92 한국진공학회 PST-003
QMS를 이용한 플라즈마 공정 진단
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과학 기술・가정 학습활동 플라즈마볼을 가지고 플라즈마 성질 체험하기. 마무리 플라즈마가 가지고 있는 전기적
모둠별로 다섯 가지 이상의 물체를 선택하여 어떤 현상이 나타나는지 관찰하고 실험 결과를 적어봅시다.. 이번 시간에 배운 플라즈마의 특성을 생각하며
여러분이 친구들에게 가장 기억에 남는 연구를 소개한다면 어떤 내용을 포함시킬지 그 내용을 적어 봅시다.
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플라즈마 볼에 여러 가지 물체를 가까이 가져가 봅시다.. 모둠별로 다섯 가지 이상의 물체를 선택하여 어떤 현상이 나타나는지
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