• 검색 결과가 없습니다.

Hardness of AlTiN/TiAlN multilayer coatings deposited by Cathodic Vacuum Arc Deposition

N/A
N/A
Protected

Academic year: 2021

Share "Hardness of AlTiN/TiAlN multilayer coatings deposited by Cathodic Vacuum Arc Deposition"

Copied!
1
0
0

로드 중.... (전체 텍스트 보기)

전체 글

(1)

B-01 2018년도 한국표면공학회 춘계학술대회 논문집

음극 진공 아크 증착법에 의한 AlTiN/TiAlN 다층막의 경도

Hardness of AlTiN/TiAlN multilayer coatings deposited by Cathodic Vacuum Arc Deposition

권오진*, 김미선 (주)케이디엘씨(E-mail: [email protected]) 초 록 : 물리적 증착법에 의해 제조되는 초고경도 박막은 나노다층과 나노복합 구조가 대표적이며, 본 연구에서는 음극 아 크 증착법으로 TiAlN과 AlTiiN 층 조합을 이용하여 나노다층구조를 포함하는 다층막 시편을 제작하였다. 초격자 두께 주기 12.1 ~ 15.6 ㎚에서 35 ~ 55 GPa의 경도값을 가졌으며, 절삭공구 코팅분야에 적용할 예정이다.

본 연구는 산업통상자원부의

“핵심소재원천기술개발사업”의 연구비 지원으로 수행되었으며 이에 감사드립니

. (과제번호 : 10047864)

35

참조

관련 문서

As a result of the thermal conduction analysis, a cooling zone is formed on the surface of the welding metal along the arc by a cooling medium, compared

From the results of Micro Vickers hardness test, Ti- 40Hf alloy showed significantly increasing of hardness and tensile strength than others in the case of

In this paper, iCVD (Initiated Chemical Vapor Deposition), which can deposition in low temperature and low vacuum environments and has high step coverage, is used as a

36 SEM Microphotographs of the Electrical Electrodes of the Burn Resistor PCB ((a): Before Vibration and Thermal Vacuum Test, (b): After Vibration and Thermal

시편-노즐 거리가 작을수록 더블 아크 발생률이 증가했으며 이로 인해 시편 상단면의 홀 면적과 더블 아크 향부의 면적이 증가. 시편 두께가 두꺼울수록 더블 아크

Expanded foams, gas-filled powders, fibrous materials, vacuum alone, evacuated powders and fibrous materials, opacified powders 그리고 multilayer insulations 등이

The mechanical properties of the Ir-based films by the change of the alloy element content show that the hardness value is decreased with Re contents

3.1 Comparison of ISO Quality levels and weldability of laser-arc hybrid welded joints by wire for heat resistant steel varying travel speed in 10kW · ·