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An In-Situ Optical Study on Silicon Crystallization Process Using an Excimer Laser

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Academic year: 2021

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Fig. 1 Experimental setup for excimer laser crystallization process and optical measurement.
Fig. 2 FESEM photography as a function of laser fluence.
Fig. 5 Front and back reflectances λ =633nm for different excimer laser fluences.

참조

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