù ¼ Ð, Á º î r & ñ / B N õ ! 9î r & ñ / B N_ ì
r o ) a ª É r B Ä º É r כ Ü ¼ Ð « Ñ ) a . Õ ª QÙ ¼ Ð ¿ º > h _
× æ^ o ? ) a PR ñ # QL : ñ Ð ' a8 £ ¤ ) a כ s . ì ø Í ¸
^
\ @ /ô Ç PR ñ\ " f ¸i ç 0 l x ¸\ ' aº ) a ? /Â Ò l © [
jl \ Z } É r l © © I (high-field condition)ü < ± ú
É
r l © © I (low-field condition) Ð Ð ü t à º e . $ l
© â Ä º\ H 6 £ § õ ° ú s 3 p ì r < ÊÃ º + þ AI (third derivative functional form; TDFF) Ð è ß [7,8].
∆R/R = Re[ X
Ce
iθ(E − E
0+ iΓ)
−n] (1)
#
l " f C, θ, E, E
0Õ ªo ¦ Γ H y y ; ¤, 0 A © , probe c
_ \ -t , r « Ñ_ { ç ß \ -t ü < ¨ î ò ø Í s . n
É r e > & h ¸ ª (critical point type)Ü ¼ Ð" f n=2, 2.5 x 9
Õ
ªa Ë > 2. # l F g [ jl \ É r ZnSe/GaAs_ PR Û ¼& 7 à Ô .
3 Ü ¼ Ð è q à º e Ü ¼ 9, y y " l or : r, 3 " é ¶ x 9 2 " é ¶ {
s _ s \ K { © ô Ç . Õ ªa Ë > 1\ " f z ´ É r z ´+ « >° ú כ s
9, & h É r 0 A_ ~ ½ Ó& ñ d (1)` ¦ x h Aô Ç õ Ð z ´+ « >° ú כ õ _ { 9 u < Ê` ¦ · ú Ã º e .
Õ
ªa Ë > 2 H GaAs % ò % i \ " f ' a8 £ ¤ ) a I õ II_ H" é ¶` ¦ µ 1 ß y
l 0 AK , ¸ F g [ jl \ 8 £ ¤& ñ ô Ç PR Û ¼& 7 à Ô! 3 s
. r « Ñ_ ¸ F g [ jl _ _ > r$ í É r Ô ¦í HÓ ü t \ _ ô Ç
ñü < $ í (intrinsic)\ _ ô Ç ñ\ ¦ µ 1 ßy H X < B Ä º Ä »6 x
> 6 x ) a . $ í \ _ ô Ç ñ_ [ jl H ¸ F g [ jl _
7 £ x \ + þ A& h Ü ¼ Ð 7 £ x , Ô ¦í HÓ ü t \ _ ô Ç
ñ_ [ jl H \ ¦ Ã º6 x½ + É Ã º e H F g < Æ& h é ß (optical cross section)_ í o & ³ © Ü ¼ Ð 7 £ x H F g [ jl \ @ /K
"
f í o â ¾ Ó` ¦ ¸ ú Ð# ï r . ¢ ¸ô Ç, ¸ F g_ g Ë >È Ò U · s
(optical penetration depth)\ ¦ ¦ 9K Ð , ¸ F g_ [
jl \ PR ñ\ @ /ô Ç l # ¸ H r « Ñ_ U ·s \ _
> rô Ç . Õ ªa Ë >\ " f ¸ F g_ [ jl 7 £ x < Ê\ PR
ñ_ + þ AI H o \ O H ì ø Í , PR ñ_ [ jl 7 £ x
÷
& H כ ` ¦ ^ ¦ Ã º e ¦, GaAs { ç ß \ -t % ò % i \ " f I õ II_ PR [ jl _ ñ 7 £ x Ö ¦ s 2 £ §` ¦ · ú Ã º e . s
H $ Iõ II_ H" é ¶ s Ô ¦í HÓ ü t s כ ` ¦ & ñ ô Ç
, r « Ñ_ U ·s s H, \ V\ ¦ [ þ t , ZnSe/GaAsü <
GaAs/SI-GaAs > % ò % i õ ° ú É r É r % ò % i \ " f_ l #
\
_ ô Ç כ s .
Õ
ªa Ë > 3. ¸ Å Ò Ã º\ É r ZnSe/GaAs_ PR Û ¼& 7 à Ô .
Õ
ªa Ë > 3 É r ¸ Å Ò Ã º_ o\ É r PR Û ¼& 7 à Ô \ ¦
? /% 3 . Iõ II_ H" é ¶` ¦ r « Ñ_ U ·s \ É r l # ¸ _ s \ _ ô Ç כ ` ¦ & ñ % i l M :ë H \ , ¸ Å Ò Ã º_ 7
£
x \ É r ¸ F g_ g Ë >È ÒU ·s _ o\ ¦ s 6 x % i .
Õ
ªa Ë >\ " f ^ ¦ Ã º e 1 p w s 8 £ ¤& ñ : r ¸ 300K\ " f PR Û ¼& 7 à Ô
!
3 _ ; ¤ É r Å Ò Ã º 7 £ x \ Iõ II_ ñ_ [ jl \ ¦ q
§K Ð , ¸ Å Ò Ã º_ 7 £ x \ II_ PR ñ _ [ jl H q §& h o & h É r ì ø Í , I_ ñ_ [ jl H 1.7 kHz \ " f _ כ ` ¦ ^ ¦ Ã º e . s Qô Ç & ³ ©
É
r ¸ Å Ò Ã º_ 7 £ x \ ¸ F g_ g Ë >È Ò U ·s  ú ª
t l M :ë H \ © @ /& h Ü ¼ Ð GaAs/SI-GaAs_ > \ _ ô
Ç PR ñ_ l # & h # Qt l M :ë H s . Õ ª QÙ ¼ Ð, % ò
%
i I H ZnSe/GaAs_ > õ b # Q4 R e H % ò % i \ " f_ l
#
¦ ´ ú ½ + É Ã º e . s H Shen 1 p x [9,10] s Ð ¦ô Ç õ ü
< ° ú s ¸ c _ g Ë >È ÒU ·s H Å Ò Ã º 7 £ x ½ + É Ã º2 ¤ y
è l M :ë H s .
{ 9
ì ø Í& h Ü ¼ Ð e _ & h 0 A © y _ o H × æ^ o ? ) a PR
ñ\ ¦ ì r o H X < B Ä º Ä »6 x > æ ¼s ¦ e . Õ ªa Ë > 4 H GaAs_ % ò % i \ " f ' a8 £ ¤ô Ç Iõ II_ H" é ¶` ¦ µ 1 ßy l 0 AK , 0
A © y o\ PR 8 £ ¤& ñ ` ¦ # Iõ II_ x ß ¼\ ¦ y y
ì r o % i . Õ ªa Ë >\ " f 82.6
◦\ ¦ l ï r ñ Ð ¦, 0 A © y
` ¦ e _ Ð | Ã Ì 7 £ x; ¤ l \ ¦ s 6 x # y èr v " f 8 £ ¤& ñ
% i . 0 A © y s y è < Ê\ ¿ º > h_ % ò % i \ _ K × æ
Õ
ªa Ë > 4. 0 A © y \ É r ZnSe/GaAs_ PR Û ¼& 7 à Ô .
^ o
? ) a PR ñ & h & h ì r o ÷ & 9, 0 A © y s -17.3
◦\ " f
H Ì º§  s Iõ II\ _ ô Ç ñ ì r o ) a כ ` ¦ ^ ¦ à º e .
Õ
ª QÙ ¼ Ð, GaAs % ò % i \ " f ' a8 £ ¤ ) a × æ^ o ? ) a ñ H ¿ º > h _
% ò % i \ " f l ) a ñ × æ^ o ?÷ &# Q è ß כ e ` ¦ S X z
´y · ú Ã º e . · ú ¡\ " f r / å Lô Ç ü < ° ú s Iõ II_
\
-t ° ú כ` ¦ q §K Ð GaAs/SI-GaAsü < ZnSe/GaAs
>
\ _ ô Ç כ s ¦ Ò q ty ½ + É Ã º e . s H GaAs/SI- GaAs > É r ZnSe \ x 8 £ x õ / B Nç ß & h Ü ¼ Ð q §& h ´ ú §s b
# Q4 R e l M :ë H \ + þ A_ % ò ¾ Ó` ¦ _ ~ Ã Ît · ú §l M :ë H
\
{ ç ß \ -t _ s 1 l x s _ \ O H ì ø Í , II_ " é ¶ s
÷
& H ZnSe/GaAs > É r + þ A_ % ò ¾ Ó` ¦ ~ Ã Î GaAs_ { ç
ß \ -t ¦ \ -t Ð s 1 l x ) a כ s .
Õ
ªa Ë > 5 H ZnSe_ % ò % i \ " f ' a8 £ ¤ ) a # QL : ñ_ H" é ¶
`
¦ µ 1 ßy l 0 AK , 8 £ ¤& ñ : r ¸\ É r PR Û ¼& 7 à Ô \ ¦
?
/% 3 . : r ¸_ y è\ # QL : ñ Ì º§  s
H כ ` ¦ ^ ¦ Ã º e . s Qô Ç & ³ © É r # QL : ñ\ ¦ s À
Ò H ¿ º > h_ ñ_ : r ¸\ É r & ñ à º» ¡ ¤ s Ø Ô
H כ ` ¦ ? / 9, s H Á º î r & ñ / B N(E
HH) õ ! 9î r & ñ /
B N(E
LH)_ l # \ _ ô Ç כ e ` ¦ · ú Ã º e . Õ ªa Ë >\ " f ^ ¦ Ã
º e 1 p w s ZnSe \ x 8 £ x É r · ú » ¡ ¤ 6 £ x§ 4 ` ¦ ~ Ã Î ¦ e Ü ¼Ù ¼ Ð, Á
º î r & ñ / B N \ _ ô Ç l # ! 9î r & ñ / B N \ _ ô Ç כ Ð
¦ \ -t \ " f z ¤ . 0 A_ 7 H_ \ ¦ : x K © : r \ " f 8 £ ¤
&
ñ ô Ç ZnSe { ç ß \ -t ñ\ " f # QL : ñ Ð ' a8 £ ¤ Õ
ªa Ë > 5. : r ¸ o\ É r ZnSe/GaAs_ PR Û ¼& 7 à Ô .
)
a כ É r Á º î r & ñ / B N õ ! 9î r & ñ / B N \ _ K è ß כ Ü
¼ Ð · ú Ã º e % 3 ¦, s כ É r e > ¿ ºa Ð ¿ º, > $ í ©
%
i Ü ¼ , ¢ - a y s ¢ - a ) a © I m , Â Òì r& h Ü ¼ Ð s ¢ - a
)
a © I Ð ZnSe \ x 8 £ x s > r F ¦ e 6 £ §` ¦ · p . ¢ ¸ ô
Ç s Qô Ç Â Òì r& h s ¢ - a É r ZnSe/GaAs > \ H + þ A _
% ò ¾ Ós p u l M :ë H \ GaAs_ { ç ß \ -t s 1
l
x ÷ &t ë ß , GaAs/SI-GaAs_ > \ H % ò ¾ Ó` ¦ Å Òt · ú §6 £ §
`
¦ · ú ¤ . : r ¸ y è < Ê\ Ó ü t| 9 _ ½ × ¼Ì ss 4
R PR ñ H ¦\ -t A á ¤ Ü ¼ Ð s 1 l x < Ê` ¦ · ú Ã º e H X <,
: r ¸ 14 K\ " f GaAsü < ZnSe H © : r \ q K y y ∼83.9,
∼109.4 meV s 1 l x` ¦ % i . ³ ð 1 É r A _ Varshni x h A d
[11]Ü ¼ Ð x h Aô Ç õ s .
E
0(T ) = E
0(0) − αT
2/(β + T ) (2)
³
ð 1. : r ¸ _ > r$ í Ü ¼ ÐÂ Ò' % 3 # Q ZnSe/GaAs_ Varshni : r ¸> Ã º.
E
0α β ∆E/∆T
(eV) (10
−4eV/K) (K) (10
−4eV/K)
1.518 5.2 202 3.86
GaAs 1.52
[12]5.4
[12]204
[12]3.89
[13]2.80 5.5 198 3.61
ZnSe 2.99
[14]5.78
[14]175
[14]-
#
l " f, E
0(0) H 0 K \ " f_ { ç ß \ -t s ¦, αü <
β H Varshni > Ã ºs .
IV. + s Ç Â ] Ø
Molecular beam epitaxy (MBE) Z O Ü ¼ Ð $ í © r ZnSe/GaAs \ x 8 £ x_ F g < Æ& h : £ ¤$ í ` ¦ photoreflectance (PR) Z O Ü ¼ Ð ì r$ 3 % i . © : r PR Û ¼& 7 à Ô! 3 \ " f 1.4 ü < 2.7 eV H % \ " f ' a8 £ ¤ ) a ñ H y y GaAsü <
ZnSe_ { ç ß \ -t \ ' aº ) a ñs . ZnSe_ Á º
î r & ñ / B N õ ! 9î r & ñ / B N_ ì r o Ð Â Ò' ZnSe \ x 8 £ x s
¢ -
a y s ¢ - a ) a © I m  Òì r& h Ü ¼ Ð s ¢ - a ) a © I s
9, GaAs % ò % i \ " f ' a8 £ ¤ ) a ¿ º > h_ × æ^ o ? ) a ñ H y y
ZnSe/GaAsü < GaAs/GaAs_ > \ " f y y è ß
ñs ¦, s \ ¦ : x # Â Òì r& h Ü ¼ Ð s ¢ - a ) a ZnSe \ x 8 £ x
\
_ # ZnSe/GaAs > s % ò ¾ Ó` ¦ ~ Ã Î6 £ §` ¦ · ú Ã º e
. : r ¸ o\ É r z ´+ « >\ " f H ZnSe ' aº ) a ñ[ þ t s
y \ x 8 £ x_ > \ " f_ & ñ à º» ¡ ¤ s # × æ^ o ? ) a
>
_ ñ[ þ t s ì r o ÷ &# Q z ¤Ü ¼ 9, Varshni ' a > d Ü
¼ Ð ½ ¨ô Ç ZnSeü < GaAs_ : r ¸> Ã º (∆E/∆T) H y y 3.61 ×10
−4eV/K ü < 3.86×10
−4eV/K s 9, s \ -t
H ¸$ í Ó ü t| 9 _ { ç ß \ -t o\ _ ô Ç כ ` ¦ · ú Ã º e
.
Y c
p w à U Ø ô
[1] N. Nakyama, S. Itoh, T. Ohata, K. Nakano, H. Ok-
uy ama, K. Ozawa, A. Ishibashi, M. Ikeada and Y.
Mori, Electron. Lett. 29, 1488 (1993).
[2] R. L. Gunshor, J. Han, G. C. Hua and A. V. Nu- mikko, J. Cryst. Growth 159, 1 (1996).
[3] H. Hong. W. A. Anderson and J. Haetty, J. Appl.
Phys. 84, 2328 (1998).
[4] M. Germain, M. El Yacoubi, R. Evrard, W. Taudt and M. Heuken, J. Cryst. Growth 184/185, 199 (1998).
[5] R. F. Kirkman, R. A. Stradling and P. J. Lin-Chung, J. Phys. C 11, 419 (1978).
[6] T. K. Sharma and Shailendra Kumar, Appl. Phys.
Lett. 79, 1715 (2001).
[7] W. Zhou, C. H. Perry, L. Ma, K. S. Lee, J. M. Wor- lock, A. Zrenner, F. Koch and K. Ploog, J. Appl.
Phys. 69, 4057 (1991).
[8] D. P. Wang and C. T. Chen, J. Appl. Phys. 78, 2117 (1995).
[9] H. Shen, Z. Hang, S.H. Pan and Fred H. Pollak, Appl. Phys. Lett. 52, 2058 (1998).
[10] H. Shen, M. Dutta, W. Buchwald and L. Fotiadis, Appl. Phys. Lett. 59, 321 (1991).
[11] Y. P. Varshni, Physica 34, 149 (1967).
[12] J. S. Blackmore, J. Appl. Phys. 53, R123 (1982).
[13] J. Camassel, D. Auvergne and H. Mathieu, J. Appl.
Phys. 74, 749 (1993).
[14] R. C. Tu and Y. K. Su, J. Appl. Phys. 83, 1664
(1998).
Study of the Photoreflectance of ZnSe Epilayers Grown on GaAs
Ju-Hyun Kim, In-Ho Bae, Dong-Yul Lee and Myoung-Rang Jung Department of Physics, Yeungnam University, Kyoungsan 712-749
Jeong-Sik Son
School of Architecture, Environment and Life Science, Kyungwoon University, Kumi 730-850 (Received 7 October 2002)
We used photoreflectance (PR) measurements to study stress effects on and interface states of ZnSe/GaAs epilayers grown by molecular beam epitaxy. In PR the spectrum measured at room temperature, we observed two peaks correspond to the band gap of ZnSe and GaAs at the 1.4 and 2.7 eV, respectively. The appearance of the shoulder peak shows that the degenerate valence band is separated into heavy- and light-hole bands, resulting in a tensile stress on the ZnSe epilayer. Also, the two superposed peaks at the GaAs region are signals from the ZnSe/GaAs and GaAs/SI-GaAs interface, respectively. With descreasing temperature, the PR signal related to ZnSe are separated into two peaks. We calculated the temperature coefficients of band gap(∆E/∆T ) for ZnSe and GaAs from the Varshni relationship.
PACS numbers: 78, 66.F
Keywords: Photoreflectance, Critical layer thickness, Interface