• 검색 결과가 없습니다.

GaAs ü; c V R ËX ê sS â à ŠZnSe ; cY • «8 ý Photoreflectance — ¤V R Ë

N/A
N/A
Protected

Academic year: 2021

Share "GaAs ü; c V R ËX ê sS â à ŠZnSe ; cY • «8 ý Photoreflectance — ¤V R Ë"

Copied!
6
0
0

로드 중.... (전체 텍스트 보기)

전체 글

(1)

GaAs  ü; c V R ËX ê sS  â à ŠZnSe ; cY  • «8 ý Photoreflectance — ¤V R Ë

™

»® £g ` @ · 9  - > ‡ Ú

· T  ò 6 B]  > · + ä ' å  ç ¡

% ò

z Œ ™@ /† < Ɠ § Ó ü t o † < Æõ ,  â í ß – 712-749

) í <+ ä  ™ ¸

 â

î  r @ /† < Ɠ § | » ¡ ¤¨ 8 Š â Ò q t" î † < ÆÂ Ò, ½ ¨p  730-850 (2002¸   10 Z 4 7{ 9  ~ à Î6 £ §)

Molecular beam epitaxy(MBE)Z O Ü ¼– Ð $ í  © œr †   ZnSe/GaAs \ x 8 £ x_  F g† < Æ& h  : £ ¤$ í `  ¦ photore- flectance(PR) Z O Ü ¼– Ð ì  r$ 3  % i  .  © œ“ : r PR Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 \ " f €  • 1.4ü < 2.7 eV   H % ƒ\ " f › ' a8 £ ¤ ) a ’    ñ  H y

Œ

•y Œ • GaAsü < ZnSe_  {  ç ß –   \  -t \  › ' aº   ) a ’    ñs  . ZnSe_  Á º î  r & ñ / B N õ  ! 9î  r & ñ / B N_  ì  r o

– РÒ'  ZnSe \ x 8 £ x s  ¢ - a„  y  s  ¢ - a ) a  © œI   m    Òì  r& h Ü ¼– Ð s  ¢ - a ) a  © œI s  9, GaAs % ò % i \ 

"

f › ' a8 £ ¤ ) a ¿ º > h_  ×  æ^ o ? ) a ’    ñ  H y Œ •y Œ • ZnSe/GaAsü < GaAs/GaAs_  > €  \ " f y Œ •y Œ •   è ß – ’    ñs 



. “ : r • ¸    o\    É r z  ´+ « >\ " f  H ZnSe › ' aº   ) a ’    ñ[ þ t s  y Œ • \ x 8 £ x_  > €  \ " f_    & ñ à º» ¡ ¤ s     

#

Œ ×  æ^ o ? ) a > €  _  ’    ñ[ þ t s  ì  r o ÷ &# Q   z Œ ¤Ü ¼ 9, Varshni › ' a > d ” Ü ¼– РÒ'  ZnSeü < GaAs_  “ : r • ¸>  Ã

º (∆E / ∆T)\  ¦ ½ ¨ % i  .

PACS numbers: 78, 66.F

Keywords:F g›¸ ìrF gZO, e”>¿ºa, >€

I. " e  ] Ø

þ

j  H ì  r  ‚   \ x „ à Ìr (molecular beam epitaxy; MBE)



 F K5 Å q Ä »l   o† < Æ l ^ ‰ 7 £ x‚ Ã Ì (metal-organic chemical vapor deposition; MOCVD)1 p x õ  ° ú  “ É r ì ø ͕ ¸^ ‰ $ í  © œ l  Õ

ü

t_  µ 1 τ  Ü ¼– Ð “ ¦¾ ¡ §| 9 _  ZnSe \ x 8 £ x_  $ í  © œs  0 p x 

>

 ÷ &% 3  . a-e7 á ¤  o½ + ËÓ ü t ì ø ͕ ¸^ ‰“   ZnSe  H  © œ“ : r \ " f

€



• 2.68 eV_  {  ç ß –  `  ¦ t   H ' õ AÒ  o> \ P  µ 1 ÏF g ™ è _  ]

j Œ •\  e ” # Q" f B Ä º ×  æ כ ¹ô  Ç Ó ü t| 9 s  . : £ ¤ y , a-e  o½ + Ë Ó

ü

t ì ø ͕ ¸^ ‰\  ¦ l œ í– Ð   H ' õ AÒ  o> \ P  µ 1 ÏF g ™ è _  ] j Œ •\ 

"

f   & ñ   † < Ês  & h “ É r ZnSe \ x 8 £ x $ í  © œ\  @ /ô  Ç ƒ  ½ ¨  H V ,

o  s À Ò# Qt “ ¦ e ”  . Õ ª Q , b-d7 á ¤  o½ + ËÓ ü t ì ø ͕ ¸^ ‰

\

 q  # Œ s “ : r$ í s  y © œ “ ¦, $ í ì  r 7 £ x l · ú šs  Z  } l  M :ë  H

\

 ? /·ü @ Ò& h    † < Ês  µ 1 ÏÒ q t÷ &l  ~ 1  . ZnSe_      © œÃ º



 H 5.668 s  9, GaAs_      © œÃ º  H 5.653 Ü ¼– Ð, GaAs l ó ø Í 0 A\  $ í  © œ   H  â Ä º 0.27 % & ñ • ¸_       Ò& ñ ½ + Ë(lattice mismatch) Ü ¼– Ð “  K  ZnSe \ x 8 £ x“ É r > €  \   ê ø Íô  Ç ~ ½ ӆ ¾ Ó Ü

¼– Ð s » ¡ ¤$ í 6 £ x§ 4 (biaxial compressive stress)`  ¦ ~ à Î> ÷ &

#

Q     ½ ¨› ¸\    + þ A`  ¦ { 9 Ü ¼v >  ÷ &“ ¦, ZnSeü < GaAs_ 

>

€  \    + þ A\  _ ô  Ç s  ¢ - a õ  „  0 A_  % ò † ¾ ÓÜ ¼– Ð > €   : £ ¤$ í

email: [email protected]

s

 $  ÷ & 9, s  Qô  Ç   + þ A“ É r ZnSe \ x 8 £ x_  ¿ ºa \    É r

?

/Â Ò „  0 A(built-in potential)    o\  ¦ 4 Rü < Y Us $   s 

š

¸× ¼(laser diode; LD) [1]ü < ° ú  “ É r ™ è  ] j Œ •r  ~ 1 >  \ P  o

‰ &

³ © œ`  ¦ { 9 Ü ¼v   H é ß –& h s  e ”   [2]. ¢ ¸ô  Ç, ZnSeü < GaAs_ 

>

€  \  Znü < As, Gaõ  Se_    ½ + ËÜ ¼– Ð “  ô  Ç   † < Ê ï  r0 A _

 + þ A$ í s  : £ ¤ y  ´ ú §s  { 9 # Qè ß – . s  Q† < Ê\ • ¸ Ô  ¦ ½ ¨ “ ¦, µ

1 ÏF g  s š ¸× ¼(light emitting diode; LED), Y Us $   s 

š

¸× ¼, F g Ž Ø  ¦ l (photodetector; PD) [3] 1 p x_  ' õ A0 l qÒ  o > 

\ P

_  F g ™ è  ] j Œ •\  “ ¦ 9½ + É ë ß –  . s  Qô  Ç ½ ¨› ¸_  $ í  © œ r

 + þ A$ í ÷ &  H   † < Ê © œI (defect state) x 9   + þ A 1 p x“ É r X-‚  



r] X (X-ray diffraction; XRD), f  ¨ Ã º(absorption), F g À Òp  W

1G ' pÛ ¼ (photoluminescence; PL), F g„  À Ó(photocurrent;

PC), F g6   x| ¾ Ó(photocapacitance; PCAP) [4] 1 p x_  8 £ ¤& ñ Ü ¼

–

Ð ƒ  ½ ¨  à º ”  ' Ÿ ÷ &# Q M ® o  . ‘ : r ƒ  ½ ¨\ " f  H ì ø Í] X ƒ  $ í GaAs l ó ø Í0 A\  ì  r  ‚   \ x „ à Ìr (molecular beam epi- taxy; MBE) Z O Ü ¼– Ð $ í  © œ ) a 5000 ˚ A_  ZnSe \ x 8 £ x_  F g

† <

Æ& h  : £ ¤$ í `  ¦ photoreflectance(PR) ì  rF gZ O Ü ¼– Ð › ¸  ì  r

$

3  % i  . PR 8 £ ¤& ñ Ü ¼– Ð ZnSeü < GaAs s 7 á x] X ½ + Ë > €  \ 

"

f   + þ A\  _ K    è ß – GaAs {  ç ß –   \  -t _  “ ¦ \  - t

– Ð_  s 1 l x õ  ZnSe „   @ /_  Á º î  r & ñ / B N õ  ! 9î  r

&

ñ / B N_  ì  r o \  ¦ › ' a8 £ ¤ % i Ü ¼ 9, : £ ¤ y , ZnSeü < GaAs > €  

\

 ” > r F    H ï ß –# Œ(residual)   + þ A\  _ ô  Ç > €   : £ ¤$ í _    

 oü < r « Ñ_  “ : r • ¸ _ ” > r$ í `  ¦ › ¸  % i  .

-357-

(2)

II. ÷ m Ç ] M ö

‘

: r ƒ  ½ ¨\ " f  6   x ) a r « э  H MBEZ O Ü ¼– Ð ì ø Í] X ƒ  $ í GaAs l ó ø Í 0 A\  1500 ˚ A_  GaAs ¢ - aØ  æ8 £ x (buffer layer)\  ¦

$ í

 © œr v “ ¦, Õ ª 0 A\  5000 ˚ A_  ZnSe \ x 8 £ x`  ¦ $ í  © œr (  



. PR 8 £ ¤& ñ “ É r   › ¸ c ” Ü ¼– Ð 0.1 mW/cm

2

He-Ne Y Us 

$

(633 nm)\  ¦  6   x % i “ ¦, Y Us $ _    › ¸ Å Ò à º  H F g é

ß –5 Å q l \  ¦ s 6   x # Œ › ¸] X  % i  . # Œl  F g " é ¶ Ü ¼– Ѝ  H 250 W ) í

Û ¼J $ ™-½ + ɖ Ð  p Ï þ ›á Ô\  ¦  6   x # Œ s \  ¦ œ í& h  o  0.27 m“   ì  rF g l (Spex 270M)\  E $ ™Ý ¼– Ð | 9 5 Å q r (   . s  ì  rF g l

\  ¦ : Ÿ x K   š ¸  H é ß –Ò  oF g`  ¦ r « Ñ\  { 9  r & , r « і ÐÂ Ò '

 ì ø Í ÷ &  H y n C`  ¦ p-i-n Si F g  Ž Ø  ¦ l – Ð  Ž Ø  ¦ # Œ lock-in 7

£

x; Ÿ ¤ l (EG & G 5302)– Ð 7 £ x; Ÿ ¤ô  Ç ° ú כ`  ¦ ( Ž É Ó' – Ð ~ à Î [ þ t

%

i  . “ : r • ¸_ ” > r z  ´+ « >“ É r CTI cryogenics(Model 22) He í  H

¨ 8

Š ~ ½ Ód ” `  ¦ s 6   x # Œ, 14 ∼ 300 K\ " f à º' Ÿ  % i  .

III. + s ÇÊ Ý õ m Í À X Ø8 ý

Õ

ªa Ë > 1“ É r ZnSe/GaAs s 7 á x] X ½ + Ë ½ ¨› ¸\  ¦  © œ“ : r \ " f 8 £ ¤& ñ ô 

Ç PR Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 Ü ¼– Ð, GaAs {  ç ß –   \  -t \  _ ô  Ç ’    ñ

 €  • 1.4 eV   H % ƒ\ " f › ' a8 £ ¤ ÷ &% 3  . Õ ªa Ë >\ " f ˜ Ð1 p w s , {  ç

ß –   \  -t  Â Ò   H \ " f ¿ º > h_  ’    ñ ×  æ^ o ?÷ &# Q e ”   H  כ

Õ

ªa Ë > 1.  © œ“ : r \ " f ZnSe/GaAs_  PR Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 .

`

 ¦ ^  ¦ à º e ”   H X <, s \  ¦ I õ  II– Ð   ? /% 3  . s  Qô  Ç ×  æ^ o ?

 )

a {  ç ß –   \  -t _  › ' a8 £ ¤“ É r ¿ º t _  0 p xô  Ç   H" é ¶ Ü ¼– Ð Ò q

ty Œ •K  ^  ¦ à º e ”  . {  ç ß –   \  -t  ? /\ " f + þ A$ í  ) a   † < Ê ï

 r0 A_   Ö ¸$ í  o– Ð “   # Œ GaAs {  ç ß –   \  -t ü < ×  æ^ o ?

 )

a  â Ä º [5]ü < ZnSe \ x 8 £ x õ  GaAs ¢ - aØ  æ8 £ x  s _  > €  

\

 _ ô  Ç l # Œü < GaAs ¢ - aØ  æ8 £ x õ  GaAs l ó ø Í  s _  > €  

\

 _ ô  Ç PR’    ñ_  l # Œü <_  ×  æ^ o ? [6]\  _ ô  Ç  כ s  . Õ ª a Ë

>\ " f Å Ò  ) a PR ’    ñ_  0 Au  1.4 eV“    כ Ü ¼– Ð ^  ¦ M :, PR ’    ñ_  ×  æ^ o ?_   © œ 0 p xô  Ç   H" é ¶“ É r Ê ê \  _ ô  Ç  כ Ü

¼– Ð  « Ñ÷ &# Qt  9, €  • 1.3 eV\ " f › ' a8 £ ¤ ) a  Å Ò ¨ î ò ø Íô  Ç

’

   ñ  H {  ç ß –   \  -t  ? /\  + þ A$ í  ) a   † < Ê ï  r0 A_   Ö ¸$ í Ü ¼

–

Ð   è ß –  כ Ü ¼– Ð Ò q ty Œ • ) a  . Õ ªo “ ¦ €  • 2.7 eV\ " f › ' a8 £ ¤

 )

a PR ’    ñ  H ZnSe {  ç ß –   \  -t \  _ ô  Ç ’    ñs  9, €  • ç ß

– q @ /g A + þ AI _  # QL :’    ñ(shoulder peak) › ' a8 £ ¤ ÷ &% 3 



. GaAs l ó ø Í0 A\  ZnSe \ x 8 £ x`  ¦ ~ Õ ª Qf ” (tetragonal distortion), 7 £ ¤     # QF M  l (lattice dislocation) \ O s  à º

¨ î

~ ½ ӆ ¾ Óõ  à ºf ” ~ ½ ӆ ¾ ÓÜ ¼– Ð     © œÃ º ² ú ˜ t > , à »Ä º• ¸+ þ A Ü

¼– Ð $ í  © œ   H e ” > ¿ ºa (critical layer thickness; CLT)



 H €  • 0.17 µms  9, s     â Ä º\  ZnSe \ x 8 £ x“ É r      © œ Ã

º s \  _ ô  Ç   + þ A§ 4 `  ¦ ~ à Î>   ) a  . s  Qô  Ç   + þ A§ 4 “ É r ZnSe \ x 8 £ x_  » ¡ ¤@ ) a Á º î  r & ñ / B N(heavy-hole; E

HH

) õ 

! 9î  r & ñ / B N (light-hole; E

LH

)`  ¦ ì  r o r v   H % i ½ + É`  ¦ ô  Ç



. ZnSe \ x 8 £ x`  ¦ s  Qô  Ç e ” > ¿ ºa ˜ Ð  ¿ º,  >  $ í  © œ 

>

 ÷ &€  , ZnSeü < GaAs s _  > €  \      # QF M  l 

µ

1 ÏÒ q t # Œ ZnSe \ x 8 £ x“ É r s  ¢ - a(relaxation) ÷ & 9, s  ¢ - a ) a ZnSe \ x 8 £ x“ É r $ í  © œ“ : r • ¸\ " f z  ´“ : r Ü ¼– Ð ° ú ˜Ã º2 Ÿ ¤ GaAs ü <

_

 \ P  Ø Ÿ ‚ ½ Ó > à º_  s – Ð “   # Œ   + þ A`  ¦ ~ à Î>   ) a  . Õ ª a Ë

>\ " f ^  ¦ à º e ” 1 p w s  ZnSe \ x 8 £ x_  PR ’    ñ q @ /g A Ü

¼– Ð # QL : ’    ñ › ' a8 £ ¤ ) a  כ “ É r s  Qô  Ç   + þ A_  " é ¶ “  \  _ 

# Œ, E

HH

ü < E

LH

– Ð ì  r o   ) a  כ s  . Õ ª Q , ZnSe \ x  8

£

x_  ¿ ºa  €  • 5000 ˚ A“    כ `  ¦ “ ¦ 9 €   ZnSe  H  Òì  r& h  Ü

¼– Ð s  ¢ - a ) a  © œI s Ù ¼– Ð, Á º î  r & ñ / B N õ  ! 9î  r & ñ / B N_  ì

 r o   ) a € ª œ“ É r B Ä º  Œ •“ É r  כ Ü ¼– Ð  « Ñ  ) a  . Õ ª QÙ ¼– Ð ¿ º > h _

 ×  æ^ o ? ) a PR ’    ñ # QL :’    ñ– Ð › ' a8 £ ¤ ) a  כ s  . ì ø ͕ ¸

^

‰\  @ /ô  Ç PR ’    ñ\ " f • ¸i ç 0 l x • ¸\  › ' aº   ) a ? /Â Ò „  l  © œ [

jl \     Z  }“ É r „  l  © œ  © œI (high-field condition)ü < ± ú 

“ É

r „  l  © œ  © œI (low-field condition)– Ð  Ð ü t à º e ”  . $ „   l

 © œ“    â Ä º\   H  6 £ § õ  ° ú  s  3  p ì  r† < Êà º + þ AI (third derivative functional form; TDFF) – Ð   è ß –  [7,8].

∆R/R = Re[ X

Ce

(E − E

0

+ iΓ)

−n

] (1)

#

Œl " f C, θ, E, E

0

Õ ªo “ ¦ Í  H y Œ •y Œ • ”  ; Ÿ ¤, 0 A © œ, probe c ”

_  \  -t , r « Ñ_  {  ç ß –   \  -t ü < ¨ î ò ø ͓   s  . n

“

É r e ” > & h  — ¸€ ª œ(critical point type)Ü ¼– Ð" f n=2, 2.5 x 9

(3)

Õ

ªa Ë > 2. # Œl  F g [ jl \    É r ZnSe/GaAs_  PR Û ¼& 7 ˜à Ô .

3 Ü ¼– Ð   è ­ q à º e ” Ü ¼ 9, y Œ •y Œ • " l or — : r, 3 " é ¶ x 9 2 " é ¶ {

  s _  „  s \  K { © œô  Ç . Õ ªa Ë > 1\ " f z  ´‚  “ É r z  ´+ « >° ú כ s

 9, & h ‚  “ É r 0 A_  ~ ½ Ó& ñ d ”  (1)`  ¦ x h Aô  Ç   õ – Ð z  ´+ « >° ú כ õ   _  { 9 u † < Ê`  ¦ · ú ˜ à º e ”  .

Õ

ªa Ë > 2  H GaAs % ò % i \ " f › ' a8 £ ¤ ) a I õ  II_    H" é ¶`  ¦ µ 1 ß y

l  0 AK ,   › ¸ F g [ jl \     8 £ ¤& ñ ô  Ç PR Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 s 



. r « Ñ_    › ¸ F g [ jl _  _ ” > r$ í “ É r Ô  ¦í  HÓ ü t \  _ ô  Ç ’    

ñü < ”  $ í (intrinsic)\  _ ô  Ç ’    ñ\  ¦ µ 1 ßy   H X < B Ä º Ä »6   x

>   6   x ) a  . ”  $ í \  _ ô  Ç ’    ñ_  [ jl   H   › ¸ F g [ jl  _

 7 £ x \     ‚  + þ A& h Ü ¼– Ð 7 £ x   , Ô  ¦í  HÓ ü t \  _ ô  Ç ’    

ñ_  [ jl   H „   \  ¦ à º6   x½ + É Ã º e ”   H F g† < Æ& h  é ß –€  (optical cross section)_  Ÿ í o‰ & ³ © œÜ ¼– Ð 7 £ x    H F g [ jl \  @ /K 

"

f Ÿ í o ⠆ ¾ Ó`  ¦ ¸ ú ˜ ˜ Ð# Œï  r  . ¢ ¸ô  Ç,   › ¸ F g_  g Ë >È Ò U  · s

(optical penetration depth)\  ¦ “ ¦ 9K  ˜ Ѐ  ,   › ¸ F g_  [

jl \     PR ’    ñ\  @ /ô  Ç l # Œ• ¸  H r « Ñ_  U  ·s \  _ 

”

> rô  Ç . Õ ªa Ë >\ " f   › ¸ F g_  [ jl  7 £ x † < Ê\     PR

’

   ñ_  + þ AI   H    o \ O   H ì ø ̀  , PR ’    ñ_  [ jl  7 £ x 

÷

&  H  כ `  ¦ ^  ¦ à º e ” “ ¦, GaAs {  ç ß –   \  -t  % ò % i \ " f I õ  II_  PR [ jl _  ’    ñ 7 £ x Ö  ¦ s   2 £ §`  ¦ · ú ˜ à º e ”  . s 



 H €  $  Iõ  II_    H" é ¶ s  Ô  ¦í  HÓ ü t s       כ `  ¦ & ñ ô  Ç 

€ 

, r « Ñ_  U  ·s  s    H, \ V\  ¦ [ þ t€  , ZnSe/GaAsü <

GaAs/SI-GaAs > €   % ò % i õ  ° ú  “ É r   É r % ò % i \ " f_  l # Œ

\

 _ ô  Ç  כ s  .

Õ

ªa Ë > 3.   › ¸ Å Ò à º\    É r ZnSe/GaAs_  PR Û ¼& 7 ˜à Ô .

Õ

ªa Ë > 3“ É r   › ¸ Å Ò à º_     o\    É r PR Û ¼& 7 ˜à Ô \  ¦



 ? /% 3  . Iõ  II_    H" é ¶`  ¦ r « Ñ_  U  ·s \    É r l # Œ• ¸ _  s \  _ ô  Ç  כ `  ¦ & ñ % i l  M :ë  H \ ,   › ¸ Å Ò à º_  7

£

x \    É r   › ¸ F g_  g Ë >È ÒU  ·s _     o\  ¦ s 6   x % i  .

Õ

ªa Ë >\ " f ^  ¦ à º e ” 1 p w s  8 £ ¤& ñ “ : r • ¸ 300K\ " f PR Û ¼& 7 ˜à Ô

!

3 _  ”  ; Ÿ ¤“ É r Å Ò à º 7 £ x \     Iõ  II_  ’    ñ_  [ jl \  ¦ q

“ §K  ˜ Ѐ  ,   › ¸ Å Ò à º_  7 £ x \     II_  PR ’    ñ _  [ jl   H q “ §& h     o & h “ É r ì ø ̀  , I_  ’    ñ_  [ jl   H 1.7 kHz \ " f  _    ”    כ `  ¦ ^  ¦ à º e ”  . s  Qô  Ç ‰ & ³ © œ

“ É

r   › ¸ Å Ò à º_  7 £ x \       › ¸ F g_  g Ë >È Ò U  ·s   ú ª



t l  M :ë  H \   © œ@ /& h Ü ¼– Ð GaAs/SI-GaAs_  > €  \  _  ô 

Ç PR ’    ñ_  l # Œ & h # Qt l  M :ë  H s  . Õ ª QÙ ¼– Ð, % ò

%

i  I  H ZnSe/GaAs_  > €  õ  b  # Q4 R e ”   H % ò % i \ " f_  l 

#

Œ “ ¦ ´ ú ˜½ + É Ã º e ”  . s   H Shen 1 p x [9,10] s  ˜ Г ¦ô  Ç   õ  ü

< ° ú  s    › ¸ c ” _  g Ë >È ÒU  ·s   H Å Ò à º 7 £ x ½ + É Ã º2 Ÿ ¤ y Œ ™

™

è l  M :ë  H s  .

{ 9

ì ø Í& h Ü ¼– Ð e ” _ & h “   0 A © œy Œ •_     o  H ×  æ^ o ? ) a PR ’    

ñ\  ¦ ì  r o    H X < B Ä º Ä »6   x >  æ ¼s “ ¦ e ”  . Õ ªa Ë > 4  H GaAs_  % ò % i \ " f › ' a8 £ ¤ô  Ç Iõ  II_    H" é ¶`  ¦ µ 1 ßy l  0 AK , 0

A © œy Œ •    o\     PR 8 £ ¤& ñ `  ¦ # Œ Iõ  II_  x ß ¼\  ¦ y Œ • y

Œ

• ì  r o  % i  . Õ ªa Ë >\ " f 82.6

\  ¦ l ï  r ’    ñ– Ð “ ¦, 0 A © œ y

Œ

•`  ¦ e ” _ – Ð | à ̓   7 £ x; Ÿ ¤ l \  ¦ s 6   x # Œ y Œ ™™ èr v €  " f 8 £ ¤& ñ

% i  . 0 A © œy Œ •s  y Œ ™™ è† < Ê\     ¿ º > h_  % ò % i \  _ K  ×  æ

(4)

Õ

ªa Ë > 4. 0 A © œy Œ •\    É r ZnSe/GaAs_  PR Û ¼& 7 ˜à Ô .

^ o

? ) a PR ’    ñ & h & h  ì  r o  ÷ & 9, 0 A © œy Œ •s  -17.3

\ " f



 H Ì º§  s  Iõ  II\  _ ô  Ç ’    ñ ì  r o   ) a  כ `  ¦ ^  ¦ à º e ”  .

Õ

ª QÙ ¼– Ð, GaAs % ò % i \ " f › ' a8 £ ¤ ) a ×  æ^ o ? ) a ’    ñ  H ¿ º > h _

 % ò % i \ " f l “   ) a ’    ñ ×  æ^ o ?÷ &# Q   è ß –  כ e ” `  ¦ S X ‰ z 

´y  · ú ˜ à º e ”  . · ú ¡\ " f  Œ ™r  ƒ  / å Lô  Ç  ü < ° ú  s  Iõ  II_ 

\

 -t  ° ú כ`  ¦ q “ §K ˜ Ѐ   GaAs/SI-GaAsü < ZnSe/GaAs

>

€  \  _ ô  Ç  כ s  “ ¦ Ò q ty Œ •½ + É Ã º e ”  . s   H GaAs/SI- GaAs > €  “ É r ZnSe \ x 8 £ x õ  / B Nç ß –& h Ü ¼– Ð q “ §& h  ´ ú §s  b 

# Q4 R e ” l  M :ë  H \    + þ A_  % ò † ¾ Ó`  ¦  _  ~ à Ît · ú §l  M :ë  H

\

 {  ç ß –   \  -t _  s 1 l x s   _ \ O   H ì ø ̀  , II_  " é ¶ “  s 

÷

&  H ZnSe/GaAs > €  “ É r   + þ A_  % ò † ¾ Ó`  ¦ ~ à Î  GaAs_  {  ç

ß –   \  -t  “ ¦ \  -t – Ð s 1 l x ) a  כ s  .

Õ

ªa Ë > 5  H ZnSe_  % ò % i \ " f › ' a8 £ ¤ ) a # QL : ’    ñ_    H" é ¶

`

 ¦ µ 1 ßy l  0 AK , 8 £ ¤& ñ “ : r • ¸\    É r PR Û ¼& 7 ˜à Ô \  ¦   

?

/% 3  . “ : r • ¸_  y Œ ™™ è\     # QL : ’    ñ Ì º§  s    



  H  כ `  ¦ ^  ¦ à º e ”  . s  Qô  Ç ‰ & ³ © œ“ É r # QL : ’    ñ\  ¦ s  À

ҍ  H ¿ º > h_  ’    ñ_  “ : r • ¸\    É r   & ñ à º» ¡ ¤ s   Ø Ô 



 H  כ `  ¦   ? / 9, s   H Á º î  r & ñ / B N(E

HH

) õ  ! 9î  r & ñ /

B N(E

LH

)_  l # Œ\  _ ô  Ç  כ e ” `  ¦ · ú ˜ à º e ”  . Õ ªa Ë >\ " f ^  ¦ Ã

º e ” 1 p w s  ZnSe \ x 8 £ x“ É r · ú š» ¡ ¤ 6 £ x§ 4 `  ¦ ~ à Γ ¦ e ” Ü ¼Ù ¼– Ð, Á

º î  r & ñ / B N \  _ ô  Ç l # Œ ! 9î  r & ñ / B N \  _ ô  Ç  כ ˜ Ð 

“

¦ \  -t \ " f   z Œ ¤ . 0 A_   7 H_ \  ¦ : Ÿ x K   © œ“ : r \ " f 8 £ ¤

&

ñ ô  Ç ZnSe {  ç ß –   \  -t  ’    ñ\ " f # QL : ’    ñ– Ð › ' a8 £ ¤ Õ

ªa Ë > 5. “ : r • ¸   o\    É r ZnSe/GaAs_  PR Û ¼& 7 ˜à Ô .

 )

a  כ “ É r Á º î  r & ñ / B N õ  ! 9î  r & ñ / B N \  _ K    è ß –  כ Ü

¼– Ð · ú ˜ à º e ” % 3 “ ¦, s  כ “ É r e ” > ¿ ºa ˜ Ð  ¿ º,  >  $ í  © œ 

%

i Ü ¼ , ¢ - a„  y  s  ¢ - a ) a  © œI   m  ,  Òì  r& h Ü ¼– Ð s  ¢ - a

 )

a  © œI – Ð ZnSe \ x 8 £ x s  ” > r F  “ ¦ e ” 6 £ §`  ¦    · p . ¢ ¸ ô 

Ç s  Qô  Ç Â Òì  r& h “   s  ¢ - a“ É r ZnSe/GaAs > €  \   H   + þ A _

 % ò † ¾ Ós  p u l  M :ë  H \  GaAs_  {  ç ß –   \  -t  s  1

l

x ÷ &t ë ß –, GaAs/SI-GaAs_  > €  \   H % ò † ¾ Ó`  ¦ Å Òt  · ú §6 £ §

`

 ¦ · ú ˜€ Œ ¤ . “ : r • ¸ y Œ ™™ è† < Ê\     Ó ü t| 9 _   ½ ™× ¼Ì “ ss   Œ •  4

R PR ’    ñ  H “ ¦\  -t A á ¤ Ü ¼– Ð s 1 l x† < Ê`  ¦ · ú ˜ à º e ”   H X <,

“

: r • ¸ 14 K\ " f GaAsü < ZnSe  H  © œ“ : r \  q K  y Œ •y Œ • ∼83.9,

∼109.4 meV s 1 l x`  ¦ % i  . ³ ð 1“ É r  A _  Varshni x h A d ”

 [11]Ü ¼– Ð x h Aô  Ç   õ s  .

E

0

(T ) = E

0

(0) − αT

2

/(β + T ) (2)

³

ð 1. “ : r • ¸ _ ” > r$ í Ü ¼– РÒ'  % 3 # Q”   ZnSe/GaAs_  Varshni “ : r • ¸> à º.

E

0

α β ∆E/∆T

(eV) (10

−4

eV/K) (K) (10

−4

eV/K)

1.518 5.2 202 3.86

GaAs 1.52

[12]

5.4

[12]

204

[12]

3.89

[13]

2.80 5.5 198 3.61

ZnSe 2.99

[14]

5.78

[14]

175

[14]

-

(5)

#

Œl " f, E

0

(0)  H 0 K \ " f_  {  ç ß –   \  -t s “ ¦, αü <

⍠ H Varshni > à ºs  .

IV. + s Ç Â ] Ø

Molecular beam epitaxy (MBE) Z O Ü ¼– Ð $ í  © œr †   ZnSe/GaAs \ x 8 £ x_  F g† < Æ& h  : £ ¤$ í `  ¦ photoreflectance (PR) Z O Ü ¼– Ð ì  r$ 3  % i  .  © œ“ : r PR Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 \ " f €  • 1.4 ü < 2.7 eV   H % ƒ\ " f › ' a8 £ ¤ ) a ’    ñ  H y Œ •y Œ • GaAsü <

ZnSe_  {  ç ß –   \  -t \  › ' aº   ) a ’    ñs  . ZnSe_  Á º



î  r & ñ / B N õ  ! 9î  r & ñ / B N_  ì  r o – Ð Â Ò'  ZnSe \ x 8 £ x s 

¢ -

a„  y  s  ¢ - a ) a  © œI   m    Òì  r& h Ü ¼– Ð s  ¢ - a ) a  © œI  s

 9, GaAs % ò % i \ " f › ' a8 £ ¤ ) a ¿ º > h_  ×  æ^ o ? ) a ’    ñ  H y Œ • y

Œ • ZnSe/GaAsü < GaAs/GaAs_  > €  \ " f y Œ •y Œ •   è ß –

’

   ñs “ ¦, s \  ¦ : Ÿ x # Œ  Òì  r& h Ü ¼– Ð s  ¢ - a ) a ZnSe \ x 8 £ x

\

 _  # Œ ZnSe/GaAs > €  s  % ò † ¾ Ó`  ¦ ~ à Î6 £ §`  ¦ · ú ˜ à º e ” 



. “ : r • ¸    o\    É r z  ´+ « >\ " f  H ZnSe › ' aº   ) a ’    ñ[ þ t s

 y Œ • \ x 8 £ x_  > €  \ " f_    & ñ à º» ¡ ¤ s     # Œ ×  æ^ o ? ) a

>

€  _  ’    ñ[ þ t s  ì  r o ÷ &# Q   z Œ ¤Ü ¼ 9, Varshni › ' a > d ”  Ü

¼– Ð ½ ¨ô  Ç ZnSeü < GaAs_  “ : r • ¸> à º (∆E/∆T)  H y Œ •y Œ • 3.61 ×10

−4

eV/K ü < 3.86×10

−4

eV/K s  9, „  s  \  -t 



 H › ¸$ í Ó ü t| 9 _  {  ç ß –   \  -t     o\  _ ô  Ç  כ `  ¦ · ú ˜ à º e ”

 .

Y c

p w Š à U Ø ”  ô

[1] N. Nakyama, S. Itoh, T. Ohata, K. Nakano, H. Ok-

uy ama, K. Ozawa, A. Ishibashi, M. Ikeada and Y.

Mori, Electron. Lett. 29, 1488 (1993).

[2] R. L. Gunshor, J. Han, G. C. Hua and A. V. Nu- mikko, J. Cryst. Growth 159, 1 (1996).

[3] H. Hong. W. A. Anderson and J. Haetty, J. Appl.

Phys. 84, 2328 (1998).

[4] M. Germain, M. El Yacoubi, R. Evrard, W. Taudt and M. Heuken, J. Cryst. Growth 184/185, 199 (1998).

[5] R. F. Kirkman, R. A. Stradling and P. J. Lin-Chung, J. Phys. C 11, 419 (1978).

[6] T. K. Sharma and Shailendra Kumar, Appl. Phys.

Lett. 79, 1715 (2001).

[7] W. Zhou, C. H. Perry, L. Ma, K. S. Lee, J. M. Wor- lock, A. Zrenner, F. Koch and K. Ploog, J. Appl.

Phys. 69, 4057 (1991).

[8] D. P. Wang and C. T. Chen, J. Appl. Phys. 78, 2117 (1995).

[9] H. Shen, Z. Hang, S.H. Pan and Fred H. Pollak, Appl. Phys. Lett. 52, 2058 (1998).

[10] H. Shen, M. Dutta, W. Buchwald and L. Fotiadis, Appl. Phys. Lett. 59, 321 (1991).

[11] Y. P. Varshni, Physica 34, 149 (1967).

[12] J. S. Blackmore, J. Appl. Phys. 53, R123 (1982).

[13] J. Camassel, D. Auvergne and H. Mathieu, J. Appl.

Phys. 74, 749 (1993).

[14] R. C. Tu and Y. K. Su, J. Appl. Phys. 83, 1664

(1998).

(6)

Study of the Photoreflectance of ZnSe Epilayers Grown on GaAs

Ju-Hyun Kim, In-Ho Bae, Dong-Yul Lee and Myoung-Rang Jung Department of Physics, Yeungnam University, Kyoungsan 712-749

Jeong-Sik Son

School of Architecture, Environment and Life Science, Kyungwoon University, Kumi 730-850 (Received 7 October 2002)

We used photoreflectance (PR) measurements to study stress effects on and interface states of ZnSe/GaAs epilayers grown by molecular beam epitaxy. In PR the spectrum measured at room temperature, we observed two peaks correspond to the band gap of ZnSe and GaAs at the 1.4 and 2.7 eV, respectively. The appearance of the shoulder peak shows that the degenerate valence band is separated into heavy- and light-hole bands, resulting in a tensile stress on the ZnSe epilayer. Also, the two superposed peaks at the GaAs region are signals from the ZnSe/GaAs and GaAs/SI-GaAs interface, respectively. With descreasing temperature, the PR signal related to ZnSe are separated into two peaks. We calculated the temperature coefficients of band gap(∆E/∆T ) for ZnSe and GaAs from the Varshni relationship.

PACS numbers: 78, 66.F

Keywords: Photoreflectance, Critical layer thickness, Interface

참조

관련 문서

* in large objects with small surface area A to volume V ratio (A/V) the physical and chemical properties are primarily defined by the bulk (inside). * in small objects with

• The values of P r and v r listed for air in Table A-17 are used for calculating the final temperature during an isentropic process.. EX 4) Isentropic Compression of Air in

Figure 23-8 Calibration curve used to estimate the molecular mass of an unknown protein by molecular exclusion chromatography..

Objective : The purpose of this study is to explore the effects of mental health (stress perception, sufficiency of sleep, depression, suicidal ideation) on alcohol drinking

- the difference between the energy required to charge a secondary battery and the energy delivered by the battery in use (q wh = q Ah x V discharge /V charge ).

We study the relationship between Independent variables such as the V/T(Vibration Time), V/T movement, expansion height, curing time, placing temperature, Rising and C/S ratio

The purpose and necessity of this study was to investigate the effect of the 8-week GX complex exercise program on the stress index, blood lipid and APG

In an effort to develop a new method to remove nitrogen, this study examined the effects of C/N ratio, carbon source and nitrogen concentration on