KRISSÑ ÷ PTB8 ý $ [ à à ŠŒ Ÿ « Œ ¡ ;ƒ » Ç U Ø Œ ¡ ;< gR w ‹

KRISSÑ ÷ PTB8 ý $ [ à à ŠŒ Ÿ « Œ ¡ ;ƒ » Ç U Ø Œ ¡ ;< gR w ‹

ý

—

¡Š û B¬ £ ^∗ · , > ÷ 7 Bg ` @ · + ä   ¢ 9é s

ô 

Dz D G ³ ðï  r õ † < ƃ  ½ ¨" é ¶ ”  / B N l Õ ü tG ' p' , @ /„   305-600

K. Jousten

Vacuum Metrology Section, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Germany (2002¸   11 Z 4 1{ 9  ~ Ã Î6 £ §)

¿

º > h_  6   x| ¾ Ó+ þ A”  / B N > \  ¦ „  ² ú ˜³ ðï  r l – Ð  6   x # Œ ô  Dz D G_  KRISSü < 1 l q{ 9 _  PTB ç ß –\  $ ”  / B N ² D G 

³

ðï  r ² D G ] jq “ §\  ¦ à º' Ÿ  % i  . Õ ª   õ  “ §& ñ · ú š§ 4  3 Pa ∼ 1000 Pa\ " f_  s  0.015 ∼ 0.329 %– Ð ¿ º l

 › ' a_  $ ”  / B N ³ ðï  r l  Ô  ¦S X ‰ • ¸ # 3 0 A? /\ " f ¸ ú ˜ { 9 u  “ ¦ e ” 6 £ §`  ¦ · ú ˜ à º e ” % 3  .

PACS numbers: 07.03.K

Keywords: $ ”  / B N, ”  / B N ³ ðï  r, ² D G ] jq “ §

I. " e  ] Ø

@

/l · ú š“ É r Ä ºo  † ½ Ó © œ ] X    H · ú š§ 4 s Ù ¼– Ð  © œ e ” ¸ n q

 9 — ¸Ž  H l l [ þ t x 9  ™ èF _  : £ ¤$ í “ É r @ /l · ú š % ò % i \ " f

 © œ î ß –& ñ  ) a : £ ¤$ í `  ¦
  · p . ˜ Ð: Ÿ x @ /l · ú š˜ Ð  Z  }“ É r

· ú

š§ 4 “ É r · ú š§ 4 Ü ¼– Ð ½ ¨ì  r ÷ &“ ¦ s ˜ Ð  ± ú “ É r· ú š§ 4 “ É r ”  / B N Ü ¼

–

Ð ½ ¨ì  r ÷ & 9 à º“ É r Å Ò· ú š§ 4 > – Ð ] j Œ • ) a ³ ðï  r l – РÒ'  $ 

·

ú š, “ ¦· ú š, œ í“ ¦· ú š x 9  $ ”  / B N, “ ¦”  / B N, œ í“ ¦”  / B N ³ ðï  r_  ™ è /

å

L$ í (traceability)s  Ä »t   ) a  .   " f 1 Pa ∼ 10

⁵

Pa $ 

·

ú š(low pressure) $ ”  / B N(low vacuum) % ò % i  ² D G ³ ðï  r_  8

£

¤& ñ Ô  ¦S X ‰ • ¸  H Õ ª@ /– Ð “ ¦· ú šõ  “ ¦”  / B N% ò % i _  Ô  ¦S X ‰ • ¸\  f ”  ] X

  / å L ) a    H & h \ " f B Ä º ×  æ כ ¹  . s  % ò % i _  í ß –\ O ^ ‰

 Ö

¸6   xì  r  – Ѝ  H ì ø ͕ ¸^ ‰ ] j› ¸, e  ¦  Ý ¼  n Û ¼e  ¦ Y Us  J V ,  1

p

x — ¸m '  ] j› ¸, ~ à Ì} Œ •] j› ¸, ³ ð€  ì  r$ 3 , Ò q t_ † < Æ ƒ  ½ ¨, ”  / B N

Ÿ

í © œ, Õ ªo “ ¦ „  ì ø Í& h “   ”  / B N› ' aº   í ß –\ O ^ ‰_  Ò q tí ß –/ B N& ñ 1 p x s

 e ”  .

[

j> _  — ¸Ž  H ”  / B N ³ ðï  r l  › ' a \ " f ˜ ÐÄ » “ ¦ e ”   H s  % ò

%

i _  ² D G ³ ðï  r l – Ѝ  H à º“ É r`  ¦ s 6   xô  Ç Ó  oÅ Ò+ þ A· ú š§ 4 > ü <

l

^ ‰_   Òx Ø Ÿ ‚ ½ ÓZ O (volume expansion method)\  ¦ s 6   x ô 

Ç & ñ & h + þ A³ ðï  r l s  . [ j>  ³ ðï  r l  › ' a ×  æ \ " f p ² D G_  NIST(National Institute of Standards and Technology), 1

l q{ 9 _  PTB(Physikalisch Technischen Bundesanstalt), s

I o _  IMGC(Istituto di Metrologia Gustavo Colon- netti), % ò ² D G_  NPL(National Physical Laboratory), { 9 

‘

: r_  NMIJ(National Measurement Institute of Japan)

∗

email: [email protected], tel: 042-868-5122, fax: 042-868-5645

1 p

x“ É r $ · ú š $ ”  / B N ² D G ³ ðï  r l – Ð Ó  oÅ Ò+ þ A· ú š§ 4 > 
 & ñ & h  + þ

A(static volume method) ³ ðï  r l \  ¦ ˜ ÐÄ » “ ¦ e ” Ü ¼ 9, { 9  Â

Ò ² D G \ " f  H s  ¿ º > h_  ³ ðï  r l \  ¦ — ¸¿ º ˜ ÐÄ » “ ¦ e ” 



 H / B M • ¸ e ”  . Õ ª Q
 s ×  æ Ó  oÅ Ò+ þ A· ú š§ 4 >   H ŠҖ Ð @ /l 

· ú

š   H % ƒ_  · ú š§ 4 ³ ðï  r l – Ð  6   x ÷ &“ ¦ & ñ & h + þ A³ ðï  r l   H @ / l

· ú š˜ Ð  ± ú “ É r · ú š§ 4 _  ³ ðï  r l – Ð  Ö ¸6   x ) a  . ² D G ³ ðï  r_ 

&

ñ & h l  › ' a “   ô  Dz D G ³ ðï  r õ † < ƃ  ½ ¨" é ¶(Korea Research Insti- tute of Standards and Science, KRISS) ”  / B N l Õ ü tG ' p' \ 

"

f  H p ² D G NIST ü < ² D G ] j / B N1 l xƒ  ½ ¨ \ O Ü ¼– Ð œ í6 £ §   ç ß –[ O 

"

é

¶ o \  ¦ s 6   xô  Ç Ó  oÅ Ò+ þ A· ú š§ 4 > (Ultrasoinc Interferometer Manometer, UIM)\  ¦ > hµ 1 Ï # Œ ‰ & ³F  $ ”  / B N ² D G ³ ðï  r l 

–

Ð s 6   x “ ¦ e ”  .

ô 

Dz D G KRISS_  ”  / B N l Õ ü tG ' p' ü < 1 l q{ 9  PTB_  ”  / B N Õ ª Ò

 ¨“ É r 2002¸   1 Z 4 ∼ 2 Z 4  s \  $ ”  / B N % ò % i _  ² D G ] j q

“ §(international comparison)\  ¦ à º' Ÿ  % i  . 1 l q{ 9 _  PTB  H ”  / B N ³ ðï  r_  % i  • ¸ U  ´“ ¦ ´ ú §“ É r ² D G ] jq “ §   õ – Ð

·

ú ˜ 9”  @ /– Ð Ä ºÃ ºô  Ç $ í 0 p x_  ² D G ³ ðï  r l \  ¦ ˜ ÐÄ » “ ¦ e ”  l

 M :ë  H \  ² D G ] jq “ §_   © œ@ /l  › ' a Ü ¼– Ð PTB\  ¦ & ñ % i  .

² D

G ] jq “ §\   6   x ) a KRISS_  ² D G ³ ðï  r l   H œ í6 £ §  ç ß –[ O  Ã

º“ É r Å Ò· ú š§ 4 > “   UIMs % 3 “ ¦ PTB_  ² D G ³ ðï  r l   H & ñ & h  + þ

A³ ðï  r l s % 3  . ² D G ] jq “ §\   6   x ) a s 1 l x6   x „  ² ú ˜³ ðï  r l

(transfer standard gauge)– Ѝ  H 6   x| ¾ Ós  y Œ •y Œ • 133 Paõ  1333 Pa“   6   x| ¾ Ó+ þ A”  / B N > (capacitance diaphragm gauge, CDG) s % 3 Ü ¼ 9 € ª œ l  › ' a \ " f_  8 £ ¤& ñ # 3 0 A, z  ´+ « >~ ½ ÓZ O , Õ ª o

“ ¦ z  ´+ « >] X   1 p x`  ¦ & ñ ô  Ç _ & ñ " f(protocol)  H  „   a ž ?_ 

\

 ¦  5 g  Œ •$ í % i  .

-329-

II. ÷ m Ç] M öX ê sV 

1. KRISS Œ ¡ ;ƒ » Ç U ØM 

KRISS_  $ ”  / B N ² D G ³ ðï  r l “   œ í6 £ §  ç ß –[ O  à º“ É r Å Ò· ú š

§

4 >   H [ j > h_  ê + þ A à º“ É r ŠҖ Ð ½ ¨$ í  ) a Ó  oÅ Ò(mercury column) \  K t   H · ú š§ 4   M :ë  H \  Ò q tl   H à º“ É r_  Z  } s

 \  ¦ œ í6 £ §  – Ð 8 £ ¤& ñ # Œ s  ° ú כ\  ×  æ§ 4 5 Å q • ¸ü < à º“ É r _  x 9 • ¸\  ¦ Y  L # Œ l ï  r· ú š§ 4 (reference pressure)\  ¦ > í ß – ô 

Ç  [1, 2]. s  ³ ðï  r l _  S X ‰ © œÔ  ¦S X ‰ • ¸(expanded uncer- tainty)  H „  ² ú ˜³ ðï  r l _  $ í 0 p x s 
 z  ´+ « >¨ 8 Š â \     ² ú ˜  t

t ë ß – ‘ : r ƒ  ½ ¨_  3 Pa ∼ 1000 Pa 8 £ ¤& ñ % ò % i \ " f  H ’  ø @ Ã

ºï  r(confidence level) 95 %, & h 6   x“   (coverage factor) k

= 2 \ " f  © œ@ / Ô  ¦S X ‰ • ¸(relative uncertainty) 8.9×10

⁻³

∼ 3.3×10

⁻⁵

s % 3  .

2. PTB Œ ¡ ;ƒ » Ç U ØM 

PTB_  $ ”  / B N ³ ðï  r l   H l ^ ‰  Òx Ø Ÿ ‚ ½ ÓZ O \  ¦ s 6   xô  Ç & ñ

&

h

+ þ A³ ðï  r l s   [3,4]. s  ³ ðï  r l   H “ : r • ¸ { 9 & ñ ô  Ç 6   x l 

\

" f l ^ ‰\  ¦ Ø Ÿ ‚ ½ Ór v €   ”  / B N6   x l _   Òx ü < Ø Ÿ ‚ ½ ӝ ) a l 

^

‰_  · ú š§ 4 _  Y  L s  † ½ Ó © œ { 9 & ñ >  Ä »t   ) a    H ˜ Ð{ 9 _  Z O  g Ë

:`  ¦ s 6   xô  Ç  כ s  . s  ~ ½ ÓZ O “ É r 1910¸   Knudsens  > h µ

1 Ïô  Ç ”  / B N > _  “ §& ñ (calibration)`  ¦ 0 AK  % ƒ6 £ § • ¸{ 9  ) a s  A

 ´ ú §“ É r ³ ðï  r l  › ' a \ " f  6   x “ ¦ e ”   [5–7]. s  ~ ½ ÓZ O “ É r

ƒ 

5 Å qØ Ÿ ‚ ½ ÓZ O (successive expansion method)  “ ¦• ¸ Ô  ¦  9 t

“ ¦ e ” Ü ¼ 9 6   x l  s \   H ´ ú §“ É r ì Á šÚ Ô[ þ t s  e ” “ ¦ 6   x l \ 

Û ¼\  ¦ & h   Ø Ÿ ‚ ½ Ó x 9  » ¡ ¤& h (accumulation) r v €  " f  Òx  Ö

 ¦(volume ratio)\  ¦ 8 £ ¤& ñ K   l  M :ë  H \  8 £ ¤& ñ r ç ß –s  š ¸ A

   o Ù ¼– Ð 6   x l  s _  “ : r • ¸  x 9  z  ´+ « >z  ´ “ : r • ¸   o

 H Ô  ¦S X ‰ • ¸ כ ¹“  s  ÷ &Ù ¼– Ð ì Á šÚ Ô> h` ‚
 > 8 £ ¤ 1 p x 0 p xô  Ç — ¸

Ž

 H z  ´+ « > © œu _   1 l x o € 9 à º& h s  . PTB & ñ & h + þ A³ ðï  r l

  H þ j™ è 0.1 liter\ " f þ j@ / 100 liter t  y Œ •y Œ •   É r Â Ò x

\  ¦ ”   6> h_  ”  / B N6   x l – Ð ½ ¨$ í ÷ &% 3  . s  ³ ðï  r l _ 

“

§& ñ # 3 0 A  H 10

⁻⁷

Pa ∼ 1000 Pa– Ð 8 £ ¤& ñ # 3 0 A B Ä º V , 

`

 ¦÷  rë ß –  m   à º´ ú §“ É r ² D G ] jq “ §   õ  1 p x`  ¦ : Ÿ x # Œ $ í 0 p x s

 Ä ºÃ º† < Ês  “  & ñ  ) a  כ s  . ‘ : r ² D G ] jq “ § “ §& ñ # 3 0 A\ " f PTB ³ ðï  r l _   © œ@ /Ô  ¦S X ‰ • ¸  H ’  ø @à ºï  r 95 %, & h 6   x“    k = 2 \ " f 2.0×10

⁻³

∼ 1.4×10

⁻³

s % 3  .

3.  ¹ Å«  oƒ » Ç U ØM 

³

ðï  r l  › ' a  s _  ² D G ³ ðï  r ² D G ] jq “ §\   H † ½ Ó © œ s 1 l x s  ç

ß –¼ # ô  Ç „  ² ú ˜³ ðï  r l   6   x ) a  . s  s Ä »  H @ / Òì  r_  ³ ð ï

 r l   H  Òx  & " f s 1 l x s  Œ 4 Hê ø ͽ + É ÷  r  m   ë ß –€  •\  s  1

l

x >  ÷ &€   ‘ : r A _  $ í 0 p x`  ¦ ˜ Ё © œ½ + É Ã º \ O l  M :ë  H s  .

„ 

² ú ˜³ ðï  r l _  ‚  & ñ “ É r ³ ðï  r l _  7 á x À Ó
 8 £ ¤& ñ # 3 0 A 1 p x \ 



  ² ú ˜ | 9  à º e ” Ü ¼Ù ¼– Ð ‘ : r z  ´+ « >\  · ú ¡" f a ž ?_  # Œ   

&

ñ ô  Ç . ‘ : r ƒ  ½ ¨\   6   x ) a „  ² ú ˜³ ðï  r l – Ѝ  H 6   x| ¾ Ós  y Œ •y Œ • 133 Pa(CDG1) õ  1333 Pa(CDG2)“   6   x| ¾ Ó+ þ A”  / B N > s % 3  Ü

¼ 9, 6   x| ¾ Ó+ þ A”  / B N >   H ´ ú §“ É r ³ ðï  r l  › ' a[ þ t s  à º' Ÿ K “ : r $ 

”

 / B N % ò % i _  ² D G ] jq “ §\  ¦ : Ÿ x K  $ í 0 p x s  ¸ ú ˜ · ú ˜ 94 R e ” “ ¦ s

1 l x s  ç ß –¼ #  l  M :ë  H s  . q “ §\   6   x ) a 133 Pa 6   x| ¾ Ó _  CDG1  € ª œ“ É r model s  690A01TRAs “ ¦ serial num- ber  H 000528498 s % 3 Ü ¼ 9, 1333 Pa 6   x| ¾ Ó_  CDG2  € ª œ“ É r model s  690A11TRAs “ ¦ serial number  H 000531679 s 

%

3  . ¿ º > h_  CDG_  t r >   H model s  670BD81 sig- nal conditioner   6   x ÷ &% 3 Ü ¼ 9, y Œ •y Œ •_  serial number  H 000537181 õ  000537282s % 3  .

III. ÷ m Ç] M öU ê s0 n É

1. KRISS; c" e8 ý  ¹ Å«  oƒ » Ç U ØM  w ‹X N Ë

KRISS \ " f_  CDG “ §& ñ “ É r PTB \  handy carry l 

„ 

Ê ê\  ° ú  “ É r ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð y Œ •y Œ • à º' Ÿ  % i Ü ¼ 9 s [ þ t“ É r ¼ # _ 



© œ KRISS Iõ  KRISS II– Ð ½ ¨ì  r # Œ ³ ðr  % i  . “ §& ñ ~ ½ Ó Z O

s 
 ] X    H ¿ º l  › ' a \ " f & ñ ô  Ç _ & ñ " f\     à º' Ÿ † < Ê

`

 ¦ " é ¶ g Ë :Ü ¼– Ð % i Ü ¼ 9 כ ¹€  •ô  Ç _ & ñ " f_  Å Òכ ¹? /6   x“ É r   6

£

§ õ  ° ú   . { © œœ í\  & ñ ô  Ç 8 £ ¤& ñ # 3 0 A  H 3 Pa ∼ 100 Pas % 3  Ü

¼
 KRISS I 8 £ ¤& ñ s  = å Qè ß – Ê ê 8 £ ¤& ñ # 3 0 A\  ¦ 1000 Pa   t

 S X ‰ © œ l – Ð ½ + Ë_  % i  .   " f 8 £ ¤& ñ · ú š§ 4 “ É r 3 Pa, 6 Pa, 10 Pa, 30 Pa, 100 Pa, 500 Pa, Õ ªo “ ¦ 1000 Pas % 3 



. ³ ðï  r l \ " f µ 1 ÏÒ q t   H l ï  r· ú š§ 4 “ É r y Œ • " î 3 l q° ú כ(nominal value) \ " f ± 2 % s ? / ÷ &• ¸2 Ÿ ¤ # Œ “ §& ñ & h \ " f ß ¼> 

# Á

# Q
t  · ú §• ¸2 Ÿ ¤ % i  . “ §& ñ ½ + É M : „  ² ú ˜³ ðï  r l “   CDG _

 î ß –& ñ  o(warm up) r ç ß –“ É r 24 r ç ß – s  © œs  ÷ &• ¸2 Ÿ ¤ % i 

“

¦ – B H à Ô\  ¦  Q_  y ' (heater)  H †   © œI – Ð Ä »t  # Œ G ' p" f _

 “ : r • ¸ † ½ Ó © œ 45

^◦

C\  ¦ Ä »t  • ¸2 Ÿ ¤ % i  . z  ´+ « >z  ´_ 

“

: r • ¸  H 0 p x €   22 ± 0.5

^◦

C\  ¦ Ä »t    H  כ `  ¦ " é ¶ g Ë :Ü ¼

–

Ð % i Ü ¼
 ë ß –€  • s  “ : r • ¸\  ¦ Ä »t  t  3 l w €   =  G ˜ Ð& ñ 

•

¸2 Ÿ ¤ % i  . “ §& ñ “ É r 0 A\  [ O " î ô  Ç y Œ •y Œ •_  8 £ ¤& ñ · ú š§ 4 \ " f

· ú

š§ 4 `  ¦ 7 £ x r v €  " f ô  Ç “ §& ñ & h \  3 r ì ø Í4 Ÿ ¤8 £ ¤& ñ  9 ° ú  

“

É r z  ´+ « >`  ¦ " f– Ð   É r ± ú ˜ \  3 r ì ø Í4 Ÿ ¤ô  Ç . KRISS I “ §

&

ñ s  = å Qè ß – CDG\  ¦ PTB \  s 1 l x l  „  \   H ì ø Í× ¼r  ¿ º

>

h_  CDG\  ¦ “ ¦”  / B N ”  / B N6   x l \   ҂ Ã Ì # Œ 3{ 9  s  © œ C  l

ô  Ç Ê ê ì Á šÚ Ô\  ¦ { Œ —  s 1 l x r †   . s  s Ä »  H KRISS ³ ð ï

 r l  à º“ É r Å Ò· ú š§ 4 > s l  M :ë  H \  “ §& ñ ½ + É M : à º“ É r7 £ x l 

G '

p" f\  f  ¨‚ Ã Ì # Œ Ô  ¦S X ‰ • ¸ כ ¹“  s  ÷ &l • ¸ l  M :ë  H s  .

¢

¸ CDG A á ¤_  ì Á šÚ Ô\  ¦ { Œ — " f s 1 l x   H s Ä »  H s 1 l x×  æ G ' p

"

f @ /l · ú š\  ” ¸Ø  ¦ ÷ &€   õ · ú š(over pressure)\  _ K  ’ < H

 ©

œ| ¨ c à º• ¸ e ” l  M :ë  H s  . KRISS\ " f  H PTB \  handy carry l „  _  “ §& ñ KRISS Iõ  PTB\ " f “ §& ñ ô  Ç Ê ê ÷ &

[

 t   ü <" f_  “ §& ñ KRISS II 1 p x ° ú  “ É r ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð “ §& ñ `  ¦ ¿ º

 

 à º' Ÿ  % i  .

2. PTB; c" e8 ý  ¹ Å«  oƒ » Ç U ØM  w ‹X N Ë

KRISS I “ §& ñ s  = å Qè ß – Ê ê ¿ º > h_  CDG\  ¦ “ ¦”  / B N ”   /

B

N6   x l \   ҂ Ã Ì # Œ €  • 72r ç ß – C l ô  Ç Ê ê G ' p" fA á ¤_  ì Á šÚ Ô

\

 ¦ { Œ — " f G ' p" f_  à º“ É r7 £ x l \  ¦ ] j  “ ¦ “ ¦”  / B N  © œI – Ð PTB \  handy carry % i  . s 1 l xô  Ç „  ² ú ˜³ ðï  r l \  ¦ PTB

³

ðï  r l “   & ñ & h + þ A³ ðï  r l \   ҂ Ã Ì “ ¦  „  \  a ž ?_ ô  Ç _ & ñ

"

f_  z  ´+ « >~ ½ ÓZ O  x 9  ] X  \     3{ 9 1 l xî ß – “ §& ñ `  ¦ ì ø Í4 Ÿ ¤ % i 



. “ §& ñ s  = å Qè ß – CDG  H  r  KRISS– Ð handy carry # Œ KRISS II “ §& ñ `  ¦ à º' Ÿ  % i  .

IV. + s ÇÊ Ý õ m Í w Š²  o

Õ

ªa Ë > 1“ É r KRISS ü < PTB\ " f “ §& ñ ô  Ç 133 Pa 6   x| ¾ Ó _  CDG1 “ §& ñ   õ s  . X» ¡ ¤“ É r ³ ðï  r l \ " f µ 1 ÏÒ q t ) a l  ï

 r· ú š§ 4 s “ ¦ Y» ¡ ¤“ É r · ú š§ 4 q (pressure ratio)s  . s  · ú š

§

4 q   H “ §& ñ @ / © œl l _  t r · ú š§ 4 `  ¦ l ï  r· ú š§ 4 Ü ¼– Ð
è  H

°

ú כÜ ¼– Ð : Ÿ x © œ — ¸Ž  H ² D G ] jq “ §\ " f   õ _  { 9 u $ í `  ¦
 

? /  H ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð æ ¼“   . Õ ªA á Ô_  y Œ • & h “ É r _ & ñ " f

Õ

ªa Ë > 1. 133 Pa CDG\  ¦ KRISS ü < PTB\ " f y Œ •y Œ • 3{ 9 1 l xî ß – ì

ø Í4 Ÿ ¤ “ §& ñ # Œ ½ ¨ô  Ç · ú š§ 4 q _  ¨ î ç  H ³ ðï  r¼ #  . X» ¡ ¤“ É r

³

ðï  r l _  · ú š§ 4 s “ ¦ Y» ¡ ¤“ É r CDG t r · ú š§ 4 `  ¦ ³ ðï  r l _ 

· ú

š§ 4 Ü ¼– Ð
è  H · ú š§ 4 q s  .

\

      É r ± ú ˜ \  3 r ì ø Í4 Ÿ ¤8 £ ¤& ñ # Œ ½ ¨ô  Ç · ú š§ 4 q  _

 ¨ î ç  H° ú כs “ ¦ š ¸ } Œ •@ /  H ¨ î ç  H° ú כ_  í ß –Ÿ í\  ¦ ˜ Ðl  0 A

# Œ · ú š§ 4 q _  ¨ î ç  H ³ ðï  r¼ #  \  ¦ > í ß – # Œ Õ ª 2 ;  כ s  .

s

 ¨ î ç  H ³ ðï  r¼ #   ° ú כ“ É r y Œ •y Œ • KRISS I“ É r 2.05×10

⁻⁴

∼ 2.12 ×10

⁻³

, PTB \ " f_  ° ú כ“ É r 6.53 ×10

⁻⁵

∼ 2.02×10

⁻⁴

s 

%

3 Ü ¼ 9 KRISS II\ " f  H 6.03×10

⁻⁵

∼ 5.35×10

⁻³

s % 3 



. ¨ î ç  H ³ ðï  r¼ #    H  © œ ± ú “ É r · ú š§ 4 “   3 Pa\ " f  © œ ( Ž

“ ¦  © œ Z  }“ É r · ú š§ 4 “   100 Pa\ " f  © œ  Œ •€ Œ ¤ . Õ ªa Ë >

2  H 1333 Pa 6   x| ¾ Ó_  CDG2 “ §& ñ   õ s  . · ú ¡\ " f ƒ   /

å

Lô  Ç@ /– Ð KRISS I z  ´+ « >“ É r þ j@ / 100 Pas % 3 Ü ¼ 9, ¨ î ç  H

³

ðï  r¼ #    H 1.60×10

⁻⁴

∼ 1.91×10

⁻³

s % 3  . ¢ ¸ô  Ç PTB

° ú

כ“ É r 5.77 ×10

⁻⁵

∼ 3.46×10

⁻⁴

s % 3 “ ¦, KRISS II\ " f  H 4.17 ×10

⁻⁵

∼ 4.12×10

⁻³

Ü ¼– Ð PTBü < KRISS II z  ´+ « >“ É r 1000 Pa  t  à º' Ÿ  % i Ü ¼
 CDG1_   ⠆ ¾ Óõ  ° ú  s  3 Pa\ 

"

f  © œ( Ž “ ¦ 100 Pa\ " f  © œ  Œ •€ Œ ¤ . — ¸Ž  H z  ´+ « >  õ \ 

"

f ˜ Ð1 p w s  @ /^ ‰– Ð ± ú “ É r · ú š§ 4 \ " f ì ø Í4 Ÿ ¤$ í s 
 " f ³ ðï  r

¼ #

   H  כ `  ¦ · ú ˜ à º e ” Ü ¼ 9, : £ ¤ y  PTB\ " f_  z  ´+ « > ì ø Í 4

Ÿ

¤$ í s  KRISS Iõ  KRISS II ˜ Ð  a % ~“ É r  כ Ü ¼– Ð
 z Œ ¤



.

Õ

ªa Ë > 3õ  Õ ªa Ë > 4_  PTB  H PTB \ " f_  z  ´+ « >  õ \  ¦
 

? /“ ¦ KRISS  H y Œ • “ §& ñ & h \ " f_  KRISS Iõ  KRISS II _

 ¨ î ç  H° ú כs  . Õ ªa Ë > 3_  133 Pa CDG1_  q “ §  õ  PTB _

 · ú š§ 4 q   H 1.0032 ∼ 1.0222s % 3 “ ¦ KRISS_  · ú š§ 4 q   H 1.0026 ∼ 1.0205s % 3  . ° ú  “ É r · ú š§ 4 \ " f q “ §K  ‘ : r · ú š§ 4 q  _  s  10 Pa\ " f 4×10

⁻⁴

Ü ¼– Ð  © œ  Œ •€ Œ ¤“ ¦ 3 Pa\ " f 1.75 ×10

⁻³

Ü ¼– Ð  © œ ( Ž  . Õ ªa Ë > 4_  1333 Pa CDG2_  q 

“

§  õ  PTB_  · ú š§ 4 q   H 1.0020 ∼ 1.0207s % 3 “ ¦, KRISS _

 · ú š§ 4 q   H 1.0012 ∼ 1.0174s % 3  . ° ú  “ É r · ú š§ 4 \ " f q 

“

§K  ‘ : r · ú š§ 4 q _  s  10 Pa\ " f 1.5×10

⁻⁴

Ü ¼– Ð  © œ



Œ

•€ Œ ¤“ ¦ 3 Pa\ " f 3.35×10

⁻³

Ü ¼– Ð  © œ( Ž  . s    õ   H 10

Õ

ªa Ë > 2. 1333 Pa CDG\  ¦ KRISS ü < PTB\ " f y Œ •y Œ •

3{ 9 1 l xî ß – ì ø Í4 Ÿ ¤ “ §& ñ # Œ ½ ¨ô  Ç · ú š§ 4 q _  ¨ î ç  H ³ ðï  r¼ #  .

Õ

ªa Ë > 3. 133 Pa CDG “ §& ñ   õ . PTB  H PTB \ " f

“

§& ñ ô  Ç   õ _  ¨ î ç  H° ú כs “ ¦, KRISS  H KRISS I õ  KRISS II “ §& ñ   õ _  ¨ î ç  H° ú כs  .

Õ

ªa Ë > 4. 1333 Pa CDG “ §& ñ   õ . PTB  H PTB \ " f

“

§& ñ ô  Ç   õ _  ¨ î ç  H° ú כs “ ¦, KRISS  H KRISS I õ  KRISS II “ §& ñ   õ _  ¨ î ç  H° ú כs  .

Pa \ " f ¿ º ³ ðï  r l _  “ §& ñ   õ   © œ ¸ ú ˜ { 9 u  “ ¦ s  · ú š

§

4 `  ¦ l ï  r Ü ¼– Ð ± ú “ É r · ú š§ 4 õ  Z  }“ É r · ú š§ 4 \ " f  H s  &  f ”

`  ¦ · ú ˜ à º e ” % 3  . ¿ º > h_  Õ ªA á Ô\ " f 100 Pa ˜ Ð  ± ú “ É r

· ú

š§ 4 \ " f  H  © œ@ /& h Ü ¼– Ð · ú š§ 4 q  & t   H  כ `  ¦ ^  ¦ à º e ” 



 H X < s  ‰ & ³ © œ“ É r “ §& ñ ½ + É M : CDG G ' p" f_  y ' \  ¦ & " f G ' p

"

f “ : r • ¸  © œ“ : r ˜ Ð  Z  }“ É r 45

^◦

C – Ð Ä »t ÷ &% 3 l  M :ë  H \  Ò q t l

  H \ P …  ;s ´ òõ (thermal transpiration effect)s   [8].

Õ

ªa Ë > 5ü < Õ ªa Ë > 6“ É r l ï  r· ú š§ 4 \  @ /ô  Ç · ú š§ 4 q _  s \  ¦ Ñ þ

˜ì  rÖ  ¦, 7 £ ¤ (KRISS-PTB)/KRISS ×100Ü ¼– Ð
  · p  כ s 



. # Œl \ " f Y» ¡ ¤_  ° ú כs  % ò ˜ Ð   H  כ “ É r KRISS · ú š§ 4 q 

 PTB · ú š§ 4 q ˜ Ð   H  כ `  ¦ _ p  “ ¦ % ò ˜ Ð   Œ •“ É r ° ú כ

“

É r PTB · ú š§ 4 q  KRISS · ú š§ 4 q ˜ Ð   Œ •“ É r  כ `  ¦ _ p ô  Ç



. Õ ªa Ë > 5_  CDG1 q “ §  õ  10 Pa\ " fë ß – · ú š§ 4 q  s 

 % ò ˜ Ð  ( Ž “ ¦
 Qt   H % ò ˜ Ð   Œ •€ Œ ¤ . ¢ ¸ô  Ç Ñ þ ˜ì  rÖ  ¦ – Ð

‘

: r s   H 10 Pa \ " f 0.04 %s % 3 “ ¦ 3 Pa\ " f 0.17 %s  Õ

ªa Ë > 5. 133 Pa CDG “ §& ñ   õ _  s \  ¦(KRISS- PTB)/KRISS ×100Ü ¼– Ð
  · p  כ .

Õ

ªa Ë > 6. 1333 Pa CDG “ §& ñ   õ _  s \  ¦(KRISS- PTB)/KRISS ×100Ü ¼– Ð
  · p  כ .

%

3  . Õ ªa Ë > 6_  CDG2 q “ §  õ \  ¦ ˜ Ѐ   — ¸Ž  H · ú š§ 4 \ " f

s  % ò ˜ Ð   Œ •“ É r  כ Ü ¼– Ð ˜ Ð " f PTB · ú š§ 4 q  † ½ Ó © œ ( Ž

6 £ §`  ¦ _ p ô  Ç . s   H ¢ ¸ô  Ç PTB ³ ðï  r l \ " f µ 1 ÏÒ q tô  Ç l  ï

 r· ú š§ 4 s  † ½ Ó © œ ± ú € Œ ¤6 £ §`  ¦ _ p  l • ¸ ô  Ç . Ñ þ ˜ì  rÖ  ¦ – Ð ‘ : r

s   H 10 Pa \ " f 0.015 %– Ð  © œ  Œ •€ Œ ¤“ ¦ 3 Pa\ " f 0.33

% – Ð  © œ ( Ž  . : £ ¤ y  3 Paõ  6 Pa_  ± ú “ É r · ú š§ 4 \ " f  H  s

  H  כ Ü ¼– Ð
 z Œ ¤  H X < s   H CDG2 G ' p" f_  ì  r K 0 p x õ

 Ô  ¦S X ‰ • ¸\  _ ô  Ç % ò † ¾ ӓ    כ Ü ¼– Ð ó ø Íé ß – ) a  .

V. + s Ç Â ] Ø

133 Pa õ  1333 Pa 6   x| ¾ Ó_  capacitance diaphragm gauge(CDG)\  ¦ s 6   x # Œ ô  Dz D G KRISS ü < 1 l q{ 9  PTB_  $ 

”

 / B N ³ ðï  r(3 Pa ∼ 1000 Pa)_  ² D G ] jq “ §\  ¦ à º' Ÿ  % i  . “ §

&

ñ   õ  133 Pa CDG_  “ §& ñ · ú š§ 4  3 Pa ∼ 100 Pa\ " f_ 

s   H 0.039 ∼ 0.172 %s % 3 “ ¦, 1333 Pa CDG_  “ §& ñ

· ú

š§ 4  3 Pa ∼ 1000 Pa\ " f_  s   H 0.015 ∼ 0.329 %s 

%

3  . s    õ – Ð KRISSü < PTB_  $ ”  / B N ³ ðï  r l  Ô  ¦S X ‰

•

¸ # 3 0 A? /\ " f ¸ ú ˜ { 9 u  “ ¦ e ” 6 £ §`  ¦ · ú ˜ à º e ” % 3 Ü ¼ 9, ² D G

ç ß – “ §& ñ x 9  r + « >   õ  1 p x 8 £ ¤& ñ ³ ðï  r_   © œ  ñ“  7 £ xa ž ?_ \  KRISS  « і Ð  Ö ¸6   x| ¨ c à º e ” `  ¦  כ Ü ¼– Ð l @ /ô  Ç .

P c

p 8 ý ò k >

‘

: r ƒ  ½ ¨  õ _  ² D G ] jq “ §  H > | ¾ Ó8 £ ¤& ñ a ž ? r_  t " é ¶ \  _ 

# Œ à º' Ÿ ÷ &% 3 Ü ¼ 9, s \  y Œ ™ × ¼w n m  .

Y c

p w Š à U Ø ”  ô

[1] <  ª5 p x à º, ’  6   x‰ & ³, & ñ F  g o, ô  Dz D G”  / B N† < Æ rt  5, 3, 181 (1996).

[2] K. H. Chung, S. S. Hong, C. R. Lee and Y. H. Kim, J. Acoust. Soc. Am. 91(4), 2025 (1992).

[3] W. Jitschin, J. K. Migwit and G. Grosse, Vacuum 40, 3, 293 (1989).

[4] K. Jousren, P. Rohl and V. Aranda, Vacuum 52, 491 (1999).

[5] M. Hirata, J. of Vac. Soc. Japan 32, 3, 174 (1989).

[6] M. Hirata, J. of Vac. Soc. Japan 38, 3, 174 (1995).

[7] K. W. T. Elliot and P. B. Clapham, NPL report Mon.

28 (1978).

[8] K. P. Poulter, M. J. Rodgers, P. J. Thomson and M.

P. Perkin, Vacuum 33, 6, 311 (1983).

Intercomparison of Low-vacuum Standards Between KRISS and PTB

Seung-Soo Hong, Yong-Hyeon Shin and Kwang-Hwa Chung

Center for Vaccum Technology, Korea Research Institute of Standards and Science, Taejeon 305-600

K. Jousten

Vacuum Metrology Section, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Germany (Received 1 November 2002)

The international intercomparison of low vacuum standards between KRISS in Korea and PTB in Germany was performed using two capacitance diaphragm gauges as a transfer standard. The resultant difference in pressure from 3 Pa to 1000 Pa was between 0.015 % and 0.329 %, showing that the low-vacuum standards coincide with each other within the uncertainty limits.

PACS numbers: 07.03.K

Keywords: KRISS, PTB, CDG