Evaluation of Graphene Oxide Reduced by Using a NH 3 Plasma Treatment

Evaluation of Graphene Oxide Reduced by Using a NH ₃ Plasma Treatment

Sung-Youp Lee · Ju-Hyun Son · Hyeong-Rag Lee ^∗

Department of Physics, Kyungpook National University, Daegu 702-701, Korea (Received 9 December 2014 : revised 5 February 2015 : accepted 11 February 2015)

In this study, reduced graphene-oxide (r-GO) thin films were fabricated using an ammonia (NH

3

) plasma reduction method at a temperature of 150

^◦

C. The reduction of the GO thin film by using an NH

3

plasma treatment began in less than 1 minute. As the treatment time increased, the surfaces of the reduced GO films were flattened slightly. The sheet resistances of the r-GO films could not be measured for plasma treatment times below 5 min, but the value of the resistance was 158.93 MΩ/¡ for a treatment time of 6 min. From these results, we conjecture that plasma treatment for a short time only removes the functional groups containing oxygen and that treatments for longer than 6 min not only remove the functional groups but also restore defects in the r-GO films.

PACS numbers: 81.05.ue, 52.25.-b

Keywords: Plasma, Ammonia, Graphene, Reduced graphene-oxide

NH ₃ þ u § ­ Ž  ò & ÿÌ ¦ R0 n É ù p § T “ Ó Þ # b ò & ÿÌ ¦ Rc Ü R



˜ m× D § Ž7 0ä à Š(Reduced Graphene Oxide)8 ý — ¤V R Ë Ä Z ØV Ä

T

) ç * ° · ) í <® £g ` @ · T 0 ï F ‘ š ^∗

 â

· ¡ ¤ @ /† < Ɠ § Ó ü t o † < Æõ , @ /½ ¨ 702-701

(2014¸   12 Z 4 9{ 9  ~ à Î6 £ §, 2015¸   2 Z 4 5{ 9  à º& ñ ‘ : r ~ à Î6 £ §, 2015¸   2 Z 4 11{ 9  > F  S X ‰& ñ )

‘

: r ƒ  ½ ¨\ " f  H Ä »o  l ó ø Í 0 A\  í ß – o Õ ªA — 2 ;`  ¦ Û ¼— 2 ;  ïh A ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð ~ à Ì} Œ •`  ¦ + þ A$ í “ ¦, € Œ ™— ¸m   e  ¦



Û ¼ \  ¦ s 6   x # Œ ¨ 8 Š " é ¶ ) a í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ • % i  . ¢ ¸ô  Ç e  ¦  Û ¼  % ƒo  r ç ß –\    É r ~ à Ì} Œ •_  :

£ ¤$ í    o\  ¦ › ' a ¹ 1 Ï % i  . e  ¦  Û ¼ \  ¦ s 6   x ô  Ç í ß – o Õ ªA — 2 ; ¨ 8 Š " é ¶Z O “ É r ‰ & ³F  ŠҖ Ð s 6   x ÷ &“ ¦ e ”   H  o† < Æ& h 

¨ 8

Š " é ¶Z O s 
 \ P & h  ¨ 8 Š " é ¶Z O \  q K  % ƒo  r ç ß –s  B Ä º  ú ª“ ¦, ç ß –é ß –  9 • 2 ;¨ 8 Š â & h “   / B N& ñ s  . í ß – o Õ ªA 

—

2 ; ~ à Ì} Œ •“ É r e  ¦  Û ¼  % ƒo  1ì  r s ? /\  ¨ 8 Š " é ¶ s  r  Œ •÷ &% 3 Ü ¼ 9 6ì  r s  t è ß – Ê ê „  • ¸$ í s 
 
l  r  Œ • 

%

i  . ¢ ¸ô  Ç " é ¶  § 4  ‰ & ³p  â `  ¦ s 6   x # Œ › ' a ¹ 1 Ïô  Ç   õ , % ƒo  r ç ß –\     ~ à Ì} Œ • ³ ð€  “ É r ¨ î ò ø Í o ÷ &# Q y Œ ™`  ¦ S X

‰ “   % i  . s  Qô  Ç   õ \  ¦ : Ÿ x K  í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •`  ¦ + þ A$ í “ ¦ e ”   H í ß – o Õ ªA — 2 ; › ¸y Œ •[ þ t“ É r e  ¦  Û ¼ 

%

ƒo \  _ K  ¨ 8 Š " é ¶“ É r 7 £ ¤ y Œ •& h Ü ¼– Ð { 9 # Q
t ë ß – y Œ • › ¸y Œ •[ þ t  s _    ½ + ˓ É r 6ì  r s Ê ê\  { 9 # Qz Œ ™`  ¦ · ú ˜ à º e ”  Ü

¼ 9, s   H „  l  „  • ¸• ¸_  7 £ x ü < x 9 ] X ô  Ç ƒ  › ' a s  e ” 6 £ §`  ¦ S X ‰ “   % i  .

PACS numbers: 81.05.ue, 52.25.-b

Keywords: e  ¦  Û ¼ , € Œ ™— ¸m  , Õ ªA — 2 ;, ¨ 8 Š " é ¶ ) a í ß – o Õ ªA — 2 ;

∗

E-mail: [email protected]

250

This is an Open Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution Non-Commercial License

(http://creativecommons.org/licenses/by-nc/3.0) which permits unrestricted non-commercial use, distribution, and reproduction in any

medium, provided the original work is properly cited.

I. " e  ] Ø

Õ

ªA — 2 ; (Graphene)“ É r ò ø ͙ è " é ¶  _  sp ²   ½ + ËÜ ¼– Ð s À Ò

#

Q”   2 " é ¶ ½ ¨› ¸_  Ó ü t| 9 – Ð Z  }“ É r F  g È Òõ • ¸, Ä ºÃ ºô  Ç „  l 

„

 • ¸$ í , ? / o† < Æ$ í 1 p x _   © œ& h `  ¦ t “ ¦ e ”   [1–3]. s  Q ô

 Ç  © œ& h [ þ t – Ð “  K  Õ ªA — 2 ;“ É r È Ò" î „  F G, s   „  t _  „  F G, Ã

º™ è$  © œ, „  >  ~ ½ ÓØ  ¦" é ¶, œ í™ è+ þ A ~ à Ì} Œ • à Ô ½ ™t Û ¼'  1 p x _   

€

ª œô  Ç ~ ½ Ӏ  Ü ¼– Ð 6 £ x6   x s  0 p x   [4,5]. ì ø ̀  \  Õ ªA — 2 ;“ É r f ”

] X  $ í  © œ r  “ ¦“ : r ¨ 8 Š â \ " f $ í  © œr &   “ ¦, s  Qô  Ç $ í



© œ › ¸| “ É r $ í  © œ\   6   x ½ + É Ã º e ”   H l ó ø Í_  7 á x À Ó\  ¦ ] jô  Ç 

“

¦, @ /€  & h  $ í  © œs  # Q 9î  r ë  H ] j& h `  ¦ î ß –“ ¦ e ”  . s  Qô  Ç é

ß –& h `  ¦ F G4 Ÿ ¤ l  0 Aô  Ç ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð í ß – o Õ ªA — 2 ; (Graphene oxide)`  ¦ s 6   x ô  Ç ¨ 8 Š " é ¶ / B N& ñ `  ¦ : Ÿ x K  Õ ªA — 2 ;`  ¦ S \ ‰1 p q   H ~ ½ Ó Z O

[ þ t s   € ª œô  Ç ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð ƒ  ½ ¨÷ &“ ¦ e ”  . í ß – o Õ ªA — 2 ;“ É r Õ

ªA — 2 ;\  epoxide, hydroxyl, carbonyl, carboxyl l 0 p x l  [

þ

t s    ½ + Ë “ ¦ e ” # Q" f à º6   xÓ  oÜ ¼– Ð ] j› ¸ 0 p x “ ¦ [6–

12], s \  ¦ s 6   x ô  Ç Û ¼— 2 ; ïh A / B N& ñ 1 p x 6   xÓ  o / B N& ñ Ü ¼– Ð ~ à Ì} Œ • + þ

A$ í s  0 p x # Œ @ /€  & h  ~ à Ì} Œ • ] j Œ •s  6   x s   .   " f í

ß – o Õ ªA — 2 ;`  ¦ s 6   x ô  Ç ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ • “ ¦ s \  ¦ ¨ 8 Š " é ¶ r v 



 H B Ä º ç ß –é ß –ô  Ç ~ ½ ÓZ O Ü ¼– Ð Õ ªA — 2 ;`  ¦ S \ ‰1 p q ½ + É Ã º e ”  . 



© œ @ /³ ð& h “   ¨ 8 Š " é ¶Z O “ É r y × ¼ ”  `  ¦ s 6   x   H  o† < Æ& h  ¨ 8 Š

"

é

¶Z O  x 9  “ ¦“ : r \ P % ƒo \  ¦ s 6   x ô  Ç ¨ 8 Š " é ¶Z O  s   [13–19].  o

†

< Æ& h  ¨ 8 Š " é ¶Z O “ É r ì ø Í6 £ x r ç ß –s  24r ç ß – s  © œs “ ¦, Ä »1 l q$ í _  y

× ¼ ”  `  ¦  6   x   H é ß –& h s  e ” Ü ¼ 9, \ P % ƒo \  ¦ : Ÿ x ô  Ç ¨ 8 Š

"

é

¶ ~ ½ ÓZ O “ É r 800 ^◦ C s  © œ_  “ ¦“ : r s  € 9 כ ¹ô  Ç é ß –& h `  ¦ t “ ¦ e ”

 . ì ø ̀  \  e  ¦  Û ¼ \  ¦ s 6   x ô  Ç ¨ 8 Š " é ¶Z O “ É r % ƒo  r ç ß –s  B

Ä º  ú ª“ ¦, $ “ : r \  / B N& ñ s  0 p x  9, • 2 ;¨ 8 Š â & h “   B Ä º ç ß – é

ß –ô  Ç ~ ½ ÓZ O s   [20,21].

‘

: r ƒ  ½ ¨\ " f  H í ß – o Õ ªA — 2 ; à º6   xÓ  o`  ¦ s 6   x # Œ Û ¼— 2 ;



ïh A ~ ½ ÓZ O `  ¦ : Ÿ x K  Ä »o  l ó ø Í 0 A\  í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •`  ¦ + þ

A$ í “ ¦, € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼ \  ¦ s 6   x ô  Ç ¨ 8 Š " é ¶Z O `  ¦ s 6   x

# Œ, Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •`  ¦ ] j Œ • % i  . Õ ªo “ ¦ ¨ 8 Š " é ¶ õ & ñ \ " f í

ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •_  : £ ¤$ í    o\  ¦ 8 £ ¤& ñ x 9  ì  r$ 3  % i  .

II. ÷ m Ç] M ö U ê s0 n É

í

ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ • + þ A$ í `  ¦ 0 Aô  Ç l ó ø ÍÜ ¼– Ѝ  H Ä »o  l ó ø Í

`

 ¦  6   x % i  . Ä »o  l ó ø ͓ É r  6   x l  „  \   [ j— : r, B jò ø Í

`

 ¦, 7 £ x À Óà º\  ¦ s 6   x # Œ œ í6 £ §   [ j' ‘ `  ¦ “ ¦, “ ¦· ú š | 9 ™ è\  ¦ Ô

 ¦ # QÅ Ò# Q | › ¸ % i  . [ j' ‘  ) a Ä »o  l ó ø Í 0 A\  í ß – o Õ ªA 

—

2 ; 6   xÓ  o`  ¦ • ¸Ÿ í “ ¦ Û ¼— 2 ;  ïh A ~ ½ Ód ” Ü ¼– Ð 3000 rpm_  5 Å q

•

¸– Ð 1ì  r ç ß – ~ à Ì} Œ •`  ¦ + þ A$ í % i  . í ß – o Õ ªA — 2 ; 6   xÓ  o“ É r í ß –



o Õ ªA — 2 ;s  Ó ü t \  ì  r í ß –÷ &# Q e ”   H Angstron Materials _  N002-ps 6   xÓ  o`  ¦ ½ ¨B  # Œ „  % ƒo  \ O s   6   x % i  . + þ A$ í

Fig. 1. (Color online) Schematic diagram of plasma re- duction system.

 )

a í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •“ É r 100 ^◦ C _  hot-plate\ " f \ P % ƒo 

# Œ à ºì  r`  ¦ ] j  % i  . Figure 1õ  ° ú  s  ½ ¨$ í ô  Ç e  ¦  Û ¼



 % ƒo   © œq \  ¦ s 6   x # Œ í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •_  ¨ 8 Š " é ¶ / B N& ñ

`

 ¦ ”  ' Ÿ  % i  . “ ¦ É r ì ø Í6 £ x Û ¼ Å Ò{ 9 `  ¦ 0 AK   0 > K ‰× ¼+ þ A

Û ¼ Å Ò{ 9 ½ ¨\  ¦ [ O u  % i “ ¦, Â Ò l ó ø Í ? / Ò\  $ † ½ Ó+ þ A „  

\ P

l ü < \ P „  @ / (K-type)\  ¦ [ O u  # Œ l ó ø Í “ : r • ¸\  ¦ 150 ^◦ C

–

Ð ] j# Q % i  . e  ¦  Û ¼ _  F  g † < Æ& h  ì  r$ 3 `  ¦ 0 AK  Õ þ ›! Q „  

€

 \   ӟ íà Ô\  ¦ [ O u  % i  .  © œÂ Òü < Â Ò „  F G“ É r f ”  â s  27 cm s “ ¦, „  F G  s _  ç ß –  “ É r 3 cm – Ð › ¸] X  % i  . € Œ ™

—

¸m   e  ¦  Û ¼  % ƒo  r  Õ þ ›! Q ? /Â Ò · ú š§ 4 “ É r €  • 1 Torrs 

“

¦,  n š ¸ Å Ò à º „  " é ¶ (13.56 MHz)`  ¦  6   x # Œ 200 W _

 „  § 4 `  ¦ / B N/ å L % i  .

~

½ ӄ   r  € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼ _  F  g † < Æ& h  : £ ¤$ í “ É r ì  rF  g >  (USB 2000, Ocean Optics)\  ¦ s 6   x # Œ 8 £ ¤& ñ % i  . + þ A$ í

 )

a í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •“ É r " é ¶  § 4  ‰ & ³p  â (NanoScope IIIa, Digital Instruments)\  ¦ s 6   x # Œ ³ ð€    } 9 l \  ¦ S X ‰ “   

%

i “ ¦, UV-Vis-NIR ì  rF  g >  (CARY5G, Varian)`  ¦ s 6   x 

#

Œ F  g † < Æ& h  : £ ¤$ í `  ¦ ¨ î  % i  . Õ ªo “ ¦ ~ à Ì} Œ •_  „  l & h  : £ ¤

$ í

“ É r €  $ † ½ Ó 8 £ ¤& ñ l  (CMT-100MP, AIT)\  ¦ s 6   x # Œ 8 £ ¤

&

ñ “ ¦ y Œ • r « Ñ{ © œ 9 t & h `  ¦ 8 £ ¤& ñ ô  Ç ¨ î ç  H ° ú כÜ ¼– Ð s 6   x % i 



. ¢ ¸ô  Ç X‚    r] X   © œu  (Xïpert 3, PANalytical)`  ¦ s 6   x

# Œ ~ à Ì} Œ •_    & ñ $ í `  ¦ S X ‰ “   % i  .

III. ÷ m Ç] M ö+ s ÇÊ Ý õ m Í À X Ø8 ý

Figure 2  H e  ¦  Û ¼  ¨ 8 Š " é ¶Z O \  s 6   x ô  Ç € Œ ™— ¸m   e  ¦   Û

¼ _  ì  rF  g ì  r$ 3  : £ ¤$ í `  ¦
  · p . € Œ ™— ¸m   Û ¼  H e  ¦



Û ¼ \  _ K  N 2 , N, NH, NH ₂ , H, H ₂ 1 p x _   € ª œô  Ç  Ö ¸$ í 7

á

x Ü ¼– Ð ì  r K   ) a  . € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼ \ " f 8 £ ¤& ñ ÷ &  H  Ö ¸$ í 7

á

x _  x ß ¼[ þ t“ É r à º™ è " é ¶  _  µ 1 Ï Q > \ P “   H α (656 nm), H _β (486 nm), H _γ (434 nm) _  x ß ¼[ þ t, H 2 \  _ ô  Ç ì  r  

”

 1 l x x ß ¼[ þ t Õ ªo “ ¦ N 2 x 9  N\  _ ô  Ç x ß ¼ 1 p x Ü ¼– Ð ½ ¨ì  r

Fig. 2. (Color online) Optical emission spectrum of NH ₃ plasma generated using RF power of 200 W.

½

+ É Ã º e ”  . í ß – o Õ ªA — 2 ;“ É r epoxide, hydroxyl, carbonyl, carboxyl l 0 p x l [ þ t \  _ K  í ß – o÷ &# Q e ”   [6–12]. s  Q ô

 Ç € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼ \  _ K  µ 1 ÏÒ q t ) a  Ö ¸$ í 7 á x[ þ t“ É r Õ ªA 

—

2 ;õ  ì ø Í6 £ x # Œ í ß – o Õ ªA — 2 ;\  ” > r F    H l 0 p x l [ þ t`  ¦ ] j



½ + É Ã º e ” “ ¦, ¢ ¸ô  Ç í ß – o Õ ªA — 2 ; ³ ð€  \ " f F   ½ + Ë`  ¦ Ä »

•

¸ # Œ   † < Ês  ” > r F    H í ß – o Õ ªA — 2 ;_  F Ò q t\  l # Œ½ + É Ã

º e ”  . Æ Ò& h Ü ¼– Ð e  ¦  Û ¼  ¨ 8 Š " é ¶ ì ø Í6 £ x ×  æ | 9 ™ è $ í ì  r _

  Ö ¸$ í 7 á x[ þ t“ É r í ß – o Õ ªA — 2 ;_  ò ø ͙ è " é ¶  [ þ t õ  ì ø Í6 £ x x 9    

½

+ ˆ < ÊÜ ¼– Ð+ ‹ ~ à Ì} Œ • ? / Ò\  | 9 ™ è • ¸i ç s  { 9 # Q
>   ) a  . s 

\

 ¦ : Ÿ x K  ¨ 8 Š " é ¶ ) a í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •_  „  l & h  : £ ¤$ í s  † ¾ Ó © œ

| ¨

c  כ Ü ¼– Ð Ò q ty Œ •  ) a   [21–24].

"

é

¶  § 4  ‰ & ³p  â `  ¦ s 6   x # Œ ¨ 8 Š " é ¶ ) a í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ • _

 € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼  % ƒo  r ç ß –\    É r  } 9 l _     o

\

 ¦ 8 £ ¤& ñ ô  Ç   õ \  ¦ Fig. 3 \ 
 ? /% 3  . Õ ªo “ ¦ " é ¶  § 4 

‰

&

³p  â 8 £ ¤& ñ   õ _  2 " é ¶ s p t \  ¦ Õ ªA á Ô ? / Ò\  ³ ðr 

% i  . " é ¶  § 4  ‰ & ³p  â Ü ¼– Ð 8 £ ¤& ñ ô  Ç ³ ð€    } 9 l   H RMS

° ú

כ`  ¦  6   x # Œ > í ß – % i  . 1ì  r 1 l x î ß – % ƒo ô  Ç  â Ä º\   H 1.536 nm, 2ì  r1 l x î ß – % ƒo ô  Ç  â Ä º\   H 1.509 nm, 4ì  r 1 l x î

ß – % ƒo ô  Ç  â Ä º  H 1.444 nm, 6ì  r ç ß – % ƒo ô  Ç  â Ä º  H 1.418 nm – Ð 8 £ ¤& ñ ÷ &% 3  . e  ¦  Û ¼  % ƒo  r ç ß –\      _  ‚   + þ

A& h Ü ¼– Ð ~ à Ì} Œ • ³ ð€  “ É r ¨ î ò ø Í o  ) a  . s  Qô  Ç   õ   H e  ¦   Û

¼  ¨ 8 Š " é ¶ õ & ñ \ " f e  ¦  Û ¼  ? / Ò_   Ö ¸$ í 7 á x s “ : r[ þ t s  Z

 }“ É r \  -t \  ¦ t “ ¦ ~ à Ì} Œ • ³ ð€  \  Ø  æ[  t`  ¦ { 9 Ü ¼v €  " f

~ Ã

Ì} Œ • ³ ð€  `  ¦ ¨ î ò ø Í or &  ï  r  כ Ü ¼– Ð K $ 3 ½ + É Ã º e ”   [21].

Figure 4  H Ä »o  l ó ø Í 0 A\  + þ A$ í  ) a í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ • õ

 € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼  ¨ 8 Š " é ¶ % ƒo \  ¦ ô  Ç ~ à Ì} Œ •_  X‚    r] X  ì

 r$ 3 `  ¦ ô  Ç   õ s  . Ä »o  l ó ø Í 0 A\  + þ A$ í  ) a í ß – o Õ ªA — 2 ;

~ Ã

Ì} Œ •“ É r 10.1 ^◦ \ " f (002) €  _  x ß ¼ S X ‰ “   ) a  . s \  ¦ Ú Ô A

Õ ª Z O g Ë :`  ¦ s 6   x # Œ > í ß –ô  Ç í ß – o Õ ªA — 2 ;_  8 £ x ç ß – ç ß –  

“

É r 4.39 ˚ A s  . € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼  ¨ 8 Š " é ¶ õ & ñ s  1ì  r s  t 

Fig. 3. (Color online) Surface roughness and AFM im- ages (inset) of reduced graphene oxide films at different plasma treatment time.

Fig. 4. (Color online) X-ray diffraction patterns of re- duced graphene oxide films at different plasma treatment time.

€  " f 10.1 ^◦ \  e ”   H x ß ¼  H  _    t >  ÷ &“ ¦ 24 ^◦  Ò



 H _  V , “ É r x ß ¼ë ß –
 è ß – . e  ¦  Û ¼  % ƒo  r ç ß –s  7 £ x 

†

< Ê\     10.1 ^◦ _  x ß ¼  H ¢ - a„  y    t “ ¦ 24 ^◦ Â Ò   H _ 

¢ -

a ë ß –ô  Ç x ß ¼ë ß – z Œ ™  H  . s  x ß ¼[ þ t % i r  ¨ 8 Š " é ¶ ) a í ß – o Õ ª A

— 2 ; ~ à Ì} Œ •\ " f_  (002) €  `  ¦
  · p . s  Qô  Ç ‰ & ³ © œ“ É r e  ¦



Û ¼  ¨ 8 Š " é ¶ % ƒo  õ & ñ s  r  Œ •÷ &€   í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ • ? / Â

Ò_  8 £ x ç ß –\  e ” ~   Ó ü t ì  r  [ þ t s   4 R
š ¸€  " f í ß – o Õ ªA 

—

2 ; ~ à Ì} Œ •_  8 £ x ç ß – ç ß –  s  a % v  t l  M :ë  H \ 
 è ß –  [25].

Ó ü

t ì  r   [ þ t“ É r ŠҖ Ð í ß –™ è $ í ì  r[ þ t õ    ½ + Ë # Œ í ß – o  ) a $ í ì  r [

þ

t õ _    ½ + Ë\  _ K  í ß – o Õ ªA — 2 ; 8 £ x ç ß –\  ” > r F  “ ¦ e ”  .

s

 Qô  Ç   õ  % i r  € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼  ¨ 8 Š " é ¶ ~ ½ ÓZ O `  ¦ : Ÿ x K  í

ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •s  ¨ 8 Š " é ¶ ÷ &“ ¦ e ” 6 £ §`  ¦ ç ß –] X & h Ü ¼– Ð ˜ Ð# Œ ï

 r  . ¨ 8 Š " é ¶ r ç ß –\    É r   õ \  ¦ s 6   x # Œ 8 £ x ç ß – ç ß –  `  ¦ › ¸



K  ‘ : r   õ , 1.80 ˚ A& ñ • ¸– Ð 8 £ x ç ß – ç ß –  s  ×  ¦ # Q× ¼  H  כ `  ¦

Table 1. Properties of graphene oxide and reduced graphene oxide films.

Plasma D-spacing Sheet Transmittance treatment (˚ A) resistance at 550 nm (%) time (min) (MΩ/ ¡)

0 4.39 - 87

1 1.90 - 80

2 1.84 - 79

4 1.79 - 78

6 1.80 158.93 79

· ú

˜ à º e ”  . s  Qô  Ç   õ   H Table 1 \ 
 ? /% 3  .

í

ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •“ É r € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼ \  ¦ s 6   x # Œ 6ì  r s  © œ_  ¨ 8 Š " é ¶ % ƒo \  ¦ Ù þ ¡`  ¦ M : Ò'  „  l  „  • ¸$ í s 
 


l  r  Œ •  9, Õ ª s  _  % ƒo  r ç ß –\  @ /K " f  H s „  



t   H €  $ † ½ Ós  Á ºô  Ç@ /– Ð 8 £ ¤& ñ ÷ &  H  כ Ü ¼– Ð ˜ Ð  „  l 

&

h Ü ¼– Р ҕ ¸^ ‰_  $ í | 9 `  ¦ ”   . s  Qô  Ç % ƒo  r ç ß –\  @ / ô

 Ç „  l  „  • ¸• ¸_     o  H, 5ì  r s  _   ú ª“ É r e  ¦  Û ¼  % ƒ o

 r ç ß –\ " f  H Õ ªA — 2 ;\  ” > r F    H l 0 p x l [ þ t s  ] j ÷ &  H

¨ 8

Š " é ¶ õ & ñ s “ ¦, Õ ª s  © œ_  r ç ß –\ " f  H y Œ • › ¸y Œ •[ þ t  s _ 

 

½ + Ës  + þ A$ í ÷ &l  r  Œ •   H F Ò q tõ & ñ s  µ 1 ÏÒ q t # Œ ~ à Ì} Œ •_ 

„

 • ¸$ í s 
 
  H  כ Ü ¼– Ð Ò q ty Œ •½ + É Ã º e ”  . „  l & h  : £ ¤$ í

`

 ¦ † ¾ Ó © œr v l  0 AK " f  H 6ì  r s  © œ_  € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼ 

%

ƒo  € 9 כ ¹½ + É  כ Ü ¼– Ð Ò q ty Œ •  ) a  . F  g È Òõ Ö  ¦“ É r ¨ 8 Š " é ¶ % ƒo 

\

 ¦ t  · ú §“ É r í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •s  87%% i “ ¦, 1ì  r ç ß – % ƒo  ô

 Ç  â Ä º 80%, Õ ª s  © œ % ƒo ô  Ç  â Ä º 79% & ñ • ¸% i  . ¨ 8 Š " é ¶

%

ƒo  r  Œ •  ) a Ê ê í ß – o Õ ªA — 2 ;[ þ t s  ¨ 8 Š " é ¶ ÷ &€  " f Õ ªA — 2 ; _

 : £ ¤$ í `  ¦ t >  ÷ &“ ¦ s – Ð “  K  F  g È Òõ • ¸ y Œ ™™ è   H

 

õ \  ¦ S X ‰ “  ½ + É Ã º e ” % 3  . Table 1“ É r e  ¦  Û ¼  ¨ 8 Š " é ¶ % ƒo  r

ç ß –\    É r í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •_  : £ ¤$ í `  ¦ & ñ o  # Œ
 

? /% 3  .

IV. + s Ç Â ] Ø

‘

: r ƒ  ½ ¨\ " f  H í ß – o Õ ªA — 2 ; 6   xÓ  o`  ¦ s 6   x # Œ Ä »o  l  ó

ø Í 0 A\  í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •`  ¦ + þ A$ í “ ¦, € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼



 ¨ 8 Š " é ¶Z O `  ¦ s 6   x # Œ r ç ß –\    É r ~ à Ì} Œ • : £ ¤$ í `  ¦ ¨ î  

%

i  . € Œ ™— ¸m   e  ¦  Û ¼ \  _ K  % ƒo   ) a í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ Ã Ì }

Œ

•“ É r í ß – o Õ ªA — 2 ; 8 £ x  s \  z Œ ™  e ”   H Ó ü t ì  r  [ þ t s   4 R

€  " f 8 £ x ç ß – ç ß –  s  0.439 nm\ " f 0.180 nm& ñ • ¸– Ð ×  ¦

#

QŽ  H  . s   H í ß – o Õ ªA — 2 ; › ¸y Œ •[ þ t“ É r e  ¦  Û ¼  % ƒo r  7 £ ¤ r

 ¨ 8 Š " é ¶ õ & ñ s  r  Œ •÷ &  H  כ `  ¦ _ p ô  Ç . Õ ªo “ ¦ 6ì  r 1 l x î

ß – e  ¦  Û ¼  % ƒo   ) a ~ à Ì} Œ •\ " f „  • ¸$ í `  ¦
 ? /l  r  Œ •

  H   õ \  ¦ : Ÿ x K  í ß – o Õ ªA — 2 ;  s _    ½ + Ë_  F Ò q t õ & ñ

“

É r 6ì  r & ñ • ¸ e  ¦  Û ¼  % ƒo   ) a Ê ê\  Ò q t 
  H  כ `  ¦ S X ‰ “  

½

+ É Ã º e ” % 3  . e  ¦  Û ¼ \  ¦ s 6   x ô  Ç í ß – o Õ ªA — 2 ; ¨ 8 Š " é ¶Z O “ É r



 É r ¨ 8 Š " é ¶Z O \  q K  ± ú “ É r “ : r • ¸\ " f B Ä º ç ß –é ß – >  % ƒo 

½

+ É Ã º e ”   H • 2 ;¨ 8 Š â & h “   ~ ½ ÓZ O s  . s Ê ê ƒ  ½ ¨\  ¦ : Ÿ x K  ¨ 8 Š

"

é

¶ ) a í ß – o Õ ªA — 2 ; ~ à Ì} Œ •_  „  l  „  • ¸$ í `  ¦ † ¾ Ó © œr †   €   È

Ò" î „  F G Ü ¼– Ð_  6 £ x6   x 0 p x$ í s  Ø  æì  r ½ + É  כ s  9, Õ ª ü @\ 

•

¸  € ª œô  Ç ì  r  – Ð_  6 £ x6   x s  0 p x ½ + É  כ Ü ¼– Ð ˜ Г   .

REFERENCES

[1] T. Kuila, S. Bose, A. K. Mishra, P. Khanra and N.

H. Kim et al., Prog Mater. Sci. 57, 1061 (2010).

[2] Y. Zhu, S. Murali, W. Cai, X. Li and J. W. Suk et al., Adv Mater. 22, 3906 (2010).

[3] V. Singh, D. Joung, L. Zhai, S. Das and S. I. Khon- daker et al., Prog. Mater. Sci. 56, 1178 (2011).

[4] S. Mao, H. Pu and J. Chen, RSC Adv. 2, 2643 (2012).

[5] D. Chen, H. Feng and J. Li, Chem Rev. 112, 6027 (2012).

[6] H. K. Kim, C. D. Kim and C. Park, Vacuum 108, 35 (2014).

[7] H. He, T. Riedl, A.Lerf and J. Klinowski, J. Phys.

Chem. 100, 19954 (1996).

[8] H. He, J. Klinowski, M. Forster and A. Lerf, Chem.

Phys. Lett. 287, 53 (1998).

[9] A. Lerf, H. He, T. Riedl, M. Forster and J. Kli- nowski, Solid State Ionics 101-103, 857 (1997).

[10] A. Lerf, H. He, M. Forster and J. Klinowski, J. Phys.

Chem. B 102, 4477 (1998).

[11] T. Szabo, O. Berkesi and I. Dekany, Carbon 43, 3186 (2005).

[12] C. Hontoria-Lucas, A. J. Lopez-Peinado, J. de D.

Lopez-Gonzalez, M. L. Rojas-Cervantes and R. M.

Martin-Aranda, Carbon 33, 1585 (1995).

[13] S. Stankovich, D. A. Dikin, R. D. Piner, K. A.

Kohlhaas and A. Kleinhammes et al., Carbon 45, 1558 (2007).

[14] N. A. Kotov, I. Dekany and J. H. Fendler, Adv.

Mater. 8, 637 (1996).

[15] S. Stankovich, R. D. Piner, X. Chen, N. Wu and S.

T. Nguyen et al., J. Mater. Chem. 16, 155 (2006).

[16] Z. S. Wu, W. Ren, L. Gao, B. Liu and C. Jiang et

al., Carbon 47, 493 (2009).

[17] H. C. Schniepp, J. L. Li, M. J. McAllister, H. Sai and M. Herrera-Alonso et al., J. Phys. Chem. B 110, 8535 (2006).

[18] M. J. McAllister, J. L. Li, D. H. Adamson, H. C.

Schniepp and A. A. Abdala et al., Chem. Mater.

19, 4396 (2007).

[19] Z. S. Wu, W. Ren, L. Gao, J. Zhao and Z. Chen et al., ACS Nano 3, 411 (2009).

[20] N. A. Kumar, H. Nolan, N. McEvoy, E. Rezvani and R. L. Doyle et al., J. Mater. Chem. A 1, 4431 (2013).

[21] M. J. Kim, Y. Jeong, S. H. Sohn, S. Y. Lee and Y.

J. Kim et al., AIP Adv. 3, 012117 (2013).

[22] X. Li, H. Wang, J. T. Robinson, H. Sanchez and G. Diankov et al., J. Am. Chem. Soc. 131, 15939 (2009).

[23] T. O. Wehling, K. S. Novoselov, S. V. Morozov, E.

E. Vdovin and M. I. Katsnelson et al., Nano Lett.

8, 173 (2008).

[24] W. Chen, S. Chen, D. C. Qi, X. Y. Gao and A. T.

S. Wee, J. Am. Chem. Soc. 129, 10418 (2007).

[25] M. Sergey, Physics and Application of Graphene - Experiments (InTech, Croatia, 2011), Chap. 5, pp.

74-76.