나노기술
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박막형성과 에칭 진공플라즈마
(NANO-STEAM 아웃리치 프로그램)
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박막형성과 에칭 진공플라즈마
(NANO-STEAM 아웃리치 프로그램)
-에어샤워 :
에어샤워는 청정한 상태에 관리되고 있는 클린룸내 오염을 방지하기 위해, 사람이나 유입물의 표면에 부착한 먼지 등의 입자를 고속제트에어를 분사하여 입실 전에 제거하 는 기기입니다. 또한 클린룸과 일반실을 격리하여 일반인의 출입을 제한하고, 전실의 효과를 얻을 수 있습니다.
-필터:
청정실내에서는 청정한 공기가 순환이 되도록 필터를 사용하고 있습니다.
포토공정이란, 반도체 공정 중 하나로, 미세한 그림을 그려넣는 가장 중요하고 민감한 공정입니다. 미세그림의 크기는 먼지입자하나보다 작기 때문에, 포토공정이 이루어지 는 곳은 청정도가 가장 높습니다. 또한, 포토공정은 빛에 민감합니다. 사진현상과 같은 원리로 빛을 받으면 특성이 변하는 성질을 이용하기 때문에, 외부의 빛을 차단시켜 주 어야합니다. 그래서 포토공정이 이루어지는 룸에서는 형광등에 노란색 필터를 덮어서 사용합니다.
● 도전~! 나도 나노 전문가! (청정실 체험)
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박막형성과 에칭 진공플라즈마
(NANO-STEAM 아웃리치 프로그램)
[STEP 4 : 10년 후, 반도체공정 연구원]
-방진복을 입은 내 사진을 붙이고, 10년 후 내가 반도체관련 연구원이 된다면, 어떤 제 품에 들어갈 반도체를 만드는 연구원이 되고 싶은지 생각해봅시다.
-STEP1 활동을 참고하여, 사진 옆에 한마디를 써봅시다.
ex) 생체인식반도체
“나는, 10년 후에 생체인식반도체를 만들어, 몸이 이상이 생기면 119를 불러주는 반도 체를 만들고 싶어“
결과 및 정리
-조원들과 각자되고 싶은 미래 반도체 연구원에 대하여 발표해봅시다.
● 도전~! 나도 나노 전문가! (청정실 체험)
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박막형성과 에칭 진공플라즈마
(NANO-STEAM 아웃리치 프로그램)
나도 나노 전문가가 되어 진공 시스템 시뮬레이션을 작동해보고 실제 박막증착 실험을 통해 나노기술에 대하여 이해해보자!
활동 목표
(1) 진공 시스템 시뮬레이션을 작동하고 원리를 이해할 수 있다.
(2) 앞에서 배운 이론을 바탕으로 실제 박막증착을 실현할 수 있다.
(3) 조별실습을 통해 협동심을 기를 수 있다 준비물
EquipSim 프로그램, Worksheet, RF마그네트론 스퍼터, 유리기판, 스퍼터링가스 설계과정
1. 진공 시스템 시뮬레이션
1. 컴퓨터에 설치된 EquipSim 폴더를 찾아 EquipSim3 파일을 실행시킨다.
● 도전~! 나도 나노 전문가!(박막증착 실습)
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박막형성과 에칭 진공플라즈마
(NANO-STEAM 아웃리치 프로그램)
2. 나누어준 시뮬레이션 Worksheet <진공 펌핑> 내용에 따라 진행한다.
● 도전~! 나도 나노 전문가!(박막증착 실습)
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박막형성과 에칭 진공플라즈마
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