특 허 심 판 원 특 허 심 판 원 특 허 심 판 원 특 허 심 판 원

특 허 심 판 원 특 허 심 판 원 특 허 심 판 원 특 허 심 판 원

제 부

제 부

제 부

제 6 6 6 6 부

심 결

심 결

심 결

심 결

(P)111.120-Y(C23F 1/00) (P)111.120-Y(C23F 1/00)(P)111.120-Y(C23F 1/00) (P)111.120-Y(C23F 1/00)

심 판 번 호 심 판 번 호심 판 번 호

심 판 번 호 2005 1349당 사 건 의 표 시

사 건 의 표 시사 건 의 표 시

사 건 의 표 시 특허등록 제120321호 발명 원판형 공작물 에칭장치 의 무효『 』

청 구 인

청청 구구 인인

청 구 인 세메스주식회사

충남 천안시 업성동 623-5

대리인 변리사 안국찬 홍영표 김윤기 성재동 김명곤 강석렬, , , , , 서울 종로구 신문로 가1 226번지 흥국생명빌딩 층9

김 장 특허법률사무소

( )

대리인 변호사 권오창

서울 종로구 내자동 233번지 세양빌딩 김 장 특허법률사무소

( )

피 청 구 인 피 청 구 인피 청 구 인

피 청 구 인 세즈 아게

오스트리아 캐른텐, , A-9500 빌라흐 드라우보덴벡, 29 대리인 변리사 황의만

서울 강남구 포이동 261-9 만성빌딩 3-4층 만성국제특허법률사무소

( )

주 문

주 문

주 문

주 문

특허등록 제 호는 그 등록을 무효로 한다

1. 120321 .

심판비용은 피청구인의 부담으로 한다

2. .

청구의 취지 청구의 취지 청구의 취지 청구의 취지 주문과 같다.

이 유

이 유

이 유

이 유

기초사실 기초사실 기초사실 기초사실 1.

1.1.

1.

청구인이 제출한 갑 제 호증 내지 제 호증 및 참고자료( ) 1 9 1, 2의 각 기재로부터 다음 사실이 인정된다.

가 이 건 특허발명.

명칭 : 원판형 공작물 에칭장치

①

권리자 : 피청구인

②

출원일 출원번호/ (1996.12.2./ 1996-60979 )제 호

③

등록일 등록번호/ (1997.8.16./특허등록 제120321 )호

④

이 건 특허발명의 청구범위 별지 도면( 1 참조)

⑤

청구항1. 최소한 두 가지 처리액으로 원판형 공작물을 가공하는 특히 규소원, 판을 에칭하기 위해 캐리어가 장착된 장치에 있어서 상기 캐리어, (1)가 환형 원통(20) 의 내부공간(21)에 들어 있고 이하 구성( ‘ 1’ 이라 한다), 처리액을 모으기 위해 원통(20) 에는 적어도 2개 이상의 환형덕트(25,26,27)가 내부공간(21)으로 열려 있도록 제공되어

있으며 캐리어, (1)와 원통(20)간의 상대위치를 변경할 수 있도록 장치가 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 원판형 공작물 에칭장치 이하 구성( ‘ 2’ 라 한다 이하 제 항 발명, ‘ 1 ’ 이라 한다).

청구항2. 제 항에 있어서 상기 캐리어1 , (1)가 자신을 구동하는 샤프트(7)를 통해 원통(20)에 대하여 상승 하강할 수 있도록 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 원판형. 공작물 에칭장치 이하 제 항 발명 이라 한다( ‘ 2 ’ ).

청구항3. 제 항에 있어서 상기 원통2 , (20)의 중심축과 일치하는 축(14)을 중심 으로 캐리어(1)를 회전시키기 위해 모터(23)가 캐리어(1)의 샤프트(7)와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 원판형 공작물 에칭장치 이하 제 항 발명 이라 한다( ‘ 3 ’ ).

청구항4. 제 항에 있어서 상기 캐리어1 , (1)의 샤프트(7)는 내부가 비어 있고 압 축공기 공급원과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 원판형 공작물 에칭장치 이하 제( ‘ 4 항 발명 이라 한다’ ).

청구항5. 제 항에 있어서 상기 원통1 , (20)에 마련되어 있는 환형덕트(25,26,27) 가 상기 덕트(25,26,27)의 바닥보다 높게 배치되어 있는 슬로트(28,29,30)을 통해 원통 의 내부 공간 쪽으로 열려 있는 것을 특징으로 하는 원통형 공작물 에칭장치 이

(20) (21) (

하 제 항 발명 이라 한다‘ 5 ’ ).

청구항6. 제 항에 있어서 상기 원통1 , (20)의 덕트(25,26,27)의 바깥벽 밖에 흡 인장치와 접속되는 환형 공간(31)이 마련되어 있고 각 덕트, (25,26,27)는 그 외벽의 상 부에 있는 적어도 하나의 출구(33,34,35)를 통해 환형 공간(31)과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 원판형 공작물 에칭장치 이하 제 항 발명 이라 한다( ‘ 6 ’ ).

청구항7. 제 항에 있어서 상기 각 덕트1 , (25,26,27) 안에 모인 액체를 재사용 및 또는 폐기처분하기 위해 반송되는 도관/ (39,40,41)이 상기 각 덕트(25,26,27)와 연결

되어 있는 것을 특징으로 하는 원통형 공작물 에칭장치 이하 제 항 발명 이라 한다( ‘ 7 ’ ).

청구항8. 제 항에 있어서 상기 원통1 , (20)의 내부공간(21)에 있는 캐리어(1) 위 로 최소한 두 개의 도관(43,44,45)이 열려 있어서 최소한 두 가지의 처리액을 도관을 통하여 공급할 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 원판형 공작물 에칭장치 이하(

제 항 발명 이라 한다

‘ 8 ’ ).

청구항9. 제 항에 있어서8 , 세척수, 특히 탈이온수나 증류수를 공급하기 위한 도관(43)이 하나 장착되어 있고 최소한 하나 적절하게는 두 개의 도관, (44,45)이 최소 한 한가지의 산을 공급하기 위해 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 원판형 공작물 에 칭장치 이하 제 항 발명 이라 한다( ‘ 9 ’ ).

청구항10. 제 항에 있어서 상기 도관8 , (43,44,45)은 공통의 구멍(42)으로 말단 이 이루어진 것을 특징으로 하는 원판형 공작물 에칭장치 이하 제( ‘ 10항 발명 이라 한’ 다).

청구항11. 제 항에 있어서8 , 상기 도관(43,44,45)의 구멍 또는 공통의 구멍이 캐리어(1)와 같이 원통(20)에 대하여 수직으로 조절가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 원판형 공작물 에칭장치 이하 제( ‘ 11항 발명 이라 한다’ ).

나 인용발명

갑 제 호증 미국 특허공보 제 호 공고 별지 도면 참 (1) ( ) 5 〔 3,950,184 (1976.4.13. ), 2 조 이하 인용발명, ‘ 1’ 이라 한다〕

인용발명 은 작업스테이션에서 회전되는 반도체 웨이퍼로부터 원심적으로 살포1 된 상이한 액체의 잔여 처리액들을 배출하기 위한 시스템에 관한 발명으로 명세서에 컵 조립체(14)는 피회전 웨이퍼를 수용하는 스핀들상에 설치된 진공척(10)에 대하여 환형 으로 배치되고 컵 플레이트, (16)는 컵 플레이트와 승강장치(18)를 연결하는 한쌍의 지

지받침대(20)에 의해 지지되며, 상기 척은 전기모터(44)의 출력샤프트(43)에지지 가능 하게 연결되고 진공척은 진공소스와 연통하는 복수의 공기유입구, (42)를 갖는 진공매트 를 갖으며 상기 컵 은 경사진 환형채널 을 형성하고 상기 채널은 오리피스

(40) , (22) (23)

를 통해 배액출구 와 연통하고 회전하는 반도체 웨이퍼는 웨이퍼의 상단 표면

(30) (32) ,

의 중앙에 연속 공급되는 상이한 처리액으로 분배되며 잔여처리액은 웨이퍼로부터 원, 심력으로 살포되어 사용된 배출액은 배액시스템에 수용되고 재사용이 용이하도록 회수 된다는 기술내용이 기재되어 있다.

갑 제 호증 일본 공개실용신안 소 호 공개 별지 도면 (2) ( ) 6 〔 60-42730 (1985.3.26. ), 3 참조 이하 인용발명, ‘ 2’ 라 한다〕

인용발명 에는 회전가능한 웨이퍼 척과 웨이퍼 척을 포위하는 내측 컵 이 내측2 , 컵을 포위하는 외측 컵 상기 내측 컵과 외측 컵에 별개의 배액관을 설치함과 동시에, 상기 웨이퍼 척과 내측 컵을 상대적으로 상하이동 가능하게 하는 반도체 제조장치로 웨 이퍼 척을 고속회전 시키면 현상액이 원심력에 의해 웨이퍼(4)로부터 떨어져 날아가서 배액관(3)으로 배출된다는 기술내용이 기재되어 있다.

갑 제 호증 미국 특허공보 제 호 공고 별지 도면 참조 (3) ( ) 7 〔 4,350,562 (1982.9.21. ), 4 , 이하 인용발명‘ 3’ 이라 한다〕

인용발명 은 니스 또는 유사한 코팅을 다른 측면에는 도포하지 않고 일측면 상3 에 반도체 웨이퍼를 에칭하는 방법에 관한 것으로 에칭액은 반도체 웨이퍼의 대향하는 면에 닿지 않게 제거되어야 하며 턴테이블, (1)은 중공샤프트를 갖는 튜브(2)를 갖는데 상기 중공샤프트의 내부를 통하여 가스 공기 질소 또는 다른 가스 가 가스쿠션을 형성( ) 하게 되고 에칭되는 웨이퍼 표면은 자유면이고 에칭되지 않는 웨이퍼 표면은 회전가스, 쿠션을 향하도록 현가하는 방식이고 장치가 작동 중일 때 회전가스쿠션은 턴테이블과,

웨이퍼 사이에 형성되어서 웨이퍼가 턴테이블과 접촉하지 않도록 하며 가스쿠션 때문, 에 사이한 두액체 중 어느 것도 웨이퍼의 아래쪽에 도달할 수 없어 웨이퍼의 한쪽면만 에칭되고 턴테이블 아래에 구집장치인 캐치팬, (12)이 배치되어 있고 웨이퍼와 함께 턴 테이블을 상하로 승하강할 수 있어 캐치팬의 위치로 낮추고 캐치팬이 갖는 배수 니플을 통해 수집된 배액은 정장소로 배출되고 재사용된다는 기술내용이 기재되어 있다.

갑 제 호증 일본공개특허 소 호 공개 별지 도면 참조 이 (4) ( ) 8 ( 50-36536 (1975.4.5. ), 5 , 하 인용발명‘ 4’ 라 한다〕

청구항1. 판상재료의 이면의 1부를 지지하고, 이 판상재료에 회전을 주기위한 스핀들과 이 스핀들을 둘러싼 상자형태의 본체와 상기 판상재료의 이면을 덮어 비말방 지판으로 구성되는 것을 특징으로 하는 도포장치.

갑 제 호증 일본공개특허 소 호 공개 별지 도면 참조 (5) ( ) 9 〔 59-90928 (1984.5.25. ), 6 , 이하 인용발명‘ 5’ 라 한다〕

청구항1. 그릇형태의 용기와 이 중앙상방으로 설치된 노즐과 이 용기 내의 중앙 에서 회전하는 진공척을 갖추고 이 척에 흡착된 피처리기판을 회전시켜가면서 그 표면, 에 상기 노즐로부터 처리액을 공급하여 그 표면처리를 행하는 회전식 표면처리장치에 있어서 상기 그릇형태의 용기를 상면에 배기구멍 그것에 접하는 경사면부를 갖는 상, , 기 처리기판의 회전축선에 대하여 회전대칭형으로 성형된 윗뚜껑과 상기 척을 감싸고 배기 덕트를 구비한 환상저부로 형성되고 상기 기판의 회전반경과 거의 동등의 외주 반 경을 갖는 환상접시와 그것에 이은 경사면 둘레부를 갖추고 이 경사면 둘레부의 외주, 단이 상기 기판의 회전중심에 대하여 편심원주상에 위치하는 정류판을 상기 환상저부의 내주부에 붙이고 이 정류판 및 상기 윗뚜껑의 각각 경사면단부 사이를 상기 배기 덕트, 의 원주각도 배설위치에 가깝게 따라가면서 좁히는 사이 간격에 형성시킴과 아울러 상

기 윗뚜껑의 하부 상기 환상저부 및 상기 정류판에 의해서 상기 간격에 접속하는 환상, 덕트를 형성하여 되는 것을 특징으로 하는 회전식표면처리장치.

당사자들의 주장 당사자들의 주장 당사자들의 주장 당사자들의 주장 2.

2.2.

2.

가 청구인의 주장 요지.

이 건 특허발명은 이 건 특허발명의 우선일 이전에 공지되었거나 공지된 인용발명 들로부터 당업자가 용이하게 발명할 수 있는 것이다.

나 피청구인의 주장 요지.

이 건 심판청구의 자료로 제출된 간행물들은 구 특허법 제98조의 규정에 위배되 어 제출된 것이므로 이 건 심판청구는 부적법하게 청구된 것이다.

이 건 특허발명은 인용발명들로부터 용이하게 발명할 수 없는 것이다

(2) .

이해관계 이해관계 이해관계 이해관계 3.

3.3.

3.

갑 제 호증 특허권침해금지가처분신청서 에 의하면 청구인은 이 건 특허발명의 권

( ) 3 ( ) ,

리자인 피청구인으로부터 권리의 대항을 받고 있는 사실이 인정되므로 이 건 심판청구, 는 이해관계인에 의한 적법한 청구라 할 것이다.

판단 판단 판단 판단 4.

4.4.

4.

가 이 건 인용발명들이 적법한 증거자료인지 여부 가 이 건 인용발명들이 적법한 증거자료인지 여부가 이 건 인용발명들이 적법한 증거자료인지 여부 가 이 건 인용발명들이 적법한 증거자료인지 여부.... ....

갑 제 호증은 미국 특허 제 호 공개 국내 반

( ) 5 3,950,184 (1976.4.13. , 1976.6.29.

포 이고) , ( ) 6갑 제 호증은 일본 특허공개 소60-42730 (1985.3.25.호 공개, 1985.4.16. 국 내 반포 이며) , ( ) 7갑 제 호증은 미국 특허 제4,350,562 (1982.9.21.호 공개, 1983.4.23.

국내 반포 이고) , ( ) 8갑 제 호증은 일본 특허공개 소50-36536 (1975.4.5.호 공개, 국내 반포 이며 갑 제 호증은 일본 특허공개 소 호 공 1975.6.3. ) , ( ) 9 59-90928 (1984.5.25.

개, 1984.6.12. 국내 반포 로 갑 제 호증 내지 갑 제 호증은 모두 이 건 특허발명의) ( ) 5 ( ) 9 우선권주장일(1987.11.9.) 이전에 특허청 도서관에 입고된 사실이 인정된다. 또한 위 간행물은 외국에서 반포된 간행물에 해당되고 이 건 심판청구는 이 건 특허발명의 등, 록일인 1997.8.16.부터 5년이 경과하여 청구된 것이어서 이 건 특허발명의 출원 당시, 에 시행중이던 구 특허법(1990.1.13. 법률 제4209호로 전문개정되기 전의 것을 말한 다 이하 같다. .) 제98 (조 제척기간 의 규정에 의하면 위 간행물 자체로서는 이 건 심판청) 구를 할 수 없으나 외국에서 반포된 간행물이라도 국내에 반입되어 누구든지 열람할, 수 있는 상태에 놓이게 되고 그 이후부터는 이를 특허법 제, 29조 제 항 제 호의 국내1 2 ‘ 에서 반포된 간행물 에 해당한다고 볼 것이므로 대법원’ ( 1970.12.27. 선고 70 64후 판 결 등 참조), 이로 보면 위 간행물들은 이 건 특허발명의 우선권주장일 이전에 국내에, 서 반포된 간행물로 인정된다.

나 이 건 특허발명과 인용발명들의 대비 나 이 건 특허발명과 인용발명들의 대비나 이 건 특허발명과 인용발명들의 대비 나 이 건 특허발명과 인용발명들의 대비....

목적 (1)

이 건 특허발명은 원판형 공작물 특히 규소원판 을 처리할 수 있는 캐리어가 장( ) 착된 에칭장치에 관한 것이고, 인용발명 은 다중채널 배액시스템으로 반도체웨이퍼와1 같은 원판형 공작물의 처리액을 분리수거하여 재사용하기 위한 장치이며 인용발명 는, 2 서로 다른 두종류의 웨이퍼처리액을 각각 분리회수하여 재사용하기 위한 장치이고 인, 용발명 은 반도체웨이퍼 에칭장치에 관한 것이며 인용발명 는 반도체웨이퍼의 처리에3 , 4 사용되는 처리액 도포장치에 관한 것이고 인용발명 는 반도체기판의 표면처리에 사용, 5 되는 회전식 표면처리장치에 관한 것이어서 이 건 특허발명과 인용발명들은 모두 반도,

체 웨이퍼와 같은 원판형 공작물의 표면처리에 사용되는 장치인 점에서 그 목적이 동일 하다 할 것이다.

구성 및 효과 (2)

가 제 항 발명 ( ) 1

제 항 발명의 구성 은 최소한 두 가지 처리액으로 원판형 공작물을 가공하1 1 는 특히 규소원판을 에칭하기 위해 캐리어가 장착된 장치에 있어서 상기 캐리어, , (1)가 환형 원통(20)의 내부공간(21)에 들어 있는 것에 관한 것이고, 인용발명 에는 최소한1 두가지 처리액으로 반도체웨이퍼를 처리하는 진공척이 장착된 장치에 있어서 진공척이, 컵 조립체(14)의 내부공간에 들어 있는 구성이 기재되어 있으며 인용발명 에는 최소한, 2 두가지 처리액으로 웨이퍼를 처리하는 장치에 있어서, 웨이퍼 척(11)이 내외측 컵 의 내부공간에 들어 있는 구성이 기재되어 있는바 인용발명 또는 는 구성 의

(12,14) , 1 2 1

주요구성부를 모두 그대로 포함하고 있다 할 것이므로 실질적으로 동일하다 할 것이다.

구성 는 처리액을 모으기 위해 원통2 (20)에는 적어도 2개 이상의 환형 덕트 가 내부공간 으로 열려 있고 캐리어 와 원통 간의 상대위치를 변경 (25,26,27) (21) , (1) (20)

할 수 있도록 장치가 배열되어 있는 것에 관한 것이고 인용발명 에는 컵 조립체에 처, 1 리액을 모으기 위한 2개의 환형채널(23,25)이 내부공간으로 열려 있고 진공척과 컵 조, 립체간의 상대위치를 변경할 수 있는 승강장치(18)가 기재되어 있어서 구성 와 인용발, 2 명 의 위 구성은 실질적으로 동일하다 할 것이고 인용발명 에는 컵에 처리액을 모으기1 , 2 위한 내측컵(12)과 외측컵(14)이 개구를 통해 컵 내부공간으로 열려있는 구성이 구비되 어 있고 다만 처리액을 모으기 위해 내측 컵, (12)과 외측 컵(14)간 상대 위치를 변경할 수 있는 구성에 대한 명시적인 기재를 찾아 볼 수는 없으나 명세서에 웨이퍼 척, (11)과 내측 컵(12)의 상대위치가 변경된다는 기재가 있는 점을 감안하면 인용발명 에서 상대2

위치를 변경하기 위한 장치를 구비하고 있다는 것은 자명하다 할 것이므로 인용발명, 2 에도 구성 와 실질적으로 동일한 구성을 포함하고 있다 할 것이다 따라서 제 항 발명2 . , 1 은 그 출원 전에 공지된 인용발명1 또는 2로부터 당업자가 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없다 할 것이다, .

나 제 항 발명 ( ) 2

제 항 발명이 인용하고 있는 제 항 발명의 구성과 인용발명2 1 1,2와의 대비판 단은 4. (2)( )나 가 에서 살핀바와 같고 제 항 발명의 특징부는 상기 캐리어, 2 (1)가 자신을 구동하는 샤프트(7)를 통해 원통(20)에 대하여 상승 하강할 수 있도록 장착되어 있는, 구성에 관한 것이며 인용발명 에는 진공척, 1 (10)은 출력샤프트(43)를 통해 지지되어 있 고 컵 조립체, (14)는 승강장치(18)에 의해 상승하강할 수 있도록 장착되어 있는 구성이 기재되어 있고, 인용발명 에는 웨이퍼 척2 (11)은 샤프트를 통해 내측 컵(12)에 대하여 상하이동이 가능하게 되는 구성이 기재되어 있는바 제 항 발명은 그 출원 전에 공지된, 2 인용발명1 또는 2로부터 당업자가 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없다, 할 것이다.

다 제 항 발명 ( ) 3

제 항 발명이 인용하고 있는 제 항 발명의 구성과 인용발명3 2 1,2와의 대비판 단은 4. (2)( )나 나 에서 살핀바와 같고 제 항 발명의 특징부는 상기 원통, 3 (20)의 중심축과 일치하는 축(14)을 중심으로 캐리어(1)를 회전시키기 위해 모터(23)가 캐리어(1)의 샤프 트(7)와 연결되어 있는 구성에 관한 것이며 인용발명 에는 컵 조립체, 1 (14)의 중심축을 중심으로 진공척(10)을 회전시키기 위해 모터(44)가 출력샤프트(43)와 연결되는 구성이 기재되어 있고 인용발명 에도 웨이퍼 척, 2 (11)은 컵(12,14)의 중심축과 일치하는 샤프트 에 연결되어 고속회전을 하는 구성이 기재되어 있는바 제 항 발명은 그 출원 전에 공, 3

지된 인용발명1 또는 2로부터 당업자가 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이, 없다 할 것이다.

라 제 항 발명 ( ) 4

제 항 발명이 인용하고 있는 제 항 발명의 구성과 인용발명4 1 1,2와의 대비판 단은 4. (2)( )나 가 에서 살핀바와 같고 제 항 발명의 특징부는 상기 캐리어, 4 (1)의 샤프트 는 내부가 비어있고 압축공기 공급원과 연결되어 있는 구성에 관한 것이며 인용발

(7) ,

명 에는 턴테이블3 (1)의 중공샤프트(2)는 내부가 비어있고 그 내부(3)를 통해 가스를 도 입하는 구성이 기재되어 있는바 제 항 발명은 그 출원 전에 공지된 인용발명, 4 1 또는 2 와 인용발명 으로부터 당업자가 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없다 할3 , 것이다.

마 제 항 발명 ( ) 5

제 항 발명이 인용하고 있는 제 항 발명의 구성과 인용발명5 1 1,2와의 대비판 단은 4. (2)( )나 가 에서 살핀바와 같고 제 항의 특징부는 상기 원통, 5 (20)에 마련되어 있는 환형 덕트(25,26,27)가 상기 덕트(25,26,27)의 바닥보다 높게 배치되어 있는 슬로트 를 통해 원통 의 내부 공간 쪽으로 열려 있는 구성에 관한 것이며 인

(28,29,30) (20) (21) ,

용발명 에는 컵 조립체에 있는 환형 채널1 (23,25)이 그 바닥보다 높게 배치되어 있는 채 널개구 슬로트 를 통해 컵 조립체( ) (14)의 내부공간 쪽으로 열려있는 구성이 기재되어 있 고 인용발명 에도 컵에 마련되어 있는 내외측 컵, 2 (12,14)이 그 바닥보다 높게 배치되어 있는 개구를 통해 컵의 내부 공간 쪽으로 열려있는 구성이 기재되어 있는바 제 항 발, 5 명은 그 출원 전에 공지된 인용발명1 또는 2로부터 당업자가 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없다 할 것이다, .

바 제 항 발명 ( ) 6

제 항 발명이 인용하고 있는 제 항 발명의 구성과 인용발명6 1 1,2와의 대비판 단은 4. (2)( )나 가 에서 살핀바와 같고, 제 항 발명의 특징부는 상기 원통6 (20)의 덕트 의 바깥벽 밖에 흡인장치와 접속되는 환형 공간 이 마련되어 있고 각 덕

(25,26,27) (31) ,

트(25,26,27)는 그 외벽의 상부에 있는 적어도 하나의 출구(33,34,35)를 통해 환형 공 간(31)과 연결되어 있는 구성에 관한 것이며 인용발명 에는 본체, 4 (1)의 비산액 수집부 비말방지판 과 본체 의 측벽 사이의 덕트형 공간 의 외벽 밖에 본체 배기용의

( (7) (1) ) (1)

가요관(3)과 접속되는 덕트(2)가 마련되어 있고 비산액 수집부는 그 외벽 상부에 설치, 된 적어도 하나의 배기공(15)을 통해 덕트(2)와 연결되어 있는 구성이 기재되어 있고, 인용발명 에도 용기의 폐액 수집부 경사판5 ( (13)과 안내 외통부(24) 사이의 덕트형 공간) 의 외벽 밖에 배기 덕트(15)가 마련되어 있고 폐액 수집부는 그 외벽 상부에 설치된, 적어도 하나의 개구를 통해 환상 덕트(15)와 연결되는 구성이 기재되어 있는바 제 항, 6 발명은 그 출원 전에 공지된 인용발명1 또는 2와 인용발명4 또는 5로부터 당업자가 용 이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없다 할 것이다, .

사 제 항 발명 ( ) 7

제 항 발명이 인용하고 있는 제 항 발명의 구성과 인용발명7 1 1,2와의 대비판 단은 4. (2)( )나 가 에서 살핀바와 같고 제 항 발명의 특징부는 상기 각 덕트, 7 (25,26,27) 안에 모인 액체를 재사용 및 또는 폐기처분하기 위해 반송되는 도관/ (39,40,41)이 상기 각 덕트(25,26,27)와 연결되어 있는 구성에 관한 것이며, 인용발명 에는 각 채널1 안에 수집된 액체를 재사용 폐기하기 위한 배출관 이 각 채널 과

(23,25) / (32,36) (23,25)

연결되어 있는 것으로 기재되어 있고 인용발명 에도 각 컵, 2 (12,14)안에 수집된 액체를 재사용 폐기하기 위한 배액관/ (13,15)이 각 컵(12,14)와 연결되어 있는 것으로 기재되어 있는바 제 항 발명은 그 출원 전에 공지된 인용발명, 7 1 또는 2로부터 당업자가 용이하

게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없다 할 것이다, . 아 제 항 발명

( ) 8

제 항 발명이 인용하고 있는 제 항 발명의 구성과 인용발명8 1 1,2와의 대비판 단은 4. (2)( )나 가 에서 살핀바와 같고 제 항 발명의 특징부는 상기 원통, 8 (20)의 내부공간 에 있는 캐리어 위로 최소한 두 개의 도관 이 열려 있어서 최소한 두

(21) (1) (43,44,45)

가지의 처리액을 도관을 통하여 공급할 수 있도록 되어 있는 구성에 관한 것이며 인용, 발명 에는 컵 조립체1 (14)의 중앙개구(13)에 있는 진공척(10) 위로 최소한 두개의 도관 이 열려 있어서 최소한 두가지의 처리액을 도관을 통하여 공급할 수 있는 구성 (90,92)

이 기재되어 있는바 제 항 발명은 그 출원 전에 공지된 인용발명 로부터 당업자가 용, 8 1 이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없다 할 것이다, .

자 제 항 발명 ( ) 9

제 항 발명이 인용하고 있는 제 항 발명의 구성과 인용발명9 8 1,2와의 대비판 단은 4. (2)( )나 아 에서 살핀바와 같고 제 항 발명의 특징부는 세척수 특히 탈이온수나, 9 , 증류수를 공급하기 위한 도관(43)이 하나 장착되어 있고, 최소한 하나 적절하게는 두 개의 도관(44,45)이 최소한 한가지의 산을 공급하기 위해 제공되어 있는 구성에 관한 것이며, 인용발명 에 최소한 두가지의 처리액을 최소한 두개의 도관1 (90,92)을 통하여 각각 공급할 수 있는 구성이 기재되어 있는바 제 항 발명은 그 출원 전에 공지된 인용, 9 발명 로부터 당업자가 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없다 할 것이다1 , .

차 제 항 발명 ( ) 10

제10항 발명이 인용하고 있는 제 항 발명의 구성과 인용발명8 1,2와의 대비판 단은 4. (2)( )나 아 에서 살핀바와 같고 제, 10항 발명의 특징부는 상기 도관(43,44,45)은 공통의 구멍(42)으로 말단이 이루어진 구성에 관한 것이며 인용발명 에 도관, 1 (90,92)이

공통의 구멍으로 말단이 이루어진 것으로 기재되어 있는바 제, 10항 발명은 그 출원 전 에 공지된 인용발명 로부터 당업자가 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없1 , 다 할 것이다.

카 제 항 발명 ( ) 11

제11항 발명이 인용하고 있는 제 항 발명의 구성과 인용발명8 1,2와의 대비판 단은 4. (2)( )나 아 에서 살핀바와 같고 제, 11항 발명의 특징부는 상기 도관(43,44,45)의 구멍 또는 공통의 구멍이 캐리어(1)와 같이 원통(20)에 대하여 수직으로 조절가능하게 되어 있는 구성에 관한 것이며 인용발명 에 진공척, 1 (10) 및 도관(90,92)에 대하여 컵 조립체(14)의 수직방향 상대 위치를 조절하거나 컵 조립체(14)에 대하여 진공척(100의 수직방향 상대 위치를 조절하는 구성이 기재되어 있는바 제, 11항 발명은 그 출원 전에 공지된 인용발명 로부터 당업자가 용이하게 발명할 수 있는 것이어서1 , 진보성이 없다 할 것이다.

소결 (3)

따라서 이 건 특허발명과 인용발명들은 그 목적 및 구성이 실질적으로 동일하, 고 이로 인한 효과도 실질적으로 동일하다 할 것이므로 이 건 특허발명은 인용발명들, , 로부터 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없음을 이유로 특허가 무효로 되, 어야 한다는 청구인의 주장은 이유있다.

결론 결론 결론 결론 5.

5.5.

5.

그러므로 이 건 심판청구를 인용하기로 하고 심판비용은 패소자부담의 원칙에 따, , 라 피청구인의 부담으로 하기로 하여 주문과 같이 심결한다, .

19989324 19989324 19989324

19989324

19982040 19982040 19982040

19982040

19983330 19983330 19983330

19983330

별지 도면 이 건 특허발명 별지 도면 이 건 특허발명 별지 도면 이 건 특허발명 별지 도면 이 건 특허발명

1. 1( )

1.1. 1(1( ))

1. 1( )

별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명

2. 2( 1)

2.2. 2(2( 1)1)

2. 2( 1)

별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명

3. 3( 2)

3.3. 3(3( 2)2)

3. 3( 2)

별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명

4. 4( 3)

4.4. 4(4( 3)3)

4. 4( 3)

별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명

5. 5( 4)

5.5. 5(5( 4)4)

5. 5( 4)

별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명 별지 도면 인용발명

6. 6( 5)

6.6. 6(6( 5)5)

6. 6( 5)