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펨토기술과 나노기술

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Academic year: 2021

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(1)

펨토기술과 나노기술

시간과 공간의 극한

-

(2)
(3)
(4)
(5)

1

장 서

(6)

3

장 논문 및 특허 정보분석

4

장 향후전망

(7)

표 차례

(8)
(9)
(10)
(11)

1

서 론

펨토기술의 개요

(12)
(13)
(14)
(15)
(16)
(17)
(18)
(19)
(20)

펨토기술과 나노기술의 융합

2.

(21)
(22)
(23)

펨토기술과 나노기술의 미래

3.

(24)
(25)
(26)
(27)

2

기술동향분석

펨토초 레이저를 이용한 나노구조 분석

1.

(28)
(29)

나노초 나노초나노초 나노초 (10-9 s) 피코초 피코초 피코초 피코초 (10-12s) 펨토초 펨토초펨토초 펨토초 (10-15 s)

시분해능

시분해능

시분해능

시분해능

시분해능

시분해능

시분해능

시분해능

나노미터 나노미터나노미터 나노미터 (10-9m) 마이크로미터 마이크로미터 마이크로미터 마이크로미터 (10-6m) 밀리미터 밀리미터 밀리미터 밀리미터 (10-3m)

거시 거시 거시 거시 ((((기계적기계적기계적기계적)))) 세계세계세계세계 mm 이상이상이상이상 크기크기크기크기 ms 이상이상이상이상 긴긴긴긴 시간시간시간시간 거시 거시 거시 거시 ((((기계적기계적기계적기계적)))) 세계세계세계세계 mm 이상이상이상이상 크기크기크기크기 ms 이상이상이상이상 긴긴긴긴 시간시간시간시간 광 광 광 광 학 학 학 학 현 현 현 현 미 미 미 미 경 경 경 경 공초점현미경 공초점현미경 공초점현미경 공초점현미경 ((((단일광자단일광자단일광자단일광자, 다광자다광자다광자다광자)))) 공초점현미경 공초점현미경 공초점현미경 공초점현미경 ((((단일광자단일광자단일광자단일광자, 다광자다광자다광자다광자))))

근접장

근접장

근접장

근접장 과학

과학

과학

과학

(Near-Field Science)

초고속

초고속

초고속

초고속 시분해분광학

시분해분광학

시분해분광학

시분해분광학

(Ultrafast Spectroscopy)

+

근접장현미경

근접장현미경

근접장현미경

근접장현미경

근접장현미경

근접장현미경

근접장현미경

근접장현미경

(NSOM)

(NSOM)

전자세계 전자세계 전자세계 전자세계 전자기기 전자기기 전자기기 전자기기 전자소자 전자소자 전자소자 전자소자 전자적 전자적 전자적 전자적 측정측정측정측정… 시간상관단일광자계수법 시간상관단일광자계수법 시간상관단일광자계수법 시간상관단일광자계수법

Fluorescence Up-Conversion

Pump-Probe

AFM SEM 극한과학 극한과학 극한과학 극한과학 + 첨단기술첨단기술첨단기술첨단기술 10 fs 100 fs 10 ps 100 ps 10 nm 100 nm ((((극미세극미세극미세 세계의극미세세계의세계의세계의 초고속 초고속 초고속 초고속 현상현상현상현상)))) (TCSPC)

나 펨토초 레이저를 이용한 나노구조체의 동역학 분석

.

(30)
(31)

Ti-Sapphire

Discr.

Delay

PMT

TAC

Oscilloscope

MCA

CFD

Sample Cell

Filter

PC

Pulse Picker

SHG

Fast Photo Diode

Fast Pre-Amp

HV PS

Thermoelectric Cooler

ND Filter

Shutter

PS

for Cooler

start

stop

Photon Counter

fs laser

(32)
(33)
(34)
(35)
(36)
(37)
(38)

)

(

)

(

2

0

2

(

2

)

2

(

3

)

3

2

2

t

E

m

e

r

r

r

dt

dr

dt

r

d

=

+

+

+

+

γ

ω

ξ

ξ

Λ

 



Λ

ϖ

ϖ

ϖ

τ

ϖ

ϖ

τ

ϖ

τ

ϖ

ϖ

+

+

+

=

=

e

r

E

E

E

E

E

E

P

χ

(

1

)

χ

(

2

)

:

χ

(

3

)

 

  

(39)

 

라 펨토초 레이저와 근접장 나노광학 현미경을 이용한 단일

.

나노구조체의 분석

(40)
(41)
(42)
(43)
(44)
(45)



(46)



 



 



 

(47)
(48)
(49)
(50)
(51)
(52)
(53)

펨토초 레이저를 이용한 나노 가공

2.

(54)
(55)
(56)
(57)

 



(58)



(59)

(60)
(61)
(62)

d <

d <

d <

d < λ

λ

λ

λ

h <<

h <<

h <<

h << λ

λ

λ

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laser

laser

laser

laser

sample

sample

sample

sample

d <

d <

d <

d < λ

λ

λ

λ

h <<

h <<

h <<

h << λ

λ

λ

λ

laser

laser

laser

laser

sample

sample

sample

sample

(63)
(64)
(65)
(66)
(67)

3

논문 및 특허 정보분석

연구논문 정보분석

1.

(68)
(69)
(70)
(71)
(72)
(73)
(74)
(75)
(76)
(77)
(78)
(79)

94' 95' 96' 97' 98' 99' 00' 01' 02' 03' 04' 05' 합계

특 성

4

12

14

22

30

46

56

50

58

61 101 64

518

역학 분석

3

7

12

19

24

33

46

45

40

26

60

39

355

광특성

3

7

7

10

15

31

39

36

33

29

54

32

296

(80)
(81)
(82)
(83)
(84)
(85)

94‘

95'

96'

97'

98'

99'

00'

01'

02'

03'

04'

05'

합계

1

5

10

15

18

30

48

39

34

29

54

32

300

3

0

5

10

4

18

23

22

29

28

41

2

215

(86)
(87)
(88)

특허정보 분석

2.

(89)
(90)
(91)
(92)
(93)
(94)
(95)

4

향후전망

펨토초 레이저를 이용한 나노구조 분석

1.

(96)
(97)

펨토초 레이저를 이용한 나노 가공

2.

(98)

분야별 응용기술

3.

(99)

5

(100)
(101)
(102)
(103)
(104)

본 나노기술분석보고서는 과학기술부 특정연구개발사업 나노기술종합정보지원

체제구축사업 의 차년도

3

(2005.5 - 2006.4)

사업으로 발간되었습니다

.

펨토기술과 나노기술

시간과 공간의 극한

참조

관련 문서

● 나노미터 크기의 물질이나 구조가 갖는 독특한 성질과 현상을 이용한 반도성 또는 절연성 소재를 활용하여 전류의 흐름을 제어할 수 있는 안정적인 전자소자 설계 및 제작

1) Start/stop the pump with the START/STOP buttons on the front panel or START/STOP signal connected to the remote connector or SERIAL COMMUNICATION connector on the rear

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(c) Partial listing of a Data Specific Table (DST) showing data sets and associated attributes derived from (b). Attribute Type Domain