Fig.17Gasmeasuringprogram oncomputer.
제
제 제 5 5 5장 장 장. . .종 종 종합 합 합결 결 결론 론 론
본 연구에서는 모물질로 WO3를 사용하였고,촉매로서 수소와 반응이 우수한 Pd를 사용하였으여,Pd도핑두께와 열처리조건에 따른 WO3박막의 물성 및 수소 가스에 대 한 저항형 수소가스 센서의 감지 특성을 연구하였으며,이를 검출하고 분석하기위한 측정시스템연구를 수행하였다.
1.XRD결과에서 보면 WO3박막은 400℃에서 비정질상태로 존재하다가 500℃이상에 서 사방정구조인 다결정상으로 성장하였다.
2.SEM과 AFM결과에서 보면 600℃열처리 하였을 때 Pd는 WO3위에서 응집되는 현상이 관찰되였다.Pd4nm증착시 섬구조모양을 유지하다가 8nm이상이면 층상구조로 전환된다.
3.XPS결과에서 촉매인 Pd는 600℃에서 열처리 하였을 때 완전히 PdO2로 전환된다.
이를 다시 수소분위기에서 열처리하면 Pd와 PdO로 환원되는데 이는 Pd-WO3가스감지 는 주요하게 Pd의 산화-환원반응에 의함을 알수 있다.
4.수소 가스 감지 특성에서 Pd를 2nm 증착한 시편을 500℃ 공기 중에서 열처리 하 였을 때 우수한 반응속도와 안정된 회복특성이 나타났고 최적의 작동온도는 250℃였 다.
5.MSC1210을 이용한 수소기체를 감지하기 위한 측정시스템으로 측정하여 보았을 때 HP34401A (Hewellett-Packard사제)멀티미터와 비교하면 유사한 측정결과를 얻어 고정밀,소형화,가격이 또한 저렴한 센서시스템제조가 용이하였다.
참
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