_ T ² Ž y ¢ Œ £ ?0 n É® Žz º V R ËX ê sc Ü R Ni x Fe 3 −x O 4 U c lT c l8 ý M X ì Ä — ¤V R Ë

@

_ T ² Ž y ¢ Œ £ ?0 n É® Žz º V R ËX ê sc Ü R Ni ^x Fe 3 −x O 4 U c lT c l8 ý  M X ì Ä — ¤V R Ë

? ] 8 ; · T + ä  ™ ¸ ^∗

 â

$ í @ /† < Ɠ § Ó ü t o † < Æõ ,  Òí ß – 608-736

+ ä

^ ï Bg ` @

Â

Ò â @ /† < Ɠ § Ó ü t o † < Æõ ,  Òí ß – 608-737



™

»G ž B4 w H

Ö

 ¦í ß –@ /† < Ɠ § Ó ü t o † < Æõ , Ö  ¦í ß – 680-749

T ) ç ¬ £

’

  @ /† < Ɠ § F  g„   / B N† < Æõ ,  Òí ß – 917-736 (2003¸   12 Z 4 15{ 9  ~ à Î6 £ §)

l

ó ø ͓ : r • ¸ 75 ∼ 90

^◦

C \ " f cover glass 0 A\  Ni

^x

Fe

3−x

O

4

(x = 0.09, 0.20, 0.30)_  ~ à Ì} Œ •`  ¦ ` … s  à

Ô • ¸F KZ O Ü ¼– Ð $ í  © œr (   . f  ¨‚ à ÌÖ  ¦ õ  ~ à Ì} Œ •_  Ÿ í o  o  H l ó ø ͓ : r • ¸\     7 £ x  % i “ ¦ ~ à Ì} Œ •_  x-‚  



r] X  J ‡    H    & ñ Û ¼x 3 A q ½ ¨› ¸_  é ß –{ 9  © œ`  ¦ ˜ Ð% i  . Ÿ í o  o_  ° ú כ“ É r l ó ø ͓ : r • ¸ 90

^◦

C \ " f ] j Œ • ) a Ni

x

Fe

3−x

O

4

~ à Ì} Œ •\ " f 380 emu/cm

³

° ú כ`  ¦ % 3 % 3  . ~ à Ì} Œ •_  ¿ ºa ü < { 9  â (grain)_  ß ¼l   H l ó ø Í_  “ : r • ¸

\

    7 £ x  % i  . ô  Ǽ #  Ÿ í o  o(H

c

)  H ¿ ºa ü < { 9  â _  ß ¼l  7 £ x † < Ê\     y Œ ™™ è % i  .

PACS numbers: 75. 70. AK

Keywords: ` … s à Ô,  $ í ~ à Ì} Œ •, ` … s à Ô • ¸F KZ O , Ÿ í o  o

I. " e  ] Ø

í

ß – oÓ ü t  $ í ^ ‰“   Û ¼x 3 A q ` … s à Ô(spinel ferrite)  H  o

† <

Æ& h ·Ó ü t o & h Ü ¼– Ð B Ä º î ß –& ñ  . Õ ª : £ ¤$ í M :ë  H \   l l  2

Ÿ

¤ F « Ñ, : Ÿ x’  6   x F « Ñ x 9   $ 3 F « Ñ 1 p x F  g# 3 0 A >  s 6   x ÷ &

“

¦ e ”  . Õ ª Q
 @ / Òì  r“ É r [ j b ”  <  ʓ É r é ß –  & ñ 1 p x_  Z O ß ¼ + þ

AI ü < ` … s à Ô { 9  \  ¦ ì  rí ß –r &  s 6   x ÷ &  H  â Ä º ´ ú §



. “ ¦x 9 • ¸ o\  ¦ Æ Ò½ ¨   H  l l 2 Ÿ ¤ B ^ ‰_  6   x • ¸\   H Û ¼ x

3 A q ` … s à Ô ~ à Ì} Œ •s  € 9 כ ¹ l  M :ë  H \  s  ì  r  _  ƒ  ½ ¨

  Ö ¸µ 1 Ï   [1–3].

Û

¼x 3 A q ` … s à Ô~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ •   H ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð" f  H ß ¼>  Ó

ü

t o & h  7 £ xµ 1 Ï 7 £ x‚ à ÌZ O (PVD)õ   o† < Æ& h  7 £ xµ 1 Ï 7 £ x‚ à ÌZ O (CVD) Ü

¼– Ð ß ¼> 
Ð ü t à º e ”  . Ó ü t o & h  7 £ xµ 1 Ï 7 £ x‚ à ÌZ O “ É r ”  / B N7 £ x

‚ Ã

ÌZ O õ  Û ¼( ' a A(sputtering) ~ ½ ÓZ O s  e ” “ ¦,  o† < Æ& h  ~ ½ ÓZ O 

“ É

r “ ¦“ : rì ø Í6 £ xZ O õ   o† < Æà º5 Å xZ O  1 p x s  e ”  . s  Qô  Ç ~ ½ ÓZ O [ þ t

–

Ð ` … s à Ô ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ •½ + É  â Ä º — ¸¿ º à ºÑ þ ˜• ¸ s  © œ_  } Œ •

$ í

 © œ “ : r • ¸\  ¦ € 9 כ ¹– Ð l  M :ë  H \  l ó ø Í(substrate)_  F 

| 9

\  ] jô  Çs  e ” % 3  . 7 £ ¤, “ ¦“ : r \ " f „  ) € ’ < H © œ`  ¦ { 9 t  · ú §

∗

E-mail: “ §’  $  : [email protected]

“

¦ | v 9  à º e ”   H Ó ü t| 9 ë ß –s  0 p x “ ¦, “ ¦“ : r \ " f ’ < H © œ`  ¦ { 9 

`

 ¦ à º e ”   H e  ¦  Û ¼h Ë :, GaAs-IC x 9  7 á x s À Ó 1 p x \  ` … s à Ô

~ Ã

Ì} Œ •`  ¦ { 9  n =  â Ä º\   H l ” > r_  ~ à Ì} Œ • ] j Œ •~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ѝ  H Ô  ¦

0 p x % i  . s  Qô  Ç ë  H ] j& h `  ¦ K      H $ “ : r \ " f(<100

◦ C) ` … s à Ô ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ •½ + É Ã º e ”   H ~ ½ ÓZ O s  ` … s à Ô

•

¸F K(ferrite plating)Z O s  . ` … s à Ô • ¸F K~ ½ ÓZ O “ É r à º6   x Ó 

o ×  æ \ " f ~ à Ì} Œ •`  ¦ Ò q t$ í   H ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð l ó ø Í “ : r • ¸\  ¦ 100

◦ C s  – Ð ± ú >  ½ + É Ã º e ” l  M :ë  H \  l ó ø Í_  F | 9 \  ] jô  Ç s

 \ O   H s & h s  e ” “ ¦, PVD x 9  CVD~ ½ ÓZ O \  q K " f 4 Ÿ ¤¸ ú š ô 

Ç  © œu \  ¦ € 9 כ ¹– Ð t  · ú §l  M :ë  H \  ] j Œ •q 6   x`  ¦ ± ú Ø  ¦ à º e ”

  H  © œ& h s  e ”   [4–6]. q 2 Ÿ ¤ ± ú “ É r “ : r • ¸\ " f ] j› ¸÷ &% 3 t  ë

ß –   & ñ $ í s  Ä ºÃ º “ ¦,  l & h  $ í | 9 “ É r Z  }“ É r “ : r • ¸\ " f ] j

›

¸  ) a  כ õ  q “ § # Œ + 't t  · ú §  H   [7].

`

… s à Ô • ¸F KZ O \   H Y >  t  ~ ½ ÓZ O s  e ”  . ‘ : r ƒ  ½ ¨\ 

"

f  H ~ à ÌÓ  o} Œ •Z O  [8]\  _ K  ] j› ¸ % i  . ` … s à Ô • ¸F KZ O 

\

 _  # Œ # Œ Q t  „  s  F K5 Å q(M = Ni, Zn, Co, Mn, Cr, 1

p

x ¢ ¸  H s [ þ t_  ™ D ¥½ + ËÓ ü t)`  ¦ Ÿ í† < Ê   H 4 Ÿ ¤½ + Ë(Fe,M) ₃ O 4 _  € 9  2

£

§`  ¦ ] j› ¸½ + É Ã º e ”  . s [ þ t ×  æ Ni ` … s à Ô(Ni ^x Fe 3 −x O 4 )



$ í ~ à Ì} Œ •“ É r  s ß ¼– ÐJ ?s Ú Ô % ò % i \ " f 6 £ x6   x ™ è – Ð  © œ

-183-

Table 1. Aqueous used in ferrite plating.

Oxidizing

Reaction Solution Solution Substrate NiCl

2

·6H

²

O FeCl

2

·6H

²

O Temperature ( ×10

⁻³

mol/l) ( ×10

⁻³

mol/l) pH pH

(

^◦

C)

1.0 9.0

2.0 8.0 7.1 7.1 75, 80, 85, 90

3.0 7.0

&

h ½ + Ëô  Ç Ó ü t| 9  ×  æ \  
s  . s  % ò % i \ " f z  ´6   x& h Ü ¼– Ð   6

 

x l  0 A # Œ a % ~“ É r „  l & h   l & h  : £ ¤$ í `  ¦ 4 R ô  Ç .

‘

: r  7 Hë  H \ " f  H Ni x Fe _{3 −x} O ₄  $ í ~ à Ì} Œ •_    & ñ $ í õ  › ¸ f ”

 ½ ¨› ¸, Ÿ í o  oü < ˜ Ð § 4  Õ ªo “ ¦ $ í  © œ› ¸| õ  › ' aº   ) a s

[ þ t_  : £ ¤$ í `  ¦ ˜ Г ¦ô  Ç .

II. ÷ m Ç ] M ö

ì

ø Í6 £ x6   xÓ  o“ É r 7 £ x À Óà º(1.0 l)\  pH ¢ - aØ  æ ] j(buffer)– Ð" f  Œ • 6

 

x   H CH 3 COONH(5.0 g)\  ¦ 6   x K r †   Ê ê N 2 Û ¼– Ð 2 r

ç ß – 1 l xî ß –  ¾ ¡ §(bubbling) õ & ñ `  ¦  5 g 7 £ x À Óà º ×  æ \  z Œ ™



e ”   H 6   x” > rí ß –™ è\  ¦ ] j  “ ¦, Ni ^x Fe 3 −x O 4 _  ` … s à Ô

\

 ¦ ] j Œ • l  0 AK " f FeCl 2 ·4H 2 O Õ ªo “ ¦ NiCl 2 ·4H 2 O\  ¦ 6

 

x K r &  ï  r q  % i “ ¦, s M : ì ø Í6 £ x6   xÓ  o_  pH  H 7.1 s % 3  .

í

ß – o6   xÓ  o % i r  7 £ x À Óà º(1.0 l)\  CH ³ COONH(5.0 g)\  ¦ 6   x K

r & , N 2 Û ¼\  ¦ 2 r ç ß – bubbling ô  Ç Ê ê NaNO 2 (1.0 g)`  ¦ 6   x K r &  ï  r q  % i Ü ¼ 9, s M : í ß – o6   xÓ  o_  pH  H 7.1 s % 3  . s  כ `  ¦ כ ¹€  • €   Table 1õ  ° ú   .

l

ó ø ÍÜ ¼– Ѝ  H OH l 
 COOHl \  ¦ t “ ¦ e ” Ü ¼ 9 ì ø Í6 £ x 6

 

xÓ  o\  @ /K  î ß –& ñ # Œ  ` … s à Ô • ¸F K \   6   x½ + É Ã º e ” 

Fig. 1. Variation of chemical composition parameter x in Ni x Fe 3 −x O 4 films with the corresponding one, x’, in the reaction solution.



. ‘ : r ƒ  ½ ¨\ " f  H cover glass(18 × 18 mm ² )\  ¦  6   x 

%

i  . Glass_  ³ ð€  \  e ”   H SiOH l  ` … s à Ô • ¸F K \ 

"

f l ó ø Íõ  ` … s à Ô 8 £ x õ _    ½ + Ë\  › ' a # Œô  Ç  [9].

ï

 r q   ) a l ó ø Í`  ¦ ì ø Í6 £ x › ¸\   © œu  “ ¦ [8] í ß – o6   xÓ  oõ  ì ø Í 6

£

x6   xÓ  o`  ¦ Ä »o ó ø Íõ  l ó ø Í  s _  a % v“ É r / B Nç ß –`  ¦ : Ÿ x K  { 9 

&

ñ ô  Ç 5 Å q • ¸, 7 £ ¤ ì ø Í6 £ x6   xÓ  o 6.4 cm ³ /min, í ß – o6   xÓ  o 1.6 cm ³ /min – Ð  s ß ¼– Ð È ÓÚ Ô * 3 á Ô\  ¦  6   x # Œ / B N/ å L % i  .

s

M : l ó ø Í_  “ : r • ¸  H ì ø Í6 £ x › ¸_  + '¼ # \   ҂ à ̝ ) a \ P ó ø Íõ 

“

: r • ¸> (thermocouple)`  ¦ : Ÿ x K  { 9 & ñ >  Ä »t Ù þ ¡Ü ¼ 9, ~ Ã Ì }

Œ •s  $ í  © œ   H 1 l xî ß – ì ø Í6 £ x6   xÓ  oõ  í ß – o6   xÓ  o\   H > 5 Å q N 2

Û ¼\  ¦ / B N/ å L €  " f 30ì  rç ß – Ä »t  % i  .

]

j Œ •ô  Ç r « Ñ[ þ t_    & ñ ½ ¨› ¸\  ¦ S X ‰ “   l  0 AK  x-‚    r ] X

  © œu – Ð Cu-K ^α ‚  `  ¦ s 6   x # Œ  r] X • ¸\  ¦ % 3 % 3 Ü ¼ 9, s  [

þ

t – РÒ'      © œÃ º\  ¦ % 3 % 3  . • ¸F K ) a ~ à Ì} Œ •_   l & h  : £ ¤

$ í

“ É r ”  1 l x+ þ A r « Ñ  § 4 > (VSM; Vibrating Sample Mag- netometer)`  ¦ s 6   x # Œ H <sup>max</sup> = 10 kOe_   l  © œ`  ¦  Òõ 

€  " f ~ à Ì} Œ •_  à º¨ î ~ ½ ӆ ¾ ÓÜ ¼– Ð 8 £ ¤& ñ % i  . ~ à Ì} Œ • › ¸$ í q   H Ä

»• ¸  ½ + Ë “ ¦Å Ò  e  ¦  Ý ¼  ì  rF  g ì  r$ 3 l (ICP; Inductiv- ity Couplded Plasma Spectroscopy)`  ¦  6   x # Œ 8 £ ¤& ñ 

%

i  . ~ à Ì} Œ •_  p [ j½ ¨› ¸ü < ¿ ºa \  ¦ Å Ò „   ‰ & ³p  â (SEM

; Scanning Electron Microscopy) Ü ¼– Ð › ' a¹ 1 Ï % i  .

III. + s ÇÊ Ý õ m Í À X Ø8 ý

Fig. 1“ É r ì ø Í6 £ x6   xÓ  o\ " f_  › ¸$ í q  x’ü < ~ à Ì} Œ •\ " f_  › ¸

$ í

q  xü <_  › ' a > \  ¦ l ó ø ͓ : r • ¸ Z > – Ð
 ? /% 3  . à º¨ î » ¡ ¤“ É r ì

ø Í6 £ x6   xÓ  o`  ¦  o† < Æd ”  Fe _{3 −x}

0

Ni _x

0

– Ð ³ ð‰ & ³½ + É M : › ¸$ í q  x’\  ¦

 ? / 9, x’ 0.3\ " f 0.9_  ° ú כ`  ¦ ”   . à ºf ” » ¡ ¤“ É r ~ à Ì

Fig. 2. X-ray diffraction pattern of Ni x Fe 3 −x O 4 films as

a function of composition parameter x.

Fig. 3. Lattice constant in Ni x Fe 3 −x O 4 films plotted as a function of composition parameter x.

Fig. 4. Deposition rate of Ni x Fe 3 −x O 4 films grown at different substrate temperature as a function of x’ in re- action solution.

}

Œ •? /\ " f Ni x Fe 3 −x O 4  “ ¦ ½ + É M : › ¸$ í q  x\  ¦ ³ ðr  “ ¦ e ” 



. Itoh 1 p x [10]“ É r spin spray ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð Ni x Fe _{3 −x} O ₄ ~ à Ì} Œ •

`

 ¦ ] j Œ • % i   H X <, x’>0.8{ 9  M : l ó ø ͳ ð€  \  Ni(OH) 2  g Ë >

„ 

÷ &“ ¦, x’ = 0.8\ " f x = 0.3_  þ j@ /u \  ¦ % 3 % 3  . ‘ : r z  ´+ « >

\

" f• ¸ x’≤0.9_  ° ú כ\ " f Û ¼x 3 A q ½ ¨› ¸_  ~ à Ì} Œ •`  ¦ % 3 `  ¦ à º e ”

% 3 Ü ¼ 9 Õ ª s  © œ\ " f  H } Œ •| 9 s 
å ԓ ¦ Û ¼x 3 A q ½ ¨› ¸_  é

ß –{ 9  © œ`  ¦ % 3 `  ¦ à º \ O % 3  . l ó ø ͓ : r • ¸ 90 ^◦ C \ " f x’\  ¦ 0.3 \ 

"

f 0.9 t  7 £ x † < Ê\     Ni ^x Fe 3 −x O 4 _  › ¸$ í q  x  H 0.09

∼ 0.30“   ~ à Ì} Œ •`  ¦ % 3 `  ¦ à º e ” % 3  . x’_  7 £ x \     x  H 7

£

x  “ ¦, l ó ø ͓ : r • ¸ 90 ^◦ C{ 9  M : Õ ª l Ö  ¦ l (x/x’)  H €  • 0.35 – Ð ± ú “ É r ¼ # s  . Õ ªA " f stoichiometric_  " é ¶  › ¸$ í q

 7 £ ¤ NiFe 2 O ₄ _  ~ à Ì} Œ •`  ¦ % 3 l  0 AK " f  H ì ø Í6 £ x6   xÓ  o_  › ¸

$ í

q  x’ 1˜ Ð   s `›    H ° ú כ`  ¦ 4 R  ô  Ç .

Fig. 2  H l ó ø ͓ : r • ¸ 80 ^◦ C \ " f cover glass 0 A\  $ í  © œ ô 

Ç Ni x Fe 3 −x O 4 (x = 0.09, 0.20 Õ ªo “ ¦ 0.30)_  x-‚    r ] X

 © œ`  ¦ ˜ Ð# Œ ï  r  . s   r] X  © œ“ É r cover glass 0 A\  ] j Œ • ) a

`

… s à Ô ~ à Ì} Œ •`  ¦ x‚    r] X l \  ¦ : Ÿ x # Œ % 3 “ É r  כ s  . ± ú 

“ É

r y Œ •• ¸\ " f Ê ê€  ´ òõ (back ground) Z  } > 
š ¸  H  כ `  ¦

^

 ¦ à º e ”  . s  Ê ê€  ´ òõ   H cover glass \  _ ô  Ç x‚    r] X 



© œõ  { 9 u ô  Ç . Õ ª QÙ ¼– Ð ± ú “ É r y Œ •• ¸\ " f Ê ê€  ´ òõ  Z  }

>


“ : r  כ “ É r l ó ø ÍÜ ¼– Ð  6   xô  Ç cover glass\  _ ô  Ç x‚   í ß – ê

ø ÍÜ ¼– Ð ^  ¦ à º e ”  . l ó ø ͓ : r • ¸ 75 ∼ 90 ^◦ C ü < x’ 0.3 ∼ 0.9_  % ò % i \ " f — ¸¿ º Û ¼x 3 A q ½ ¨› ¸_  Ni _x Fe 3 −x O 4 ~ à Ì} Œ •`  ¦

% 3

% 3  . s [ þ t_      © œÃ º\  ¦ ~ à Ì} Œ •? /_  › ¸$ í q  x_  † < Êà º– Ð Fig. 3 \ 
 ? /% 3  . ] j Œ •ô  Ç r « Ñ[ þ t_  x ° ú כ“ É r 0.09 \ " f 0.33_  ° ú כ`  ¦ t  9 s M :     © œÃ º  H 8.402 ˚ A \ " f 8.389

˚ A_  ° ú כ`  ¦ ”   . Ni ^x Fe 3 −x O 4 _  bulkr « Ñ_   â Ä º x = 1“   NiFe ₂ O 4 _      © œÃ º  H 8.34 ˚ A Ü ¼– Ð · ú ˜ 94 R e ” Ü ¼ 9, Ni- s “ : r_  ì ø Í â s  Fe-s “ : r ˜ Ð  ì ø Í â s  & h l  M :ë  H \  Fe- s

“ : r  o \  Ni-s “ : r Ü ¼– Ð @ /u  H † d Ü ¼– Ð K " f     © œÃ º_  y

Œ ™™ è\  ¦ 4 R“ : r  כ Ü ¼– Ð Ò q ty Œ • ) a   [11].

Fig. 4  H x’ \    É r Ni x Fe 3 −x O 4 ` … s à Ô ~ à Ì} Œ •_  $ í  © œ 5

Å

q • ¸\  ¦ l ó ø Í_  “ : r • ¸ Z > – Ð
 ? /% 3  . x’  H 0.3, 0.6, 0.9

Fig. 5. SEM images of Ni x Fe 3 −x O 4 films with different

composition parameter x.

Fig. 6. X-ray diffraction pattern of Ni x Fe 3 −x O 4 films as a function of substrate temperature.

s

“ ¦, í ß – o6   xÓ  o pH  H 7.1 “ ¦& ñ ÷ &# Q e ”  . l ó ø ͓ : r • ¸ 90 ^◦ C { 9

 M :, x’ 0.3\ " f 0.9 t     o½ + É M : ~ à Ì} Œ •_  $ í  © œ5 Å q • ¸



 H 330 ˚ A/min \ " f 170 ˚ A/min  t  y Œ ™™ è % i  . ô  Ǽ #  l  ó

ø Í_  “ : r • ¸ Z  }`  ¦ à º2 Ÿ ¤ x’ \     ~ à Ì} Œ •_  $ í  © œ5 Å q • ¸_  y Œ ™

™

èÖ  ¦“ É r 7 £ x ô  Ç .

Fig. 5  H x’  0.3, 0.6, 0.9 { 9  M : l ó ø Í “ : r • ¸ 80 ^◦ C \ " f ]

j Œ • ) a Ni _x Fe _{3 −x} O ₄ (x = 0.09, 0.20, 0.30)_  ~ à Ì} Œ •_  — ¸_ þ v s

 . x  7 £ x ½ + Éà º2 Ÿ ¤ ~ à Ì} Œ •_  ¿ ºa   H y Œ ™™ è 
 ~ à Ì} Œ • ³ ð

€ 

_  — ¸_ þ v“ É r  8 ¨ î ò ø ÍK f ” `  ¦ · ú ˜ à º e ”  .

Fig. 6“ É r l ó ø ͓ : r • ¸\    É r x-‚    r] X  © œÜ ¼– Ð Û ¼x 3 A q ½ ¨

›

¸_  ~ à Ì} Œ •s  + þ A$ í ÷ &% 3 Ü ¼ 9, l ó ø Í_  “ : r • ¸ 7 £ x † < Ê\   



  r] X y © œ• ¸_  [ jl   8 7 £ x  % i  . Fig. 7“ É r l ó ø Í_ 

Fig. 7. SEM images of Ni x Fe 3 −x O 4 films with different substrate temperature.

Fig. 8. A variation of saturation magnetization (M s ) and the coercive force (H c ) of Ni x Fe 3 −x O 4 films as a function of substrate temperature.

“

: r • ¸\    É r Ni x Fe 3 −x O 4 ~ à Ì} Œ •_  SEM  ”  Ü ¼– Ð ] X > h€   õ

 ³ ð€  `  ¦ 1 l x r \  ˜ Ð# Œï  r  . l ó ø Í_  “ : r • ¸ 7 £ x † < Ê\   



 ~ à Ì} Œ •_  ¿ ºa ü < ¨ î ç  H { 9  â (grain)_  ß ¼l  7 £ x † < Ê`  ¦

·

ú ˜ à º e ”  . ~ à Ì} Œ •_  ¿ ºa  7 £ x † < Ê\     Fig. 6\ " f  r ] X

y © œ• ¸_  [ jl • ¸ 7 £ x  % i  .

Fig. 8“ É r l ó ø ͓ : r • ¸\    É r é ß –0 A Òx { © œ Ÿ í o  o(M s ) ü

< ˜ Ð § 4 (H _c )`  ¦ ˜ Ð# ŒÅ Ò 9, l ó ø ͓ : r • ¸ 75 ^◦ C \ " f 90 ^◦ C

–

Ð    o½ + É M : Ÿ í o  o_  ° ú כ“ É r 380 emu/cm ³ Ü ¼– Ð  _  ° ú  

“ É

r ° ú כ`  ¦
 ? /“ ¦, ˜ Ð § 4 “ É r l ó ø Í_  “ : r • ¸ 75 ^◦ C{ 9  M : 92 Oe \ " f l ó ø Í_  “ : r • ¸ 7 £ x † < Ê\     y Œ ™™ è # Œ 90 ^◦ C { 9

 M : 49 Oe_  ° ú כ`  ¦ ”   .

Ni x Fe 3 −x O 4 ~ à Ì} Œ •_   â Ä º Ni ²⁺ s “ : r“ É r % i Û ¼x 3 A q`  ¦ s  ê

 r  .   " f Fe ³⁺ s “ : r“ É r  €  ^ ‰ o ü < ¼ 1 π  ^ ‰ o \ 

° ú

 “ É r à º [ þ t # Q“ ¦, Õ ªA " f  l — ¸F ' pà ԍ  H   t “ ¦ í  H



 o  H ¼ 1 π  ^ ‰ o _  Ni ²⁺ s “ : r õ  Fe ₂ + s “ : r_   l — ¸F ' p à

Ô\  l “  ô  Ç . ì  r  { © œ  l — ¸F ' pà ԍ  H  6 £ §d ” õ  ° ú  s  j þ t Ã

º e ” “ ¦,   õ & h Ü ¼– Ð(4−2x)µ ^B _  ° ú כ`  ¦ ° ú   H  . x = 0“   Fe ₃ O ₄ _   â Ä º 4 µ B , x = 1“   NiFe ₂ O ₄ _   â Ä º 2 µ B _  ì  r



{ © œ  l — ¸F ' pà Ô\  ¦ ° ú   H  . l ó ø Í_  “ : r • ¸ 7 £ x † < Ê\   



 Ni_  › ¸$ í q  x  H  _     o \ O Ü ¼ 9, Ÿ í o  o ° ú כ• ¸



_     o\  ¦
 ? /t  · ú §€ Œ ¤ . Õ ªo “ ¦ ˜ Ð § 4 “ É r l ó ø ͓ : r

•

¸ 7 £ x † < Ê\     ~ à Ì} Œ •_  ¿ ºa ü < { 9  â _  ß ¼l  7 £ x – Ð

“

 K  y Œ ™™ èô  Ç  כ Ü ¼– Ð Ò q ty Œ • ) a  .

IV. + s Ç Â ] Ø

l

ó ø ͓ : r • ¸ 75 ∼ 90 ^◦ C ü < ì ø Í6 £ x6   xÓ  o\ " f_  › ¸$ í q  x’

0.3 ∼ 0.9_  % ò % i \ " f — ¸¿ º Û ¼x 3 A q ½ ¨› ¸_  Ni _x Fe _{3 −x} O ₄

~ Ã

Ì} Œ •`  ¦ % 3 % 3  . ] j Œ •ô  Ç r « Ñ[ þ t_  ~ à Ì} Œ •\ " f_  › ¸$ í q  x° ú כ

“

É r 0.09 \ " f 0.33_  ° ú כ`  ¦ t  9 s M :     © œÃ º  H 8.402 ˚ A

\

" f 8.389 ˚ A_  ° ú כ`  ¦ ”   . x’_  7 £ x \     x  H 7 £ x 

“ ¦, l ó ø ͓ : r • ¸ 90 ^◦ C{ 9  M : Õ ª l Ö  ¦ l (x/x’)  H €  • 0.35– Ð

± ú

“ É r ¼ # s  .

Ni x Fe 3 −x O 4 ` … s à Ô ~ à Ì} Œ •_  $ í  © œ5 Å q • ¸  H l ó ø ͓ : r • ¸ 90

◦ C{ 9  M :, x’ 0.3\ " f 0.9 t     o½ + É M : ~ à Ì} Œ •_  $ í  © œ5 Å q

•

¸  H 330 ˚ A/min \ " f 170 ˚ A/min  t  y Œ ™™ è % i  . ô  Ǽ #  l

ó ø Í_  “ : r • ¸ Z  }`  ¦ à º2 Ÿ ¤ x’ \     ~ à Ì} Œ •_  $ í  © œ5 Å q • ¸_  y

Œ ™™ èÖ  ¦“ É r 7 £ x ô  Ç .

l

ó ø ͓ : r • ¸ 75 ^◦ C \ " f 90 ^◦ C – Ð    o½ + É M : Ÿ í o  o_ 

° ú

כ“ É r 380 emu/cm ³ Ü ¼– Ð  _  ° ú  “ É r ° ú כ`  ¦
 ? /“ ¦, ˜ Ð 

§

4 “ É r l ó ø Í_  “ : r • ¸ 75 ^◦ C{ 9  M : 92 Oe\ " f l ó ø Í_  “ : r • ¸

 7 £ x † < Ê\     y Œ ™™ è # Œ 90 ^◦ C{ 9  M : 49 Oe_  ° ú כ`  ¦ 

”

  . l ó ø Í_  “ : r • ¸ 7 £ x † < Ê\     Ni_  › ¸$ í q  x  H   _

    o \ O Ü ¼ 9, Ÿ í o  o ° ú כ• ¸  _     o\  ¦
 ? /t 

· ú

§€ Œ ¤ . Õ ªo “ ¦ ˜ Ð § 4 “ É r l ó ø ͓ : r • ¸ 7 £ x † < Ê\     ~ Ã Ì }

Œ

•_  ¿ ºa ü < { 9  â _  ß ¼l  7 £ x – Ð “  K  y Œ ™™ èô  Ç  כ Ü ¼– Ð Ò q t y

Œ

• ) a  .

Y c

p w Š à U Ø ”  ô

[1] J. S. Lee, T. Itoh and M. Abe, J. Korean. Phys. Soc.

28, 375 (1995).

[2] M. Gomi, H. Furuyama and M. Abe, J. Appl. Phys.

70, 7065 (1991).

[3] A. J. Freeman and Ru-qian Wu, J. Magn. Magn.

Mater 100, 497 (1991).

[4] M. Abe and Y. Tamaura, J. Appl. Phys. 55, 2614 (1984).

[5] M. Abe and Y. Tamaura, Advances in ceramics 15, 639 (1985).

[6] T. Itoh, M. Abe and Y. Tamaura, J. Magn. Soc.

Jpn. 13(sl), 869 (1989).

[7] Y. Tamaura and M. Abe, J. Colloid and Interface Science 192, 327 (1989).

[8] M. Abe, T. Itoh and Y. Tamaura, Mat. Res. Soc.

Symp. Proc. 232 (1991).

[9] Y. Tanno, M. Abe and Y. Tamaura, Chem. Soc. Jpn.

11, 1980 (1987).

[10] T. Itoh, M. Abe and Y. Tamaura, Jpn. J. Appl.

Phys. 27, 5 (1988).

[11] Alex Goldman, Modern ferrite technology (Van Nos-

trand Reinhold, New York, 1990), pp. 21-43.

Magnetic Behaviors of Ni _x Fe _{3 −x} O ₄ Thin Films Grown by Ferrite Plating Method

Tae Wook Ha and Jeong Sik Lee ^∗

Department of Physics, Kyungsung University, Pusan 608-736

Jung Hyun Jeong

Department of Physics, Pukyong National University, Pusan 608-737

Ill Won Kim

Department of Physics, University of Ulsan, Ulsan 680-749

Soung Soo Yi

Department of Photonics, NanoApplied Technology Research Center, Silla University, Pusan 617-736 (Received 15 December 2003)

We used prepared ferrite plating to deposit Ni

x

Fe

3−x

O

4

(x = 0.09, 0.20 and 0.30) films on cover glass in the substrate temperature range from 75 ∼ 90

^◦

C. The deposition rate and the saturated magnetization of the thin films increased with the substrate temperature. The X-ray diffraction patterns of the films showed a single phase with a polycrystalline spinel structure. A value, 380 emu/cm

³

was obtained for the saturation magnetization (M

s

) of the Ni

x

Fe

3−x

O

4

films deposited at a substrate temperature of 90

^◦

C and the coercive force (H

c

) decreased from 92.0 Oe to 49.0 Oe with increasing substrate temperature. The thickness and the grain size of the film increased with the substrate temperature. On the other hand, the coercive force (H

c

) of the film decreased with increasing thickness and grain size.

PACS numbers: 75. 70. AK

Keywords: Ferrite, Magnetic thin films, Ferrite plating, Saturation magnetization

∗

E-mail: [email protected]