r ¸{ 9 ~ Ã Ì} ` ¦ Ä »o ó ø Í 0 A\ Û ¼ 2 ; ïh A` ¦ s 6 x # ] j ¦ 532 nm_ Nd:YAG Y Us $ ü < á Ô

(1)

3 Z 4 14{ ~ Ã Î6 4 Z 4 17{ Ã º& ñ ~ Ã Î6 5 Z 4 7{ > F X ñ

É

r ¸{ 9 ~ Ã Ì} ` ¦ Ä »o ó ø Í 0 A\ Û ¼ 2 ; ïh A` ¦ s 6 x # ] j ¦ 532 nm_ Nd:YAG Y Us $ ü < á Ô

Ð# o F g < Ær Û ¼% 7 ` ¦ s 6 x # ½ ©g Ë :& h H [ þ t \ @ / # 30C » ¡ ¤ è ) a p [ j J ' _ ç ` ¦ % 3 ` ¦ Ã º e

% 3 . Y Us $ _ é ß { 9 ` O Û ¼ \ -t ü < á Ô Ð# o E $ Ý ¼ü < ~ Ã Ì} _ o 1 p x` ¦ Ã º Ð # þ j& h J ' _ ç

¸| ` ¦ ½ ¨ % i . ¢ ¸ô Ç / B G \ @ /ô Ç J ' _ ç ` ¦ 0 AK · ú À Òp ³ o u ~ Ã Ì} ` ¦ ] j ¸ ¦ & 7 Ð íY Us $ Ð /

B

N # Û ¼ß ¼\ ¦ ] j % i ¦ s \ ¦ 6 x # 10 um s _ ; ¤` ¦ ° ú H J ' _ ç \ $ í / B N % i .

Ù þ

d # Q: É r ¸ { 9 , Y Us $ J ' _ ç , Nd:YAG Y Us $ , í Ð Û ¼ß ¼, F g á Ô Ð# o

Laser Patterning of Nanoparticulate Silver Thin Film by Using an Optical Projection System

Jung-Hyun Choi · Ki-Soo Lim ^∗

Department of Physics, Chungbuk National University, Cheongju 361-763 (Received 14 March 2012 : revised 17 April 2012 : accepted 7 May 2012)

We fabricated a silver-nanoparticle film by using the spin-coating method and obtained an ∼10 µm fine patterning on the film with a 30 times reduction of the periodic lines by using a 532 nm Nd:YAG laser pulse and an optical projection system. We optimized the fine pattern conditions by changing the laser’s pulse energy, and the distance between the projection lens and the thin film. We also fabricated an aluminum photomask by using a femtosecond laser and obtained laser patterning of curved characters with linewidths of less than 10 µm.

PACS numbers: 42.82.Cr, 42.30.Va, 42.88.+h, 78.66.Bz,78.20.Nv

Keywords: Silver nanoparticles, Laser patterning, Nd:YAG laser, Photo-mask, Optical projection

I. " e Â ] Ø

&

³F _ © u \ " f F K5 Å q ~ Ã Ì} _ J É r F G 1 p x & ³ F

l l \ " f Å Ò 9 כ ¹ô Ç > r F s . s J [ þ t É r Ð :

x l © 7 £ x Ã Ì Ê ê \ g A` ¦ s 6 x K J ' _ ç H í Ðo ÐÕ ª A

x l Õ ü t Ð ë ß [ þ t # Q . í Ðo ÐÕ ªA x l Õ ü t É r Z } É r K

© ¸\ ¦ t m t ë ß ¦ : r, / B N x 9 é ß > _ 4 ¤ ¸ ú ô Ç / B N& ñ

`

¦ כ ¹½ ¨ Ù ¼ Ð r ç ß õ q 6 x _ 8 £ ¤ \ " f q ´ òÖ ¦& h { 9 ÷ r

∗

E-mail: [email protected]

m 7 £ x Ã Ìõ \ g A_ ì ø Í4 ¤ Ü ¼ Ð F « Ñ < Hz ´s ´ ú § ¦ Õ ª Q ô

Ç õ & ñ \ " f ´ ú § É r o < Æ& h ` l Ó ü t _ ª í ß ¢ ¸ô Ç Ô ¦ x

. H A \ H Ä » ô Ç è כ ¹½ ¨÷ & ¦ e ¦ ¦ : r % o

x 9 o < Æ& h \ g A\ | v 9 Ã º \ O H Ó ü t| 9 _ 6 x s Ô ¦ x

ô Ç â Ä º ´ ú § { 9 ì ø Í& h o èÕ ªA x / B N& ñ @ / $ q 6

x, $ : r x 9 @ / & h o / B N& ñ _ > hµ 1 Ïs × æ כ ¹ô Ç כ ¹ è Ð ½ ¨

÷

& ¦ e [1–10]. ¢ ¸ô Ç Ã ºz nm_ ; ¤` ¦ כ ¹½ ¨ H ì ø Í

¸^ è \ ¦ ] jü @ô Ç ´ ú § É r è \ " f H z ´] j s ß ¼

Ð p ' ß ¼l _ J s 6 x ÷ &Ù ¼ Ð è ] j \ כ ¹½ ¨÷ &

H í Ðo ÐÕ ªA x _ é ß > / B N& ñ × æ { 9 Â Ò\ ¦ @ /^ ½ + É Ã º

-477-

(2)

Fig. 1. (Color online) Laser patterning with a projection lens.

e

H ç ß é ß ô Ç l Õ ü t s e ] j ¸q 6 x` ¦ © { © Â Òì r ] X y

½

+ É Ã º e > ) a .

: r ½ ¨ü < ' aº s e H Laser-induced forward trans- fer(LIFT) l Õ ü t É r [10] | 9 5 Å q ) a ` O Û ¼ Y Us $ \ ¦ ² D G Â Ò& h

\ P

/ B N/ å L" é ¶ Ü ¼ Ð 6 x # F K5 Å q s 7 £ x Ã Ì ) a r « Ñ ÐÂ Ò' s

\

] X 8 ú ¤ ¢ ¸ H H] X ¦ e H ¢ ¸ _ l ó ø Í 0 A Ð Ó ü t| 9

s \ ¦ Ä » ¸ H ~ ½ Ód s . LIFT\ ¦ s 6 x # Ag, Cu, Cr 1 p x ª ô Ç F K5 Å q ~ Ã Ì} J ` ¦ + þ A$ í ô Ç \ V Ð ¦÷ &% 3 Ü ¼

[11, 12], s H | 9 5 Å q ) a Y Us $ c ` ¦ Û ¼ ± p H f § > = ~ ½ Ó d

s Ù ¼ Ð [13] ª ô Ç ß ¼l ü < ¸ ª ` ¦ 4 ¤ ¸ ú ô Ç J

`

¦ Â ú ª É r r ç ß ? /\ + þ A$ í H X <\ H H : r& h ô Ç> e

. : r 7 Hë H \ " f H Fig. 1 õ ° ú s Y Us $ c s Û ¼ß ¼\ ¦ :

x õ " f / B N ç ß ¸ ) a c ` ¦ r á Ô Ð# o E $ Ý ¼\ ¦ : x K

» ¡ ¤ è ¦ F K5 Å q ~ Ã Ì} \ f ] X J ' _ ç H / B N& ñ ` ¦ r ¸

% i .

#

Q t ¸ ª õ ß ¼l _ s p t \ ¦ ë ß [ þ t # Q? / H J ' _ ç

l Õ ü t É r á Ô 2 ;h A l Õ ü t \ " f × æ כ ¹ô Ç Â Òì r \ 5 Å q ô Ç . þ j

H Nd:YAG Y Us $ \ ¦ s 6 x # · û ª É r É r ¸{ 9 ~ Ã Ì}

\

\ P ò ø Í$ í § 4 ` ¦ s 6 x ô Ç á Ô 2 ;h A l Õ ü t s Ð ¦÷ &% 3 Ü ¼ 9 [11, 12], KrF " l or Q Y Us $ ü < á Ô Ð# o r Û ¼% 7 ` ¦ s 6 x # e

¦ o Q 0 A\ s ß ¼ Ðp ' s Ý ¼_ J ' _ ç \ @ /ô Ç 7 Hë H

¢

¸ô Ç Ð ¦÷ &% 3 [13]. ³ ð \ f ¨ Ã Ì÷ &# Q e H É r { 9 \

` O

Û ¼ Y Us $ ¸ ÷ & \ -t f ¨ Ã º\ _ K { 9 _ : r

¸ © 5 p x > ÷ & ¦ Õ ª\ É r / å L ô Ç \ P Ø ½ ÓÜ ¼ Ð { 9

H \ P ò ø Í$ í § 4 ` ¦ ~ Ã Î> ) a . s Qô Ç \ P ò ø Í$ í § 4 É r { 9 \ ¦ l ó

ø ÍÜ ¼ ÐÂ Ò' ì r o 9 H j Ë µÜ ¼ Ð 6 x Ù ¼ Ð ë ß \ P ò ø Í$ í

§

4 s { 9 ü < l ó ø Í s _ Â Ò Ã Ì§ 4 ì ø ÍX <Ø Ôµ 1 ÏÛ ¼(van der Waals) j Ë µ Ð 9 þ t â Ä º { 9 H l ó ø ÍÜ ¼ ÐÂ Ò' b # Q4 R

¸> ÷ &# Q Ó ü t| 9 _ ² D G Â Ò& h desorption` ¦ 0 p x > ô Ç [14–16]. l ó ø Í\ " f { 9 ì r o ÷ & 9 H j Ë µ É r { 9 _ f â õ

: r ¸ s \ q Y Vô Ç [þ j 19]. & 7 Ð í Ti:sapphire Y U s

$ ` O Û ¼\ ¦ s 6 x # ~ Ã Ì} ` ¦ ¸Ø ¦ r & Ð ¤Ü ¼ Z } É r Ø

¦§ 4 e \ ¸ Ô ¦ ½ ¨ ¦ Á º ~ Ã Ì} _ s » 1 Ïs { 9 # Q t · ú §

¤ . s כ É r Ti:sapphire Y Us $ _ © \ " f É r ¸{ 9

Fig. 2. (Color online) Schematic diagram of Nd:YAG laser patterning of silver nanoparticle film.

_ f ¨ Ã º p p ½ + É ÷ r m Ã ºz fs \ " f \ P \ -t

² ú

s s À Ò# Qt l \ H -Á º Â ú ª Ã º ns & ñ ¸_ Nd:YAG Y

Us $ 8¹ ¡ ¤ & h ½ + Ë ¦ ^ ¦ Ã º e ¦ z ´] j Ð & 7 Ð í Y U s

$ H s 6 x ÷ & ¦ e t · ú § .

: r 7 Hë H \ " f H c _ / B N ç ß ¸ ~ ½ Ód Ü ¼ Ð projection mode \ ¦ s 6 x ô Ç Y Us $ J ' _ ç \ @ / # ½ ¨ % i .

Û

¼ 2 ; ïh A ~ ½ Ód ` ¦ s 6 x # É r ¸{ 9 ~ Ã Ì} ` ¦ ] j ¸

%

i ¦ Q-Û ¼0 Ag A Nd:YAG Y Us $ ü < á Ô Ð# o r Û ¼% 7 ` ¦ s 6

x ô Ç 10 s ß ¼ Ðp ' s _ Ï ã T l \ ¦ s p t J '

_ ç \ @ / # ½ ¨ % i . ¢ ¸ô Ç e _ _ + þ AI _ / å J \ ¦

í < Êô Ç Û ¼ß ¼\ ¦ f ] X ] j # J ' _ ç z ´+ « >` ¦ Ã º'

% i .

II. ÷ m Ç ] M ö

É

r ¸ { 9 ~ Ã Ì} ` ¦ ë ß [ þ t l 0 AK l ó ø Í6 x _ þ t s × ¼ / å J

Û ¼ (ß ¼l 76 mm × 26 mm, ¿ ºa 1 mm , Marienfeld, Germany) ü < É r ¸ e ç ß ¼(0 l x ¸ 20 ± 0.2 %, { 9 ß ¼l 20 ± 10 nm, ABC Nanotech)\ ¦ 6 x % i . _ þ t s × ¼ /

å

J Û ¼\ ¦ 6 x l & h { © ¸2 ¤ 26 mm × 26 mm _ ß ¼ l

Ð Ø Ô ¦ [ j : r õ B jò ø Í` ¦ Ð [ j' ¦, 7 £ x À ÓÃ º\ " f

í6 £ § Ð [ j' % i . Õ ª Ê ê Û ¼ 2 ; ï' (spin coater, YS- 100D, Ä »{ 9 ' pt m # Qa A)0 A\ ` ¦ 9Z ~ ¦ ï r q ) a É r ¸ e ç

ß ¼\ ¦ b # Q ä ¼o ¦ ïh A % i . Û ¼ 2 ; 5 Å q ¸ H 3500 rpm Ü

¼ Ð ¦ 15 - 60 í Ð o 9 _ Û ¼à Ôô Ç Ê ê þ j& h ¸| Ü

¼ Ð 15 í\ ¦ × þ % i ¦ ] j ¸ Ê ê © : r \ " f 2{ 9 ç ß | ¸r (

. Fig. 2 H : r ½ ¨\ 6 x ) a ª ô Ç Y Us $ J ' _ ç

~

½ Ód ` ¦ Ð# Å Ò H ¸d ¸s . Y Us $ H Spectra Physics _

Nd:YAG ` O Û ¼ Y Us $ (532 nm, ` O Û ¼; ¤: 8 ns, ì ø Í4 ¤Ö ¦:

10 Hz) _ é ß { 9 ` O Û ¼\ ¦ 6 x % i . Y Us $ f â s 9 mm s Ù ¼ Ð Ä ºr î ß + þ AI _ c Ü ¼ ÐÂ Ò' / B N ç ß & h Ü ¼ Ð q

§& h ç H{ 9 ô Ç c ` ¦ % 3 l 0 AK 3 mm ß ¼l _ ¸o > h\ ¦ 6

x % i ¦ @ / & h J ' _ ç ` ¦ 0 AK " f c S X © l \ ¦ 6 x

(3)

%

i . ¢ ¸ô Ç c _ / B N ç ß ¸\ ¦ 0 AK í Ð Û ¼ß ¼\ ¦ s 6 x ô

Ç á Ô Ð# o ¸× ¼\ ¦ 6 x ÷ &% 3 . l ó ø Í_ z ´ » \ { 9 ô Ç /

B

N ç ß ¸ ) a Y Us $ c É r È Ò" î l ó ø Í0 A\ Â Ò Ã Ì ) a ~ Ã Ì} \

\ P

ò ø Í$ í § 4 ` ¦ Ä » ¸ # s » 1 Ïs { 9 # Q s p t Ò q t$ í ÷ &% 3

. : r ½ ¨\ " f H Edmund Scientific _ © 6 x Û ¼ß ¼ ü

< f ] X ] j ô Ç · ú À Òp ³ o u Û ¼ß ¼ Ð z ´+ « >` ¦ Ã º' % i .

· ú

À Òp ³ o u Û ¼ß ¼ ] j ` ¦ 0 AK " f $ _ þ t s × ¼ / å J Û

¼\ ¦ [ j : r õ B jò ø Í` ¦ Ð [ j' ¦, 7 £ x À ÓÃ º Ð í6 £ § [ j '

` ¦ % i . [ j' Ê ê _ þ t s × ¼ / å J Û ¼ 0 A\ / B N7 £ x Ã ÌZ O Ü

¼ Ð · ú À Òp ³ o u ~ Ã Ì} ` ¦ ] j ¸ % i . l ó ø Íõ } _ F « Ñ F

K5 Å q` ¦ Õ þ ! Q î ß \ V , ¦ l \ ¦ s 6 x # \ P ô Ç . s M : }

_ F « Ñ F K5 Å q É r \ P ` ¦ ~ Ã Î 0 l q Ü ¼ 9 l ^ ì r ÷ &

#

Q l ó ø Í\ Ø æ[ t > ÷ & ¦ } s + þ A$ í ) a . / B N ¸ H 10

⁻⁷

torr \ ¦ Ä »t 9 í{ © 0.4 - 0.7 nm/s _ 7 £ x Ã ÌÒ ¦ Ð 400 nm & ñ ¸ ¿ ºa _ · ú À Òp ³ o u 7 £ x Ã Ì\ $ í / B N % i ¦ þ j7 á x ¿ ºa

H 170 nm % i . s X O > ¢ - a$ í ) a · ú À Òp ³ o u ~ Ã Ì} ` ¦ 1030 nm _ © , 100 kHz _ ì ø Í4 ¤Ö ¦ õ 250 fs _ ` O Û ¼; ¤` ¦

Ti:sapphire Y Us $ c ` ¦ 10 C Ö ¦(NA 0.26) _ @ /Ó ü tE $ Ý

¼\ ¦ 6 x # · ú À Òp ³ o u ~ Ã Ì} \ | 9 5 Å q % i . xyz s 1 l x @ / 0

A\ Z ~ · ú À Òp ³ o u ~ Ã Ì} ` ¦ 50 mW _ 0 > Ð 10 mm/s _

s 1 l x 5 Å q ¸ Ð / B N % i . CAD á Ô ÐÕ ªÏ þ ` ¦ s 6 x #

"

é

¶ H Û ¼ß ¼_ J ` ¦ { 9 § 4 ¦, 10 µm _ ; ¤ _ Y Us

$

c Ü ¼ Ð Û ¼ ± p ¦ Û ¼ ± p ` ¦ 6 µm Ð # Y Us

$

c _ { 9 Â Òì r s u ¸2 ¤ % i . & 7 Ð í Y Us $ H

¸ í Y Us $ ü < 5 Å qØ ¦§ 4 Y Us $ ü < H ² ú o ¸ ) a Â Òì r _

\ P \ -t Õ ª Å Ò _ \ ² ú ÷ &t · ú § ° ú f s

\ O s / B N` ¦ ½ + É Ã º e ¦ í& h Â Ò H \ " f \ -t y © ¸

B

Ä º y © # / B N ç ß × þ $ í s Z } É r F g f ¨ Ã º\ ¦ s 6 x ô Ç

&

ñ x 9 / B N s 0 p x ô Ç © & h s e .

III. + s ÇÊ Ý õ m Í À X Ø8 ý

Û

¼ 2 ; ïh A~ ½ Ód Ü ¼ Ð _ þ t s × ¼ / å J Û ¼ 0 A\ " f 3500 rpm _ 5 Å q ¸ Ð 15 í 1 l x î ß ] j ¸ô Ç ~ Ã Ì} ¿ ºa \ ¦ · ú Û ¼9 \

`

¦ s 6 x # 8 £ ¤& ñ % i ¦ @ /| Ä Ì 100 nm ¿ ºa % i . Fig.

3 É r É r ¸ { 9 ~ Ã Ì} õ l ó ø Í ^ _ f ¨ Ã º Û ¼& 7 à Ô! 3 ` ¦

Fig. 3. (Color online) Absorption spectra of silver- nanoparticle thin film and glass substrate.

Fig. 4. (Color online) Direct patterning on the silver- nanoparticle thin film with single pulse of 266, 355, 532, and 1064 nm.

q

§ô Ç כ s . l ó ø Í É r 300 nm s _ % ò % i \ " f ½ × ¼ Ì s f

¨ Ã º 8 £ ¤& ñ ÷ &% 3 . ~ Ã Ì} É r É r ¸{ 9 _ f ¨ Ã º\ _ K 400 - 600 nm % ò % i \ " f V , > { 9 # Q H כ ` ¦ ^ ¦ Ã º e .

{ 9

ì ø Í& h Ü ¼ Ð É r ¸ { 9 _ ß ¼l \ f ¨ Ã º% ò % i s Ø

Ô ¦ { 9 _ ß ¼l & | 9 Ã º2 ¤ f ¨ Ã º_ Û ¼& 7 à Ô! 3 s © © A

á

¤ Ü ¼ Ð s 1 l x l M :ë H כ Ü ¼ Ð « Ñ ) a [17,18]. ~ Ã Ì}

`

¦ ë ß [ þ t l 0 AK 6 x ô Ç É r ¸ e ç ß ¼\ " f ¸{ 9 _ ß ¼ l

H 20 ± 10 nm Ð ß ¼l ì r í H ¼ # s . Fig. 4 H Q- Û

¼0 Ag A Nd:YAG Y Us $ \ " f 0 p x ô Ç 266, 355, 532, 1064 nm _ © ` ¦ 2 mJ_ 1 l x{ 9 ô Ç \ -t _ é ß { 9 ` O Û ¼

Ð f ] X y y ~ Ã Ì} \ { 9 # É r ¸{ 9 b # Q4 R ç

ß ¸_ þ v` ¦ Ð# Å Ò ¦ e . 266 nmõ 1064 nm_ â Ä º Fig.

3 _ f ¨ Ã ºÛ ¼& 7 à Ô! 3 \ " f ^ ¦ Ã º e 1 p w s ~ Ã Ì} \ " f f ¨ Ã º { 9

#

Q t · ú § " f o \ O . 355 nm \ " f H ô Ç f ¨ Ã º

e

l M :ë H \ L : F M ô Ç J ` ¦ % 3 l # Q§ > H כ ` ¦ · ú Ã º e

.

Y

Us $ J ' _ ç É r Û ¼ß ¼ Ð Ò q t$ í ) a s p t \ ¦ á Ô Ð# o E $

Ý ¼\ ¦ s 6 x # » ¡ ¤ è > ) a . á Ô Ð# o E $ Ý ¼(# 3 F g l

) H 5 > h_ 4 ¤ ½ + ËE $ Ý ¼ü < ¸o > h Ð ½ ¨$ í ) a r Û ¼% 7 ` ¦ 6 x

% i . á Ô Ð# o E $ Ý ¼ r Û ¼% 7 ` ¦ ¦& ñ ¦ ~ Ã Ì} õ E $ Ý ¼ _

o ü < E $ Ý ¼ü < Û ¼ß ¼_ o \ ¦ ¸] X 9 þ j& h s p t

¸| ` ¦ ¹ 1 Ô ¦ ~ Ã Ì} õ Û ¼ß ¼\ ¦ y y xyz s 1 l x @ / 0 A

\

[ O u # 6 x % i . Û ¼ß ¼ü < á Ô Ð# o E $ Ý ¼ s

(4)

Fig. 5. (Color online) Patterned images depending on the distance between projection lens and thin film when the mask is away from the lens by 60 cm. The line-widths are 360 µm and 12 µm in (a) and (e) respectively. (a) photomask, (b) 16.90 cm, (c) 16.95 cm, (d) 17.00 cm, (e) 17.05 cm, (f) 17.10 cm.

_

o \ ¦ 20 - 60 cm Ð o r ( ¦ Y Us $ ` O Û ¼ \ -t

H 1.5 mJ Ð ¦& ñ % i Ü ¼ 9 é ß { 9 ` O Û ¼\ ¦ 6 x % i . Û

¼ß ¼ H Edmund Optics _ ] j¾ ¡ § (1951 USAF Contrast Resolution Target)` ¦ 6 x % i ¦ Table 1 É r s Qô Ç o

\

É r C Ö ¦ õ þ j& h J _ 0 Au _ o\ ¦ 8 £ ¤& ñ ô Ç כ s

. 60 cm s © { 9 M : H J ' _ ç _ ì r K 0 p x s y è # ` O Û

¼ \ -t 15 mJ { 9 M : H s o \ ¦ þ j& h ¸| Ü ¼ Ð

&

ñ % i . \ V\ ¦ [ þ t # Q Fig. 5(a)ü < ° ú É r ; ¤ É r 360 µm

Û ¼ß ¼\ ¦ 6 xÙ þ ¡` ¦ M : 30C _ » ¡ ¤ èÖ ¦` ¦ ? /l 0 AK " f á

Ô Ð# o E $ Ý ¼ü < ~ Ã Ì} õ _ o \ ¦ 0.05 mm ç ß Ü ¼ Ð p [

j s 1 l x r ( ` ¦ M : É r ¸~ Ã Ì} _ J É r Fig. 5(b)-(f) ü <

° ú

É r + þ AI \ ¦ Ð% i . Õ ª Q s Qô Ç É r ¸~ Ã Ì} _ & h & ñ J

' _ ç ¸| É r { 9 ì ø Í l < Æ& h s p t + þ A$ í ¸| õ { 9 u

t · ú § H . = É r ¸~ Ã Ì} \ " f_ J ' _ ç É r Y

Us $ ` O Û ¼ \ -t \ y > ì ø Í6 £ x l M :ë H s .

" f Y Us $ _ ` O Û ¼ \ -t ² ú t & h & ñ É r ¸ J '

_ ç É r ² ú | 9 Ã º e . Fig. 6 É r Û ¼ß ¼ü < á Ô Ð# o E $ Ý

¼ s _ o \ ¦ 60 cm Ð ¦& ñ ¦ E $ Ý ¼ü < ~ Ã Ì} o

¸ 17 cm Ð ¦& ñ ¦ ` O Û ¼ \ -t \ ¦ or õ s

. { © ô Ç õ s t ë ß Y Us $ ` O Û ¼ \ -t 0.3 mJ\

"

f 7.5 mJ Ð H % ò % i \ " f þ j& h J ' _ ç É r 1.5 mJ ` O Û

¼\ " f 0 p x % i . ô Ç \ -t \ ¦ 6 x ô Ç â Ä º ' p » ¡ ¤ è C

Ö ¦ s 40C Ð & & t ë ß J _ ¸" fo + þ A ) a כ ` ¦

^

¦ Ã º e . s כ É r Y Us $ c [ jl ì r í / B N ç ß & h Ü ¼ Ð ç

H{ 9 t · ú § ¦ # y Ä ºÛ ¼ + þ AI \ ¦ # Á # Q t 3 l w #

×

æ © Â Ò0 A y © ô Ç כ s { 9 & h " é ¶ s ¦ ½ + É Ã º e . Y U s

$ ` O Û ¼ \ -t 7.5 mJõ ° ú s 5C Ð & & ` ¦ M : H % i r

Ä ºÛ ¼ c + þ AI M :ë H \ _ ; ¤ s 8 & . Ó ü t : r c + þ

AI ¢ - a y ç H{ 9 ô Ç + þ AI 8 ¸ r] X ´ òõ M :ë H

\

_ ; ¤ s 8 & t > ) a . s כ É r _ ; ¤ \ q K U ´ s

H Z > Ð t · ú § É r z ´ ÐÂ Ò' S X ½ + É Ã º e .

Fig. 6. (Color online) Patterned images depending on the laser pulse energy. (a) 0.3 mW, (b) 1.5 mJ, (c) 3 mJ, (d) 4.5 mJ, (e) 6 mJ, and (f) 7.5 mJ.

Fig. 7. (Color online) Patterned images (f)-(j) originated from the line-width of the photomasks (a)-(e) respec- tively.

Û ¼ß ¼\ ¦ 6 x ô Ç Y Us $ J ' _ ç É r Û ¼ß ¼_ ; ¤ \

É

r r] X ´ òõ Ð K ] jô Ç` ¦ ~ Ã Î H . Fig. 7 É r 6 x ô Ç Û

¼ß ¼_ ; ¤ \ É r s p t _ os . Fig. 7(a)-(e) H

6 x ô Ç Û ¼ß ¼_ s p t s 9 Fig. 7(f)-(j) H ~ Ã Ì} J ' _ ç

s p t s . 360 µm _ ; ¤` ¦ Û ¼ß ¼ (a)\ ¦ 6

x % i ` ¦ M : 12 µm_ ; ¤` ¦ L : F M ô Ç s p t (f)\ ¦ Ò q t

$ í

% i . Õ ª Q ; ¤ s É r Û ¼ß ¼\ ¦ 6 x < Ê\ J

' _ ç ) a ; ¤ ¸ y è t ë ß ¸" fo Â Òì r s f \ " f # Á

#

Q H כ ` ¦ ^ ¦ Ã º e . 260 µm _ ; ¤` ¦ Û ¼ß ¼ (d)\ ¦ 6 x % i ` ¦ M : J ' _ ç ) a s p t (i)_ ; ¤ É r 10 µm Ð 4 R" f » ¡ ¤ èÖ ¦ s 26C Ð ± ú t t ë ß s r Û ¼% 7 Ü

¼ Ð H 10 um ; ¤ _ Å Òl & h + þ AI \ ¦ l 2 ¤ l # Q§ >

¦, (e)% ! 3 200 um_ ; ¤` ¦ Û ¼ß ¼ H ì r K ÷ &t · ú §

l 2 ¤ ½ + É Ã º \ O . s כ É r r] X ´ òõ Ð ô Ç ì r K 0 p x _ ô

Ç> ¦ ½ + É Ã º e . s õ H & ³F _ r Û ¼% 7 Ü ¼ Ð þ j

èô Ç_ J ' _ ç s p t \ ¦ Ò q t$ í l 0 Aô Ç Û ¼ß ¼ H 200 - 260 µm s _ # 3 0 A_ Û ¼ß ¼\ ¦ 6 x K ô Ç H כ ` ¦

· ú

Ã º e .

(5)

Fig. 8. (a)-(e); Brightness along the crossing the lines on the thin films in Fig. 7(f)-(j).

Fig. 9. (Color online) Fabricated aluminum mask by using femtosecond laser system. The line width is 230 µm.

Fig. (f)-(j) \ è ß É r ¸~ Ã Ì} _ F g < Æs p t _ µ 1 ß l

\ ¦ & ñ x 9 ' a8 £ ¤ # Ð Fig. 8 (a)-(e)ü < ° ú s É r ¸ { 9

b # Q4 R ç ß Â Òì r s ç H{ 9 t · ú §6 £ §` ¦ · ú Ã º e

. s כ É r Fig. 7 _ F g < Æs p t Ð H ¢ - a# 4 > É r ¸ { 9

b # Q4 R ç ß כ % ! 3 Ðs z ´] j Ð H { 9 Â Ò ï ß Ä » Ó

ü

t s e H כ ` ¦ _ p ô Ç . Fig. 8(e) H { 9 [ þ t s _ ¢ - a

#

4 > b # Q4 R y ¤6 £ §` ¦ Ð# Å Ò ¦ e . ¢ ¸ô Ç r] X ´ òõ

^

¦ Ã º e .

s

H + þ AI _ / å J \ ¦ í < Ê H Û ¼ß ¼\ ¦ f ] X ] j % i ¦ Fig. 9 H ] j ) a “CBNU” ¸ ª _ Û ¼ß ¼s . ] j ) a Û

¼ß ¼_ Ï ã T l H 230 µm s ¦, / B N ) a · ú À Òp ³ o u

Fig. 10. (Color online) Laser patterned images of thin film with (a) 1.5 mJ/pulse and (b) 3 mJ/pulse.

Û

¼ß ¼_ ¿ ºa H 400 - 500 nm s . ] j ) a CBNU · ú À Òp

³ o

u Û ¼ß ¼\ ¦ 6 x # É r ¸~ Ã Ì} J ' _ ç ` ¦ r ¸ % i

. s M : Û ¼ß ¼ü < á Ô Ð# o E $ Ý ¼ s _ o H 60 cm

Ð ¦& ñ ¦, á Ô Ð# o E $ Ý ¼ü < É r ¸{ 9 ~ Ã Ì} _ o

H 17 mm Ð % i Ü ¼ 9, é ß { 9 ` O Û ¼_ 532 nm YAG Y Us

$

\ ¦ 6 x % i . Fig. 10 É r YAG Y Us $ Ø ¦§ 4 \ É r CBNU Û ¼ß ¼ J ' _ ç _ s p t s . 1.5 mJ_ ` O Û ¼\

-t H · ú ¡\ " f_ 3 Û ¼ß ¼ Ð J ' _ ç ô Ç â Ä ºü < ° ú t ë ß

· ú

§ s Ð ô Ç í ß ê ø Í F g _ µ 1 ÏÒ q ts z ´] j J ' _ ç \ È Ò ) a Y

Us $ Ø ¦§ 4 ` ¦ y èr . " f ; ¤ s · ú ¡_ 3 Û

¼ß ¼_ õ 10 µm Ð ç ß × ¦ # Q Fig. 10(a)% ! 3

(6)

;

¤ s 7 - 8 µm & ñ ¸ Ð » ¡ ¤ è÷ &% 3 . Y Us $ ` O Û ¼ \ -t

7 £ x " f ; ¤ ¸ 7 £ x # 3, 4.5, 6 mJ\ " f y y

9, 10, 12 µm _ ß ¼l \ ¦ + þ A$ í % i . ¢ ¸ô Ç J _ â

>

\ " f É r ¸{ 9 ~ Ã Ì} s ç ß 5 Å w ¸ É r Â Òì r s

'

a ¹ 1 Ï÷ &% 3 . s כ É r \ P s Ø æì r y ² ú ÷ &t · ú § s » 1 Ï÷ &

9 " 3 ð r Â Òì r Ü ¼ Ð « Ñ ) a .

IV. + s Ç Â ] Ø

: r ½ ¨\ " f H É r ¸{ 9 ~ Ã Ì} ` ¦ Û ¼ 2 ; ïh A ~ ½ Ód Ü ¼

Ð ] j ¸ ¦ É r ¸{ 9 _ f ¨ Ã º Û ¼& 7 à Ô! 3 Ü ¼ Ð J ' _ ç

\

x Û ¼ß ¼ x 9 30C Ö ¦ _ á Ô Ð# o r Û ¼% 7 ` ¦ s 6 x # 10 µm & ñ ¸_ s Ý ¼\ ¦ s p t \ ¦ J ' _ ç ` ¦ % i .

Y

Us $ ` O Û ¼\ -t ü < Û ¼ß ¼_ ; ¤ \ É r J ' _ ç s p

t _ o\ ¦ ½ ¨ % i . ¢ ¸ô Ç · ú À Òp ³ o u ~ Ã Ì} ` ¦ ] j ¸

¦ & 7 Ð íY Us $ \ ¦ s 6 x # / B G / å J D h í

Ð Û ¼ß ¼\ ¦ f ] X ] j % i Ü ¼ 9 230 µm & ñ ¸_ ; ¤` ¦

7 µm t » ¡ ¤ è H J ' _ ç \ $ í / B N % i .

: r ½ ¨ H í Ðo ÐÕ ªA x l Õ ü t _ @ /^ l Õ ü t Ð ' a d

`

¦ ~ Ã Î ¦ e H Y Us $ J ' _ ç \ @ /ô Ç ½ ¨ Ð ª ô Ç s p t

o_ á Ô 2 ;h A l Õ ü t ½ ¨\ Ö ¸6 x| ¨ c Ã º e ` ¦ כ s .

»

¡

¤ è_ ô Ç> " é ¶ Ü ¼ Ð H r] X s ü @\ ` O Û ¼ Y Us $ ^ _

Ò& ñ S X $ í \ l H כ Ü ¼ Ð Ð .

P

c p 8 ý ò k >

s

7 Hë H É r 2011¸ ¸ Ø æ· ¡ ¤ @ / < Æ § < ÆÕ ü t ½ ¨t " é ¶ \ O _

½ ¨q t " é ¶ \ _ # ½ ¨÷ &% 3 .

Y

c p w Ã U Ø ô

[1] M. M. Ling and Z. Bao, Chem. Mater. 16, 4824 (2004).

[2] B. A. Ridley and B. Nivi, J. M. Jacobson, Science 286, 746 (1999).

[3] J. Wang, Z. Zheng, H. Li, W. Huck and H. Sirring- haus, Nature Mater. 3, 171 (2004).

[4] D. Willis and V. Grosu, Appl. Phys. Lett. 86, 244103 (2005).

[5] H. Sirringhaus, T. Kawase, R. H. Friend, T. Shi- moda, M. Inbasekaran, W. Wu and E. P. Woo, Sci- ence 290, 2123 (2000).

[6] J. Park, M. Hardy, S. J. Kang, K. Barton, K. Adair, D. K. Mukhopadhyay, C. Y. Lee, M. S. Strano, A.

G. Alleyne, J. G. Georgiadis, P. M. Ferreira and J.

A. Rogers, Nature Mater. 6, 782 (2007).

[7] P. Calvert, Chem. Mater. 13, 3299 (2001).

[8] Y.-L. Loo, D. V. Lang, J. A. Rogers and J. W. P.

Hsu, Nano Lett. 3, 913 (2003).

[9] N. Stutzmann, R. Friend and H. Sirringhaus, Sci- ence 299, 1881 (2003).

[10] J. Bohandy, B. Kim, F. Adrianm and A. Jette, J.

Appl. Phys. 63, 1158 (1988).

[11] H. Shin, H. Lee, J. Sung and M. Lee, Appl. Phys.

Lett. 92, 233107 (2008).

[12] H. Shin, H. Kim, J. Ha, K.-S. Lim and M. Lee, Su- perlattices Microstruct. 44, 657 (2008).

[13] F. Weisbuch, S. Lazare, F. N. Goodall and D. De- barre, Appl. Phys. A, 69, 413 (1999).

[14] M. Arronte, P. Neves and R. Vilar, J. Appl. Phys.

92, 6973 (2002).

[15] J. M. Lee, C. Curran and K. G. Watkins, Appl.

Phys. A 73, 219 (2001).

[16] G. Vereecke, E. Rohr and M. Heyns, J. Appl. Phys.

85, 3837 (1999).

[17] S. Kapoor, Langmuir 14, 1021 (1998).

[18] K. Akamatsu, S. Takei, M. Mizuhata, A. Kajinami,

S. Deki, S Takeoka, M Fujii, S Hayashi and K Ya-

mamoto, Thin Solid Films 359, 55 (2000).

r  ¸{ 9 ~ Ã Ì}  ` ¦ Ä »o ó ø Í 0 A\  Û ¼ 2 ; ïh A` ¦ s 6 x #  ] j    ¦ 532 nm_ Nd:YAG Y Us $ ü < á Ô

3 Z 4 14{  ~ Ã Î6 4 Z 4 17{  Ã º& ñ ~ Ã Î6 5 Z 4 7{  > F  X ñ

 É

r  ¸{ 9   ~ Ã Ì}  `  ¦ Ä »o  ó ø Í 0 A\  Û ¼ 2 ; ïh A`  ¦ s 6 x #  ] j    ¦ 532 nm_  Nd:YAG Y Us $ ü < á Ô



Ð#  o  F g  < Ær Û ¼% 7 `  ¦ s 6 x #  ½ ©g Ë :& h     H   [ þ t \  @ / #  30C  » ¡ ¤  è  ) a p [ j J ' _ ç `  ¦ % 3 `  ¦ Ã º e 

% 3  . Y Us $ _  é ß { 9  ` O Û ¼ \  -t ü < á Ô Ð#  o  E $ Ý ¼ü < ~ Ã Ì}  _   o  1 p x`  ¦   Ã º Ð #  þ j& h J ' _ ç



¸| `  ¦   ½ ¨ % i  . ¢ ¸ô  Ç / B G  \  @ /ô  Ç J ' _ ç `  ¦ 0 AK  · ú À Òp ³ o u ~ Ã Ì}  `  ¦ ] j ¸  ¦ & 7  Ð íY Us $  Ð  /

B

N #  Û ¼ß ¼\  ¦ ] j   % i  ¦ s \  ¦  6 x #  10 um s  _    ;  ¤`  ¦ ° ú   H J ' _ ç \  $ í / B N % i  .

Ù þ

d  # Q:  É r  ¸ { 9  , Y Us $  J ' _ ç , Nd:YAG Y Us $ ,  í Ð Û ¼ß ¼, F g á Ô Ð#  o 

Laser Patterning of Nanoparticulate Silver Thin Film by Using an Optical Projection System

Jung-Hyun Choi · Ki-Soo Lim ∗

Department of Physics, Chungbuk National University, Cheongju 361-763 (Received 14 March 2012 : revised 17 April 2012 : accepted 7 May 2012)

PACS numbers: 42.82.Cr, 42.30.Va, 42.88.+h, 78.66.Bz,78.20.Nv

Keywords: Silver nanoparticles, Laser patterning, Nd:YAG laser, Photo-mask, Optical projection

I. " e Â ] Ø



&

³F _       © u \ " f F K5 Å q ~ Ã Ì}  _  J    É r   F G 1 p x  & ³ F

    l l \ " f  Å Ò  9 כ ¹ô  Ç  > r F s  . s  J   [ þ t É r  Ð :



x l  ©  7 £ x  Ã Ì Ê ê \ g A`  ¦ s 6 x K  J ' _ ç   H  í Ðo  ÐÕ ª A

x  l Õ ü t  Ð ë ß [ þ t # Q  .  í Ðo  ÐÕ ªA x  l Õ ü t É r Z  } É r K

 ©  ¸\  ¦ t m t ë ß   ¦ : r,   / B N x 9 é ß > _  4  ¤ ¸ ú ô  Ç / B N& ñ

`

 ¦ כ ¹½ ¨ Ù ¼ Ð r ç ß õ  q 6 x _  8 £ ¤  \ " f q ´ òÖ  ¦& h { 9  ÷  r

E-mail: [email protected]



m   7 £ x  Ã Ìõ  \ g A_  ì ø Í4  ¤ Ü ¼ Ð F « Ñ  < Hz ´s  ´ ú § ¦ Õ ª Q ô

 Ç õ & ñ \ " f ´ ú § É r o < Æ& h ` l Ó ü t _   ª í ß  ¢ ¸ô  Ç Ô  ¦ x  

.   H A \   H Ä »  ô  Ç      è  כ ¹½ ¨÷ & ¦ e   ¦  ¦ : r %  o

 x 9 o < Æ& h \ g A\  | v 9  Ã º \ O   H Ó ü t| 9 _   6 x s  Ô  ¦  x

ô  Ç  â Ä º ´ ú §  { 9 ì ø Í& h   o  èÕ ªA x  / B N& ñ @ /  $ q  6

x, $  : r x 9 @ /  & h o / B N& ñ _  > hµ 1 Ïs  ×  æ כ ¹ô  Ç כ ¹ è Ð   ½ ¨

÷

& ¦ e    [1–10]. ¢ ¸ô  Ç Ã ºz  nm_    ;  ¤`  ¦ כ ¹½ ¨   H ì ø Í



¸^   è \  ¦ ] jü @ô  Ç ´ ú § É r      è \ " f  H z ´] j s ß ¼



Ð p '  ß ¼l _  J   s   6 x ÷ &Ù ¼ Ð  è  ] j  \  כ ¹½ ¨÷ &



 H  í Ðo  ÐÕ ªA x _  é ß >  / B N& ñ ×  æ { 9 Â Ò\  ¦ @ /^ ½ + É Ã º

-477-

Fig. 1. (Color online) Laser patterning with a projection lens.

e 

  H ç ß é ß ô  Ç l Õ ü t s  e     ] j ¸q 6 x`  ¦  © { © Â Òì  r ] X y  

½

+ É Ã º e  >   ) a .



: r   ½ ¨ü <  ' aº  s  e    H Laser-induced forward trans- fer(LIFT) l Õ ü t É r [10] | 9 5 Å q ) a ` O Û ¼ Y Us $ \  ¦ ² D G Â Ò& h  

\ P

 / B N/ å L" é ¶ Ü ¼ Ð  6 x #  F K5 Å q s  7 £ x  Ã Ì  ) a r « Ñ ÐÂ Ò'  s 

\

 ] X 8 ú ¤ ¢ ¸  H   H] X   ¦ e    H ¢ ¸  _  l ó ø Í 0 A Ð Ó ü t| 9 



 s \  ¦ Ä » ¸   H ~ ½ Ód  s  . LIFT\  ¦ s 6 x #  Ag, Cu, Cr 1 p x  ª ô  Ç F K5 Å q ~ Ã Ì}   J   `  ¦ + þ A$ í ô  Ç \ V  Ð ¦÷ &% 3 Ü ¼

 [11, 12], s   H | 9 5 Å q ) a Y Us $  c  `  ¦ Û ¼ ± p   H f  § > = ~ ½ Ó d 

s Ù ¼ Ð [13]  ª ô  Ç ß ¼l ü <  ¸ ª `  ¦   4  ¤ ¸ ú ô  Ç J  

`

 ¦ Â ú ª É r r ç ß  ? /\  + þ A$ í   H X <\   H   H : r& h   ô  Ç>  e  

.  : r  7 Hë  H \ " f  H Fig. 1 õ  ° ú s  Y Us $  c  s  Û ¼ß ¼\  ¦ :



x õ    " f / B N ç ß     ¸  ) a c  `  ¦ r  á Ô Ð#  o  E $ Ý ¼\  ¦ :  x K

 » ¡ ¤  è  ¦ F K5 Å q ~ Ã Ì}  \  f  ] X  J ' _ ç   H / B N& ñ `  ¦ r  ¸

% i  .

#

 Q t   ¸ ª õ  ß ¼l _  s p t \  ¦ ë ß [ þ t # Q? /  H J '  _ ç

l Õ ü t É r á Ô 2 ;h A l Õ ü t \ " f ×  æ כ ¹ô  Ç Â Òì  r \  5 Å q ô  Ç . þ j



 H Nd:YAG Y Us $ \  ¦ s 6 x #  · û ª É r  É r  ¸{ 9   ~ Ã Ì}  

\

 \ P ò ø Í$ í § 4 `  ¦ s 6 x ô  Ç á Ô 2 ;h A l Õ ü t s   Ð ¦÷ &% 3 Ü ¼ 9 [11, 12], KrF " l or  Q Y Us $ ü < á Ô Ð#  o  r Û ¼% 7 `  ¦ s 6 x #  e

 ¦ o  Q 0 A\  s ß ¼ Ðp '   s Ý ¼_  J ' _ ç \  @ /ô  Ç  7 Hë  H

¢

¸ô  Ç  Ð ¦÷ &% 3   [13]. ³ ð  \  f  ¨  Ã Ì÷ &# Q e    H  É r { 9  \ 

` O

Û ¼ Y Us $   ¸ ÷ &  \  -t  f  ¨ Ã º\  _ K  { 9  _   : r

r ¸{ 9 ~ Ã Ì} ` ¦ Ä »o ó ø Í 0 A\ Û ¼ 2 ; ïh A` ¦ s 6 x # ] j ¦ 532 nm_ Nd:YAG Y Us $ ü < á Ô

3 Z 4 14{ ~ Ã Î6 4 Z 4 17{ Ã º& ñ ~ Ã Î6 5 Z 4 7{ > F X ñ

É

r ¸{ 9 ~ Ã Ì} ` ¦ Ä »o ó ø Í 0 A\ Û ¼ 2 ; ïh A` ¦ s 6 x # ] j ¦ 532 nm_ Nd:YAG Y Us $ ü < á Ô

Ð# o F g < Ær Û ¼% 7 ` ¦ s 6 x # ½ ©g Ë :& h H [ þ t \ @ / # 30C » ¡ ¤ è ) a p [ j J ' _ ç ` ¦ % 3 ` ¦ Ã º e

% 3 . Y Us $ _ é ß { 9 ` O Û ¼ \ -t ü < á Ô Ð# o E $ Ý ¼ü < ~ Ã Ì} _ o 1 p x` ¦ Ã º Ð # þ j& h J ' _ ç

¸| ` ¦ ½ ¨ % i . ¢ ¸ô Ç / B G \ @ /ô Ç J ' _ ç ` ¦ 0 AK · ú À Òp ³ o u ~ Ã Ì} ` ¦ ] j ¸ ¦ & 7 Ð íY Us $ Ð /

N # Û ¼ß ¼\ ¦ ] j % i ¦ s \ ¦ 6 x # 10 um s _ ; ¤` ¦ ° ú H J ' _ ç \ $ í / B N % i .

d # Q: É r ¸ { 9 , Y Us $ J ' _ ç , Nd:YAG Y Us $ , í Ð Û ¼ß ¼, F g á Ô Ð# o

Jung-Hyun Choi · Ki-Soo Lim ^∗

³F _ © u \ " f F K5 Å q ~ Ã Ì} _ J É r F G 1 p x & ³ F

l l \ " f Å Ò 9 כ ¹ô Ç > r F s . s J [ þ t É r Ð :

x l © 7 £ x Ã Ì Ê ê \ g A` ¦ s 6 x K J ' _ ç H í Ðo ÐÕ ª A

x l Õ ü t Ð ë ß [ þ t # Q . í Ðo ÐÕ ªA x l Õ ü t É r Z } É r K

© ¸\ ¦ t m t ë ß ¦ : r, / B N x 9 é ß > _ 4 ¤ ¸ ú ô Ç / B N& ñ

¦ כ ¹½ ¨ Ù ¼ Ð r ç ß õ q 6 x _ 8 £ ¤ \ " f q ´ òÖ ¦& h { 9 ÷ r

m 7 £ x Ã Ìõ \ g A_ ì ø Í4 ¤ Ü ¼ Ð F « Ñ < Hz ´s ´ ú § ¦ Õ ª Q ô

Ç õ & ñ \ " f ´ ú § É r o < Æ& h ` l Ó ü t _ ª í ß ¢ ¸ô Ç Ô ¦ x

. H A \ H Ä » ô Ç è כ ¹½ ¨÷ & ¦ e ¦ ¦ : r % o

x 9 o < Æ& h \ g A\ | v 9 Ã º \ O H Ó ü t| 9 _ 6 x s Ô ¦ x

ô Ç â Ä º ´ ú § { 9 ì ø Í& h o èÕ ªA x / B N& ñ @ / $ q 6

x, $ : r x 9 @ / & h o / B N& ñ _ > hµ 1 Ïs × æ כ ¹ô Ç כ ¹ è Ð ½ ¨

& ¦ e [1–10]. ¢ ¸ô Ç Ã ºz nm_ ; ¤` ¦ כ ¹½ ¨ H ì ø Í

¸^ è \ ¦ ] jü @ô Ç ´ ú § É r è \ " f H z ´] j s ß ¼

Ð p ' ß ¼l _ J s 6 x ÷ &Ù ¼ Ð è ] j \ כ ¹½ ¨÷ &

H í Ðo ÐÕ ªA x _ é ß > / B N& ñ × æ { 9 Â Ò\ ¦ @ /^ ½ + É Ã º

e

H ç ß é ß ô Ç l Õ ü t s e ] j ¸q 6 x` ¦ © { © Â Òì r ] X y

+ É Ã º e > ) a .

: r ½ ¨ü < ' aº s e H Laser-induced forward trans- fer(LIFT) l Õ ü t É r [10] | 9 5 Å q ) a ` O Û ¼ Y Us $ \ ¦ ² D G Â Ò& h

/ B N/ å L" é ¶ Ü ¼ Ð 6 x # F K5 Å q s 7 £ x Ã Ì ) a r « Ñ ÐÂ Ò' s

] X 8 ú ¤ ¢ ¸ H H] X ¦ e H ¢ ¸ _ l ó ø Í 0 A Ð Ó ü t| 9

s \ ¦ Ä » ¸ H ~ ½ Ód s . LIFT\ ¦ s 6 x # Ag, Cu, Cr 1 p x ª ô Ç F K5 Å q ~ Ã Ì} J ` ¦ + þ A$ í ô Ç \ V Ð ¦÷ &% 3 Ü ¼

[11, 12], s H | 9 5 Å q ) a Y Us $ c ` ¦ Û ¼ ± p H f § > = ~ ½ Ó d

s Ù ¼ Ð [13] ª ô Ç ß ¼l ü < ¸ ª ` ¦ 4 ¤ ¸ ú ô Ç J

¦ Â ú ª É r r ç ß ? /\ + þ A$ í H X <\ H H : r& h ô Ç> e

. : r 7 Hë H \ " f H Fig. 1 õ ° ú s Y Us $ c s Û ¼ß ¼\ ¦ :

x õ " f / B N ç ß ¸ ) a c ` ¦ r á Ô Ð# o E $ Ý ¼\ ¦ : x K

» ¡ ¤ è ¦ F K5 Å q ~ Ã Ì} \ f ] X J ' _ ç H / B N& ñ ` ¦ r ¸

% i .

Q t ¸ ª õ ß ¼l _ s p t \ ¦ ë ß [ þ t # Q? / H J ' _ ç

l Õ ü t É r á Ô 2 ;h A l Õ ü t \ " f × æ כ ¹ô Ç Â Òì r \ 5 Å q ô Ç . þ j

H Nd:YAG Y Us $ \ ¦ s 6 x # · û ª É r É r ¸{ 9 ~ Ã Ì}

\ P ò ø Í$ í § 4 ` ¦ s 6 x ô Ç á Ô 2 ;h A l Õ ü t s Ð ¦÷ &% 3 Ü ¼ 9 [11, 12], KrF " l or Q Y Us $ ü < á Ô Ð# o r Û ¼% 7 ` ¦ s 6 x # e

¦ o Q 0 A\ s ß ¼ Ðp ' s Ý ¼_ J ' _ ç \ @ /ô Ç 7 Hë H

¸ô Ç Ð ¦÷ &% 3 [13]. ³ ð \ f ¨ Ã Ì÷ &# Q e H É r { 9 \

Û ¼ Y Us $ ¸ ÷ & \ -t f ¨ Ã º\ _ K { 9 _ : r

¸ © 5 p x > ÷ & ¦ Õ ª\ É r / å L ô Ç \ P Ø ½ ÓÜ ¼ Ð { 9

H \ P ò ø Í$ í § 4 ` ¦ ~ Ã Î> ) a . s Qô Ç \ P ò ø Í$ í § 4 É r { 9 \ ¦ l ó

ø ÍÜ ¼ ÐÂ Ò' ì r o 9 H j Ë µÜ ¼ Ð 6 x Ù ¼ Ð ë ß \ P ò ø Í$ í

4 s { 9 ü < l ó ø Í s _ Â Ò Ã Ì§ 4 ì ø ÍX <Ø Ôµ 1 ÏÛ ¼(van der Waals) j Ë µ Ð 9 þ t â Ä º { 9 H l ó ø ÍÜ ¼ ÐÂ Ò' b # Q4 R

¸> ÷ &# Q Ó ü t| 9 _ ² D G Â Ò& h desorption` ¦ 0 p x > ô Ç [14–16]. l ó ø Í\ " f { 9 ì r o ÷ & 9 H j Ë µ É r { 9 _ f â õ

: r ¸ s \ q Y Vô Ç [þ j 19]. & 7 Ð í Ti:sapphire Y U s

$ ` O Û ¼\ ¦ s 6 x # ~ Ã Ì} ` ¦ ¸Ø ¦ r & Ð ¤Ü ¼ Z } É r Ø

¦§ 4 e \ ¸ Ô ¦ ½ ¨ ¦ Á º ~ Ã Ì} _ s » 1 Ïs { 9 # Q t · ú §

¤ . s כ É r Ti:sapphire Y Us $ _ © \ " f É r ¸{ 9

_ f ¨ Ã º p p ½ + É ÷ r m Ã ºz fs \ " f \ P \ -t

s s À Ò# Qt l \ H -Á º Â ú ª Ã º ns & ñ ¸_ Nd:YAG Y

Us $ 8¹ ¡ ¤ & h ½ + Ë ¦ ^ ¦ Ã º e ¦ z ´] j Ð & 7 Ð í Y U s

$ H s 6 x ÷ & ¦ e t · ú § .

: r 7 Hë H \ " f H c _ / B N ç ß ¸ ~ ½ Ód Ü ¼ Ð projection mode \ ¦ s 6 x ô Ç Y Us $ J ' _ ç \ @ / # ½ ¨ % i .

¼ 2 ; ïh A ~ ½ Ód ` ¦ s 6 x # É r ¸{ 9 ~ Ã Ì} ` ¦ ] j ¸

i ¦ Q-Û ¼0 Ag A Nd:YAG Y Us $ ü < á Ô Ð# o r Û ¼% 7 ` ¦ s 6

x ô Ç 10 s ß ¼ Ðp ' s _ Ï ã T l \ ¦ s p t J '

_ ç \ @ / # ½ ¨ % i . ¢ ¸ô Ç e _ _ + þ AI _ / å J \ ¦

í < Êô Ç Û ¼ß ¼\ ¦ f ] X ] j # J ' _ ç z ´+ « >` ¦ Ã º'

% i .

É

r ¸ { 9 ~ Ã Ì} ` ¦ ë ß [ þ t l 0 AK l ó ø Í6 x _ þ t s × ¼ / å J

Û ¼ (ß ¼l 76 mm × 26 mm, ¿ ºa 1 mm , Marienfeld, Germany) ü < É r ¸ e ç ß ¼(0 l x ¸ 20 ± 0.2 %, { 9 ß ¼l 20 ± 10 nm, ABC Nanotech)\ ¦ 6 x % i . _ þ t s × ¼ /

J Û ¼\ ¦ 6 x l & h { © ¸2 ¤ 26 mm × 26 mm _ ß ¼ l

Ð Ø Ô ¦ [ j : r õ B jò ø Í` ¦ Ð [ j' ¦, 7 £ x À ÓÃ º\ " f

í6 £ § Ð [ j' % i . Õ ª Ê ê Û ¼ 2 ; ï' (spin coater, YS- 100D, Ä »{ 9 ' pt m # Qa A)0 A\ ` ¦ 9Z ~ ¦ ï r q ) a É r ¸ e ç

ß ¼\ ¦ b # Q ä ¼o ¦ ïh A % i . Û ¼ 2 ; 5 Å q ¸ H 3500 rpm Ü

¼ Ð ¦ 15 - 60 í Ð o 9 _ Û ¼à Ôô Ç Ê ê þ j& h ¸| Ü

¼ Ð 15 í\ ¦ × þ % i ¦ ] j ¸ Ê ê © : r \ " f 2{ 9 ç ß | ¸r (

. Fig. 2 H : r ½ ¨\ 6 x ) a ª ô Ç Y Us $ J ' _ ç

½ Ód ` ¦ Ð# Å Ò H ¸d ¸s . Y Us $ H Spectra Physics _

Nd:YAG ` O Û ¼ Y Us $ (532 nm, ` O Û ¼; ¤: 8 ns, ì ø Í4 ¤Ö ¦:

10 Hz) _ é ß { 9 ` O Û ¼\ ¦ 6 x % i . Y Us $ f â s 9 mm s Ù ¼ Ð Ä ºr î ß + þ AI _ c Ü ¼ ÐÂ Ò' / B N ç ß & h Ü ¼ Ð q