CVD T à X Ø© Ž  ÂÊ S Ë • « ç g Ëõ u § ü” X ¢ œ ÄU ê s ‘ × Þ Ã Å„ ÆA 0V Ä M 0 n É Ž ì ŏ Œ

CVD  T  à X Ø© Ž  ÂÊ S Ë • « ç g Ëõ u §  ü” X ¢ œ ÄU ê s ‘  ×  Þ Ã Å„ ÆA 0V Ä M 0 n É Ž ì ŏ Œ

-

! H) ç %
 ^∗

î

ß –1 l x @ /† < Ɠ § Ó ü t o † < Æõ , î ß –1 l x 760-749



™ »‹ È Ñ+ Ö < · ö ¶ B) ç  . >

$ í

ç  H› ' a @ /† < Ɠ § l > / B N † < Æ Ò, à º" é ¶ 440-746 (2005¸   10 Z 4 15{ 9  ~ à Î6 £ §)



1 l x  o  ) a Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   8 £ ¤& ñ r Û ¼% 7 ›\  _ ô  Ç Y U{ 9 o  (Rayleigh) ³ ð€    d ” y Œ •ô  Ç  — ¸ ¨ 8 Š â \ " f Ã

º" î ƒ   © œ_  3 l q& h Ü ¼– Ð  ïh A ) a CVD (chemical vapor deposit)  s   7 H × ¼ 8 £ x _  ¨ î \  ¦ 0 AK   6   x ÷ &

%

3  . ¿ º F | 9   s  ] X ½ + Ë_  | 9 `  ¦ > h‚   l  0 AK " f  H & ñ | ¾ Ó& h “   ¨ î  B Ä º ×  æ כ ¹  9 s \  ¦ 0 AK  Ê ê

~

½ Óí ß –ê ø Í ’    ñ\  ¦ ´ òÖ  ¦& h Ü ¼– Ð ì  r$ 3 ½ + É Ã º e ”   H TTAS (Time Trace Angular Scan) ü < FSAS (Frequency Spectrum Angular Scan) s    H ’    ñ% ƒo  l Z O s  • ¸{ 9 ÷ &% 3  . ’    ñ% ƒo \  ¦ : Ÿ x K  S \ ‰1 p q ) a Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ô

–

Ð { 9 [ þ t – РÒ'  CVD 8 £ x õ  z  ´o – B H l t  s   â > €  _  ] X ½ + Ë_  | 9 “ É r  ïh A„   ³ ð€    } 9 l 
 [ j' ‘ › ¸| 

\

 ß ¼>  % ò † ¾ Ó`  ¦ ~ à Î6 £ §`  ¦ S X ‰ “   % i  . z  ´+ « >_    õ [ þ t“ É r Y U{ 9 o  ³ ð€   _  ¾ º[ O  ‰ & ³ © œ“   Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤  ü < • ¸{ 9 

 )

a ’    ñ% ƒo  l Z O s  B Ä º · û ª“ É r CVD  s   7 H × ¼ 8 £ x _  q  õ & h  ¨ î \  B Ä º Ä »6   x † < Ê`  ¦ ˜ Ð# ŒÅ Ò% 3  .

PACS numbers: 43.35Zc, 43.35Pt, 68.35Gy

Keywords: œ í6 £ §  , Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤  , CVD  ïh A, Å Ò à º Û ¼& 7 ˜à Ô! 3 , Ó  o^ ‰-“ ¦^ ‰  â > €  , Ê ê~ ½ Óí ß –ê ø Í

I. " e  ] Ø

l

>  x 9  ½ ¨› ¸Ó ü t _  Ù þ ˜d ”  Ҿ ¡ § \   H 8 A# Qè ß – l > & h  : £ ¤$ í

`

 ¦ t m   H “ ¦$ í 0 p x _  F « Ñ\  ¦ כ ¹ô  Ç . é ß –{ 9  F « і Ð “ ¦y © œ• ¸, Z

 }“ É r ] X ƒ  $ í , Õ ªo “ ¦ ? / Òd ” $ í 1 p x _  Ä ºÃ ºô  Ç : £ ¤$ í [ þ t`  ¦ 1 l x r

\  ë ß –7 á ¤ r v l   H # Q 9Ä º
  8 £ x] X ½ + Ë\  _ ô  Ç F « э  H s 



Qô  Ç ë  H ] j[ þ t`  ¦ F G4 Ÿ ¤ ½ + É Ã º e ”   H 
_  K   Õ þ ˜s   ) a  . þ j



 H \   1 l x , › ¸‚  , † ½ Ó/ B N, Ä ºÅ Òí ß –\ O  1 p x _    ~ ½ Ӏ  \ " f / å L 5

Å

q >  µ 1 ϲ ú ˜ “ ¦ e ”   H ' ‘ é ß – F « Ñ_  Ø  ¦‰ & ³õ  s 7 á x] X ½ + Ë F 

«

Ñ_  + À :’  & h “   > hµ 1 Ï $ í õ   H F G ô  Ç ¨ 8 Š â \  & h 6   x ½ + É Ã º e ”   H í

ß –\ O ] j¾ ¡ § _   © œ6   x  o\  ¦ ‚  • ¸ “ ¦ e ”  . : £ ¤ y , CVD  s 



 7 H × ¼  ïh A] j  H d ” y Œ •ô  Ç  — ¸\  ¦ µ 1 ÏÒ q tr v   H › ¸|  \ " f s

6   x ÷ &  H l >   Ҿ ¡ § _  à º" î `  ¦ ƒ   © œr v   H % i ½ + É`  ¦ “ ¦, B

Ä º Z  }“ É r  ⠕ ¸ü < \ P „  • ¸• ¸, Ä ºÃ ºô  Ç „  l & h  $ † ½ Ó, Õ ªo 

“

¦ _ …á ԏ : r ë ß –
p u Ä ºÃ ºô  Ç ? / Òd ” $ í `  ¦ t    ™ èF – Ð # Œ Q & h  6

 

x ì  r  \ " f Å Ò3 l q`  ¦ ~ à Γ ¦ e ”  . ¢ ¸ô  Ç, 8 A# Qè ß – l > & h  \ P 

&

h

 : £ ¤$ í M :ë  H \  G ' p" fü < " l oÆ Ó\ s '  (actuator)_  6 £ x6   x  Ò

¾

¡

§ \ • ¸ ; Ÿ ¤V , >  s 6   x| ¨ c à º e ”  . Z  }“ É r \ P „  • ¸• ¸ : £ ¤$ í õ  † < Ê a

   + þ A 1 l qw n  ò ø Í$ í (strain independent elasticity), Z  }“ É r 

õ  y © œ• ¸ü <  ⠕ ¸_  : £ ¤$ í `  ¦ t u  ´ à º e ” # Q  s ß ¼– Ð l > 

∗

E-mail: [email protected] Tel: 054-820-5447, Fax: 054-823-1628

Â

Ò¾ ¡ § \  s  © œ& h Ü ¼– Ð  6   x ) a  . • ¸i ç \  _ K   s   7 H × ¼ _

 $ † ½ Ó$ í “ É r 10 mΩcm

⁻¹

\ " f 10

¹⁴

mΩcm

⁻¹

 t _  # 3 0 A

\

 ¦ ° ú l  M :ë  H \   ҕ ¸^ ‰, ì ø ͕ ¸^ ‰, Õ ªo “ ¦  _  F K5 Å q õ  ° ú  

“ É

r • ¸^ ‰– Ð+ ‹ s 6   x| ¨ c à º e ”   H  € ª œô  Ç : £ ¤$ í `  ¦ ™ èÄ » “ ¦ e ” 



. Õ ª Q
  ïh A ) a  s   7 H × ¼ 8 £ x õ  l t  (substrate)  s

\  ò ø Í$ í > à º
 \ P Ø Ÿ ‚ ½ Ó> à º s \ " f l “  ô  Ç ] X ½ + Ë_  | 9  (bonding quality) \  ´ ú §“ É r ë  H ] j ˜ Г ¦÷ &“ ¦ e ”   [1,2]. s 



  Ä ºÃ ºô  Ç ] X ½ + ËF  s 6   x ÷ &  H  © œ\ O 6   x ] j¾ ¡ § _  ’  ø @$ í x 9 

¾

¡ §| 9  † ¾ Ó © œ`  ¦ 0 AK " f  H ] X ½ + ËF _  ƒ  ½ ¨> hµ 1 ϓ É r Ó ü t : r þ j& h 

&

h ½ + ˛ ¸| _    & ñ 1 p x s  € 9 כ ¹  9,  © œ ë  H ] jr  ÷ &“ ¦ e ”   H



6   x ×  æ ] X ½ + ËF _  ] X ½ + Ëy © œ• ¸ (bonding strength)\    & ñ

&

h “   % ò † ¾ Ó`  ¦ p u   H ] X ½ + Ë> €  _  ~ à Ìo , p ] X ½ + ËÂ Ò 1 p x _  ¨ î

\  ¦ 0 Aô  Ç & ñ | ¾ Ó& h “   q  õ ¨ î l Õ ü t _  S X ‰ w n s  ] X @ /& h Ü ¼

–

Ð כ ¹½ ¨÷ &“ ¦ e ”   H z  ´& ñ s   [3].

s

 Qô  Ç ] X ½ + ËF « Ñ\  @ / # Œ r + « >¼ # _  ’ < H  © œ \ O s  y Œ • 8 £ x _

 : £ ¤$ í ÷  r ë ß –  m   ] X ½ + Ë © œI \  ¦ ¨ î ½ + É Ã º e ”   H l Z O s  כ

¹½ ¨  ) a  . ³ ð€  `  ¦    „      H Y U{ 9 o  ³ ð€  ò ø Í$ í    H U

 ·s \     t à º& h Ü ¼– Ð y Œ ™™ è   H   0 A\  ¦ ˜ Ðs  9 ´ òõ 

&

h “   g Ë >È ÒU  ·s   H ô  Ç   © œ & ñ • ¸s   [4]. ³ ð€   _  „    :

£ ¤$ í “ É r ³ ð€  t % i  ô  Ç   © œs ? /_  U  ·s \    É r Ó ü t$ í    o

\

 _ K    & ñ ÷ &# Q ³ ð€  t % i  Ó ü t$ í    o_  Ä »Æ Ò 0 p x  

[5]. þ j   H { 9  ô  Ç ~ ½ ӆ ¾ ÓÜ ¼– Ð  © œ{ © œ| ¾ Ó_  ç ß –[ O $ í (coherent)

-374-

œ

í6 £ §   ÷ &[  t  š ¸  H Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   (backward radiation)\  ¦ s

6   x ô  Ç r ¼ #  ³ ð€  t % i _  p [ j½ ¨› ¸\  @ /ô  Ç ƒ  ½ ¨ e ” % 3 “ ¦ [6] F  g @ /% i _  œ í6 £ §  \  ¦  6   x # Œ Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤    ) a œ í6 £ §  _  { 9 



y Œ • _ ” > r$ í Ü ¼– РÒ'   Òì  r& h “   ³ ð€    5 Å q • ¸_  Å Ò à º _ 

”

> r$ í s  ¨ î ÷ &% 3   [7]. ^  ¦ 7 ˜ ïÚ ÔÛ ¼v  (Brekhovskikh)_  ì

ø Í4 Ÿ ¤ (Iteration)Z O \     Ó  o^ ‰/ 8 £ x “ ¦^ ‰  â > €  \ " f ” > r F

   H ³ ð€   ü < Õ ª  _  Å Ò à º _ ” > r$ í `  ¦ r Ó ý t Y Us ‚   ] X

  H s  à º' Ÿ  ) a   e ”   [8].

‘

: r ƒ  ½ ¨\ " f  H CVD  s   7 H × ¼  ïh A 8 £ x _  ] j› ¸õ & ñ

×

 æ \  ] X ½ + Ëy © œ• ¸\  Å Òכ ¹ >  % ò † ¾ Ó`  ¦ p u   H ] X ½ + ˀ  _  › ¸

•

¸, ] X ½ + ˀ  _  [ j' ‘ % ƒo   © œI  1 p x _  › ¸| \  @ / # Œ Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤



  ) a œ í6 £ §  _  { 9  y Œ • _ ” > r$ í Ü ¼– РÒ'  ] X ½ + Ë Ò_  ] X ½ + Ëy © œ

•

¸\    É r & ñ | ¾ Ó& h “   q  õ ¨ î l Õ ü t`  ¦ S X ‰ w n ½ + É Ã º e ”   H Ê

ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §  _  ’    ñK $ 3  l Z O \  › ' a ô  Ç ƒ  ½ ¨ r • ¸

÷

&% 3  .

II. œ ÄU ê s ‘  ×  7 _ø m ÇP  ƒ »ì Å 

Ó 

o^ ‰/“ ¦^ ‰  â > €  \  œ í6 £ §    â  t >  { 9   €    â

>

€  \ " f  H ì ø Í , Ï ã J] X , Õ ªo “ ¦ — ¸× ¼  ¨ 8 Š s  { 9 # Qè ß – .  â

>

€  \ " f Ê ê~ ½ Óí ß –ê ø Í  ) a œ í6 £ §   [ jl _  { 9  y Œ • _ ” > r$ í / B G

‚

 \  — ¸× ¼„  ¨ 8 Š \  _ K  “ ¦^ ‰³ ð€  \  ³ ð€    µ 1 ÏÒ q t   H Y U { 9

o  y Œ •\ " f  H / å L  ô  Ç [ jl _  7 £ x \  ¦ ˜ Ðs   H Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤  

\

 ¦ › ' a ¹ 1 Ͻ + É Ã º e ”  . Ó ü t5 Å q \  { Œ ™|   r + « >^ ‰\  Y U{ 9 o  y Œ •Ü ¼

–

Ð œ í6 £ §  \  ¦ { 9  r v €   @ / Òì  r _  \  -t  — ¸× ¼  ¨ 8 Š \  _

K  Y U{ 9 o  ³ ð€    (Rayleigh surface wave)– Ð „  ¨ 8 Š ÷ &# Q

³

ð€  Ü ¼– РÒ'  à º   © œ& ñ • ¸_  U  ·s \ ë ß – \  -t  ì  r Ÿ í 

€

 " f ³ ð€  `  ¦    „   ô  Ç .   " f Y U{ 9 o  ³ ð€   _  µ 1 Ï Ò q

tõ  í ß –ê ø Í Õ ªo “ ¦ ¾ º[ O õ  › ' aº   ) a Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤    ) a œ í6 £ §   [ j l

_  { 9  y Œ • _ ” > r$ í “   Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ԗ Ð { 9 \   H r + « >^ ‰_ 

³

ð€  t % i  Ó ü t$ í \  @ /ô  Ç & ñ ˜ Ð Ÿ í† < Ê÷ &# Q e ”  .

Fig. 1 \ " f ˜ Ðs   H  כ õ  ° ú  s  Ó ü t \ " f r + « >^ ‰– Ð_  { 9   y

Œ

•(θ

ⁱ

), Ó ü t \ " f_  œ í6 £ §   5 Å q • ¸(C

ⁱ

), Õ ªo “ ¦ Ï ã J] X y Œ •(θ

^r

) s 

Fig. 1. Schematic representation of Rayleigh Surface wave



 ½ + É  â Ä º, r + « >^ ‰ ? / Ò\  ¦ ”  ' Ÿ    H Y U{ 9 o  ³ ð€   _  5 Å q

•

¸(C

^R

)  H Û ¼3 A q_  Z O g Ë :\  _ K " f

C

R

= C

i

sin θ

i

(1)

ü

< ° ú  s  Å Ò# Q”   .

Y

U{ 9 o y Œ •   H % ƒ_  { 9  y Œ • θ

i

\ " f ³ ð€    µ 1 ÏÒ q t½ + É M :, Ê

ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §  _  [ jl _  { 9  y Œ • _ ” > r$ í , A

_B

(θ

i

)  H   6

£ § d ”  (2)ü < ° ú  s  Å Ò# Q”    [7].

A

B

(θ

i

) = A Z

∞

0

T (f )C(f, d) × D[θ

i

− Θ(f )]

²

df (2)

#

Œl " f, f  H œ í6 £ §  _  Å Ò à º, A  H q Y V © œÃ ºs “ ¦, D(θ)  H { 9   œ í6 £ §  _  t † ¾ Ó$ í , T (f )  H „ à Ð8 ú ¤  _  Å Ò  Ã

º : £ ¤$ í Ü ¼– Ð Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §  \   6   x ) a „ à Ð8 ú ¤  _  : £ ¤$ í

`

 ¦
  · p . C(f, d)  H ß ¼l  d“   í ß –ê ø Í \  _ ô  Ç „  ~ ½ Ó

¾

º[ O  \ " f Ê ê~ ½ Ó ¾ ºÃ º – Ð_    ¨ 8 Š ´ òÖ  ¦ – Ð ³ ð€   _  í ß – ê

ø Í : £ ¤$ í `  ¦
  · p . Θ(f)  H y Œ •• ¸ ì  r í ß –$ í † < Êà º– Ð" f ³ ð€   

_  Å Ò à º _ ” > r$ í õ  › ' aº   e ”   H † ½ Ós  . D(θ)ü < T (f)  H



© œu _  : £ ¤$ í \  _ ” > r  9, C(f, d)ü < Θ(f)  H r + « >¼ # _  Ó ü t

$ í

: £ ¤$ í \  _ ” > r Ù ¼– Ð, 1 l x{ 9  r + « >  © œu \  ¦ s 6   x ½ + É  â Ä º\ 



 H Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ԗ Ð { 9 _     o  H „  & h Ü ¼– Ð r + « >¼ # _  Ó ü t

$ í

\  _  l  M :ë  H \  Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ԗ Ð { 9  ? /\   H r + « >¼ #  _

 Ó ü t$ í    o & ñ ˜ Ð\  ¦ ? /Ÿ í “ ¦ e ”  .

III. ÷ m Ç] M öX ê sV  õ m Í S ] M ö  Å

‘

: r ƒ  ½ ¨\   6   x ) a CVD  s   7 H × ¼ ~ à Ì} Œ • r + « >¼ # `  ¦ Ta- ble 1 \ 
 ? /% 3  . r + « >¼ # “ É r Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   Y U{ 9 o  ³ ð€   

\

 ¦ & h 6   x # Œ ] X ½ + Ëy © œ• ¸\  ¦ ¨ î  l  0 A # Œ  © œs ô  Ç ] X ‚ à Ì

>

€  _  › ¸• ¸ (roughness), [ j' ‘  › ¸|  1 p x \  s \  ¦ ¿ º# Q ] j



Œ

•÷ &% 3  .

r

+ « >¼ #  F | 9 “ É r 2 [$ í “ É r ß ¼t ë ß –, CVD  s   7 H × ¼ ~ à Ì} Œ • _

 ] X ‚ à Ìs  6   x s ô  Ç    & ñ z  ´o – B H(Si) s  9, r + « >¼ # _    s

Ý ¼  H 35 × 35 × 5t(mm

³

) – Ð y Œ •y Œ • 1 l x{ 9  “ ¦, ô  Ç A á ¤ €  

Table 1. CVD Diamond Coating Specimens

Coating Specimen No. Mesh No. Cleaning

Thickness

1 # 180 Not Cleaned 2.28 µm

2 # 180 Well Cleaned 2.28 µm

3 # 800 Not Cleaned 4.48 µm

4 # 800 Well Cleaned 4.38 µm

5 # 180 Well Cleaned Oxidized 1.38 µm

6 # 180 Not Cleaned Oxidized 1.3 µm

“

É r CVD  s   7 H × ¼ ~ à Ì} Œ •s  { 9 & ñ ô  Ç ¿ ºa – Ð  ïh A÷ &# Q e ”  Ü

¼ 9, ì ø Í@ / €  “ É r  ïh A÷ &t  · ú §“ É r  © œI – Ð ÷ &# Q e ”  . ¢ ¸ô  Ç, ]

j Œ •s  6   x s ô  Ç Ä »o  r + « >¼ # `  ¦ r + « >¼ # õ  1 l x{ 9 ô  Ç  s Ý ¼

–

Ð ] j Œ • # Œ CVD  s   7 H × ¼ ~ à Ì} Œ • ¨ î \  ¦ 0 Aô  Ç ’    ñ% ƒ o

 ƒ  ½ ¨\  · ú ¡" f z  ´+ « >`  ¦ # î ' Ÿ  % i  .

8

£ ¤& ñ “ ¦    H r + « >¼ #  0 Au \  6   x s  >  œ í6 £ §  \  ¦ { 9 



r ~  ´ à º e ” “ ¦, & ñ x 9  >  œ í6 £ §  _  { 9   y Œ •• ¸\  ¦ ] j# Q½ + É Ã

º e ”   H  1 l x  o  ) a Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   8 £ ¤& ñ r Û ¼% 7 ›Ü ¼– Ð z  ´ +

« >s  s À Ò# Q& ’  . Fig. 2  H  1 l x  o Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   8 £ ¤

&

ñ r Û ¼% 7 ›_  — ¸d ” • ¸\  ¦ ˜ Г   . ( Ž É Ó' \  _ K  ] j# Q÷ &  H [

j > h_   s ß ¼– Ð Û ¼9 \ œ — ¸' \  ¦  6   x # Œ r + « >¼ # `  ¦  © œ‚ à Ì

  H f . Ë  8  H  r„  s  0 p x # Œ { 9  y Œ •`  ¦  Ü ã J à º e ”   H 1 l x r

\  { 9   0 Au \  ¦    or &  9 r + « >¼ # `  ¦ Û ¼ ± p½ + É Ã º e ” 

•

¸2 Ÿ ¤ ÷ &# Q e ”  .  r„  î  r1 l x » ¡ ¤ õ  # î ”  î  r1 l x » ¡ ¤ _  & ñ x 9 • ¸  H y

Œ

•y Œ • 0.01

^◦

ü < 0.05 mm s ? /– Ð & ñ x 9  >  [ O > ÷ &% 3  . ‘ : r

ƒ

 ½ ¨\ " f  H { 9  y Œ •`  ¦ 0.1

^◦

ç ß –  Ü ¼– Ð −5

^◦

∼ 35

^◦

 t  ƒ   5

Å q& h Ü ¼– Ð    or v  9 Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤    ) a Y U{ 9 o  ³ ð€  ò ø Í$ í  _ 

’

   ñ\  ¦ 8 £ ¤& ñ # Œ ì  r$ 3 `  ¦ % i  .

s

M : r + « >¼ # Ü ¼– Ð_  { 9   0 Au   H r + « >¼ #    1 l x{ 9 ô  Ç 0

Au \  { 9   • ¸2 Ÿ ¤ › ¸] X  % i Ü ¼ 9,  6   x ) a „ à Ð8 ú ¤    H à º g Ë

>6   x 20 MHz F  g @ /% i  „ à Ð8 ú ¤   Panametrics)% i Ü ¼ 9, œ í6 £ § 

\  ¦ µ 1 ϔ   “ ¦ à º’     H pulser-receiver  H Panametrics 5800 — ¸4 S q`  ¦ s 6   x % i  . à º’   ) a Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   ’    ñ  H n t  _ O

 š ¸z  ´– ÐÛ ¼ ïá Ô (Lecroy LT342)\  ¦ : Ÿ x # Œ  + þ A`  ¦ › ' a ¹ 1 Ï

½

+ É Ã º e ” Ü ¼ 9, ( Ž É Ó' – Ð z  ´+ « >& ñ ˜ Ð X <s '   1 l x Ü ¼– Ð „   5

Å

x ÷ &# Q $  © œs  s À Ò# Q”   .

IV. Þ Ã Å„ Æ A 0V Ä M 0 n É õ m Í ³ Žz º§ Žq œ 

1. œ ÄU ê s ‘  ×  ³ Žz º ø m Ç

Fig. 3 \ " f ˜ Ðs   H  כ % ƒ! 3  y Œ •y Œ •_  { 9  y Œ •• ¸\ " f % 3 “ É r

’

   ñ X <s ' \  ¦ { 9  y Œ •õ  ”  ; Ÿ ¤ _  › ' a > – Ð ³ ð‰ & ³ # Œ „  ^ ‰ á

Ԗ Ð { 9 _  : £ ¤$ í `  ¦ q “ §   H ~ ½ ÓZ O s  .

Fig. 2. Schematic diagram of automatic backward radi- ation experimental setup

2. Time Trace Angular Scan(TTAS)

Ê

ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ԗ Ð { 9  l Z O “ É r r + « >¼ # _  > h| Ä Ì& h “    ⠆ ¾ Ó`  ¦ 

€ Œ • # Œ # QÖ ¼ & ñ • ¸_  r + « >¼ #  : £ ¤$ í `  ¦ \ V © œ½ + É Ã º  H e ” t  ë

ß –, [ jx 9 ô  Ç q “ § ì  r$ 3 `  ¦ : Ÿ x ô  Ç  ïh A 8 £ x _  : £ ¤$ í `  ¦ ¨ î   l

\   H p f  ¨ ô  Ç & h s  ´ ú § . s \  D h– Ðî  r ’    ñ% ƒo  l Z O Ü ¼

–

Ð Time Trace Angular Scan (TTAS)`  ¦ > hµ 1 Ï % i  . > h µ

1 Ï  ) a TTAS ’    ñ% ƒo  l Z O _  > h| Ä Ì& h “   > h¥ Æ `  ¦ Fig. 4 \ 

 ? /% 3  . Fig. 3_  ’    ñK $ 3  ~ ½ ÓZ O “ É r q “ §  9  H ’    

ñ ? /\  r ç ß –_  & ñ ˜ Ð \ O l  M :ë  H \  µ 1 ÏÒ q t ) a ’    ñ # Qn 

–

РÒ'  l “   # Œ Ò q t$ í  ) a ’    ñ“  t \  ¦ · ú ˜ à º \ O  . : £ ¤ y 

³

ð€   ü <  H Á º › ' a “ ¦ ½ ¨› ¸& h  ô  Ç> – Ð “  K  µ 1 ÏÒ q t÷ &  H l 

"

é

¶ s  Ô  ¦ì  r" î ô  Ç ’    ñ[ þ t s  Ê ê~ ½ Óí ß –ê ø Í ’    ñ\  Æ Ò | ¨ c  â Ä º

’

   ñK $ 3 \ " f Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤  ë ß –`  ¦ ‚  Z >    H  כ s  Ô  ¦ 0 p x Ù ¼

–

Ð š ¸À Ó\  ¦ # 3  >   ) a  .   " f y Œ • { 9  y Œ •\ " f % 3 “ É r ’    

ñ– РÒ'  r ç ß –õ  { 9  y Œ •õ _  › ' a > \  ¦ s p t – Ð + þ A © œ o 

“

¦ & ñ S X ‰ >  Y U{ 9 o y Œ •õ    H % ƒ\ " f µ 1 ÏÒ q tô  Ç ³ ð€   _  ’    

ñë ß –`  ¦ Æ ÒØ  ¦ # Œ ’    ñ\  ¦ ì  r$ 3 ½ + É Ã º e ”   H TTAS ’    ñK 

$

3  l Z O `  ¦ & h 6   x % i  .

3. Frequency Spectrum Angular Scan(FSAS)

TTAS l Z O “ É r Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   ’    ñ K $ 3 `  ¦ 0 AK  r ç ß –õ  ”  

;

Ÿ

¤ & ñ ˜ Ð\  ¦ 1 l x r \  ] j/ B N   H  © œ& h s  e ” Ü ¼
, { 9  y Œ •_    

Fig. 3. Schematic diagram of ultrasonic backward radi- ation profiles

Fig. 4. Schematic diagram of TTAS method



o\    É r Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   ’    ñ_  Å Ò à º $ í ì  r \  @ /ô  Ç ì

 r$ 3 `  ¦ : Ÿ x K  D h– Ðî  r r y Œ •\ " f  ïh A  ÒF _  Ó ü t$ í `  ¦ ¨ î

 ½ + É € 9 כ ¹ e ” l  M :ë  H \  Frequency Spectrum Angular Scanning(FSAS) ’    ñK $ 3  l Z O `  ¦ > hµ 1 Ï % i  . s  FSAS l

Z O “ É r „ à Ð © œ r + « >¼ # \  @ /ô  Ç ×  æd ”  Å Ò à º : £ ¤$ í `  ¦ · ú ˜ ˜ Ð l

 0 Aô  Ç K $ 3  l Z O Ü ¼– Ð  © œs ô  Ç  — ¸ B j& m 7 £ § ¨ 8 Š â \ 

"

f & h 6   x ÷ &  H [ j b ”   ïh A r + « >] j\  @ / # Œ “ ¦Ä »ô  Ç Å Ò  Ã

º $ í ì  r`  ¦ ° ú   H : £ ¤$ í `  ¦ “ ¦ 9 # Œ ] X ½ + Ë  © œI \  ¦ ¨ î    H X

< & h 6   x ½ + É Ã º e ”  . FSAS ’    ñK $ 3  l Z O _  > h| Ä Ì& h “   K 

$

3  õ & ñ `  ¦ Fig. 5 \ 
 ? /% 3  . y Œ • { 9  y Œ •\ " f % 3 “ É r ’    

ñ\  ¦ FFT (Fast Fourier Transform) ’    ñ% ƒo  # Œ ì  r$ 3  ô

 Ç Å Ò à ºü < { 9  y Œ •_  › ' a > \  ¦ s p t – Ð + þ A © œ o # Œ ×  æ d ”

 Å Ò à º $ í ì  r`  ¦ q “ §½ + É Ã º e ”   H ~ ½ ÓZ O s  .

V. CVD  T  à X Ø© Ž U c lT c l ç g Ë + s ÇÊ Ý

Fig. 2 \ " f ƒ  / å L ô  Ç   e ”   H Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   r + « >  © œ q

\  ¦ s 6   x # Œ ³ ð 1\ " f
  · p 8 ú x 6 > h_  " f– Ð   É r ³ ð

€

   } 9 l ,  ïh A ¿ ºa \  ¦ ° ú   H CVD  s   7 H × ¼ ~ à Ì} Œ •  ï h A r + « >¼ # \  @ /ô  Ç z  ´+ « >`  ¦ à º' Ÿ  % i  . s M : œ í6 £ §  _  { 9 



y Œ •“ É r −5

^◦

 Ò'  25

^◦

 t  0.1

^◦

ç ß –  Ü ¼– Ð    o r & €  " f

œ

í6 £ §   ’    ñ\  ¦ à º| 9  % i  . à º| 9 ô  Ç ’    ñ\  ¦ ] j 3] X \ " f

ƒ

 / å L ô  Ç ’    ñK $ 3  á Ԗ ÐÕ ªÏ þ ›`  ¦ s 6   x # Œ CVD  s   7 H

×

¼ ~ à Ì} Œ •  ïh A8 £ x _  ¨ î \  ¦ à º' Ÿ  % i  .

1. TTAS T Q U 

Ã

º| 9 ô  Ç Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   ’    ñ[ þ t _  TTAS l Z O `  ¦ s 6   x

# Œ r ç ß –-{ 9  y Œ • 2-D s p t \  ¦ ½ ¨ % i  . Fig. 6 \  ˜ Ð

Fig. 5. Schematic diagram for FSAS method

Fig. 6. TTAS images for (a) the specimen # 1 and (b) the specimens # 3

s

  H  ü < ° ú  s  Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   ’    ñ s ü @\  r ¼ # _  l 

† < Æ& h  : £ ¤$ í (ß ¼l ü < ¿ ºa )Ü ¼– Ð “   # Œ r + « >¼ #  ? / Җ Ð Ï ã J ] X

/ì ø Í ÷ &# Q ÷ &[  t  “ : r ’    ñ[ þ t s  ” > r F † < Ê`  ¦ ^  ¦ à º e ”  .



 " f, TTAS s p t \  @ /K  & h ] X ô  Ç Ó ü t o & h  K $ 3 `  ¦ ô  Ç Ê

ê r ç ß –õ  { 9  y Œ • % ò % i \  @ /ô  Ç ˜ û ¶ • ¸Ä º > s à Ô (Window gate)\  ¦ † < ÊÜ ¼– Ð+ ‹ l " é ¶ õ  3 l q& h \     € 9 כ ¹ô  Ç œ í6 £ §   ’    

ñë ß –`  ¦ ‚  Z >  # Œ ì  r$ 3 ½ + É Ã º e ”  .

2. œ ÄU ê s ‘  ×  ³ Žz º ø m Ç

Ê

ê~ ½ Óí ß –ê ø Í ’    ñ_  TTAS s p t – РÒ'  & h ] X ô  Ç t ƒ  r  ç

ß – % ò % i õ  Y U{ 9 o  { 9  y Œ • % ò % i `  ¦ r ç ß –-{ 9  y Œ • > s à Ԗ Ð

&

h

6   x # Œ Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   ’    ñ\  @ /ô  Ç á Ԗ Ð { 9 `  ¦ ½ ¨

% i  . Fig. 7 “ É r CVD  s   7 H × ¼ ~ à Ì} Œ •  ïh A8 £ x _  ] X ½ + Ë y

© œ• ¸\  ¦ ¨ î \  ¦ 0 AK  Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ԗ Ð { 9 `  ¦ ½ ¨ô  Ç   õ s 



. Fig. 7\  ˜ Ðs   H  ü < ° ú  s   ïh A8 £ x _  ] X ½ + Ë y © œ• ¸ a % ~

“ É

r  â Ä º (r + « >¼ #  2ü < r + « >¼ #  3) ] X ½ + Ë y © œ• ¸ a % ~ t  · ú §

“ É

r  â Ä º (r + « >¼ #  1õ  r + « >¼ #  4) ˜ Ð  Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ԗ Ð { 9  _

 ; Ÿ ¤ s   8 V , > 
 z Œ ™`  ¦ ^  ¦ à º e ”  . s   H 6 £ § † ¾ Ó: £ ¤$ í s 

"

f– Ð   É r s 7 á x F « Ñ( s   7 H × ¼ü <    & ñ z  ´o – B H)  y © œ

>  ] X ½ + Ë÷ &# Q e ” # Q ³ ð€    „    5 Å q • ¸ Ö ¼ 2 ; l t ü <

 ©

œ@ /& h Ü ¼– Ð   É r  ïh AF _  % ò † ¾ Ó`  ¦ † < Êa  ~ à Îl  M :ë  H \  ³ ð

€

    H  8 ì  r í ß –& h s  ÷ &“ ¦,   " f ³ ð€    µ 1 ÏÒ q t   H { 9 



y Œ • # 3 0 A  8 & t >  ÷ &l  M :ë  H s  . Õ ª Q
  ïh A8 £ x õ  l

t _  ] X ½ + Ë y © œ• ¸  © œ@ /& h Ü ¼– Ð €  •ô  Ç  â Ä º ³ ð€  t % i \  µ

1 ÏÒ q tô  Ç Y U{ 9 o  ³ ð€     H ŠҖ Ð  ïh A8 £ x _  % ò † ¾ Ó`  ¦ ´ ú §s  ~ à Î

>

 ÷ &“ ¦  A  l t _  % ò † ¾ ӓ É r  © œ@ /& h Ü ¼– Ð & h >  ~ à Î>  ÷ &# Q ] X

½ + Ëy © œ• ¸ a % ~“ É r  â Ä º W =  ì  r í ß –& h s   ) a  .

Fig. 8  H CVD  s   7 H × ¼ ~ à Ì} Œ •8 £ x s  í ß – o  ) a r + « >¼ #  [

þ t( r + « >¼ #  5ü < 6)õ  í ß – o÷ &t  · ú §“ É r r + « >¼ # [ þ t( r + « >¼ #  1- 4) \ " f_  Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ԗ Ð { 9 `  ¦
 
“ ¦ e ”  . Fig. 8\ 

Fig. 7. Comparison of ultrasonic backward radiation pro-

files for evaluation of bonding qualities

Fig. 8. Comparison of ultrasonic backward radiation pro- files between non-oxidized and oxidized specimens

˜

Ѝ  H  ü < ° ú  s  í ß – o  ) a r + « >¼ # _  Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ԗ Ð { 9 _ 

”

 ; Ÿ ¤ s  í ß – o÷ &t  · ú §“ É r r + « >¼ # \  q K  ”  ; Ÿ ¤ s  ß ¼“ ¦ Ê ê~ ½ Ó 4

Ÿ

¤   & ñ & h y Œ •s  €  • 0.3

^◦

& ñ • ¸ & f ” `  ¦ · ú ˜ à º e ”  . s   H CVD  s   7 H × ¼  ïh A8 £ x s  í ß – o\  _ K  ’ < H  © œ`  ¦ ~ à ΀ Œ ¤l  M

:ë  H \  ³ ð€    „   : £ ¤$ í \   ïh A8 £ x _  l # Œ ‰ & ³$ y  ×  ¦

#

Q[ þ t # Q Y U{ 9 o  { 9  y Œ •s   © œ@ /& h Ü ¼– Ð ³ ð€   _  5 Å q • ¸ Ö ¼



2 ; l t _  % ò † ¾ Ó`  ¦  8 ´ ú §s  ~ à Îl  M :ë  H s  . 5 Å q • ¸ Ö ¼o 



  H  כ “ É r  8  H Y U{ 9 o  { 9  y Œ •`  ¦ _ p  Ù ¼– Ð í ß – o  ) a r 

¼

# _  Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   & ñ & h y Œ •s   8 ß ¼> 
 z Œ ¤ . ô  Ǽ #  í ß – o  ) a r

¼ # _  Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   ”  ; Ÿ ¤ s   8  H  כ “ É r í ß – o– Ð “  K  ³ ð€     } 9

l  7 £ x ô  Ç M :ë  H s   [9].

3. FSAS T Q U 

CVD  s   7 H × ¼  ïh A8 £ x s  ¿ ºa , ] X ½ + Ëy © œ• ¸ " f– Ð  



É r 4 > h_  r + « >¼ # õ  í ß – o\  _ K   ïh A8 £ x s  ’ < H  © œ  ) a 2 > h r  +

«

>¼ # \  @ /ô  Ç Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   ’    ñ_  FSAS s p t \  ¦ Fig. 9 \ 
 ? /% 3  . Fig. 9(a), (b), (c), (d)\  ˜ Ðs   H



ü < ° ú  s  { 9  y Œ •\    É r Å Ò à º $ í ì  r _  ì  r í ß –$ í s  ” > r F 

†

< Ê`  ¦ · ú ˜ à º e ”  . FSAS s p t – РÒ'  0 A © œ5 Å q • ¸ ì  r í ß –‚  

•

¸\  ¦ ½ ¨½ + É Ã º e ”   H X < FSAS s p t \  ¦ : Ÿ x K  Ï þ › _  ì  r í ß –

‚

 • ¸ : £ ¤$ í • ¸ ˜ Ð# ŒÅ ғ ¦ e ”  . s  Qô  Ç ì  r í ß –$ í “ É r CVD  s 



 7 H × ¼  ïh A8 £ x _  % ò † ¾ Ó\  _ K  Ò q t$ í ÷ &% 3 `  ¦  כ Ü ¼– Ð ó ø Íé ß –

 )

a  . Õ ª Q
 Fig. 9(a), (b), (c), (d)\ 
  · p  ü < ° ú  s 



ïh A8 £ x _  ¿ ºa , ] X ½ + Ëy © œ• ¸\    " f Å Ò à º ì  r í ß –$ í s  €  • ç

ß –“ É r s  e ” Ü ¼
 s \  ¦ ž Ð@ /– Ð  ïh A8 £ x`  ¦ ¨ î  l  0 A K

" f Æ Ò ƒ  ½ ¨ € 9 כ ¹  . Fig. 9(e)ü < (f)  H í ß – o  ) a r  +

«

>¼ # \  @ /ô  Ç FSAS s p t \  ¦
  · p  כ Ü ¼– Ð ì  r í ß –$ í _  € ª œ



© œs  í ß – o„   r ¼ # õ   H S X ‰ƒ  y   \  ¦ ÷  r  m   Ï þ ›  ì  r í ß –

‚

 • ¸_  : £ ¤$ í `  ¦ ^  ¦ à º \ O  . s   H í ß – o– Ð “  K   ïh A8 £ x s

 ´ ú §s  ’ < H  © œ H † d \      ïh A÷ &t  · ú §“ É r l t 8 £ x ë ß –_  Å Ò 

Fig. 9. FSAS images for non-oxidized specimens (a) No.

1, (b) No. 2, (c) No. 3, and (d) No. 4 and oxidized specimens (e) No. 5, and (f) No. 6.

Ã

º Û ¼& 7 ˜à Ô! 3  : £ ¤$ í `  ¦  Ø Ôl  M :ë  H Ü ¼– Ð ‘ : r  . FSAS s p  t

\  ¦ : Ÿ x K  ì  r í ß –$ í õ  Ï þ › _  ” > r F  # ŒÂ Ò\  ¦ › ' a ¹ 1 φ < ÊÜ ¼– Ð+ ‹ CVD  s   7 H × ¼  ïh A8 £ x _  ’ < H  © œ # ŒÂ Ò\  ¦ ¨ î  ½ + É Ã º e ” 

`

 ¦  כ Ü ¼– Ð ó ø Íé ß –  ) a  .

VI. + s Ç Â ] Ø

‘

: r  7 Hë  H \ " f  H CVD  s   7 H × ¼  ïh A8 £ x ¨ î \  ¦ 0 Aô  Ç Ê

ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   ’    ñK $ 3 `  ¦ 0 Aô  Ç TTAS (Time Trace Angular Scan) õ  FSAS (Frequency Spectrum Angular Scan) l Z O `  ¦ ] jî ß – “ ¦ CVD   s  7 H × ¼  ïh A8 £ x _  : £ ¤$ í

`

 ¦ ¨ î  % i  . TTAS s p t \  ¦ : Ÿ x # Œ Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §  

’

   ñ\  ¦ ‚  Z >  l  0 Aô  Ç & h ] X ô  Ç r ç ß –-{ 9  y Œ • ˜ û ¶ • ¸Ä º\  ¦ [ O 

&

ñ # Œ í  H à º Y U{ 9 o  ³ ð€    ´ òõ \  _ ô  Ç Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ԗ Ð 

{ 9 `  ¦ S \ ‰1 p q % i  .  ïh A8 £ x _  ] X ½ + Ëy © œ• ¸ Ä ºÃ ºô  Ç  â Ä º\ 



 H Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   á Ԗ Ð { 9 _  ; Ÿ ¤ s  ] X ½ + Ëy © œ• ¸ p f  ¨ ô

 Ç  â Ä º˜ Ð   8 V , >  ì  r Ÿ í½ + É ÷  r  m   Y U{ 9 o  { 9  y Œ •s 

€



•ç ß – (€  • 0.3

^◦

& ñ • ¸)  Œ • f ” `  ¦ ^  ¦ à º e ” % 3  . ¢ ¸ô  Ç, CVD



s   7 H × ¼  ïh A8 £ x s  ’ < H  © œ`  ¦ ~ à Γ É r  â Ä º Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   á Ԗ Ð 

{ 9 _  ”  ; Ÿ ¤ õ  þ j@ / ”  ; Ÿ ¤ s 
 
  H Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   & ñ & h y Œ • s

 % ò † ¾ Ó`  ¦ ~ à Î6 £ §`  ¦ · ú ˜ à º e ” % 3  . FSAS s p t \  ¦ : Ÿ x # Œ

CVD  s   7 H × ¼  ïh A8 £ x \  _ ô  Ç œ í6 £ §  _  ì  r í ß –$ í (Ï þ › 

 µ 1 ÏÒ q tH † d)`  ¦ ^  ¦ à º e ” % 3 Ü ¼ 9,  ïh A8 £ x s  ’ < H  © œ÷ &% 3 `  ¦  â Ä

º ì  r í ß –$ í _  € ª œ © œs  ² ú ˜ f ” • ¸ S X ‰ “   % i  . ‘ : r  7 Hë  H \ " f ]

jî ß –ô  Ç Ê ê~ ½ Ó4 Ÿ ¤   œ í6 £ §   ’    ñK $ 3  l Z O `  ¦ s 6   x # Œ # Œ



Q t  כ ¹“  \  _ K  Ê ê~ ½ Óí ß –ê ø Í ’    ñ 4 Ÿ ¤ ¸ ú šô  Ç  â Ä º\ • ¸



ïh A8 £ x _  ] X ½ + Ëy © œ• ¸ x 9  ’ < H  © œ # ŒÂ Ò\  ¦ ¨ î ½ + É Ã º e ” `  ¦  כ Ü ¼

–

Ð ó ø Íé ß –  ) a  .

P

c p 8 ý ò k >

‘

: r ƒ  ½ ¨  H ô  Dz D G õ † < ÆF é ß –_  t " é ¶`  ¦ ~ à Î  2005¸  • ¸ ô  Ç { 9

² D G ] j/ B N1 l xƒ  ½ ¨\  ¦ : Ÿ x K  à º' Ÿ ÷ &% 3 _ þ v m  .(F01-2004-000- 10244-0)

Y

c p w Š à U Ø ”  ô

[1] H. Verhoeven, A. Floter, H. Reiβ, R. Zachai, D. Wit- torf and W. Jager, Appl. Phys. Lett. 71, 1329 (1997).

[2] T. Abe, T. Takagi, Z. m. Sun, T. Uchimoto, J.

Makino and H. Hashimoto, Diamond and Related Materials, 13, 819 (2004).

[3] S. D. Kwon and S. S. Yoon, Kor. Appl. Phys. 9, 601 (1996).

[4] I. A. Viktorov, Rayleigh and Lamb waves (Plenum Press, New York, 1967).

[5] S. D. Kwon and H. C. Kim, J. Appl. Phys, 62, 2660 (1987).

[6] H. L. Bertoni and T. Tamir, Appl. Phys., 2, 157 (1973).

[7] Sung. D. Kwon, Myoung. S. Choi and Seung. H. Lee, NDT & E International, 33, 275 (2000).

[8] L. M. Brekhovskikh, Waves in Layered Media (Aca- demic Press, New York, 1980), p. 62.

[9] S. D. Kwon, J. Kor. Soc. Nondestr. Test. 25, 5 (2005).

A Study on Interpretation of Ultrasonic Backward Radiation Signals for Evaluation of a CVD Diamond Coating Layer

Sung D. Kwon

^∗

Department of Physics, Andong National University, Andong 760-749

Hak-Joon Kim and Sung-Jin Song

School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon 440-746 (Received 15 October 2005)

A Rayleigh surface wave from an automatic ultrasonic backward radiation system was used to evaluate chemical-vapor deposited (CVD) diamond-coated specimens which were expected to extend the lifetime of mechanical parts that are used in severely abrasive conditions. The bonding quality of the interface between the CVD diamond coating layer and the silicon substrate was severely influenced by the roughness and the cleaning conditions. The quantitative evaluation showed that an important requirements was to improve the bonding quality of the CVD diamond coating layer. For this purpose, signal processing methods, time trace angular scan and frequency spectrum angular scan, were applied. The initial experimental result obtained in this present study demonstrates the high potential of backward radiated ultrasound as a tool for nondestructive evaluation of very thin CVD diamond coating layers.

PACS numbers: 43.35Zc, 43.35Pt, 68.35Gy

Keywords: Ultrasound, Backward radiation, CVD coating, Frequency spectrum, Liquid-solid interface, Bakscattering

∗

E-mail: [email protected]

Tel: 054-820-5447, Fax: 054-823-1628