진공 진공 및 및 플라즈마 플라즈마 기술 기술 기초 기초

아 텍 시 스 템

진공 진공 및 및 플라즈마 플라즈마 기술 기술 기초 기초

TEL :032-621-0550/3,

e-mail : atech@atechsystem.co.kr

진공 진공 _{( ( Vacuum) Vacuum)} 이란 이란 _{? ?}

• • 라틴어의 라틴어의 ` ` Vacua Vacua `에서 ` 에서 유래 유래

• • 실제로 실제로 진공은 진공은 단지 단지 부분적으로 부분적으로 비어 비어 있는 있는 공간을 공간을 의미 의미

• • 대기압 대기압 (1 기압 (1 기압 ) 이하의 ) 이하의 Gas로 Gas 로 채워진 채워진 공간을 공간을 말함 말함

즉 즉

2.5

10

molecular/cm

이하의 이하의 분자 분자 밀도를 밀도를 가지는 가지는 공간 공간

☞ 지구 표면에서 우주 공간까지 높이에 따른 기체 분자의 양 (22.4 l )

① 해수면 (sea level) - 약 6 x 10²³ 개

② space shuttle 작업 공간 (90~110 km) - 약 8 x 10¹⁷ 개

③ 우리별 1호 작업 공간 (1300 km) - 약 6 x 10¹⁰ 개

④ 정지위성 작업 공간 (3,6000 km ) - 약 6 x 10 ⁷ 개

⑤ 혜성 존재구간 (1억 km) - 약 6 x 10 ⁴ 개

⑥ 1억 km 이상 - 약 6 x 10^-2 개

진공 진공 _{& &} 압력 압력 영역 영역

100100Pa Pa 이상이상 100~0.1 100~0.1PaPa 0.1~10Pa 0.1~10Pa 1010μμPa Pa 이하이하 --

대기압~1대기압~1torrtorr 1~101~10^--33 torrtorr 1010^--33~10~10^-7-7 1010^--77~10~10^-10-10 1010^--1010 torr이하torr이하

•

• 低眞空低眞空 Low(rough vacuum)Low(rough vacuum)

•• 中眞空中眞空 Medium vacuumMedium vacuum

•• 高眞空高眞空 High vacuumHigh vacuum

•

• 超高眞空超高眞空 Ultra-Ultra-high vacuumhigh vacuum

•• 極高眞空極高眞空 Extreme high vacuumExtreme high vacuum

(Ⅱ(Ⅱ)) ((Ⅰ)Ⅰ)

압력영역압력영역

◆◆영국방식영국방식 Medium highMedium high vacuum

vacuum High vacuumHigh vacuum Very high vacuumVery high vacuum

High vacuum

High vacuum Very highVery high vacuum vacuum

Ultra

Ultra--high high vacuum vacuum Medium vacuum

Medium vacuum Low vacuum

Low vacuum

◆◆미국방식미국방식

Rough vacuum

Rough vacuum Fine vacuumFine vacuum

760760 2525 11 1010^--33 1010^-6-6 1010^--77 1010^-9-9

진공의 진공의 분류 분류 및 및 응용 응용

•• 저진공저진공((Low vacuum) : 760 Low vacuum) : 760 –– 1010^--33 torrtorr

- Rough vacuum 이라고도 하고, 기체의 분자 수량이 진공용기 내부 표면에 부착되 어 있는 분자 수량보다 많은 상태.

- Food processing, 증류, 박막증착(sputtering, LPCVD), 네온사인

•• 고진공고진공((High vacuum) : 10High vacuum) : 10^-3-3 ––1010^-7-7 torrtorr

- 기체의 평균 자유행로가 진공용기의 크기보다 긴 상태.

- 분자간 충돌보다는 진공용기 내벽과의 충돌이 많다

- 진공관제작, CRT, 이온주입, 증착(evaporation), 전자현미경

•• 초고진공초고진공 (Ultra high vacuum, UHV) : 10(Ultra high vacuum, UHV) : 10^--88 torrtorr이하이하

- 분자밀도가 상당히 떨어진 상태로 분자가 진공용기 내부 표면에 단일층 (monolayer)을 형성하는 시간이 충분히 오래걸림

- 우주관련 연구, 물질 연구, 표면분석, 가속기, 핵융합 연구

모든모든 진공진공 운용운용 장치장치 6. 청정공간의6. 청정공간의 형성형성

CVD 장치CVD 장치 에피택시얼

에피택시얼 성장장치성장장치 치환효율의

치환효율의 향상향상 5. 반응5. 반응 챔버챔버 내의내의 분위기분위기 치환치환

감압감압 CVDCVD 플라즈마플라즈마 에칭에칭 화학적화학적 평형상태의평형상태의 제어제어

생성물의생성물의 이탈이탈 촉진촉진 4.

4. 반응의반응의 제어제어

CVD CVD 전처리전처리 스팟터스팟터 성막성막 전처리전처리 탈가스, 탈가스, 탈수탈수

3. 표면의3. 표면의 청정화청정화

감압감압 CVDCVD 플라즈마플라즈마 에칭에칭 활성종의활성종의

평균평균 자유행정자유행정 증대증대 2. 균일한2. 균일한 처리처리 또는또는

균일성의균일성의 향상향상

플라즈마플라즈마 CVDCVD 플라즈마에칭 플라즈마에칭 스팟트링스팟트링 장치장치 방전방전 이온화이온화

이온분리이온분리 가속가속 스팟트링스팟트링 1. 진공에1. 진공에 의해의해 생성되는생성되는

물리적물리적 화학적화학적 가공원리가공원리

장치장치 운용운용 예예 현현 상상 효효 과과

목목 적적

진공의 진공의 필요성 필요성

진공의 진공의 역사 역사

• 1608-1647 E. Torricelli

• 1623-1662 B. Pascal

• 1783 D. Bernoull

• 1859 J.K. Maxwell

• 1874 H.Mcleod

• 1905 W.Kaufman

• 1905 W.Gaeda

: rotaty Pump , Diffusion pump

• 1906 M.Pirani

• 1909 M. Knudsen

• 1914 G. Langmuir

• 1937 F.M. Penning

• 1942 Leak detector

• 1950 R.T. Bayard & D. Alpert

• 1950 R. Herb

• 1953 H.J. Schwartz

• 1958 W. Becker

• 1954 미국 진공학회 발족

Vacuum Pump, Vacuum Gauge, 유체이론, 전자기 이론 등등

‘토리첼리의 진공’을 나타내는 수은주 1 기압 = 76 cmHg

만약 H₂O (물)을 사용하면 Hg의 밀도 : 13.53 g/cm³

1기압 = 76 cmHg x 13.53 g/cm³

= 1028 cmH₂O 약 10 m

수은주 수은주

게이케와 게이케와 마르데부르크의 마르데부르크의 반구 반구

◆◆보일의

보일의

법칙 : : 일정한 일정한 온도에서 온도에서 기체의 기체의 부피는 부피는 압력에 압력에 반비례한다 반비례한다 . . PV = C, P

PV = C, P

V V

= P = P

V V

◆◆샤를의

샤를의

법칙 : : 일정한 일정한 압력에서 압력에서 기체의 기체의 부피는 부피는 온도에 온도에 비례한다 비례한다 . . V = kT V = kT, V/V , V/V

= T/T = T/T

◆◆결합

결합

법칙

P P

V V

/T /T

= P = P

V V

/T /T

, PV = kT , PV = kT

◆◆상태

상태

방정식

PV =

PV = nRT nRT = NkT = NkT

◆◆베르누이정리베르누이정리

기체의 기체의 법칙 법칙

2 . 1

1 2

1

v gh Const

P + ρ + ρ =

기체의 기체의 기본성질 기본성질 _{(1/6) (1/6)}

◆◆ 질량질량: 어떤: 어떤 물질에물질에 포함된포함된1g 1g 의의 분자량분자량

(수소원자의(수소원자의 중량중량 = 1.66 x 10= 1.66 x 10^{-24 -24} g => 수소g => 수소 1 g = 6.02 x 101 g = 6.02 x 10^{23 23} 개개))

◆◆ gas의gas의 운동에너지와운동에너지와 온도온도

: 공간: 공간 속에속에 놓아둔놓아둔원자나원자나 분자는분자는 주위로부터주위로부터 에너지를에너지를흡수흡수 : : gas의gas의 운동에너지는운동에너지는충돌로충돌로 부터부터 에너지를에너지를잃거나잃거나얻음얻음

k = 1.38 x 10^-16 ergs/K

◆◆ Maxwell-Maxwell-BoltzmannBoltzmann distributiondistribution

속도속도 v v 와와 dvdv 사이의사이의 분자분자 밀도밀도 분포분포

kT mv 2

3 2

1

=

dv kT e

v m dv

v

g

mv 2 2

3 2

2

4 2 )

(

−

 

 



= 

π π

기체의 기체의 기본성질 기본성질 _{(2/6) (2/6)}

◆◆평균속력평균속력

헬륨헬륨 1,230 m/s, 1,230 m/s, 질소질소 467 m/s, 467 m/s, 산소산소 437 m/s , 437 m/s , 알알 곤곤 394 m/sec,394 m/sec,

◆◆충돌률충돌률(impinge rate, arrival rate)(impinge rate, arrival rate)

단위단위시간에시간에 분자가분자가 표면적표면적 A를A를 치는치는 횟수횟수((molecules/cmmolecules/cm²²sec)sec) (압력(압력 P는P는 torrtorr, 절대온도, 절대온도 T는T는 K, 분자량K, 분자량 M은M은 g/mole)g/mole)

예예) 1 x 10) 1 x 10^-6-6 torr, 300 K, Ntorr, 300 K, N₂₂가가 단위시간에단위시간에충돌할충돌할횟수횟수 f = ( 1 x 10

f = ( 1 x 10^{-6 -6} x 133) / ( 2 x 3.14 x 28 x 1.66 x 10x 133) / ( 2 x 3.14 x 28 x 1.66 x 10^{-27 -27} x 1.38 x 10x 1.38 x 10²³²³ x 300x 300 ) ) ^1/21/2

= 3.82 x 10

= 3.82 x 10¹⁸¹⁸ /m/m²²sec = 3.82 x 10sec = 3.82 x 10¹⁴¹⁴ /cm/cm²²secsec

2 / 1

0

) 8

( 



 



= 

= ∫

^{vg v dv kT} _m

V π

MT P T

mk nv P

f

B

10

513 . 2 3

4

1 = = ×

= π

◆◆아보가드로아보가드로수수((NN₀₀)): 0℃: 0℃, 1 , 1 atmatm, 22.4 liter => 6.023 x 10, 22.4 liter => 6.023 x 10²³²³

◆◆Number density of gasesNumber density of gases: STP => 2.7 x 10: STP => 2.7 x 10^{19 19} #/cm#/cm³³

1 1 mtorr, l ummtorr, l um³³ => 35 => 35 개개

◆◆MonolayerMonolayer: 제곱: 제곱 cm당cm당 1층의1층의 원자층이원자층이 생성될생성될 때때, 밀도, 밀도(A g/cm(A g/cm³³), ), 원자량원자량 ((B g/mole), 아보가드로B g/mole), 아보가드로 수수 ((NN₀₀ #/mole)#/mole)

=>

=> 부피밀도부피밀도 = (밀도= (밀도 x x 아보가드로아보가드로수수) / 원자량) / 원자량 = A N= A N₀₀ / B (#/cm/ B (#/cm³³))

=> 1 cm

=> 1 cm 당당 개수개수 = (A N= (A N₀₀ /B)/B)^1/31/3, 층, 층 높이높이 = (B/A N= (B/A N₀₀))^1/31/3

=> monolayer = (A N

=> monolayer = (A N₀₀ / B)/ B)^2/32/3

ex) Ti

ex) Ti 밀도밀도= 4.51 = 4.51 g/cmg/cm³³, 원자량, 원자량 = 47.9 g/mole= 47.9 g/mole monolayer

monolayer 개수개수 = 1.476= 1.476x10x10^{15 15} 개개, monolayer , monolayer 높이높이 = 2.6= 2.6ÅÅ

기체의 기체의 기본 기본 성질 성질 _{(3/6) (3/6)}

기체의 기체의 기본성질 기본성질 _{(4/6) (4/6)}

◆◆ 분압분압 : P = P: P = P₁₁ + P+ P₂₂

2 2

0

2 mn ( v

) v

dv

nm v

P = ∫

=

X=0 X=L X

Y

v_x m

L F v m t

P

v m P

v L

t

x x

x x

x

=

∆ =

∆

=

∆

=

∆

2

2 / 2

◆◆ 압력압력 : 단위: 단위 면적면적 당당 받는받는 힘. (힘. (P = F/A )P = F/A )

충돌 시간 모멘텀 변화

모멘텀변화률

V v m nN V

v Nm V

v Nm L

v m L P N

L force pressure

x x

3 3

) (

2 0 2

2 2

2

2

=

=

=

=

= 면적

kT mv 2

3 2

1

=

대기중에 대기중에 존재하는 존재하는 기체와 기체와 부분압력 부분압력

NITROGEN 78.08

NITROGEN 78.08 593.4593.4 OXYGEN 20.95

OXYGEN 20.95 159.2159.2 ARGON 0.93

ARGON 0.93 7.17.1 CARBON DIOXIDE 0.03 0.25 CARBON DIOXIDE 0.03 0.25

NEON 0.0018

NEON 0.0018 1.38x101.38x10^-2-2 HELIUM 0.0005

HELIUM 0.0005 4.0x104.0x10^-3-3 KRYPTON 0.0001

KRYPTON 0.0001 8.66x108.66x10^-4-4 HYDROGEN 0.00005 3

HYDROGEN 0.00005 3.8x10.8x10^-4-4 ZENON 0.0000087

ZENON 0.0000087 6.6x106.6x10^-5-5

진공기술 진공기술

물질의 물질의 온도와 온도와 포화증기압 포화증기압

포화포화증기압증기압 ::

진공 중에서 증발하는 물질에는 온도에 따라 정해진 단위 시간당의 일정한 증발량이 있고 서 그 증발량이 최대가 되는 압력.

액체명 증기압(torr)

물 17.5

에탄올 43.9

아세톤 184.8

저진공펌프오일 10^-4 ~ 10^-7 확산펌프오일 10^-5 ~ 10^-10

수은 10^-3

1 7.6×10⁵

760 1.01×10⁶

1013 1.013

1.01×10⁵

atm

1.32×10^-6 1

1×10^-3 1.33

1.33×10^-3 1.33×10^-6

0.133

mTor r

1.32×10^-3 1000

1 1.33×10³

1.33 1.33×10^-3

Torr 133

9.87×10^-7 0.75

7.5×10^-4 1

1×10^-3 1×10^-6

μbar 0.1

9.87×10^-4 750

0.75 1×10³

1 1×10^-3

mbar 100

0.987 7.5×10⁵

750 1×10⁶

1×10³ 1

1×10⁵

bar

9.87×10^-6 7.5

7.5×10^-3 10

1×10^-2 1×10^-5

Pa 1

atm mTorr

Torr mmHg μbar

dyn/cm² mbar

Pa bar N/m²

기체의 기체의 기본성질 기본성질 _{(5/6) (5/6)}

◆◆압력단위압력단위

1 기압1 기압 = 760 = 760 mmHg = 760 torrmmHg = 760 torr = 1013 mbar = 1.0 x 10= 1013 mbar = 1.0 x 10⁵⁵ Pa = 14.7 psiPa = 14.7 psi 1 mmHg = 1

1 mmHg = 1 torrtorr = 133 Pa = 4/3 mbar= 133 Pa = 4/3 mbar 1 Pa = 1 N/m

1 Pa = 1 N/m²² = 7.5 x 10= 7.5 x 10^-3-3 torrtorr

◆◆평균

평균

자유

행정

거리 ( ( mean free path : λ mean free path : λ ) )

: 한 : 한 개의 개의 입자가 입자가 다른 다른 입자와 입자와 충돌 충돌 없이 없이 이동 이동 가능한 가능한 거리의 거리의 평균값 평균값

◆◆충돌

충돌

진동수 (ν ( ν ) )

◆◆두

두

입자

사이의

충돌에

의한

에너지

천의

) 10

1 ( / 5 )

1 (

0

0

xdn cm P torr

n

n

= ×

= ∫ ^λ

λ

λ / V v =

( ⁴

)

^cos

^θ

i t

m m

m m E

E

= +

기체의 기체의 기본성질 기본성질 _{(6/6) (6/6)}

t

i

m

m <<

t

i

m

m >>

( )

i t

i

t i i

t

m m m

m

m m E

E 4 4

2

≅

= +

( )

t t

i

t i i

t

m m m

m

m m E

E 4 4

2

≅

= +

Elastic Collision Process/Inelastic Collision Process :

Depending on whether the internal energies of colliding particles are conserved

# of particle removed by collision in dx Fraction of incident particles colliding in dx

dx n n

dn dx d

n d dx

nn

dn σ

= = −

σ

Γ Γ Γ

→

−

= ,

Hard ball cross section

σ=πQ

Targets Particles

dx

Uncollided Flux

Mean Free path

Mean time

Collision Frequency

Rate Constant

( ) ^{x = Γ}

^e

^{= Γ}

^e

Γ

λ σ ng

= 1

υ τ = λ

g g

Kn v

n v

=

=

= τ

συ

συ

= K

Collision mean free path

Collision mean free path

진공시스템의

진공시스템의 구성 구성

<<<<

1

1

2

3

4

4

5

6

6

11: 저진공: 저진공 펌프펌프 22: leakage : leakage 밸브밸브 33: 역류방지밸브: 역류방지밸브 44: roughing : roughing 라인라인 55: 저진공: 저진공 게이지게이지 6 : roughing 6 : roughing 밸브밸브 7 : 진공7 : 진공 챔버챔버 8 : 고진공8 : 고진공 게이지게이지 9 : main 9 : main 밸브밸브 10 :

10 : water water 배플배플 11 :

11 : 고진공고진공 펌프펌프 12 :

12 : forefore-line -line 밸브밸브

7

7

8

9

9

10

11

11

12

5

5

진공펌프의

진공펌프의 종류 종류

◆

◆

Rough pumps (760

~ 1

10

torr

Rotary oil sealed mechanical pump Rotary oil sealed mechanical pump Sorption pump

Sorption pump Venturi

Venturi pump pump Booster pump Booster pump

◆

◆

High vacuum pumps (1

10

torr

~ 1

10

torr

Diffusion pump

Diffusion pump Cryopump

Cryopump Cryotrap Cryotrap

Turbomolecular

Turbomolecular pump pump

◆

◆

Ultrahigh vacuum pumps (1

10

torr

이하

) Titanium sublimation pump

Titanium sublimation pump Sputter ion pump

Sputter ion pump

Pressure ranges of various Pumps Pressure ranges of various Pumps

-12-12 -10-10 -- 88 -- 66 --44 -- 22 00 22 (Torr(Torr))

Ultrahigh Ultrahigh Vacuum Vacuum

HighHigh Vacuum Vacuum

Rough Rough Vacuum Vacuum Venturi

Venturi PumpPump Rotary Piston Pump

Rotary Piston Pump Dry Mechanical Pump Dry Mechanical Pump Oil-Oil-sealed Mechanical Pumpsealed Mechanical Pump

Sorption Pump Sorption Pump Blower/Booster

Blower/Booster Liquid Nitrogen Trap Liquid Nitrogen Trap

Diffusion Diffusion Cryopump Cryopump

Turbo Turbo Ion pump Ion pump TSPTSP

피스톤 피스톤 회전 회전 펌프 펌프

오일 오일 회전 회전 ( ( Rotary) Rotary) 펌프 펌프

사용하는 오일 : 증기압이 낮아야 함.

Î 좀 더 낮은 압력까지 낮춤

Î 역류(backstream)에 의한 진공용기 의 오염을 방지

오일의 역할 : 윤활제, 회전에 의한 마찰열의 감소, 정지자와 vane사이의 공간 막음

오일 오일 회전 회전 ( ( Rotary) Rotary) 펌프 펌프

섭션 섭션 펌프 펌프

벤츄리 벤츄리 펌프 펌프

부스터 부스터 _{( (} 루트 루트 _{) )} 펌프 펌프

회전자 사이의 간격은 약 0.2 mm 정도로 유지, 오일을 사용하지 않기 때문에 로터리 펌프보다 훨씬 빠른 속도로 회전할 수 있으나, 로터리 펌프로 보조 배기를 해야 함.

☞ 작동원리

: 회전자가 서로 반대 방향으로 돌면서 기체를 흡입 배출

오일 오일 확산 확산 _{( (} Oil Diffusion) Oil Diffusion) 펌프 펌프

Æ 히터에서 열을 받아 끓어 형성된 오일 증기가 증기탑을 따라 상승하다가 아래쪽을 향한 노즐에서 초음속(약 300m/초)으로 분출

Æ 기체분자들을 함께 같은 방향으로 이동시켜 배기가 이루어진다.

오일 오일 확산 확산 _{( (} Oil Diffusion) Oil Diffusion) 펌프 펌프

☞

오일의 오일의 조건 조건

- 휘발성이 없고 정제(purification)가 쉬워야 한다.

- 배기하고자 하는 가스와 반응성이 없어야 한다.

- 분자량 및 분자밀도가 높아야 한다.

- 공기 중 산화, 진공 중 decomposition, 고온산화 등에 강해야 하고, 유독성 이 없어야 한다.

☞

보조 보조 배기 배기 펌프 펌프

S_MPP_MP = S_DPP_DP= Q_max S_MP = (S_DPP_DP / P_MP) = Q_max / P_MP S_MP: 로터리펌프 배기 속도, S_DP: 오일펌프 배기속도,

P_MP: 배출구압력, P_DP: 흡입구압력

오일 오일 확산 확산 _{( (} Oil Diffusion) Oil Diffusion) 펌프 펌프

크라이오 크라이오 트랩 트랩 ( ( 콜더 콜더 트랩 트랩 ) )

터보 터보 분자 분자 ( ( Turbo Molecular) Turbo Molecular) 펌프 펌프

☞ 작동원리 : 블레이드의 회전에 의한 분자의 momentum transfer 로 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어 짐.

A. 진공용기의 압력이 높은 경우 :

분자의 평균자유행정이 짧고 분자들 사이에 힘이 작용하는 viscous flow상태에서는 기체 분자는 완전 탄성 충돌과 압력 구 배에 따른 자연스러운 흐름을 갖게 됨. 이 경우 블레이드에 부딪 힌 분자는 자연스럽게 배기.

B. 진공용기의 압력이 낮은 경우 :

분자들 사이에 서로 영향을 미치지 않고 독립적으로 운동하는 molecular state 상태에서는 기체 분자는 흡착(absorption), 대 기(residence time), 탈착(desorption)의 과정을 수행.

-> 블레이드를 충분히 고속으로 움직여서 위쪽으로 접근하는 분 자들의 흡착을(absoption) 막게되면, 기체의 순 흐름을 원하는 방향으로 바꿀 수 있고, 배기가 이루어지게 된다.

터보 터보 분자 분자 ( ( Turbo Molecular) Turbo Molecular) 펌프 펌프

크라이오 크라이오 ( ( Cryo Cryo ) ) 펌프 펌프

☞ 작동원리 :

: cryogenic 펌프는 냉매로 액체질소나 압축된 헬륨을 이용 하여, ‘저온(cryo-)’을 이용

-> 차가운 표면에 기체 분자들이 응축 또는 흡착되도록 하여 기체분자들을 제거. 냉각된 표면이 기체분자를 붙잡는데 있 어서 냉온응축과 냉온흡착의 원리를 이용

->냉온응축 : 증기를 액화시켜 얼림 :

80K 영역, 물분자, N2, O2, Ar 등.

->냉온흡착 : 증기압이 높은 기체들의 운동에너지를 빼앗아 표 면에서 움직이지 못하게 함 :

15K 영역, He, H2, Ne

-> 안쪽 표면에 활성탄 : 냉온응축 단계에서 포획될 수 있는 기체들이 15K 영역에 달라붙게 되면 냉온흡착을 할 수 있는 표면적이 줄어들기 때문에 이를 방지하기 위한 목적임.

티타늄 티타늄 서브리메이션 서브리메이션 펌프 펌프

이온 이온 펌프 펌프

Typical gauge Pressure Ranges Typical gauge Pressure Ranges

-12-12 -10-10 -- 88 -- 66 --44 -- 22 00 22 (Torr(Torr))

Bourdon Gauge Bourdon Gauge

Thermocouple Gauge Thermocouple Gauge

Pirani

Pirani GaugeGauge

Gold Cathode Gauge Gold Cathode Gauge

Residual Nitrogen Residual Nitrogen Analyzer

Analyzer

Ionization Gauge Ionization Gauge

Residual Gas Analyzer Residual Gas Analyzer Capacitance Manometer

Capacitance Manometer

부르동 부르동 게이지 게이지

760 torr ~ 1 torr

저진공 저진공 게이지 게이지

TC 게이지 피라니 게이지

Ion Gauge (BA Gauge)

Ion Gauge (BA Gauge)

Cold Cathode Gauge

Cold Cathode Gauge