• 검색 결과가 없습니다.

Optical properties of $TiO_2$ zigzag films prepared by oblique angle deposition

N/A
N/A
Info
다운로드
Protected

Academic year: 2021

Share "Optical properties of $TiO_2$ zigzag films prepared by oblique angle deposition"

Copied!
1
0
0

로드 중.... (전체 텍스트 보기)

전체 글

(1)

경사입사 증착방법을 이용한 TiO

2

지그재그 구조의 광학적 특성

Optical properties of TiO

2 zigzag films prepared by oblique angle

deposition

박용준

*

, K. M. A. Sobahan, 황보창권

인하대학교 물리학과

[email protected]

In this paper, We present the optical properties of TiO2 films with zigzag structure fabricated by using an oblique angle deposition(OAD)

technique. Two fixed orientations of substrate, 90° differ from each other, are used during deposition. At each orientation, the zigzag

structure of the TiO2 film is fabricated at an oblique angle 60° for the first half of the deposition and -60° for the last half. The

in-plane birefringence of the TiO2 zigzag films deposited on glass substrate at the two different orientations is determined.

경사입사 증착방법(oblique angle deposition, OAD)은 증착하고자 하는 물질에 대해 기판을 경사지게 만

들어 증착하는 방법이다. 이러한 증착방법은 증착하는 방법에 따라 경사구조, 지그재그 구조, 나선형 구

조의 박막을 제작할 수 있다. 이러한 OAD 박막의 광학적, 구조적 특성은 3차원 포토닉크리스탈, 비등방

광학필터, 넓은 영역 무반사 코팅, 습도 센서, 선형편광자 등으로 응용할 수 있다

(1)

.

본 연구에서는 OAD의 증착 방법 중 기판을 지그재그 구조로 증착하고, 90

o

회전하여 지그재그로 증

착하는 두 가지 방법을 이용하여 위상차가 180

o

되는 파장판을 제작하고 광학적 특성을 연구하였다.

302

참조

지금 다운로드하기 ( PDF - 1 페이지 - 432.66 KB )

관련 문서

“Phase Transformation in Materials”

(a) Low-Angle and High-Angle Boundaries (b) Special High-Angle Grain Boundaries (c) Equilibrium in

Wet deposition Dry deposition

• In-situ gamma-ray spectrometry for radioactivity analysis of soil using NaI(Tl) and LaBr 3 (Ce) detectors/ Radiation Protection Dosimetry, 2019. • In-situ CeBr

저작자표시

In this paper, iCVD (Initiated Chemical Vapor Deposition), which can deposition in low temperature and low vacuum environments and has high step coverage, is used as a

저작자표시

Melt lamination process, depending on the characteristics Floor laminate Out-of-Plane so the mechanical properties of the products according to the angle

저작자표시

Fabrication and Optical Properties of Polysiloxane Hybrimer Resin Using Oligohydrosiloxane 1 (OPH 1).. Fabrication and Optical Properties of Polysiloxane Hybrimer

석 사 사 사 학 학 학 위 위 위 논 논 논 문 문 문

When the fiber orientation angle is small, the member absorbed energy by laminar bending.. As the fiber orientation angle increases, the member was

저작자표시

A 27-year-old man with spondyloarthropathy, oblique coronal fat-saturated T2-weighted (A) and oblique coronal postcontrast fat-saturated T1-weighted (B) images show

ln (deposition rate)

The reaction product methane is pumped away, Excess H 2 O vapor does not react with the hydroxyl surface groups, again causing perfect passivation to one atomic layer.